專利名稱：硅芯母料用盛載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅芯加工輔助設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種硅芯母料用盛載裝置。
背景技術(shù)：
多晶硅是制備半導(dǎo)體器件和太陽(yáng)能電池的原材料，是全球電子工業(yè)及光伏產(chǎn)業(yè)的基石。多晶硅按照純度和用途可分為太陽(yáng)能級(jí)多晶硅和電子級(jí)多晶硅。目前制作多晶硅的主要方法是改良西門子法，該法是用硅芯棒作為發(fā)熱和沉積硅的載體，于1050 1150°C下通入三氯氫硅和氫氣，三氯氫硅被氫氣還原成硅并沉積在硅芯棒的表面，硅芯棒最終生長(zhǎng)為直徑為100 200mm的硅棒。上述制作多晶硅的方法中采用的硅芯棒是通過(guò)用多晶硅棒(硅芯母料)作為原料，在高頻硅芯爐中通過(guò)高頻感應(yīng)使多晶硅棒局部加熱熔化，然后用籽晶熔接，并以一定的速度向上提拉，拉成直徑為9mm，長(zhǎng)2500mm的硅芯棒。上述用來(lái)拉直硅芯棒所使用的特質(zhì)的多晶硅棒必須通過(guò)HF+HN03溶液對(duì)其表面的雜質(zhì)進(jìn)行處理后才能夠用來(lái)拉制硅芯棒?，F(xiàn)有的硅材料清洗設(shè)備中，多晶硅棒在腐蝕處理的過(guò)程中容易接觸在一起，導(dǎo)致接觸的部位無(wú)法與腐蝕溶液完全接觸，影響了多晶硅棒的腐蝕處理效果，進(jìn)而影響了多晶硅棒的腐蝕處理質(zhì)量。綜上所述，如何提供一種清洗輔助設(shè)備，提高多晶硅棒在硅材料清洗設(shè)備中清洗的效果，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種硅芯母料盛載裝置，以提高多晶硅棒在硅材料清洗設(shè)備中清洗的效果。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種硅芯母料盛載裝置，包括第一轉(zhuǎn)盤、第二轉(zhuǎn)盤和設(shè)置在兩個(gè)轉(zhuǎn)盤之間的中心軸，其特征在于，還包括套設(shè)在所述中心軸上的硅芯母料盤，其邊緣上設(shè)置有夾持部相互隔離的硅芯母料夾具。優(yōu)選的，上述硅芯母料盛載裝置中，所述硅芯母料夾具為與所述硅芯母料盤的部分邊緣組成方形卡座的三條卡條。優(yōu)選的，上述硅芯母料盛載裝置中，與所述卡條相對(duì)應(yīng)的硅芯母料盤的部分邊緣的連接端設(shè)置有沿直線分布的連接孔，所述三條卡條的連接端均設(shè)置有沿直線分布的連接孔，所述連接孔中可拆卸地設(shè)置有連接件。優(yōu)選的，上述硅芯母料盛載裝置中，所述硅芯母料盤上與兩個(gè)所述卡條相對(duì)應(yīng)的外側(cè)設(shè)置有夾緊螺紋旋桿。優(yōu)選的，上述硅芯母料盛載裝置中，所述三個(gè)卡條均具有鏤空結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的，上述硅芯母料盛載裝置中，所述硅芯母料夾具可以為設(shè)置在所述硅芯母料盤邊緣的環(huán)形抱箍。優(yōu)選的，上述硅芯母料盛載裝置中，所述第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤的外側(cè)均設(shè)置有提手。優(yōu)選的，上述硅芯母料盛載裝置中，還包括設(shè)置在硅芯母料盤的兩側(cè)，且套設(shè)在所述中心軸上的擋板。優(yōu)選的，上述硅芯母料盛載裝置中，所述擋板包括擋板本體和筒狀安裝部，所述筒狀安裝部上設(shè)置有螺孔，所述筒狀安裝部通過(guò)鎖緊螺釘固定在所述中心軸上。優(yōu)選的，上述硅芯母料盛載裝置中，所述擋板本體為圓形板件。本實(shí)用新型提供的硅芯母料承載裝置中，第一轉(zhuǎn)盤、第二轉(zhuǎn)盤和中心軸組成整體支架，在中心軸上設(shè)置有硅芯母料盤，該硅芯母料盤的邊緣上設(shè)置有夾持部相互隔離的硅芯母料夾具，在硅芯母料在硅材料清洗設(shè)備中清洗時(shí)，將硅芯母料設(shè)置在硅芯母料夾具中后，由于夾持硅芯母料的各個(gè)夾具的夾持部相互隔離，所以避免了各個(gè)硅芯母料之間的接觸，進(jìn)而避免了各個(gè)硅芯母料因彼此之間的接觸而導(dǎo)致接觸部位無(wú)法進(jìn)行雜質(zhì)清洗的問(wèn)題，提高了硅芯母料與清洗液的接觸面積，提高了雜質(zhì)清洗效果，提高了硅芯母料的雜質(zhì)清洗質(zhì)量。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的硅芯母料承載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的A-A向剖視圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的硅芯母料盛載裝置，包括第一轉(zhuǎn)盤1、第二轉(zhuǎn)盤5、中心軸2和硅芯母料盤6，其中中心軸2設(shè)置在第一轉(zhuǎn)盤1和第二轉(zhuǎn)盤5之間，硅芯母料盤6套設(shè)在中心軸2上， 該硅芯母料盤6上設(shè)置有夾持部相互隔離的硅芯母料夾具61。本實(shí)用新型提供的硅芯母料承載裝置中，第一轉(zhuǎn)盤1、第二轉(zhuǎn)盤5和中心軸2組成整體支架，在中心軸2上設(shè)置有硅芯母料盤6，該硅芯母料盤6的邊緣上設(shè)置有夾持部相互隔離的硅芯母料夾具61，在硅芯母料9在硅材料清洗設(shè)備中清洗時(shí)，將硅芯母料9設(shè)置在硅芯母料夾具61中后，由于夾持硅芯母料9的各個(gè)硅芯母料夾具61的夾持部相互隔離，所以避免了各個(gè)硅芯母料9之間的接觸，進(jìn)而避免了各個(gè)硅芯母料9因彼此之間的接觸而導(dǎo)致接觸部位無(wú)法進(jìn)行雜質(zhì)清洗的問(wèn)題，提高了硅芯母料9與清洗液的接觸面積，提高了雜質(zhì)清洗效果，提高了硅芯母料9的雜質(zhì)清洗質(zhì)量。上述硅芯母料承載裝置中，硅芯母料夾具61為與硅芯母料盤6的部分邊緣組成方形卡座的三條卡條，在清洗的過(guò)程中將硅芯母料夾持在方形卡座中，由于硅芯母料9卡設(shè)在硅芯母料中，各個(gè)卡條將硅芯母料9隔開，避免硅芯母料之間的接觸。與上述卡條相對(duì)應(yīng)的硅芯母料盤的部分邊緣的連接端設(shè)置有沿直線分布的連接孔，三條卡條的連接端均設(shè)置有沿直線分布的連接孔，連接孔中可拆卸地設(shè)置有連接件，上述結(jié)構(gòu)中改變連接件在不同位置的連接孔，可以改變卡座的大小，進(jìn)而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同直徑的硅芯母料9的卡緊固定。為了防止上述硅芯母料承載裝置中，硅芯母料夾具對(duì)硅芯母料夾持過(guò)程中出現(xiàn)松動(dòng)，上述硅芯母料盤6上與兩個(gè)卡條相對(duì)應(yīng)的外側(cè)設(shè)置有夾緊螺紋旋桿10，可以通過(guò)旋緊夾緊螺紋旋桿10防止兩個(gè)卡條的松動(dòng)。上述硅芯母料夾具中卡座通過(guò)卡條卡緊硅芯母料9，在夾緊的過(guò)程中必定會(huì)有部分卡條與硅芯母料9進(jìn)行接觸，該接觸部分的硅芯母料就無(wú)法實(shí)現(xiàn)更好的清洗，為了提高對(duì)該部分的清洗能力，上述三個(gè)卡條上均具有鏤空結(jié)構(gòu)。當(dāng)然，上述實(shí)施例中只是簡(jiǎn)單地介紹了一種硅芯母料據(jù)夾具，當(dāng)然上述硅芯母料盤上還可以設(shè)置有環(huán)形抱箍，通過(guò)環(huán)形抱箍將各個(gè)硅芯母料相互隔離開。為了方便上述硅芯母料承載裝置的操作，上述第一轉(zhuǎn)盤1的外側(cè)設(shè)置有提手4，第二轉(zhuǎn)盤3上設(shè)置有提手3。在清洗的過(guò)程中，為了防止硅芯母料從一側(cè)脫落，上述硅芯母料承載裝置還包括設(shè)置在硅芯母料9兩側(cè)的，且套設(shè)在中心軸2上的擋板。請(qǐng)參考附圖1，擋板包括擋板本體 7和筒狀安裝部8，所述筒狀安裝部上設(shè)置有螺孔，所述筒狀安裝部通過(guò)鎖緊螺釘固定在中心軸2上。優(yōu)選的，上述擋板本體8為圓形板件。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種硅芯母料盛載裝置，包括第一轉(zhuǎn)盤、第二轉(zhuǎn)盤和設(shè)置在兩個(gè)轉(zhuǎn)盤之間的中心軸，其特征在于，還包括套設(shè)在所述中心軸上的硅芯母料盤，其邊緣上設(shè)置有夾持部相互隔離的硅芯母料夾具。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅芯母料盛載裝置，其特征在于，所述硅芯母料夾具為與所述硅芯母料盤的部分邊緣組成方形卡座的三條卡條。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅芯母料承載裝置，其特征在于，與所述卡條相對(duì)應(yīng)的硅芯母料盤的部分邊緣的連接端設(shè)置有沿直線分布的連接孔，所述三條卡條的連接端均設(shè)置有沿直線分布的連接孔，所述連接孔中可拆卸地設(shè)置有連接件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅芯母料承載裝置，其特征在于，所述硅芯母料盤上與兩個(gè)所述卡條相對(duì)應(yīng)的外側(cè)設(shè)置有夾緊螺紋旋桿。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅芯母料承載裝置，其特征在于，所述三個(gè)卡條均具有鏤空結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅芯母料承載裝置，其特征在于，所述硅芯母料夾具可以為設(shè)置在所述硅芯母料盤邊緣的環(huán)形抱箍。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的硅芯母料承載裝置，其特征在于，所述第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤的外側(cè)均設(shè)置有提手。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅芯母料承載裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在硅芯母料盤的兩側(cè)，且套設(shè)在所述中心軸上的擋板。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅芯母料承載裝置，其特征在于，所述擋板包括擋板本體和筒狀安裝部，所述筒狀安裝部上設(shè)置有螺孔，所述筒狀安裝部通過(guò)鎖緊螺釘固定在所述中心軸上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅芯母料承載裝置，其特征在于，所述擋板本體為圓形板件。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅芯母料盛載裝置，包括第一轉(zhuǎn)盤、第二轉(zhuǎn)盤和設(shè)置在兩個(gè)轉(zhuǎn)盤之間的中心軸，其特征在于，還包括套設(shè)在所述中心軸上的硅芯母料盤，其邊緣上設(shè)置有夾持部相互隔離的硅芯母料夾具。本實(shí)用新型提供的硅芯母料承載裝置由于夾持硅芯母料的各個(gè)夾具的夾持部相互隔離，所以避免了各個(gè)硅芯母料之間的接觸，進(jìn)而避免了各個(gè)硅芯母料因彼此之間的接觸而導(dǎo)致接觸部位無(wú)法進(jìn)行雜質(zhì)清洗的問(wèn)題，提高了硅芯母料與清洗液的接觸面積，提高了雜質(zhì)清洗效果，提高了硅芯母料的雜質(zhì)清洗質(zhì)量。
文檔編號(hào)C30B29/06GK202157145SQ201120135688
公開日2012年3月7日 申請(qǐng)日期2011年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月5日
發(fā)明者侯俊峰, 李峰, 楊光軍, 王曉楠, 胡永 申請(qǐng)人:國(guó)電寧夏太陽(yáng)能有限公司