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拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):8049803閱讀:368來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及拉晶爐,具體地說(shuō),是一種拉晶爐的副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)
現(xiàn)有的拉晶爐的副室旋轉(zhuǎn)是用手拉形式來(lái)完成,其缺點(diǎn)是在旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中不穩(wěn), 會(huì)使晶棒在副爐筒中左右晃動(dòng)、撞筒,嚴(yán)重的情況下會(huì)使晶棒上端的籽晶斷裂,晶棒很難從副室中取出。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可使得拉晶爐的副室轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)的拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),副室轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置機(jī)座上,在機(jī)座上設(shè)置電機(jī),電機(jī)輸出軸通過(guò)齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與副室相連。上述的拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),它還包括控制電機(jī)的變頻器。本發(fā)明的有益效果使用時(shí),電機(jī)通過(guò)齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)副室相對(duì)于機(jī)座轉(zhuǎn)動(dòng)。相對(duì)于以手動(dòng)拉到副室轉(zhuǎn)動(dòng),傳動(dòng)平穩(wěn),使副室很平穩(wěn)的轉(zhuǎn)到所需要的位置,不會(huì)再出現(xiàn)上述問(wèn)題。


圖1是本發(fā)明的示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示的拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),副室1通過(guò)軸承2轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置機(jī)座3上,在機(jī)座 3上設(shè)置變頻電機(jī)4,變頻電機(jī)輸出軸5通過(guò)齒輪6與固定在副室1上的齒輪7嚙合。變頻電機(jī)4轉(zhuǎn)動(dòng),通過(guò)齒輪6、7帶動(dòng)副室1相對(duì)于機(jī)座3轉(zhuǎn)動(dòng)。變頻器與變頻電機(jī)4相連,以控制其動(dòng)作。
權(quán)利要求
1.拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),其特征是副室轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置機(jī)座上,在機(jī)座上設(shè)置電機(jī),電機(jī)輸出軸通過(guò)齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與副室相連。
2.如權(quán)利要求1所述的拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),其特征是它還包括控制電機(jī)的變頻器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可使得拉晶爐的副室轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)的拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。該拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),副室轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置機(jī)座上,在機(jī)座上設(shè)置電機(jī),電機(jī)輸出軸通過(guò)齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與副室相連。
文檔編號(hào)C30B15/30GK102304759SQ201110281269
公開(kāi)日2012年1月4日 申請(qǐng)日期2011年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月21日
發(fā)明者丁俊, 李新, 馬一超, 馬金忠 申請(qǐng)人:江蘇新華機(jī)電設(shè)備制造有限公司
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