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一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法

文檔序號(hào):8122254閱讀:468來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法。
背景技術(shù)
在單晶生產(chǎn)過(guò)程中,原料的純凈度會(huì)導(dǎo)致在單晶拉制的過(guò)程中需要頻繁取肩。傳統(tǒng)的工藝是放肩脫棱后,把肩放大后直接吊取,往往是需要吊取4 5個(gè)肩,甚至更多才能將熔體中的雜質(zhì)除去,這樣,不僅生產(chǎn)效率低,而且會(huì)影響單晶成品率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供既能提高單晶成品率,又能提高生產(chǎn)效率的一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法。本發(fā)明采取的技術(shù)方案是一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法,其特征在于在單晶拉制過(guò)程中吊取了一或二個(gè)肩后,保持單晶爐的功率值在放肩功率,把已經(jīng)脫棱的肩放大,且自動(dòng)等徑4 9厘米;然后退出自動(dòng)等徑狀態(tài),改為手動(dòng)狀態(tài),將功率值升高至 60 90千瓦,晶轉(zhuǎn)放在1 3轉(zhuǎn)/分,堝轉(zhuǎn)在1 3轉(zhuǎn)/分,將等徑的4 9厘米長(zhǎng)的多晶進(jìn)行回熔,待熔去50 70%的晶體后,把功率值降至40 60千瓦,使晶體緩慢的熔成“桃形”即可。采用本發(fā)明,由于在高溫狀態(tài)下,熔體中溫度分布是徑向外圍高,中間低,縱向上部低,中部高,晶體會(huì)從表面及下部開(kāi)始熔化,慢慢地熔化成“桃形”狀,再者晶體是固體,相對(duì)于熔體來(lái)說(shuō)溫度較低,雜質(zhì)會(huì)向晶體方向移動(dòng),并粘附在晶體上,而且“桃形肩”的表面積大,容易吸附大量雜質(zhì),在此原理作用下,熔體中的雜質(zhì)會(huì)盡可能地粘在“桃形”肩上,順勢(shì)吊起“桃形”肩,起到了凈化硅熔體的作用,且可減少吊肩次數(shù),達(dá)到既能提高單晶成品率, 又能提高生產(chǎn)效率的目的。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。在單晶直拉過(guò)程中吊取了一或二個(gè)肩后,保持單晶爐的功率值在放肩功率,接著把已脫棱的肩放大,且自動(dòng)等徑4 9厘米;然后退出自動(dòng)等徑狀態(tài),改手動(dòng)狀態(tài),將功率值升高至60 90千瓦,晶轉(zhuǎn)放在1 3轉(zhuǎn)/分,堝轉(zhuǎn)在1 3轉(zhuǎn)/分,將等徑的4 9厘米長(zhǎng)的多晶進(jìn)行回熔,待熔去50 70%的晶體后,把功率值降至40 60千瓦,使晶體緩慢的熔成“桃形”并吊取即可。
權(quán)利要求
1. 一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法,其特征在于在單晶拉制過(guò)程中吊取了一或二個(gè)肩后,保持單晶爐的功率值在放肩功率,把已經(jīng)脫棱的肩放大,且自動(dòng)等徑4 9厘米 ’然后退出自動(dòng)等徑狀態(tài),改為手動(dòng)狀態(tài),將功率值升高至60 90千瓦,晶轉(zhuǎn)放在1 3轉(zhuǎn)/ 分,堝轉(zhuǎn)在1 3轉(zhuǎn)/分,將等徑的4 9厘米長(zhǎng)的多晶進(jìn)行回熔,待熔去50 70%的晶體后,把功率值降至40 60千瓦,使晶體緩慢的熔成“桃形”即可。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法,該方法在單晶拉制過(guò)程中吊取了一或二個(gè)肩后,保持單晶爐的功率值在放肩功率,把已經(jīng)脫棱的肩放大,且自動(dòng)等徑4~9厘米;然后退出自動(dòng)等徑狀態(tài),改為手動(dòng)狀態(tài),將功率值升高至60~90千瓦,晶轉(zhuǎn)放在1~3轉(zhuǎn)/分,堝轉(zhuǎn)在1~3轉(zhuǎn)/分,將等徑的4~9厘米長(zhǎng)的多晶進(jìn)行回熔,待熔去50~70%的晶體后,把功率值降至40~60千瓦,使晶體緩慢的熔成“桃形”即可。采用本發(fā)明,晶體會(huì)從表面及下部開(kāi)始熔化,慢慢地熔化成“桃形”狀,容易吸附大量雜質(zhì),起到了凈化硅熔體的作用,且可減少吊肩次數(shù),達(dá)到既能提高單晶成品率,又能提高生產(chǎn)效率的目的。
文檔編號(hào)C30B15/00GK102212872SQ20111013429
公開(kāi)日2011年10月12日 申請(qǐng)日期2011年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月20日
發(fā)明者江土軍 申請(qǐng)人:浙江星宇能源科技有限公司
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