專(zhuān)利名稱(chēng)：一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法。
背景技術(shù)：
在單晶生產(chǎn)過(guò)程中，原料的純凈度會(huì)導(dǎo)致在單晶拉制的過(guò)程中需要頻繁取肩。傳統(tǒng)的工藝是放肩脫棱后，把肩放大后直接吊取，往往是需要吊取4 5個(gè)肩，甚至更多才能將熔體中的雜質(zhì)除去，這樣，不僅生產(chǎn)效率低，而且會(huì)影響單晶成品率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供既能提高單晶成品率，又能提高生產(chǎn)效率的一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法。本發(fā)明采取的技術(shù)方案是一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法，其特征在于在單晶拉制過(guò)程中吊取了一或二個(gè)肩后，保持單晶爐的功率值在放肩功率，把已經(jīng)脫棱的肩放大，且自動(dòng)等徑4 9厘米；然后退出自動(dòng)等徑狀態(tài)，改為手動(dòng)狀態(tài)，將功率值升高至 60 90千瓦，晶轉(zhuǎn)放在1 3轉(zhuǎn)/分，堝轉(zhuǎn)在1 3轉(zhuǎn)/分，將等徑的4 9厘米長(zhǎng)的多晶進(jìn)行回熔，待熔去50 70%的晶體后，把功率值降至40 60千瓦，使晶體緩慢的熔成“桃形”即可。采用本發(fā)明，由于在高溫狀態(tài)下，熔體中溫度分布是徑向外圍高，中間低，縱向上部低，中部高，晶體會(huì)從表面及下部開(kāi)始熔化，慢慢地熔化成“桃形”狀，再者晶體是固體，相對(duì)于熔體來(lái)說(shuō)溫度較低，雜質(zhì)會(huì)向晶體方向移動(dòng)，并粘附在晶體上，而且“桃形肩”的表面積大，容易吸附大量雜質(zhì)，在此原理作用下，熔體中的雜質(zhì)會(huì)盡可能地粘在“桃形”肩上，順勢(shì)吊起“桃形”肩，起到了凈化硅熔體的作用，且可減少吊肩次數(shù)，達(dá)到既能提高單晶成品率， 又能提高生產(chǎn)效率的目的。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。在單晶直拉過(guò)程中吊取了一或二個(gè)肩后，保持單晶爐的功率值在放肩功率，接著把已脫棱的肩放大，且自動(dòng)等徑4 9厘米；然后退出自動(dòng)等徑狀態(tài)，改手動(dòng)狀態(tài)，將功率值升高至60 90千瓦，晶轉(zhuǎn)放在1 3轉(zhuǎn)/分，堝轉(zhuǎn)在1 3轉(zhuǎn)/分，將等徑的4 9厘米長(zhǎng)的多晶進(jìn)行回熔，待熔去50 70%的晶體后，把功率值降至40 60千瓦，使晶體緩慢的熔成“桃形”并吊取即可。
權(quán)利要求
1. 一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法，其特征在于在單晶拉制過(guò)程中吊取了一或二個(gè)肩后，保持單晶爐的功率值在放肩功率，把已經(jīng)脫棱的肩放大，且自動(dòng)等徑4 9厘米 ’然后退出自動(dòng)等徑狀態(tài)，改為手動(dòng)狀態(tài)，將功率值升高至60 90千瓦，晶轉(zhuǎn)放在1 3轉(zhuǎn)/ 分，堝轉(zhuǎn)在1 3轉(zhuǎn)/分，將等徑的4 9厘米長(zhǎng)的多晶進(jìn)行回熔，待熔去50 70%的晶體后，把功率值降至40 60千瓦，使晶體緩慢的熔成“桃形”即可。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種單晶生產(chǎn)過(guò)程中的吊肩除雜方法，該方法在單晶拉制過(guò)程中吊取了一或二個(gè)肩后，保持單晶爐的功率值在放肩功率，把已經(jīng)脫棱的肩放大，且自動(dòng)等徑4～9厘米；然后退出自動(dòng)等徑狀態(tài)，改為手動(dòng)狀態(tài)，將功率值升高至60～90千瓦，晶轉(zhuǎn)放在1～3轉(zhuǎn)/分，堝轉(zhuǎn)在1～3轉(zhuǎn)/分，將等徑的4～9厘米長(zhǎng)的多晶進(jìn)行回熔，待熔去50～70％的晶體后，把功率值降至40～60千瓦，使晶體緩慢的熔成“桃形”即可。采用本發(fā)明，晶體會(huì)從表面及下部開(kāi)始熔化，慢慢地熔化成“桃形”狀，容易吸附大量雜質(zhì)，起到了凈化硅熔體的作用，且可減少吊肩次數(shù)，達(dá)到既能提高單晶成品率，又能提高生產(chǎn)效率的目的。
文檔編號(hào)C30B15/00GK102212872SQ20111013429
公開(kāi)日2011年10月12日 申請(qǐng)日期2011年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月20日
發(fā)明者江土軍 申請(qǐng)人:浙江星宇能源科技有限公司