專利名稱：石英盤提升工具的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種石英盤提升工具。
背景技術：
現(xiàn)有，當需要對刻蝕腔進行維護時，必須先將石英盤移離刻蝕上腔室?，F(xiàn)在這種搬 運石英盤的工作是通過操作人員手動完成。然而，由于石英盤非常重，因此通過人力將石 英盤從刻蝕上腔室內搬走非常困難，石英盤容易因操作人員握持不住而發(fā)生碰撞和損傷現(xiàn) 象，以致于石英盤的表面受損變粗，甚至裂開，這都將對其后的晶片加工產生不良影響，容 易使晶片在刻蝕過程中受到粗糙石英盤表面的磨損和沖擊，從而降低了晶片的良率。因此，如何提供一種石英盤提升工具，可以實現(xiàn)平穩(wěn)移動石英盤，以防止石英盤在 移動過程中受到損傷，是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種石英盤提升工具，石英盤通過該石英 盤提升工具與起升機構連接，從而可以借助起升機構實現(xiàn)石英盤的平穩(wěn)移動，防止石英盤 在移動過程中受到損傷。為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案一種石英盤提升工具，包括至少兩根豎向的支撐腿，所述支撐腿的上部通過若干 連接桿連接成一體，所述連接桿上設有用于與起升機構連接的連接部，所述支撐腿的下部 內側分別設有托板，所述托板用于托住所述石英盤。在上述的石英盤提升工具中，所述支撐腿圓周均布。在上述的石英盤提升工具中，所述支撐腿有四根。在上述的石英盤提升工具中，所述四根支撐腿通過十字相交的兩根連接桿連接， 所述連接部設置在所述兩根連接桿的相交處。在上述的石英盤提升工具中，所述連接部是吊環(huán)。在上述的石英盤提升工具中，所述支撐腿和連接桿可調節(jié)式連接。在上述的石英盤提升工具中，所述連接桿的端部設有一排調節(jié)用螺孔，所述支撐 腿的上部設有具有螺孔的連接套，所述連接桿的端部穿套于所述連接套內，通過螺釘將連 接套鎖定在連接桿的端部。在上述的石英盤提升工具中，所述托板和支撐腿可調節(jié)式連接。在上述的石英盤提升工具中，所述支撐腿的下部設有一排調節(jié)用螺孔，所述托板 的外側端固設有具有螺孔的連接套，所述支撐腿的下部穿套于所述連接套內，通過螺釘將 連接套鎖定在所述支撐腿的下部。在上述的石英盤提升工具中，所述支撐腿有三根。本實用新型的有益效果如下本實用新型石英盤提升工具，通過該石英盤提升工具使得石英盤和起升機構有效連接，從而可以借助起升機構實現(xiàn)石英盤的平穩(wěn)移動，從而防止石英盤在移動過程中受到 損傷。另外，通過采用該石英盤提升工具，可以借助起升機構來移動石英盤，因此，可以減輕 了操作人員移動石英盤的工作強度，提高了效率。

本實用新型的石英盤提升工具由以下的實施例及附圖給出。圖1是本實用新型石英盤提升工具的結構示意圖；圖2是石英盤提升工具的使用示意圖；圖中，1-提升工具、11-支撐腿、12-連接桿、121-吊環(huán)、13-托板、14-連接套、 15-螺孔、16-螺釘、2-石英盤、3-吊鉤。
具體實施方式
以下將對本實用新型的石英盤提升工具作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選 實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型 的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對 本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能 和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應當認為在任何實際實施例 的開發(fā)中，必須作出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關系統(tǒng)或有關商 業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應當認為這種開發(fā)工作可能是復雜和 耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。本實用新型的核心思想采用石英盤提升工具，可以將石英盤和起升機構有效連 接，從而借助起升機構實現(xiàn)石英盤的平穩(wěn)移動，防止石英盤在移動過程中受到損傷。另外， 通過采用該石英盤提升工具和起升機構，可以減輕了操作人員移動石英盤的工作強度，提 高了生產效率。請參閱圖1，圖1所示是石英盤提升機構的結構示意圖。這種石英盤提升工具1， 包括至少兩根豎向的支撐腿11，本實施例中，所述支撐腿11有四根。所述支撐腿11圓周均 布，從而可以使得石英盤2在起吊過程中更加平穩(wěn)。所述支撐腿11的上部通過若干連接桿12連接成一體。本實施例中，所述四根支 撐腿11通過十字相交的兩根連接桿12連接，所述連接部設置在所述兩根連接桿12的相交 處。為了可以適用不同直徑的石英盤2，所述支撐腿11和連接桿12可調節(jié)式連接。所述 可調節(jié)式連接結構具體如下所述連接桿12的端部設有一排調節(jié)用螺孔15，所述支撐腿11 的上部設有具有螺孔15的連接套14，所述連接桿12的端部穿套于所述連接套14內，通過 螺釘16將連接套14鎖定在連接桿12的端部。所述連接桿12上設有用于與起升機構連接的連接部。所述連接部是吊環(huán)121。所
4述吊環(huán)121可以與起升機構的吊鉤3相配合。請參閱圖2，圖2是石英盤提升工具的使用示 意圖。所述起升機構可以采用現(xiàn)有技術中普通的起重機構，在此不在累述。請接續(xù)參閱圖1和圖2，所述支撐腿11的下部內側分別設有用于托住所述石英盤 2的托板13。為了可以適用不通深度的石英盤2，所述托板13和支撐腿11采用可調節(jié)式連 接。所述可調節(jié)式連接結構的具體如下所述支撐腿11的下部設有一排調節(jié)用螺孔15，所 述托板13的外側端固設有具有螺孔15的連接套14，所述支撐腿11的下部穿套于所述連接 套14內，通過螺釘16將連接套14鎖定在所述支撐腿11的下部。本實施例中，所述支撐腿11、連接桿12及連接套14及托板13采用金屬材料制成， 以滿足起吊石英盤2所需的強度和硬度。當然，所述支撐腿11也可以根據(jù)需要采用三根或五根等等。采用本實用新型石英盤提升工具，可以將石英盤和起升機構有效連接，從而借助 起升機構實現(xiàn)石英盤的平穩(wěn)移動，從而防止石英盤在移動過程中受到損傷。另外，通過采用 該石英盤提升工具和起升機構，可以減輕了操作人員移動石英盤的工作強度，提高了生產 效率。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及 其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求一種石英盤提升工具，其特征在于，包括至少兩根豎向的支撐腿，所述支撐腿的上部通過若干連接桿連接成一體，所述連接桿上設有用于與起升機構連接的連接部，所述支撐腿的下部內側分別設有托板，所述托板用于托住所述石英盤。
2.如權利要求1所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述支撐腿圓周均布。
3.如權利要求1或2所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述支撐腿有四根。
4.如權利要求3所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述四根支撐腿通過十字相交 的兩根連接桿連接，所述連接部設置在所述兩根連接桿的相交處。
5.如權利要求4所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述連接部是吊環(huán)。
6.如權利要求1所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述支撐腿和連接桿可調節(jié)式 連接。
7.如權利要求6所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述連接桿的端部設有一排調 節(jié)用螺孔，所述支撐腿的上部設有具有螺孔的連接套，所述連接桿的端部穿套于所述連接 套內，通過螺釘將連接套鎖定在連接桿的端部。
8.如權利要求1所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述托板和支撐腿可調節(jié)式連接。
9.如權利要求8所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述支撐腿的下部設有一排調 節(jié)用螺孔，所述托板的外側端固設有具有螺孔的連接套，所述支撐腿的下部穿套于所述連 接套內，通過螺釘將連接套鎖定在所述支撐腿的下部。
10.如權利要求1所述的石英盤提升工具，其特征在于，所述支撐腿有三根。
專利摘要本實用新型涉及一種石英盤提升工具。這種石英盤提升工具，包括至少兩根豎向的支撐腿，所述支撐腿的上部通過若干連接桿連接成一體，所述連接桿上設有用于與起升機構連接的連接部，所述支撐腿的下部內側分別設有托板，所述托板用于托住所述石英盤。石英盤通過該石英盤提升工具與起升機構連接，從而可以借助起升機構實現(xiàn)石英盤的省力且平穩(wěn)地移動，不但減輕了操作人員移動石英盤的工作強度，而且也可以避免石英盤在移動過程中受到損傷。
文檔編號B66C1/22GK201729567SQ20102020095
公開日2011年2月2日 申請日期2010年5月21日 優(yōu)先權日2010年5月21日
發(fā)明者丁振宇, 劉志攀, 李文, 金偉 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司