專利名稱：一種堝桿的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種堝桿，尤其是一種硅液泄漏后不損壞零件的堝桿。
背景技術(shù)：
目前，在現(xiàn)有單晶硅加工過程中，用到的化料設(shè)備就是單晶爐，單晶爐包括爐體、爐蓋、坩堝、導(dǎo)流筒、堝桿。堝桿由桿體和托體組成，坩堝置于堝桿的托體上，堝桿桿體穿越爐底上的堝桿孔的下端部分上套裝有波紋管，并與傳動機(jī)構(gòu)相連。 現(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)發(fā)生漏硅事故時，硅液從坩堝流到堝桿的托體上，硅液通過托體的側(cè)壁流到托體的下表面，再沿托體下表面流到桿體上，從而燙壞與桿體相連的波紋管或傳動機(jī)構(gòu)。

實用新型內(nèi)容本實用新型需要解決的技術(shù)問題是提供一種在硅液泄漏時可防止損壞部件的堝桿。 為解決上述技術(shù)問題，本實用新型一種堝桿，堝桿由桿體和托體組成，在托體下表面自邊緣到中心為凹形過渡。 作為本實用新型的改進(jìn)，所述凹形的剖面輪廓線為直線和/或弧線。
由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型所取得的技術(shù)進(jìn)步在于 由于在托體下表面自邊緣到中心為凹形過渡，且凹形的最高點在中心位置，當(dāng)發(fā)
生漏硅事故時， 一部分硅液不能沿托體底面流到堝桿的桿體，阻止了硅液沿桿體流入堝桿
孔，從而避免燙壞大波紋管或傳動機(jī)構(gòu)。

圖1是原有堝桿的示意圖；[0010] 圖2是本實用新型堝桿的示意圖。[0011] 其中1、桿體 2、托體
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明 由圖2可知，本實用新型的一種堝桿，包括桿體1、托體2，在托體2下表面自邊緣到中心為凹形過渡，所述凹形的剖面輪廓線為直線。當(dāng)然，所述凹形的剖面輪廓線也可為弧線，也可為弧線和直線的組合，這都在本實用新型的保護(hù)范圍。 工作時，當(dāng)硅液發(fā)生漏硅事故時，硅液從坩堝流到堝桿的托體2上，因托體2的下底面由邊緣到中心為凹形過渡，也就是托體2邊緣部分比托體2中心部分低，硅液受到重力的作用，不能從托體2邊緣部倒流到中心部位，阻止了硅液沿桿體流入堝桿孔，從而避免燙壞大波紋管或傳動機(jī)構(gòu)。
權(quán)利要求一種堝桿，堝桿由桿體(1)和托體(2)組成，其特征在于在托體(2)下表面自邊緣到中心為凹形過渡。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堝桿，其特征在于所述凹形的剖面輪廓線為直線和/或弧線。
專利摘要本實用新型公開了一種堝桿，包括桿體(1)、托體(2)，在托體(2)下表面自邊緣到中心為凹形過渡，所述凹形的剖面輪廓線為直線和/或弧線，采用此裝置可避免當(dāng)有硅漏時，硅液通過托體(2)的側(cè)壁流到托體(2)的下表面，再沿托體(2)下表面流到桿體(1)上，從而燙壞與桿體(1)相連的波紋管或傳動機(jī)構(gòu)。
文檔編號C30B15/10GK201545937SQ200920102250
公開日2010年8月11日 申請日期2009年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月9日
發(fā)明者吳立濤, 崔鵬, 張勇, 趙飛 申請人:寧晉松宮電子材料有限公司