專利名稱：一種石墨堝邦的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及單硅單晶體生長(zhǎng)與制造業(yè)中使用的一種石墨堝邦。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有單晶硅加工過程中，用到的化料設(shè)備就是晶體生長(zhǎng)爐，晶體生長(zhǎng)爐， 包括爐體、爐蓋、坩堝、石墨堝邦、堝桿，坩堝置于石墨堝邦內(nèi)，石墨堝邦下
方為堝桿，石墨堝邦包括邦壁和邦底。
目前，在傳統(tǒng)的硅單晶生長(zhǎng)設(shè)備的熱系統(tǒng)中會(huì)出現(xiàn)硅液汽化體或硅液外滲 的現(xiàn)象，當(dāng)硅液汽化體或硅液外滲后受重力和石墨的浸潤作用時(shí)，硅液汽化體 或外滲硅液將通過石墨堝幫的外緣向底部流到邦底與堝桿的縫隙之間，從而使 得邦底與堝桿在當(dāng)次生產(chǎn)中發(fā)生硅粘連。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問題是提供一種硅液汽化體或外滲硅液不使邦 底與堝桿發(fā)生粘連的石墨堝邦。
為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的石墨堝邦，包括邦壁和邦底，在邦壁 外側(cè)面與邦底的交匯處設(shè)置有與邦底連為一體的凸起外延環(huán)。
作為本實(shí)用新型的改進(jìn)，外延環(huán)包括外側(cè)面和內(nèi)側(cè)面，外側(cè)面由邦壁外側(cè)
面自然延伸，內(nèi)側(cè)面與外延環(huán)外側(cè)面平行設(shè)置且通過三角形或u型的外延環(huán)端
部相接。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，外延環(huán)外側(cè)面由邦壁自然延伸，外延環(huán)內(nèi) 側(cè)面與外延環(huán)外側(cè)面之間相交為銳角。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述外延環(huán)的凸起高度為10毫米至40毫米。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述銳角角度為30度至50度。 作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述銳角角度為45度。 由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型所取得的技術(shù)進(jìn)步在于 由于在石墨堝邦外側(cè)面邦壁與邦底的交匯處設(shè)置有外延環(huán)，當(dāng)硅液汽化體
或硅液外滲后受重力和石墨的浸潤作用時(shí)，硅液汽化體或外滲硅液將通過邦壁
的外表面向下流，當(dāng)流到凸起外延環(huán)時(shí)，就從外延環(huán)的末端滴落下來，這樣就
流不到邦底，從而保證了邦底與堝桿不會(huì)發(fā)生粘連。
由于外延環(huán)的端部為圓角或銳角，并且凸起部分延伸一定距離，用于防止
流到外延環(huán)的末端的硅液倒流回來，從而更進(jìn)一步保證了邦底與堝桿不會(huì)發(fā)生粘連。
圖l是石墨堝邦改造前的剖視圖。 圖2是本實(shí)用新型的石墨堝邦的剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖
對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明
由圖l、圖2可知，本實(shí)用新型的石墨堝邦，包括邦壁l、邦底2、外延環(huán) 3，在石墨堝邦外側(cè)面邦壁1與邦底2的交匯處設(shè)置有外延環(huán)3,外延環(huán)3外側(cè) 面由邦壁1外側(cè)面自然延伸，外延環(huán)3內(nèi)側(cè)面與外延環(huán)3外側(cè)面之間相交為銳 角，銳角角度45度。
在另一種實(shí)施方式中，外延環(huán)3內(nèi)側(cè)面與外延環(huán)3外側(cè)面平行設(shè)置，通過 三角形或U型的外延環(huán)3端部相接。
外延環(huán)3的延伸髙度為10亳米至40毫米，最佳可為30亳米。
工作時(shí)，當(dāng)硅液汽化體或硅液外滲后受重力和石墨的浸潤作用時(shí)，硅液汽 化體或外滲硅液將通過邦壁的外表面向下流，當(dāng)流到凸起外延環(huán)3時(shí)，就從外 延環(huán)3的末端滴落下來，這樣硅液就流不到邦底，從而保證了邦底與堝桿不會(huì) 發(fā)生粘連。
權(quán)利要求1、一種石墨堝邦，包括邦壁(1)和邦底(2)，其特征在于在邦壁(1)外側(cè)面與邦底(2)的交匯處設(shè)置有與邦底(2)連為一體的凸起外延環(huán)(3)，外延環(huán)(3)包括外側(cè)面和內(nèi)側(cè)面。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨堝邦，其特征在于外延環(huán)(3)外側(cè)面由 邦壁(1)外側(cè)面自然延伸，外延環(huán)(3)內(nèi)側(cè)面與外延環(huán)(3)外側(cè)面平行設(shè)置 且通過三角形或U型的外延環(huán)(3)端部相接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨堝邦，其特征在于外延環(huán)(3)外側(cè)面由 邦壁(l)自然延伸，外延環(huán)(3)內(nèi)側(cè)面與外延環(huán)(3)外側(cè)面之間相交為銳角。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨堝邦，其特征在于所述外延環(huán)(3)的凸 起高度為10亳米至40亳米。
5、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨堝邦，其特征在于所述銳角的角度范圍為 30度至50度。
6、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨堝邦，其特征在于所述銳角角度為45度。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種石墨堝邦，包括邦壁1、邦底2，在邦壁1外側(cè)面與邦底2的交匯處設(shè)置有與邦底2連為一體的凸起外延環(huán)3，外延環(huán)3外側(cè)面由邦壁1外側(cè)面自然延伸，外延環(huán)3內(nèi)側(cè)面與外延環(huán)3外側(cè)面平行設(shè)置且通過三角形或U型的外延環(huán)3端部相接。當(dāng)硅液汽化體或硅液外滲后受重力和石墨的浸潤作用時(shí)，硅液汽化體或外滲硅液將通過邦壁的外表面向邦底流到外延環(huán)的末端滴落，保證邦底堝桿不會(huì)粘連。
文檔編號(hào)C30B35/00GK201362758SQ200920101829
公開日2009年12月16日 申請(qǐng)日期2009年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月10日
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