專利名稱：應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通信技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組 合電路結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
鎖相環(huán)是無(wú)線收發(fā)機(jī)設(shè)計(jì)中的一個(gè)關(guān)鍵模塊，它輸出一系列高精度頻率信號(hào)，為 收發(fā)機(jī)的頻率變換提供本振信號(hào)。在各種鎖相環(huán)結(jié)構(gòu)中，電荷泵鎖相環(huán)因其低功耗、高速、 低抖動(dòng)和低成本的優(yōu)良特性被廣泛應(yīng)用。電荷泵鎖相環(huán)結(jié)構(gòu)如圖1所示，由依次連接的鑒 相鑒頻器、電荷泵、環(huán)路濾波器、壓控振蕩器和分頻器構(gòu)成，其中分頻器連接在鑒相鑒頻器 輸入端與壓控振蕩器輸出端之間。基本工作原理用一句話簡(jiǎn)單概括，即來(lái)自壓控振蕩器的 輸出經(jīng)過(guò)分頻器鎖定到參考頻率。圖1中鑒相鑒頻器的輸出信號(hào)狀態(tài)由輸入信號(hào)上升邊沿決定。當(dāng)參考信號(hào)fief超 前反饋信號(hào)fdiv時(shí)，輸出U為高，將被緊接著的反饋信號(hào)fdiv的上升沿復(fù)位；當(dāng)信號(hào)fdiv 超前參考信號(hào)fref時(shí)，輸出信號(hào)D置高，將被緊接著的fref信號(hào)的上升沿復(fù)位。它對(duì)鎖相 環(huán)路的主要影響是死區(qū)和輸出延時(shí)差異。死區(qū)會(huì)引起輸出抖動(dòng)；而輸出延時(shí)差異使得輸出 出現(xiàn)雜散電平，不利于高頻譜純度設(shè)計(jì)。圖1中電荷泵提供充電或放電電流到具有低通特性的環(huán)路濾波器，可以被簡(jiǎn)單地 描述為一個(gè)開關(guān)切換的電流源。它輸出電流到環(huán)路濾波器，受鑒相鑒頻器的輸出信號(hào)U和D 信號(hào)控制。當(dāng)U信號(hào)為低時(shí)，Iup向環(huán)路濾波器充電，導(dǎo)致壓控振蕩器的控制電壓升高；當(dāng)D 信號(hào)為高，環(huán)路濾波器通過(guò)Idown放電，導(dǎo)致壓控振蕩器的控制電壓下降。在相位鎖定時(shí)， 上下電流相等。理想的電荷泵結(jié)合理想的鑒相鑒頻器和環(huán)路濾波器可以為鎖相環(huán)路提供無(wú) 限的直流增益，若不考慮壓控振蕩器(VCO)的電壓輸入范圍，則該鎖相環(huán)具有無(wú)限的頻率 捕捉范圍。但是實(shí)際上電荷泵不可避免地存在泄漏電流、電流源失配、時(shí)鐘前饋、電荷注入、 電荷共享以及輸出飽和電壓范圍等非線性問題。為了消除傳統(tǒng)鑒相鑒頻器和電荷泵組合結(jié)構(gòu)存在的一系列問題，人們提出了一些 改進(jìn)的結(jié)構(gòu)。但是這些改進(jìn)并不能滿足無(wú)線收發(fā)機(jī)對(duì)鎖相環(huán)提出的越來(lái)越苛刻的要求。因 此開發(fā)新型結(jié)構(gòu)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合結(jié)構(gòu)以適應(yīng)各種應(yīng)用場(chǎng)合的需要就成了一個(gè) 很緊迫的問題。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵 組合電路結(jié)構(gòu)，以消除鑒相鑒頻器引起的輸出延時(shí)差異，并克服電荷泵中因?yàn)殚_關(guān)引起的 電荷共享、電荷注入以及時(shí)鐘前饋等問題。( 二 )技術(shù)方案為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)，該組合電路結(jié)構(gòu)由鑒相鑒頻器和電荷泵依次連接而成，鑒相鑒頻器用來(lái)鑒別參考 信號(hào)fref和反饋信號(hào)fdiv的相差或頻差，產(chǎn)生相差或頻差信號(hào)和符號(hào)位；電荷泵根據(jù)鑒相 鑒頻器的輸出提供充電或放電電流到具有低通特性的環(huán)路濾波器。上述方案中，所述鑒相鑒頻器產(chǎn)生的相差或頻差信號(hào)和符號(hào)位保持確定的時(shí)序關(guān) 系，相差或頻差信號(hào)的寬度等于一個(gè)周期內(nèi)電荷泵充放電流的時(shí)間，符號(hào)位在一個(gè)周期內(nèi) 保持固定的值。上述方案中，所述相差或頻差信號(hào)的寬度與參考信號(hào)fref和反饋信號(hào)fdiv之間 的相差或頻差有關(guān)，并與復(fù)位路徑延時(shí)信號(hào)有關(guān)，上述方案中，當(dāng)參考信號(hào)fref領(lǐng)先反饋信號(hào)fdiv信號(hào)時(shí)，符號(hào)位1為高電平，符 號(hào)位2為低電平；當(dāng)參考信號(hào)fref滯后反饋信號(hào)時(shí)，符號(hào)位1為低電平，符號(hào)位為高電平。上述方案中，當(dāng)符號(hào)位1為高電平時(shí)，電荷泵向環(huán)路濾波器充電流；當(dāng)符號(hào)位2為 高電平時(shí)，環(huán)路濾波器通過(guò)電荷泵放電。上述方案中，所述電荷泵包括偏置電路、參考電路和偏置可控的主電路，其中偏 置電路受相差或頻差信號(hào)和符號(hào)位控制，用來(lái)根據(jù)相差或頻差信號(hào)和符號(hào)位產(chǎn)生電荷泵主 電路的偏置信號(hào)；參考電路用來(lái)產(chǎn)生主電路的參考電壓；主電路根據(jù)偏置電路的輸出，為 環(huán)路濾波器提供充放電流，當(dāng)參考信號(hào)領(lǐng)先反饋信號(hào)時(shí)，Iup導(dǎo)通，Idn截止，反之，Iup截 止，Idn導(dǎo)通。(三)有益效果從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明具有如下特點(diǎn)及良好效果1、本發(fā)明提供的這種應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)，鑒相鑒 頻器輸出為相差或頻差信號(hào)的寬度和方向，相差或頻差寬度信號(hào)在不同的相差或頻差方向 下控制相同類型的偏置管，不會(huì)引入因偏置管類型不同導(dǎo)致的延時(shí)差異。輸出路徑延時(shí)差 異對(duì)應(yīng)著相差或頻差方向信號(hào)和相差或頻差寬度信號(hào)延時(shí)差異，不會(huì)改變相差或頻差信號(hào) 的寬度，因而不會(huì)改變電荷泵充放電流的時(shí)間，對(duì)鎖相環(huán)的性能不造成影響。2、本發(fā)明提供的這種應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)，電荷泵 的電流源直接給環(huán)路濾波器充放電，電流源的關(guān)斷通過(guò)改變偏置電壓實(shí)現(xiàn)，電荷泵的控制 信號(hào)用來(lái)產(chǎn)生電流源的偏置信號(hào)，無(wú)需開關(guān)控制電流源的充放電流，可以消除開關(guān)引起的 電荷共享，電荷注入和開關(guān)前饋等問題。


圖1是傳統(tǒng)鎖相環(huán)的電路結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明提供的鑒相鑒頻器和電荷泵電路結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖2中的鑒相鑒頻器電路結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是圖2中的電荷泵電路結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是基于本發(fā)明提供的鑒相鑒頻器和電荷泵的鎖相環(huán)的輸出相位噪聲。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照 附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
圖2示出了本發(fā)明提供的鑒相鑒頻器和電荷泵的電路結(jié)構(gòu)示意圖，由鑒相鑒頻器 和電荷泵電路依次連接而成，電荷泵包括偏置電路、參考電路和主電路。本發(fā)明中的鑒相鑒頻器如圖3所示，輸出信號(hào)狀態(tài)由輸入信號(hào)上升邊沿決定。當(dāng) 參考信號(hào)fref超前反饋信號(hào)fdiv時(shí)，輸出upx為高，將被緊接著的反饋信號(hào)fdiv的上升 沿復(fù)位；當(dāng)信號(hào)fdiv超前參考信號(hào)fref時(shí)，輸出信號(hào)dnx置高，將被緊接著的fref信號(hào) 的上升沿復(fù)位?；蜷T產(chǎn)生參考頻率fref和反饋頻率fdiv之間的相差或頻差，該相差或頻 差是兩個(gè)輸入信號(hào)之間的實(shí)際相差或頻差和鑒相鑒頻器反向路徑復(fù)位延時(shí)的和。兩個(gè)觸發(fā) 器用來(lái)判定upx信號(hào)和dnx信號(hào)之間的相位關(guān)系。當(dāng)upx信號(hào)超前dnx信號(hào)，觸發(fā)器1置 低，觸發(fā)器2置高，符號(hào)位1置高。這表明fref信號(hào)超前fdiv信號(hào)，需要電荷泵向環(huán)路濾 波器充電來(lái)提高壓控振蕩器的頻率。如果upx信號(hào)滯后dnx信號(hào)，觸發(fā)器2置低，觸發(fā)器1 置高，符號(hào)位2置高。這表明fref信號(hào)滯后fdiv信號(hào)，需要環(huán)路濾波器向電荷泵放電來(lái)降 低壓控振蕩器的頻率。當(dāng)環(huán)路趨近鎖定時(shí)，upx信號(hào)和dnx接近同頻同相，此時(shí)觸發(fā)器輸出 不定，可能出現(xiàn)同時(shí)置高的情形，這是不希望的，與非門用來(lái)消除符號(hào)位同時(shí)置高現(xiàn)象。當(dāng) 觸發(fā)器1和觸發(fā)器2輸出同時(shí)置高，與非門輸出置低，這使得與門輸出為低，不會(huì)出現(xiàn)符號(hào) 位1和符號(hào)位2同時(shí)置高的情形。相差或頻差的輸出經(jīng)過(guò)延時(shí)電路后輸出，即在符號(hào)位確 定后，相差或頻差信號(hào)才啟動(dòng)電荷泵的充放電流。延時(shí)寬度的選擇必須保證在任何工藝角， 溫度，電源電壓等條件下，相差或頻差信號(hào)滯后于符號(hào)位的變化。如果相差或頻差輸出和符 號(hào)位不能保持正確的時(shí)序關(guān)系，將導(dǎo)致充放電流方向錯(cuò)誤，這是不希望的。本發(fā)明中的電荷泵如圖4所示，包括偏置電路、參考電路和主電路三部分。偏置電 路用來(lái)產(chǎn)生主電路電流源的偏置電壓。偏置電路的輸入是相差或頻差信號(hào)和兩個(gè)符號(hào)位。 當(dāng)相差或頻差信號(hào)為高，同時(shí)符號(hào)位1為高時(shí)，支路1導(dǎo)通，這使得主電路中Iup電流源導(dǎo) 通。當(dāng)相差或頻差信號(hào)為高，同時(shí)符號(hào)位2為高時(shí)，支路2導(dǎo)通，這使得Idn電流源導(dǎo)通。當(dāng) 相差或頻差為零，無(wú)論符號(hào)位為高還是低，主電路中電流源Iup和Idn關(guān)斷。支路1和支路 2不同時(shí)導(dǎo)通，但出現(xiàn)同時(shí)關(guān)斷的狀態(tài)。參考電路提供主電路需要的參考電壓。為了減小 Iup和Idn電流的失配，主電路中引入了反饋結(jié)構(gòu)形式，使得參考電壓能有效地跟蹤輸出， 從而實(shí)現(xiàn)高的上下電流匹配性。反饋網(wǎng)絡(luò)由簡(jiǎn)單的差分放大器構(gòu)成，如果放大器增益足夠 大，則充放電流與輸出電壓無(wú)關(guān)。這克服了通常采用提高充放電電流源的內(nèi)阻而降低了電 荷泵輸出范圍的缺點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了上下電流匹配。延時(shí)差異是由鑒相鑒頻器的電路或者版圖不對(duì)稱引起的兩條支路延時(shí)差異，使得 電荷泵注入到環(huán)路濾波器的電流有波動(dòng)，干擾了壓控振蕩器的控制電壓，引起雜散信號(hào)。為 了消除這種延時(shí)差異，傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)除了在版圖上要嚴(yán)格對(duì)稱外，在電路上需要插入額外的緩 存器。由于兩個(gè)支路控制的電流開關(guān)類型不一樣，消除延時(shí)差異比較困難。本發(fā)明中的UPX 信號(hào)和dnx信號(hào)不直接用來(lái)控制電荷泵的開關(guān)，而是通過(guò)觸發(fā)器和或門產(chǎn)生相差或頻差信 號(hào)的符號(hào)位和相差或頻差信號(hào)。符號(hào)位在一個(gè)周期保持固定電平；相差或頻差信號(hào)的大 小不超過(guò)參考信號(hào)的一個(gè)周期。當(dāng)符號(hào)位確定后，相差或頻差寬度信號(hào)開始提供電荷泵的 充放電控制信號(hào)。鑒相鑒頻器的輸出僅有一個(gè)相差或頻差信號(hào)，相差或頻差寬度信號(hào)在不 同的相差或頻差方向下控制相同類型的偏置管，不會(huì)引入因偏置管類型不同導(dǎo)致的延時(shí)差 異。輸出路徑延時(shí)差異對(duì)應(yīng)著相差或頻差方向信號(hào)和相差或頻差寬度信號(hào)延時(shí)差異，不會(huì) 改變相差或頻差信號(hào)的寬度，因而不會(huì)改變電荷泵充放電流的時(shí)間，對(duì)鎖相環(huán)的性能不造成影響。在環(huán)路的鎖定過(guò)程中，相差或頻差的大小逐步減小。當(dāng)環(huán)路趨向鎖定時(shí)，參考頻率 和反饋頻率達(dá)到同頻同相的狀態(tài)。在本發(fā)明中，鎖定狀態(tài)是一種動(dòng)態(tài)的同頻同相狀態(tài)，即反 饋信號(hào)在平均意義上跟參考信號(hào)同頻同相，但是瞬態(tài)時(shí)并不是同頻同相。當(dāng)電荷泵電流出 現(xiàn)失配時(shí)，輸出會(huì)出現(xiàn)雜散信號(hào)，為了有效抑制雜散信號(hào)，本發(fā)明在電荷泵中引入了反饋電 路結(jié)構(gòu)，使得輸入能有效地跟蹤輸出，在較大的電壓輸出范圍內(nèi)保持了充放電流的一致性， 能有效地減少雜散信號(hào)的值。電荷泵的電流源開關(guān)引起一系列問題，包括時(shí)鐘前饋、電荷注入和電荷共享等，在 本發(fā)明中，主電路包括兩個(gè)偏置可控的電流源和反饋放大器，無(wú)需電流源開關(guān)。電流源的開 通和關(guān)斷通過(guò)控制電流源的偏置實(shí)現(xiàn)。電荷泵的控制信號(hào)用來(lái)產(chǎn)生偏置信號(hào)，控制信號(hào)通 過(guò)偏置電路和電荷泵的輸出有效隔離，由開關(guān)引起的問題能得到有效地削弱。圖5是基于本發(fā)明提供的鑒相鑒頻器和電荷泵結(jié)構(gòu)的鎖相環(huán)的輸出相位噪聲，所 有電路模型是基于verilogA行為級(jí)模型，每個(gè)電路模塊引入了噪聲。電路的參考頻率為 2. 046MHz，壓控振蕩器的輸出頻率為2. 44GHz 2. 67GHz，分頻比為1255 ；電荷泵電流為 ImA ；環(huán)路帶寬約為ΙΟΚΗζ。從圖5可知，在低頻階段，主要是沖擊噪聲起主要作用，在帶內(nèi)， 振蕩器、分頻器和鑒相鑒頻器和電荷泵的噪聲起主要作用，在帶外，壓控振蕩器的噪聲起主 要作用。當(dāng)鑒相鑒頻器引入輸出延時(shí)差異，同時(shí)保持相差或頻差信號(hào)和符號(hào)位正確的時(shí)序 關(guān)系，頻譜上沒有看到明顯的雜散信號(hào)，這說(shuō)明該結(jié)構(gòu)對(duì)鑒相鑒頻器輸出延時(shí)差異不敏感， 從而能有效提高雜散性能。當(dāng)電荷泵引入失配時(shí)，在參考頻率位置出現(xiàn)雜散信號(hào)，這表明本 發(fā)明中的反饋電路結(jié)構(gòu)是必要的，它使得電荷泵在較大的電壓輸出范圍內(nèi)保持充放電流一 致。由于消除了電流源開關(guān)，且鑒相鑒頻器的輸出跟電荷泵的輸出有效的隔離，由開關(guān)引起 的非線性效應(yīng)得到有效地抑制。本發(fā)明優(yōu)于傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的鑒相鑒頻器和電荷泵結(jié)構(gòu)，因?yàn)殡姾杀脽o(wú)需開關(guān)來(lái)實(shí)現(xiàn)開 通和關(guān)斷電流，電荷泵電流源的開通和關(guān)斷通過(guò)控制偏置電壓實(shí)現(xiàn)，控制開關(guān)和輸出之間 通過(guò)鏡像電路有效地隔離，開關(guān)引起的電荷共享、電荷注入和時(shí)鐘前饋等得到有效地削弱。 電荷泵引入反饋電路結(jié)構(gòu)，在較大的輸出電壓范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)上下電流匹配，這能有效削弱雜
散信號(hào)。本發(fā)明的第二個(gè)優(yōu)點(diǎn)是對(duì)鑒相鑒頻器的輸出延時(shí)差異不敏感。因?yàn)橄嗖罨蝾l差寬 度信號(hào)在不同的相差或頻差方向下控制相同類型的偏置管，不會(huì)引入因偏置管類型不同導(dǎo) 致的延時(shí)差異。輸出路徑延時(shí)差異對(duì)應(yīng)著相差或頻差方向信號(hào)和相差或頻差寬度信號(hào)延時(shí) 差異，不會(huì)改變相差或頻差信號(hào)的寬度，因而不改變電荷泵充放電流的時(shí)間。當(dāng)相差或頻差 信號(hào)和符號(hào)控制位保持正確的時(shí)序關(guān)系，鑒相鑒頻器的輸出延時(shí)差異不會(huì)引起輸出雜散信 號(hào)，這使得本發(fā)明能有效提高鎖相環(huán)路的頻譜純度。以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳 細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡 在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保 護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)，其特征在于，該組合電路結(jié)構(gòu)由鑒相鑒頻器和電荷泵依次連接而成，鑒相鑒頻器用來(lái)鑒別參考信號(hào)fref和反饋信號(hào)fdiv的相差或頻差，產(chǎn)生相差或頻差信號(hào)和符號(hào)位；電荷泵根據(jù)鑒相鑒頻器的輸出提供充電或放電電流到具有低通特性的環(huán)路濾波器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)，其特征 在于，所述鑒相鑒頻器產(chǎn)生的相差或頻差信號(hào)和符號(hào)位保持確定的時(shí)序關(guān)系，相差或頻差 信號(hào)的寬度等于一個(gè)周期內(nèi)電荷泵充放電流的時(shí)間，符號(hào)位在一個(gè)周期內(nèi)保持固定的值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)，其特征 在于，所述相差或頻差信號(hào)的寬度與參考信號(hào)fref 和反饋信號(hào)fdiv之間的相差或頻差有 關(guān)，并與復(fù)位路徑延時(shí)信號(hào)有關(guān)，
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)，其特征 在于，當(dāng)參考信號(hào)fref領(lǐng)先反饋信號(hào)fdiv信號(hào)時(shí)，符號(hào)位1為高電平，符號(hào)位2為低電平； 當(dāng)參考信號(hào)fref滯后反饋信號(hào)時(shí)，符號(hào)位1為低電平，符號(hào)位為高電平。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)，其特征 在于，當(dāng)符號(hào)位1為高電平時(shí)，電荷泵向環(huán)路濾波器充電流；當(dāng)符號(hào)位2為高電平時(shí)，環(huán)路濾 波器通過(guò)電荷泵放電。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)，其特 征在于，所述電荷泵包括偏置電路、參考電路和偏置可控的主電路，其中偏置電路受相差 或頻差信號(hào)和符號(hào)位控制，用來(lái)根據(jù)相差或頻差信號(hào)和符號(hào)位產(chǎn)生電荷泵主電路的偏置信 號(hào)；參考電路用來(lái)產(chǎn)生主電路的參考電壓；主電路根據(jù)偏置電路的輸出，為環(huán)路濾波器提 供充放電流，當(dāng)參考信號(hào)領(lǐng)先反饋信號(hào)時(shí)，Iup導(dǎo)通，Idn截止，反之，Iup截止，Idn導(dǎo)通。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種應(yīng)用于鎖相環(huán)的鑒相鑒頻器和電荷泵組合電路結(jié)構(gòu)，該組合電路結(jié)構(gòu)由鑒相鑒頻器和電荷泵依次連接而成，鑒相鑒頻器用來(lái)鑒別參考信號(hào)fref和反饋信號(hào)fdiv的相差或頻差，產(chǎn)生相差或頻差信號(hào)和符號(hào)位；電荷泵根據(jù)鑒相鑒頻器的輸出提供充電或放電電流到具有低通特性的環(huán)路濾波器。利用本發(fā)明，克服了傳統(tǒng)電荷泵的開關(guān)引起的電荷共享、電荷注入和時(shí)鐘前饋，消除了傳統(tǒng)鑒相鑒頻器的輸出延時(shí)差異，提高了鎖相環(huán)的頻譜性能。
文檔編號(hào)H03L7/08GK101931401SQ200910087888
公開日2010年12月29日 申請(qǐng)日期2009年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月24日
發(fā)明者張海英, 王小松, 黃水龍 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院微電子研究所