斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法
【專利摘要】一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法，以解決當前壓電粘滑直線電機由于摩擦力綜合調控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發(fā)明由基座、預加載組件、斜梯型定子和動子組成；所述定子的斜梯型振幅放大轉換機構可實現微位移放大，利用其軸向剛度分布不均產生側向位移的同時，既可增大摩擦驅動力，又可減小摩擦阻力。同時將摩擦調控波耦合疊加于斜梯型定子快速變形驅動階段的鋸齒驅動波中，從而降低快速變形驅動階段定、動子間摩擦阻力，實現對摩擦力的綜合調控，提升壓電粘滑直線電機的機械輸出特性。本發(fā)明因具有結構緊湊、裝配方便、定位精度高以及行程大等特點可以廣泛應用于半導體加工等微納精密驅動與定位技術領域。
【專利說明】
斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法，屬于微納精密驅動與定位技術領域?！颈尘凹夹g】
[0002]壓電粘滑直線電機是一種基于壓電元件的逆壓電效應，在非對稱電信號激勵下激發(fā)定子(或稱振子)產生微幅高頻振動，利用定子與動子間的摩擦耦合實現機械能輸出的微納精密壓電粘滑直線電機。按照驅動原理的不同，壓電粘滑直線電機主要分為共振型壓電電機(也稱超聲波電機)與非共振型壓電電機(也稱壓電粘滑電機)兩大類。與共振型壓電電機相比，壓電粘滑直線電機具有結構簡單緊湊、控制方便、易裝配、定位精度高及行程不受限等優(yōu)點，被廣泛應用于半導體加工、精密光學儀器等微納精密驅動與定位技術領域。
[0003]壓電粘滑驅動主要是將鋸齒激勵電信號施加于壓電元件，激發(fā)定子產生快慢交替的運動變形，控制定子與動子在“粘”和“滑”兩種運動狀態(tài)之間相互轉換，利用摩擦力驅動動子實現機械運動輸出。然而，由于壓電粘滑驅動緩慢與快速變形驅動階段，定子與動子間摩擦力起到不同作用，具體為緩慢變形驅動階段時表現為摩擦驅動力，而快速變形驅動階段時表現為摩擦阻力。已有公開技術表明當前壓電粘滑直線電機無法實現對整個粘滑驅動過程的摩擦力進行綜合調控，導致其輸出機械性能受限。特別在定子的快速變形驅動階段， 由于動子所受摩擦力與其運動方向相反，當動子慣性力不足以克服該摩擦阻力時，將會導致動子產生回退運動，表現為類鋸齒狀的不平穩(wěn)運動輸出，劣化輸出性能，已有鋸齒激勵電信號無法實現對壓電粘滑直線電機快速變形驅動階段的摩擦力進行調控，進一步限制壓電粘滑直線電機的應用與發(fā)展。
【發(fā)明內容】

[0004]為解決已有壓電粘滑直線電機由于定子與動子間摩擦綜合調控困難，所導致的機械輸出特性受限，產生類鋸齒狀不平穩(wěn)運動輸出，劣化輸出性能等技術問題，本發(fā)明公開一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法。
[0005]本發(fā)明所采用的技術方案是:所述一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機包括基座、預加載組件、斜梯型定子和動子。
[0006]所述基座采用不銹鋼材料，采用“L”型結構設計，包括基座安裝孔、預加載組件安裝孔、動子安裝基面和動子安裝螺紋孔。所述基座安裝孔，通過螺栓與外圍平臺固定連接， 所述預加載組件安裝孔，通過螺紋連接將預加載組件固定在基座上;所述動子安裝基面和動子安裝螺紋孔，通過動子安裝螺紋孔將動子固定在動子安裝基面上。所述預加載組件由下固定板、上移動板、手動調節(jié)螺桿和鎖緊螺桿四部分組成。所述下固定板設置有手動調節(jié)螺桿安裝孔，通過與手動調節(jié)螺桿采用螺紋連接預緊上移動板;所述下固定板設置有彈簧固定螺釘和預壓彈簧，用于實現上移動板的回程運動;所述下固定板設置有導軌固定架，導軌固定架安裝有導軌限位螺釘，避免上移動板滑出下固定板;所述下固定板設置有沉頭孔， 通過基座將下固定板與基座固連;所述下固定板設置有鎖緊保持架和固定螺釘，通過鎖緊保持架與上移動板的鎖緊。所述上移動板設置有定子安裝孔，通過定子安裝孔將斜梯型定子安裝在上移動板上;所述上移動板設置有鎖緊螺紋孔，通過與鎖緊螺桿采用螺紋配合來固定上移動板。
[0007]所述斜梯型定子包括斜梯型振幅放大轉換機構、調整墊片、疊堆型壓電陶瓷致動器和預緊調整螺栓。所述斜梯型振幅放大轉換機構設置有定子固定孔，通過定子固定孔將斜梯型定子安裝到上移動板上;所述斜梯型振幅放大轉換機構采用斜梯型菱形鉸鏈結構， 斜梯型菱形鉸鏈設置有鉸鏈長軸和鉸鏈短軸，可以改變斜梯型菱形鉸鏈的微位移放大倍數。所述斜梯型振幅放大轉換機構設置有斜梯型運動轉換器，斜梯型運動轉換器設置有直驅梁和斜驅梁，可調節(jié)斜梯型振幅放大轉換機構的軸向偏轉剛度，可以實現對摩擦力的綜合調控。所述斜梯型振幅放大轉換機構設置有驅動足，驅動動子實現運動輸出。所述斜梯型振幅放大轉換機構設置有預緊調整螺栓安裝孔，通過與預緊調整螺栓采用螺紋連接實現疊堆型壓電陶瓷致動器預緊固定。所述疊堆型壓電陶瓷致動器的前后端面與預緊調整螺栓之間設置有調整墊片，目的是保護疊堆型壓電陶瓷致動器，防止其產生切應變或局部受力不均，并通過調節(jié)預緊調整螺栓的旋進量，可改變疊堆型壓電陶瓷致動器的軸向預緊力。
[0008]所述動子包括固定滑軌、滾柱保持架、雙列交叉滾柱導軌安裝螺栓、運動滑軌和端部限位螺釘。所述固定滑軌通過動子安裝螺紋孔安裝固定于動子安裝基面上;所述運動滑軌端面涂有陶瓷類摩擦材料，運動滑軌通過滾柱保持架與固定滑軌間接接觸;所述雙列交叉滾柱導軌安裝螺栓通過螺紋連接安裝固定滑軌。
[0009]所述激勵方法中所采用的復合激勵電信號由摩擦調控波耦合疊加于斜梯型定子快速變形驅動階段的鋸齒驅動波中，所述摩擦調控波為正弦波;所述激勵方法可減小快速變形驅動階段斜梯型定子與動子之間的摩擦阻力，抑制回退運動產生，其中鋸齒驅動波周期為Ti，激勵電壓幅值為h，對稱性為D，微幅摩擦正弦調控波周期為T2,激勵電壓幅值為V2， 鋸齒驅動波與微幅摩擦正弦調控波的周期比為h/T^lO?100000,激勵電壓幅值比為WV2 大于2。
[0010]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明采用具有摩擦力綜合調控功能的斜梯型定子結構，并通過耦合激勵電信號進行激勵，增大斜梯型定子緩慢變形驅動階段斜梯型定子與動子間摩擦驅動力，降低斜梯型定子快速變形驅動階段斜梯型定子與動子間摩擦阻力，實現對壓電粘滑直線電機整個驅動過程的摩擦力的綜合調控，可顯著提升壓電粘滑直線電機的機械輸出特性，降低位移回退率， 開環(huán)條件下定位精度可達納米級。與當前已有技術相比，具有結構緊湊與控制方便等優(yōu)點， 輸出力提升1 〇%以上，輸出速度提升50%以上，輸出效率提升60%以上?！靖綀D說明】
[0011]圖1所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機的結構示意圖；圖2所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機的基座結構示意圖； 圖3所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機預加載組件結構示意圖；圖4所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機下固定板結構示意圖；圖5所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機上移動板結構示意圖；圖6所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機斜梯型定子結構示意圖；圖7所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機的斜梯型振幅放大轉換機構結構示意圖；圖8所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機的斜梯型振幅放大轉換機構局部俯視結構示意圖；圖9所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機的斜梯型振幅放大轉換機構局部側視結構示意圖；圖10所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機的動子結構示意圖； 圖11所示為本發(fā)明提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機的耦合激勵電信號波形示意圖?！揪唧w實施方式】
[0012]【具體實施方式】一:結合圖1?圖10說明本實施方式。本實施方式提供一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機的具體實施方案。所述一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機包括基座1、預加載組件2、斜梯型定子3和動子4。
[0013]所述基座1采用不銹鋼材料，其結構設計成“L”型?；?包括基座安裝孔1-1、預加載組件安裝孔1-2、動子安裝基面1-3和動子安裝螺紋孔1-4。所述基座安裝孔1-1，通過螺栓與外圍平臺固定連接;所述預加載組件安裝孔1-2,用于將預加載組件2固定在基座1上;所述動子安裝基面1-3和動子安裝螺紋孔1-4,通過動子安裝螺紋孔1-4將動子4固定在動子安裝基面1-3上。[〇〇14]所述預加載組件2包括下固定板2-1、上移動板2-2、手動調節(jié)螺桿2-3和鎖緊螺桿 2_4，其中下固定板2_1和上移動板2_2米用45號鋼材料。所述下固定板2_1設置有手動調節(jié)螺桿安裝孔2-1-1，通過與手動調節(jié)螺桿2-3采用螺紋連接進行預緊上移動板2-2，調整手動調節(jié)螺桿2-3的旋進量可以改變上移動板2-2的位置，實現預加載組件2對斜梯型定子3的預緊力調節(jié)。所述下固定板2-1設置有彈簧固定螺釘2-1-2和預壓彈簧2-1-4,通過彈簧固定螺釘2-1-2與預壓彈簧2-1-4相固連，用于實現上移動板2-2的回程運動;所述下固定板2-1設置有導軌固定架2-1-3,用于支撐上移動板2-2;所述導軌固定架2-1-3安裝有4n個導軌限位螺釘2-1-5,其中n為大于等于1的整數，避免上移動板2-2滑出下固定板2-1。所述下固定板 2-1設置有沉頭孔2-1-6,通過沉頭孔2-1-6將下固定板2-1與基座1固連;所述下固定板2-1 設置有鎖緊保持架2-1-7和固定螺釘2-1-8,鎖緊保持架2-1-7通過鎖緊螺桿2-4與上移動板 2-2固定，防止加載后上移動板2-2產生移動。所述上移動板2-2設置有定子安裝孔2-2-1，通過定子安裝孔2-2-1將斜梯型定子3固定在上移動板2-2上;所述上移動板2-2設置有鎖緊螺紋孔2-2-2，通過鎖緊螺紋孔2-2-2與鎖緊螺桿2-4采用螺紋連接對上移動板2-2固定。
[0015]所述斜梯型定子3包括斜梯型振幅放大轉換機構3-1、調整墊片3-2、疊堆型壓電陶瓷致動器3-3和預緊調整螺栓3-4。所述斜梯型振幅放大轉換機構3-1設置有定子固定孔3-1-1，通過定子固定孔3-1-1將斜梯型定子3固定在上移動板2-2上;所述斜梯型振幅放大轉換機構3-1設置有斜梯型菱形鉸鏈3-1-2,其采用5052鋁合金材料;所述斜梯型菱形鉸鏈3-1-2設置有鉸鏈長軸和鉸鏈短軸。具體地，鉸鏈長軸長度為I，鉸鏈短軸長度為K，其長軸與短軸的比值e=I/K為斜梯型菱形鉸鏈3-1-2在垂直于驅動方向的微位移放大倍數，其微位移放大倍數e取值為1?10，調整比值e，可改變微位移放大倍數，實現斜梯型菱形鉸鏈3-1-2的微位移放大，本實施方式中微位移的放大倍數e=7。所述斜梯型振幅放大轉換機構3-1設置有柔性梁3-1-6和剛性梁3-1-7。具體地，柔性梁3-1-6的壁厚為F，剛性梁3-1-7的壁厚均為E， 剛性梁與柔性梁的壁厚比值為P=E/F，壁厚值P取值為1.1?1.5,本實施方式中選取壁厚比值為P=l.2。通過改變柔性梁與剛性梁的壁厚比值進一步實現對疊堆型壓電陶瓷致動器3-3的微位移放大;所述斜梯型振幅放大轉換機構3-1設置有斜梯型運動轉換器3-1-3,斜梯型運動轉換器3-1-3設置有直驅臂3-1-8和斜驅臂3-1-9。具體地，直驅臂3-1-8的長度為B，考慮設計電機的結構緊湊、微型化和智能化等特點。本發(fā)明將鉸鏈短軸長度K與直驅臂長度B設定為某一范圍的比例關系，其中K/B取值為1.2?1.8,本實施方式中選取鉸鏈短軸長度K與直驅臂3-1-8長度B的比值為1.5。斜梯型運動轉換器3-1-3設置的直驅臂3-1-8與斜驅臂3-1-9 間的夾角值為9。具體地，直驅臂3-1-8與斜驅臂3-1-9間的夾角0取值為30°?70°，通過改變夾角9值，可調節(jié)斜梯型振幅放大轉換機構3-1的軸向偏轉剛度，并將疊堆型壓電陶瓷致動器3-3的軸向振動產生微位移轉換為斜梯型定子3的側向位移輸出，由于軸向剛度分布不均而產生側向位移，可以實現對摩擦力的綜合調控，本實施方式中直驅臂3-1-8與斜驅臂3-1-9的夾角值0=40°。所述斜梯型振幅放大轉換機構3-1設置有驅動足3-1-4,其端面涂有摩擦陶瓷類材料，通過線接觸驅動動子4運動。具體地，驅動足3-1-4的厚度為H，通過改變厚度H 可以改變驅動足3-1-4的剛度，當其厚度H小于動子4接觸面寬度的1?2 _時，可以實現很好的驅動效果，本實施方式中驅動足3-1-4的厚度為7 mm。所述斜梯型振幅放大轉換機構3-1 設置有預緊調整螺栓安裝孔3-1-5,通過與預緊調整螺栓3-4采用螺紋連接固定疊堆型壓電陶瓷致動器3-3。所述疊堆型壓電陶瓷致動器3-3采用NEC公司的產品，疊堆型壓電陶瓷致動器3-3的前后端面與預緊調整螺栓3-4之間設置有調整墊片3-2,其目的是保護疊堆型壓電陶瓷致動器3-3，防止其產生切應變或局部受力不均，所述調整墊片3-2采用不銹鋼材料，其厚度在2?3 mm范圍時效果最佳，本實施方式中調整墊片的厚度為2 mm。通過調整預緊調整螺栓3-4的旋進量，可以間接的利用調整墊片3-2對疊堆型壓電陶瓷致動器3-3預緊。
[0016]所述動子4包括固定滑軌4-1、滾柱保持架4-2、雙列交叉滾柱導軌安裝螺栓4-3、運動滑軌4-4和端部限位螺釘4-5。所述固定滑軌4-1通過動子安裝螺紋孔1-4固定于動子安裝基面1-3上，所述運動滑軌4-4端面涂有陶瓷類摩擦材料，所述滾柱保持架4-2為運動滑軌4-4的滑動提供支撐，所述雙列交叉滾柱導軌安裝螺栓4-3用于安裝固定滑軌4-1，所述端部限位螺釘4-5用于限制運動滑軌4-4運動范圍，避免其脫離固定滑軌4-1。
[0017]【具體實施方式】二:結合圖11說明本實施方式。本實施方式提供一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機激勵方法的具體實施方案。所述一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機的激勵方法如下所示。
[0018]所述激勵方法中所采用的復合激勵電信號由摩擦調控波耦合疊加于定子快速變形驅動階段的鋸齒驅動波中，所述摩擦調控波可為正弦波。其中，鋸齒驅動波周期為Ti，激勵電壓幅值為Vi，對稱性為D，微幅摩擦正弦調控波周期為T2,激勵電壓幅值為％，鋸齒驅動波與微幅摩擦正弦調控波的周期比為Tl/T2=10?100000,激勵電壓幅值比為W/V2大于2。
[0019]工作原理:斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機的激勵方法主要是在耦合電信號激勵下，綜合調控定子與動子間的摩擦力，進而提升壓電粘滑直線電機的機械輸出特性。 其中，在斜梯型定子緩慢變形驅動階段，動子在靜摩擦力作用下隨著斜梯型定子一起發(fā)生緩慢的“粘”運動，此時靜摩擦力提供驅動力，增大斜梯型定子與動子間摩擦力可提升電機輸出性能;在斜梯型定子快速變形驅動階段，斜梯型定子與動子間產生的滑動摩擦力為摩擦阻力，特別是當動子慣性力不足以克服該摩擦阻力時，將會導致動子產生回退運動，微觀上表現為類鋸齒狀的不平穩(wěn)運動，劣化輸出性能，影響定位精度，此時設法降低斜梯型定子與動子滑動摩擦阻力，可改善電機綜合輸出特性。本發(fā)明的斜梯型定子由于斜梯型振幅放大轉換機構，使得斜梯型定子軸向剛度分布不均勻，激發(fā)斜梯型定子驅動端產生側向位移， 調整斜梯型定子與動子間接觸的正壓力，即在斜梯型定子緩慢變形驅動階段，增大斜梯型定子與動子間接觸的正壓力，進而增加斜梯型定子與動子間的摩擦驅動力，在斜梯型定子快速變形驅動階段，減小定子與動子間接觸的正壓力，進而減小定子與動子間的摩擦阻力， 實現對緩慢變形驅動階段摩擦驅動力與快速變形驅動階段摩擦阻力的綜合調控，提升整機輸出性能。同時，本發(fā)明通過將摩擦調控波復合疊加于斜梯型定子快速變形驅動階段的鋸齒驅動波中，激發(fā)斜梯型定子處于微幅高頻振動狀態(tài)，從而降低快速變形驅動階段定、動子間摩擦阻力，抑制回退運動產生，可顯著提升壓電粘滑直線電機的機械輸出特性。
[0020]綜合以上所述內容，本發(fā)明提供一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法，以解決當前壓電粘滑直線電機由于摩擦力綜合調控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。所提出的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機，具有結構緊湊、裝配方便、 定位精度高及行程不受限等特點。所提出的激勵方法可明顯降低壓電粘滑直線電機的位移回帶率，提升其機械輸出特性。在精密光學儀器、半導體加工等微納精密驅動與定位技術領域具有很好的應用前景。
【主權項】
1.一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機，其特征在于該斜梯型振幅放大機構壓 電粘滑直線電機由基座(1)、預加載組件(2)、斜梯型定子(3)和動子(4)組成;其中預加載組 件(2)固定安裝在基座(1)上，斜梯型定子(3)固定安裝在預加載組件(2)上，動子(4)固定安 裝在基座(1)上。2.根據權利要求1所述的一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機，其特征在于基 座(1)包括基座安裝孔(1-1 )、預加載組件安裝孔(1-2)、動子安裝基面(1-3)和動子安裝螺 紋孔(1-4);所述基座安裝孔(1-1)與外圍平臺連接，預加載組件(2)通過預加載組件安裝孔 (1-2)與基座(1)固定，通過動子安裝螺紋孔(1-4)將動子(4)固定在動子安裝基面(1-3)上。3.根據權利要求1所述的一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機，其特征在于預 加載組件(2)包括有下固定板(2-1)、上移動板(2-2)、手動調節(jié)螺桿(2-3)和鎖緊螺桿(2-4);所述下固定板(2-1)設置有手動調節(jié)螺桿安裝孔(2-1-1)，通過與手動調節(jié)螺桿(2-3)采 用螺紋連接預緊上移動板(2-2)，下固定板(2-1)設置有彈簧固定螺釘(2-1-2)和預壓彈簧 (2-1-4);下固定板(2-1)設置有導軌固定架(2-1-3)，導軌固定架(2-1-3)安裝有導軌限位 螺釘(2-1-5);下固定板(2-1)設置的沉頭孔(2-1-6);下固定板(2-1)設置有鎖緊保持架(2-1-7)和固定螺釘(2-1-8)，通過鎖緊保持架(2-1-7)和鎖緊螺桿(2-4)的螺紋連接將上移動 板(2-2)固定;所述上移動板(2-2)設置有定子安裝孔(2-2-1)，上移動板(2-2)設置的鎖緊 螺紋孔(2-2-2)與鎖緊螺桿(2-4)采用螺紋連接。4.根據權利要求1所述的一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機，其特征在于斜 梯型定子(3)包括斜梯型振幅放大轉換機構(3-1)、調整墊片(3-2)、疊堆型壓電陶瓷致動器 (3-3)和預緊調整螺栓(3-4);所述斜梯型振幅放大轉換機構(3-1)設置有定子固定孔(3-1-1)，斜梯型振幅放大轉換機構(3-1)設置有斜梯型菱形鉸鏈(3-1-2)，斜梯型振幅放大轉換 機構(3-1)設置有斜梯型運動轉換器(3-1-3)和驅動足(3-1-4)，斜梯型振幅放大轉換機構 (3-1)設置有預緊調整螺栓安裝孔(3-1-5)，通過與預緊調整螺栓(3-4)螺紋連接固定疊堆 型壓電陶瓷致動器(3-3);所述疊堆型壓電陶瓷致動器(3-3)的前后端面與預緊調整螺栓 (3-4)之間設置有調整墊片(3-2)。5.根據權利要求1所述的一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機，其特征在于斜 梯型定子(3)的斜梯型振幅放大轉換機構(3-1)采用5052鋁合金、6061鋁合金、7075鋁合金、 T1-35A鈦合金或T1-13鈦合金材料;所述預加載組件(2)的下固定板(2-1)和上移動板(2-2) 采用45號鋼材料。6.根據權利要求4所述的一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機，其特征在于斜 梯型定子(3)的斜梯型菱形鉸鏈(3-1-2)設置有鉸鏈長軸和鉸鏈短軸，鉸鏈長軸的長度為I， 鉸鏈短軸的長度為K，其鉸鏈長軸與短軸的比值e=I/K為斜梯型菱形鉸鏈(3-1-2)垂直于驅 動方向的微位移放大倍數，e取值為1?10。7.根據權利要求4所述的一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機，其特征在于斜 梯型定子(3)的斜梯型運動轉換器(3-1-3)設置有直驅臂(3-1-8)和斜驅臂(3-1-9)，直驅臂 (3-1-8)與斜驅臂(3-1-9)間的夾角值為0，其中0取值為30° ~70°。8.根據權利要求4所述的一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機，其特征在于斜 梯型定子(3)的驅動足(3-1-4)端面涂有陶瓷類或玻璃纖維類摩擦材料。9.根據權利要求1所述的一種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機，其特征在于動子(4)包括固定滑軌(4-1)、滾柱保持架(4-2)、雙列交叉滾柱導軌安裝螺栓(4-3)、運動滑軌 (4-4)和端部限位螺釘(4-5);所述固定滑軌(4-1)通過動子安裝螺紋孔(1-4)和雙列交叉滾 柱導軌安裝螺栓(4-3)固定于動子安裝基面(1-3)上;運動滑軌(4-4)端面涂有陶瓷類摩擦 材料，通過滾柱保持架(4-2)間接與固定滑軌(4-1)接觸。10.—種斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機激勵方法，該激勵方法基于權利要求1 所述的斜梯型振幅放大機構壓電粘滑直線電機實現;所述激勵方法特征在于，所述驅動波 為鋸齒波，摩擦調控波為正弦波，其中鋸齒驅動波周期為Ti，激勵電壓幅值為W，對稱性為D， 微幅摩擦正弦調控波周期為T2,激勵電壓幅值為％，鋸齒驅動波與微幅摩擦正弦調控波的周 期比為IVTf1?100000,激勵電壓幅值比為WV2大于2。
【文檔編號】H02N2/02GK106059381SQ201610386939
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年6月6日
【發(fā)明人】程廷海, 趙宏偉, 張邦成, 柳虹亮, 秦峰, 宋兆陽
【申請人】長春工業(yè)大學