專利名稱：超聲波電動(dòng)機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使用外邊緣是圓或者多邊形的振動(dòng)體的超聲波電動(dòng)機(jī)，更詳細(xì)而言， 涉及具有將多個(gè)壓電元件分散配置成環(huán)狀的定子的超聲波電動(dòng)機(jī)。
背景技術(shù)：
目前，提出了各種利用壓電效應(yīng)的超聲波電動(dòng)機(jī)。在下述的專利文獻(xiàn)1中，揭示了 具有在圓環(huán)狀的壓電振子上粘貼圓環(huán)狀的彈性體而成的定子、以及與該圓環(huán)狀的彈性體接 觸的轉(zhuǎn)子的超聲波電動(dòng)機(jī)。圓環(huán)狀的壓電振子在由壓電陶瓷形成的圓環(huán)狀的壓電體的兩面 形成多個(gè)電極。多個(gè)電極包括第一及第二相的電極組。通過(guò)對(duì)第一相的電極組和第二相的 電極組施加在時(shí)間上相位不同的高頻電壓，來(lái)產(chǎn)生兩個(gè)駐波。通過(guò)合成這兩個(gè)駐波，在環(huán)狀 的彈性體和壓電振子的表面產(chǎn)生行波。
然而，在像專利文獻(xiàn)1所記載的那樣的使用了圓環(huán)狀的壓電振子的超聲波電動(dòng)機(jī) 中，該壓電振子難以制作。即，為了激振所需的振動(dòng)，壓電體必須形成為準(zhǔn)確的圓環(huán)狀。因 此，必須高精度地研磨壓電陶瓷，從而使得圓環(huán)狀的壓電體的外邊緣中心與內(nèi)邊緣中心成 為同心。而且，在形成電極和極化中也必須分別進(jìn)行加工，容易使成本提高。
此外，在專利文獻(xiàn)1所記載的超聲波電動(dòng)機(jī)中，由于圓環(huán)狀的壓電振子覆蓋圓環(huán) 狀的彈性體的單面的整個(gè)表面，因此，需要使圓環(huán)狀的彈性體的相反側(cè)的面與轉(zhuǎn)子接觸。 即，與轉(zhuǎn)子接觸的面限定于環(huán)狀彈性體的單面。因此，在設(shè)計(jì)上有較大限制。
對(duì)此，在下述的專利文獻(xiàn)2中，揭示了具有圖12所示的定子的超聲波電動(dòng)機(jī)。在 圖12所示的定子101中，使用了由金屬等形成的圓環(huán)狀的彈性體102。在彈性體102的下 表面上，以分散配置在周向上的方式形成多個(gè)突起103。通過(guò)形成沿徑向延伸的多個(gè)槽104 來(lái)設(shè)置多個(gè)突起103。
在上述圓環(huán)狀的彈性體102的上表面上，粘貼有多個(gè)第一壓電元件10 和多個(gè)第 二壓電元件102b。更具體而言，設(shè)置有由配置有四個(gè)第一壓電元件10 的部分形成的A相 驅(qū)動(dòng)部105A、以及由配置有四個(gè)第二壓電元件10 的部分形成的B相驅(qū)動(dòng)部105B。在A 相驅(qū)動(dòng)部和B相驅(qū)動(dòng)部中，激振得到在時(shí)間上相位不同的駐波。通過(guò)合成這些駐波來(lái)形成 行波。在設(shè)行波的波長(zhǎng)為λ時(shí)，A相驅(qū)動(dòng)部105Α和B相驅(qū)動(dòng)部105Β在一側(cè)隔開(kāi)3 λ /4的 間隔而配置，在另一側(cè)隔開(kāi)λ/4的間隔而配置。
在制造專利文獻(xiàn)2所記載的超聲波電動(dòng)機(jī)時(shí)，只要在由金屬等形成、且容易加工 的圓環(huán)狀的彈性體102的上表面上粘貼具有矩形的平面形狀的多個(gè)壓電元件105110 即 可。因而，無(wú)需對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行繁雜的加工。
專利文獻(xiàn)1 日本專利特公平1-17354號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 日本專利特開(kāi)平11-187677號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容
利用A相驅(qū)動(dòng)部105A和B相驅(qū)動(dòng)部105B，分別激振得到波數(shù)為5的五波駐波。另外，在本說(shuō)明書(shū)中，對(duì)于將環(huán)狀部分沿周向傳播的駐波的波數(shù)為S(S為自然數(shù))的情況，將 該波稱為S波。為了高效地進(jìn)行這些S倍波的激振，優(yōu)選的是使得利用一個(gè)壓電元件10 或者10 進(jìn)行激振的區(qū)域的周長(zhǎng)、即沿行波的傳播路線的尺寸相當(dāng)于λ/2，并在與該周長(zhǎng) λ /2相當(dāng)?shù)牟糠值乃袇^(qū)域進(jìn)行激振。
然而，在專利文獻(xiàn)2所述的超聲波電動(dòng)機(jī)中，在相鄰的矩形壓電元件10 之間以 及相鄰的壓電元件12 之間，分別產(chǎn)生用箭頭C表示的間隙。因而，無(wú)法提高激振效率。
另外，在專利文獻(xiàn)2所記載的超聲波電動(dòng)機(jī)中，也考慮將多個(gè)壓電元件105110 形成為扇形或梯形的形狀，從而使上述間隙C變小。然而，在這種情況下，無(wú)法高效且廉價(jià) 地形成各壓電元件，成本提高。
而且，在上述超聲波電動(dòng)機(jī)中，容易使定子101的保持結(jié)構(gòu)變復(fù)雜。對(duì)于定子101， 在圓環(huán)狀的壓電體102的上表面?zhèn)仍O(shè)置多個(gè)壓電元件10 和105b，使下表面?zhèn)鹊耐怀霾?103與轉(zhuǎn)子接觸來(lái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。因此，為了保持定子101，必須將連結(jié)部的一端與圓環(huán)狀的彈 性體102的側(cè)面連結(jié)，而將連接部的另一端與保持部分連結(jié)。因而，容易使具有連結(jié)部等的 保持結(jié)構(gòu)變復(fù)雜。
此外，在上述超聲波電動(dòng)機(jī)中，必須使彈性體102的與層疊有壓電元件105110 的一側(cè)成相反側(cè)的面與轉(zhuǎn)子接觸，接觸轉(zhuǎn)子的面限定于彈性體102的單面。
本發(fā)明的目的在于提供一種超聲波電動(dòng)機(jī)，該超聲波電動(dòng)機(jī)克服了上述現(xiàn)有技術(shù) 的缺點(diǎn)，容易制造，效率高，且能實(shí)現(xiàn)保持結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化，而且，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子的部分的限制較少。
根據(jù)本發(fā)明的某一較寬方面，是提供一種超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，包括定子 和轉(zhuǎn)子，所述定子具有振動(dòng)體，該振動(dòng)體由外邊緣為圓或者多邊形的板狀體形成；及如片 壓電元件，該如片壓電元件固定在該振動(dòng)體的單面，從而通過(guò)使所述振動(dòng)體振動(dòng)來(lái)產(chǎn)生旋 轉(zhuǎn)地行進(jìn)的3η波(η為自然數(shù))的行波，并且，該如片壓電元件沿所述行波旋轉(zhuǎn)的方向即 周向分散配置，在設(shè)與該所述行波的波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的圍繞所述周向中心的中心角為λ0時(shí)，各 壓電元件具有與以中心角為λ 0/2對(duì)應(yīng)的尺寸，并且相鄰壓電元件之間沿所述周向隔開(kāi)與 以中心角為λ 0/4對(duì)應(yīng)的間隔而配置，各壓電元件具有壓電體、及形成于壓電體的兩面的 一對(duì)電極，在如片壓電元件中，壓電元件的壓電體與在所述周向的一側(cè)相鄰的壓電元件的 壓電體在厚度方向上沿同一方向進(jìn)行極化，而與在所述周向的另一側(cè)相鄰的壓電元件的壓 電體在厚度方向上沿相反方向進(jìn)行極化處理，所述轉(zhuǎn)子配置成與所述定子接觸，接受由定 子產(chǎn)生的3η波的行波所引起的振動(dòng)以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)本發(fā)明的其他較寬方面，是提供一種超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，包括定子 和轉(zhuǎn)子，所述定子具有振動(dòng)體，該振動(dòng)體由外邊緣為圓或者多邊形的板狀體形成；及如片 (η為自然數(shù))壓電元件，該如片壓電元件固定在該振動(dòng)體的單面，從而通過(guò)使所述振動(dòng)體 振動(dòng)來(lái)產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)地行進(jìn)的(業(yè)+1)11波(其中，k、n為自然數(shù))的行波，并且，該如片壓電元件 沿所述振動(dòng)體的所述行波旋轉(zhuǎn)的方向即周向分散配置，所述各壓電元件具有壓電體、及形 成于壓電體的兩面的一對(duì)電極，各壓電元件的壓電體具有在所述周向上并排設(shè)置的k個(gè)極 化區(qū)域，在設(shè)與產(chǎn)生的行波的波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的圍繞所述周向中心的中心角為λ0時(shí)，各極化區(qū) 域具有與以中心角為λ 0/2對(duì)應(yīng)的尺寸，并且相鄰壓電元件隔開(kāi)與以所述中心角為λ θ/4 對(duì)應(yīng)的間隔而配置，相鄰極化區(qū)域在厚度方向上沿相反方向進(jìn)行極化處理，在所述如片壓 電元件中，所述壓電元件的k個(gè)極化區(qū)域的極化方向、與在周向的一側(cè)相鄰的壓電元件的k5個(gè)極化區(qū)域的極化方向相同，而與在另一側(cè)相鄰的壓電元件的k個(gè)極化區(qū)域的極化方向成 相反極性，并產(chǎn)生波的行波，所述轉(zhuǎn)子與所述定子接觸，接受由該定子產(chǎn)生的所述 行波所引起的振動(dòng)以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
在本發(fā)明所涉及的超聲波電動(dòng)機(jī)中，優(yōu)選的是所述多個(gè)壓電元件配置成對(duì)于所述 振動(dòng)體的單面的中心呈點(diǎn)對(duì)稱，在這種情況下，即使定子的制造產(chǎn)生偏差、或者轉(zhuǎn)子的加壓 狀態(tài)變得不平衡，也難以受到這些影響。因而，能提高超聲波電動(dòng)機(jī)的動(dòng)作的穩(wěn)定性。
雖然對(duì)上述壓電元件的形狀并無(wú)特別限定，但在本發(fā)明的其他特定方面，是具有 矩形的平面形狀。對(duì)于矩形的平面形狀的壓電元件，可容易制造，并能降低成本。在壓電元 件具有矩形的平面形狀的情況下，優(yōu)選的是在所述矩形中，第三邊的中點(diǎn)與第四邊的中點(diǎn) 的距離的尺寸與以中心角為λ0/2對(duì)應(yīng)。因而，由于僅準(zhǔn)備長(zhǎng)邊與λ0/2的中心角對(duì)應(yīng)的 長(zhǎng)度的矩形的壓電元件即可，從而能簡(jiǎn)化制造工序。
在本發(fā)明所涉及的超聲波電動(dòng)機(jī)的又一特定方面，還包括保持振動(dòng)體的保持構(gòu) 件，通過(guò)將該保持構(gòu)件與其他部分連結(jié)，能高效地驅(qū)動(dòng)超聲波電動(dòng)機(jī)。
雖然對(duì)上述保持構(gòu)件并無(wú)特別限定，但是，優(yōu)選的是所述保持構(gòu)件與所述振動(dòng)體 的第一面連結(jié)，并使所述振動(dòng)體的與第一面成相反側(cè)的第二面?zhèn)瘸蔀樗稣駝?dòng)體與所述轉(zhuǎn) 子接觸的部分。因而，由于能容易地將保持構(gòu)件與振動(dòng)體的單面連結(jié)，從而能實(shí)現(xiàn)保持結(jié)構(gòu) 的簡(jiǎn)化。在這種情況下，能使用振動(dòng)體的相反側(cè)的面來(lái)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子。因而，由于在振動(dòng)體的側(cè) 面無(wú)需設(shè)置多余的空間，從而還可減小超聲波電動(dòng)機(jī)的設(shè)置空間。
在本發(fā)明所涉及的超聲波的其他特定方面，是在所述振動(dòng)體的與所述轉(zhuǎn)子接觸的 一側(cè)的面上，還包括以從所述振動(dòng)體的表面突出的方式設(shè)置的觸點(diǎn)。由此，能更進(jìn)一步高效 地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子。
在本發(fā)明所涉及的超聲波電動(dòng)機(jī)中，由于定子具有將如片壓電元件與振動(dòng)體接 合的結(jié)構(gòu)，因此，無(wú)需準(zhǔn)備環(huán)狀的壓電體，因而也無(wú)需進(jìn)行繁雜的壓電體加工工序。
而且，由于在設(shè)與產(chǎn)生的行波的波長(zhǎng)長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)的中心角為λ θ時(shí)，4η片壓電元 件的壓電元件具有與λ 0/2的中心角對(duì)應(yīng)的尺寸，并且相鄰壓電元件之間在周向隔開(kāi)與 λ 0/4的中心角對(duì)應(yīng)的間隔而配置，因此，能高效地產(chǎn)生3η波或者波的行波。因 而，能提高超聲波電動(dòng)機(jī)的效率。
此外，由于在設(shè)置有上述λ θ/4的間隔的區(qū)域也可設(shè)置與轉(zhuǎn)子接觸的構(gòu)件，因此， 能將振動(dòng)體的任一面用作為驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子的面。
此外，由于能利用與接合有上述壓電元件的面成相反側(cè)的振動(dòng)體面進(jìn)行機(jī)械保 持，因此，還可實(shí)現(xiàn)保持結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化。


圖1是為了說(shuō)明本發(fā)明的原理而用于說(shuō)明定子中激振的駐波、各壓電元件的長(zhǎng) 度、以及壓電元件間的間隔的示意性俯視圖。
圖2是用于說(shuō)明在圓環(huán)狀的振動(dòng)體中產(chǎn)生三波的駐波的結(jié)構(gòu)示例的示意性俯視 圖。
圖3是用于說(shuō)明為了在圓環(huán)狀的振動(dòng)體中產(chǎn)生六波的駐波的結(jié)構(gòu)示例的示意性 俯視圖。6
圖4(a) ,4(b)是用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式1所涉及的超聲波電動(dòng)機(jī)的圖，圖 4(a)是定子的俯視圖，圖4(b)是沿圖4(a)中的D-D線的剖視圖。
圖5(a)是表示圖4所示的定子的外觀的立體圖，圖5(b)是壓電元件的剖視圖。
圖6是用于說(shuō)明使用了圖4和圖5所示的定子的超聲波電動(dòng)機(jī)的部分切口主視剖 視圖。
圖7是用于說(shuō)明作為實(shí)施方式1的超聲波電動(dòng)機(jī)中的位移擴(kuò)大機(jī)構(gòu)的觸點(diǎn)的功能 的局部切口主視剖視圖。
圖8是實(shí)施方式1的超聲波電動(dòng)機(jī)所使用的保持板的示意性俯視圖。
圖9(a) 圖9(c)是表示壓電元件的平面形狀的各變形例的俯視圖。
圖10是實(shí)施方式2的超聲波電動(dòng)機(jī)的定子的示意性俯視圖。
圖11是實(shí)施方式3的超聲波電動(dòng)機(jī)的定子的示意性俯視圖。
圖12是用于說(shuō)明現(xiàn)有的超聲波電動(dòng)機(jī)的示意性立體圖。
具體實(shí)施方式
以下，一邊參照附圖，一邊說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，由此闡明本發(fā)明。
圖4(a)和4(b)是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1所涉及的超聲波電動(dòng)機(jī)的定子的俯視 圖和沿圖4(a)中的D-D線的剖視圖，圖5(a)是表示該定子的外觀的立體圖。
本實(shí)施方式的超聲波電動(dòng)機(jī)具有圖4和圖5(a)所示的定子1。定子1由彈性體 形成，且具有環(huán)狀的振動(dòng)體2。環(huán)狀的振動(dòng)體2在本實(shí)施方式中由磷青銅形成。但是，振動(dòng) 體2不一定需要由磷青銅等金屬形成。振動(dòng)體2也可以通過(guò)陶瓷、硅材料或者合成樹(shù)脂等 其他彈性體形成。上述振動(dòng)體2通過(guò)沖孔加工等，能容易地形成為正確形狀。
另外，所謂環(huán)狀，廣泛包含在圓環(huán)狀、多邊環(huán)狀等的中央具有開(kāi)口部的各種形狀。
在本實(shí)施方式中，振動(dòng)體2的外邊緣具有八邊形的形狀，內(nèi)邊緣也具有與外邊緣 的八邊形同心的八邊形的形狀。振動(dòng)體2是對(duì)于中心0呈點(diǎn)對(duì)稱的圖形。而且，振動(dòng)體2的 寬度方向尺寸在后述的周向中設(shè)成固定的。這里的所謂寬度方向尺寸，設(shè)為在振動(dòng)體2中 連接內(nèi)邊緣和外邊緣的距離。
振動(dòng)體2的外邊緣如圖4 (a)所示，具有相對(duì)的第一和第二長(zhǎng)邊h、2b、相對(duì)的第三 和第四長(zhǎng)邊2c、2d、以及在圖4(a)中沿斜向延伸的第一 第四短邊加 池。
在振動(dòng)體2的單面上，層疊有平面形狀為矩形的第一 第四壓電元件3 6，并 通過(guò)未圖示的粘接劑來(lái)粘貼。這里，矩形的壓電元件3 6的矩形長(zhǎng)邊沿第一 第四長(zhǎng)邊 加 2(1設(shè)置。
像圖5 (b)中以壓電元件3為代表進(jìn)行說(shuō)明的那樣，壓電元件3具有壓電體7、以及 在壓電體7的兩面形成的一對(duì)電極8、9。壓電體7由鋯鈦酸鉛類壓電陶瓷形成。上述壓電 體7并不限于鋯鈦酸鉛類壓電陶瓷，也可以是由聚偏氟乙烯、氮化鋁等其他壓電材料形成 的壓電體。上述壓電體7在厚度方向上進(jìn)行極化處理。
電極8、9由Al、Cu、Ag、Ag-Pd合金等適當(dāng)?shù)慕饘俨牧闲纬伞?br> 相對(duì)的第一、第二壓電元件3、4的壓電體在厚度方向上以成相反方向的方式進(jìn)行 極化處理。同樣地，相對(duì)的第三、第四壓電元件5、6的壓電體也在厚度方向上沿相反方向進(jìn) 行極化處理。
在壓電元件3 6中，相對(duì)的第一、第二壓電元件3、4是用于構(gòu)成A相驅(qū)動(dòng)部的壓 電元件，第三、第四壓電元件5、6是用于構(gòu)成B相驅(qū)動(dòng)部的壓電元件。關(guān)于A相驅(qū)動(dòng)部，對(duì) 壓電元件標(biāo)注A+或A-來(lái)示出，關(guān)于構(gòu)成B相驅(qū)動(dòng)部的壓電元件，標(biāo)注B+或B-。所謂A+和 A-，是指壓電體在厚度方向上沿相反方向進(jìn)行極化。對(duì)于B相驅(qū)動(dòng)部，也采用相同的結(jié)構(gòu)。
上述第1 第四壓電元件3 6具有矩形的平面形狀。因而，能夠廉價(jià)且高效地 進(jìn)行制造。但是，在本發(fā)明中，壓電元件3 6也可以具有矩形以外的平面形狀、例如扇形 等平面形狀。壓電元件3 6具有相同的平面形狀。在壓電元件3 6中，設(shè)以壓電元件 3為代表進(jìn)行說(shuō)明。
將連接壓電元件3的第一、第二短邊的中點(diǎn)與中心0的假想線分別設(shè)為假想線E1、 E2。假想線E1、E2形成的角度、即中心角是60°。換言之，壓電元件3的第一、第二短邊的 中點(diǎn)之間的距離L與上述中心角60°相對(duì)應(yīng)。在本實(shí)施方式中，三波的駐波被激振，合成而 得到三波的行波。在將與三波的行波的波長(zhǎng)長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)的中心角設(shè)為λ θ時(shí)，距離L的尺 寸與λ 0/2的中心角相對(duì)應(yīng)。第二 第四的壓電元件4 6的尺寸也設(shè)為相同。
之所以用中心角來(lái)規(guī)定上述壓電元件的尺寸，是由于壓電元件的上述尺寸隨離中 心的徑向距離而改變。即，由于上述假想線El、Ε2之間的距離隨徑向位置而改變，因此，壓 電元件的尺寸是以中心角為基準(zhǔn)來(lái)呈現(xiàn)。
另外，在本說(shuō)明書(shū)中，所謂上述周向，是指在振動(dòng)體中產(chǎn)生的兩個(gè)駐波以及通過(guò)合 成該兩個(gè)駐波而產(chǎn)生的行波旋轉(zhuǎn)的方向。此外，所謂有關(guān)規(guī)定上述中心角的中心，是指上述 行波旋轉(zhuǎn)的方向的中心。關(guān)于這點(diǎn)，之后再參照?qǐng)D1進(jìn)一步詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。
而且，相鄰壓電元件之間的間隔、即沿上述周向的尺寸與上述中心角為30°相當(dāng)。 例如，圖4(a)的假想線Ε2、和將與壓電元件3相鄰的壓電元件5的壓電元件3 —側(cè)的短邊 中心和中心0連接的假想線Ε3的間隔是以中心角為λ0/4 = 3Ο°。
因而，相鄰的壓電元件3、5之間沿周向相隔開(kāi)λ 0/4的中心角。
另外，在本實(shí)施方式中，由于具有八邊形的形狀，因此，在短邊2e 池所在的區(qū) 域，外形尺寸較小。即，上述八邊形的形狀與將正方形的四個(gè)轉(zhuǎn)角部分倒角后的形狀相當(dāng)。 因而，與上述正方形相比，該八邊形的外形尺寸更小，能更小型化。在倒角的部分，環(huán)狀振動(dòng) 體的寬度如箭頭G所示那樣向內(nèi)部擴(kuò)展，從而與其他部分相同。
但是，在對(duì)外形無(wú)限制的情況下，無(wú)需倒角。因而，外周形狀和內(nèi)周形狀也可以具 有正方形的形狀。
環(huán)狀的振動(dòng)體優(yōu)選的是對(duì)于中心0呈點(diǎn)對(duì)稱的形狀。由此，能更可靠地產(chǎn)生沿中 心0的周圍行進(jìn)的行波。此外，驅(qū)動(dòng)力也難以產(chǎn)生偏差。因而，即使組合的定子產(chǎn)生制造偏 差、或者對(duì)轉(zhuǎn)子的加壓接觸力不平衡，也不會(huì)受到它們的影響。關(guān)于對(duì)于中心0呈點(diǎn)對(duì)稱的 形狀，并無(wú)特別限定。即，振動(dòng)體的外形可以是對(duì)于中心0呈點(diǎn)對(duì)稱的各種形狀。在是環(huán)狀 的情況下，內(nèi)邊緣的形狀也同樣優(yōu)選的是對(duì)于中心0呈點(diǎn)對(duì)稱的形狀。
優(yōu)選的是像本實(shí)施方式那樣，在環(huán)狀的振動(dòng)體中，在其周向上，寬度方向尺寸設(shè)成 固定，由此能高效地產(chǎn)生行波。
在本實(shí)施方式中，壓電元件3 6的下面?zhèn)鹊碾姌O8即和振動(dòng)體2接觸的一側(cè)的 電極8與接地電位相連接，在與相反側(cè)的電極9之間，例如通過(guò)連接引線等來(lái)施加作為驅(qū)動(dòng) 電壓的高頻電壓。另外，并不限于引線，也可以將柔性基板等具有柔性的電連接構(gòu)件壓接在兩面的電極上。
如圖5(a)所示的那樣，在振動(dòng)體2的上述相鄰的壓電元件3 6之間的間隔內(nèi)， 設(shè)置有向上方突出的觸點(diǎn)11作為位移擴(kuò)大結(jié)構(gòu)。觸點(diǎn)11在本實(shí)施方式中是圓柱狀，但也 可以是棱柱狀。
如圖6所示那樣，在本實(shí)施方式的超聲波電動(dòng)機(jī)中，上述定子1固定在保持板12 的上表面。圖8是保持板12的俯視圖。保持板12具有從中心向外側(cè)延伸的多個(gè)保持片 12a。由于在多個(gè)保持片1 之間設(shè)置有間隙，因此，可以在保持板12上以不防礙定子1的 壓電元件3 6中的激振的方式保持定子1。返回至圖6，保持板12的中心側(cè)隔開(kāi)不防礙 其振動(dòng)的間隔17，使用螺栓13固定于保持構(gòu)件14。保持構(gòu)件14固定在基板15的上表面。
另一方面，在定子1的上表面上，以與上述定子1相對(duì)的方式配置有轉(zhuǎn)子16。轉(zhuǎn)子 16的下表面壓接在上述觸點(diǎn)11的上端。
在驅(qū)動(dòng)時(shí)，若在由彈性體形成的環(huán)狀振動(dòng)體2中產(chǎn)生行波，則觸點(diǎn)11的前端如圖 7所示的那樣進(jìn)行更大的橢圓運(yùn)動(dòng)。因而，觸點(diǎn)11的前端的位移比在振動(dòng)體2中產(chǎn)生的行 波所導(dǎo)致的位移更大。因而，能有效地將壓接在觸點(diǎn)11的前端的轉(zhuǎn)子16旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，得到更 大的驅(qū)動(dòng)速度。
上述觸點(diǎn)11由耐磨性優(yōu)良的陶瓷、例如氧化鋁形成，通過(guò)粘接等固定在上述環(huán)狀 振動(dòng)體2的上面。但是，上述觸點(diǎn)11也可以由陶瓷以外的金屬、合成樹(shù)脂形成。此外，觸點(diǎn) 11也可以用和振動(dòng)體2相同的材料與其一體形成。
在這種情況下，也可以通過(guò)對(duì)構(gòu)成振動(dòng)體2的材料進(jìn)行切削加工，來(lái)同時(shí)形成振 動(dòng)體2和觸點(diǎn)11?；蛘?，在振動(dòng)體2由金屬板形成的情況下，也可以通過(guò)對(duì)其一部分進(jìn)行機(jī) 械加工，用中空的突出部來(lái)形成觸點(diǎn)11。
在驅(qū)動(dòng)時(shí)，在第一、第二壓電元件3、4之間，施加相同的三波諧振頻率的高頻電 壓。而且，將與該高頻電壓相位不同的高頻電壓施加到第三、第四壓電元件5、6。在這種情 況下，通過(guò)對(duì)壓電元件3、4或者壓電元件5、6施加的驅(qū)動(dòng)電壓，分別激振得到一個(gè)三波的駐 波。因而，通過(guò)構(gòu)成A相驅(qū)動(dòng)部的壓電元件3、4，激振得到A相的三波駐波，在與連接壓電元 件3、4的方向正交的方向上配置的壓電元件5、6中，激振得到B相的三波駐波。通過(guò)對(duì)該 A相和B相的驅(qū)動(dòng)電壓設(shè)置士90°的相位差，得到作為這些駐波的合成波的行波。在這種 情況下，通過(guò)將相位差設(shè)成+90°或者-90°，能使轉(zhuǎn)子16正轉(zhuǎn)或者反轉(zhuǎn)。
在本實(shí)施方式的超聲波電動(dòng)機(jī)21中，在定子1的與設(shè)置有壓電元件3 6的面相 同的面上形成觸點(diǎn)11。因而，能像圖6所示的那樣，利用振動(dòng)體2的相反側(cè)的面即下表面來(lái) 穩(wěn)定且容易地保持定子1。因而，能實(shí)現(xiàn)保持結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化。而且，利用上述振動(dòng)體2的下表 面?zhèn)?，也容易進(jìn)行接地布線等的走線。
根據(jù)本實(shí)施方式，能廉價(jià)且容易地制造上述環(huán)狀的振動(dòng)體2，僅將壓電元件3 6 粘貼在振動(dòng)體的單面上來(lái)形成定子1。因而，能實(shí)現(xiàn)定子1的制造工序的簡(jiǎn)化以及成本的下 降。而且，如上所述，能實(shí)現(xiàn)保持結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化。
此外，如上所述，由于作為A相驅(qū)動(dòng)部的壓電元件3、4以及構(gòu)成B相驅(qū)動(dòng)部的壓電 元件5、6的尺寸形成為使得一對(duì)短邊的中點(diǎn)間的距離與中心角λ 0/2相對(duì)應(yīng)，因此，與專利 文獻(xiàn)2記載的超聲波電動(dòng)機(jī)相比，能有效地提高效率。通過(guò)參照?qǐng)D1 圖3來(lái)說(shuō)明本發(fā)明 的原理，從而來(lái)闡明這一點(diǎn)。
在圖1所示的定子31中，為了便于說(shuō)明，振動(dòng)體32具有圓環(huán)形狀。之所以利用圓 環(huán)形狀的振動(dòng)體32來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，是為了使得后述駐波的圖示更容易，且使得駐波的產(chǎn)生狀 況更容易理解。
如圖1中示意性地示出的那樣，在圓環(huán)狀的振動(dòng)體32中，隔開(kāi)λ θ/4的間隔配置 有多個(gè)壓電元件33 35。此外，設(shè)壓電元件33 35的上述尺寸是以中心角為λ0/2，在 各自的遍及全長(zhǎng)的部分中，激振得到A波或者B波。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，能得到沿點(diǎn)劃線X所示 的圓環(huán)狀的傳播路線行進(jìn)的、穩(wěn)定的行波。以下對(duì)這點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。
在圖1中，對(duì)于壓電元件34，第一、第二邊34a、34b是矩形的一對(duì)長(zhǎng)邊，第一邊34a 位于中心0側(cè)。第三、第四邊34c、34d是將第一、第二邊34a、34b連接的短邊。所謂壓電元 件的上述尺寸，若以壓電元件34為例，是指第三、第四邊3k、34d的中點(diǎn)之間的距離。
為了使A波和B波各自成為駐波，需要使得一個(gè)壓電元件的周向長(zhǎng)度、以及相鄰壓 電元件間沿周向的間隔的總和即(λ θ/2+λ θ/4)的整數(shù)倍與—致。因而，若設(shè)η為自 然數(shù)，并以中心角進(jìn)行表示，則成為U θ/2+λ θ/4)Χη = 2π,η = 4/3(2π/λ 0)。若設(shè)波 數(shù)為m，則由于2 π/λ θ =m，因此，成為
η = (4/3) m ...式(1)。
根據(jù)上述式(1)，僅在波數(shù)m是3的倍數(shù)時(shí)，η成為自然數(shù)。因而，在環(huán)狀的振動(dòng)體 中，可以激振得到波數(shù)是三個(gè)的三波、波數(shù)是六個(gè)的六波、波數(shù)是九個(gè)的九波等。因而，可以 知道，為了得到3η波，只要將與中心角為λ 0/2對(duì)應(yīng)的上述尺寸的壓電元件配置為如片、 相鄰壓電元件沿周向的間隔配置成以中心角為λ 0/4即可。而且，只要滿足式⑴的關(guān)系， 振動(dòng)體無(wú)需是圓環(huán)狀，可以像上述實(shí)施方式那樣具有八邊形的外形形狀，或者也可以是其 他多邊形狀。而且，可以知道，不一定需要是環(huán)狀，也可以是圓板或多邊形板。
如上所述，由于只要將多個(gè)壓電元件粘貼在由金屬等形成的振動(dòng)體的單面上即 可，因此，不僅能實(shí)現(xiàn)制造成本的下降，而且，由于在粘貼有各壓電元件的部分，在遍及尺寸 是以中心角為λ Jl的全長(zhǎng)的區(qū)域能進(jìn)行激振，因此，能提高效率。
而且，由于在相鄰壓電元件之間形成上述λ θ/4的間隔，因此，容易形成上述觸點(diǎn) 11等位移擴(kuò)大機(jī)構(gòu)。而且，在上述間隔中，也容易安裝反饋傳感器、或者形成布線等。因而， 還可實(shí)現(xiàn)小型化。
在圖2所示的定子41中，在圓環(huán)狀的振動(dòng)體42上，配置一對(duì)第一、第二壓電元件 43,44作為A相驅(qū)動(dòng)部以及一對(duì)第三、第四壓電元件45、46作為B相驅(qū)動(dòng)部。
在圖2中，η=1，壓電元件為4片，激振的波的波數(shù)為3。因而，由于λ θ = 360° /3 =120°，因此，可以知道，只要使各壓電元件33 36沿周向的長(zhǎng)度為相當(dāng)于中心角60° 的周長(zhǎng)即可，只要將壓電元件43 46中相鄰壓電元件之間的間隔配置成以中心角為30° 即可。這種情況下的A波、B波如圖2所示。
由于構(gòu)成A相的多個(gè)壓電元件配置成對(duì)于中心0呈點(diǎn)對(duì)稱，同樣地，構(gòu)成B相的多 個(gè)壓電元件也配置成對(duì)于中心0呈點(diǎn)對(duì)稱，而且，A相驅(qū)動(dòng)部與B相驅(qū)動(dòng)部也配置成對(duì)于中 心0呈點(diǎn)對(duì)稱，因此，振動(dòng)體的制造偏差難以影響A相和B相的振動(dòng)偏差。
圖3表示在使用圓環(huán)狀的振動(dòng)體時(shí)產(chǎn)生六波的情況的結(jié)構(gòu)示例。在這種情況下， 只要使η = 2、將8片壓電元件51 58粘貼在振動(dòng)體的單面即可。激振的波的波數(shù)為6， 因此激振得到六波。在這種情況下，λ 0 = 360° /6 = 60°。因而，可以知道，只要使各壓電元件51 58的尺寸是以中心角為30°、壓電元件之間的間隔是以中心角為15°即可。
在η為3以上的自然數(shù)的情況下，同樣地，也能容易設(shè)定與壓電元件的上述尺寸對(duì) 應(yīng)的中心角以及與壓電元件之間在周向的間隔對(duì)應(yīng)的中心角。
另外，各壓電元件也可以無(wú)需使用單一的壓電體來(lái)形成，而使用層疊有多個(gè)壓電 層的層疊壓電體。在該情況下，能用更低的電壓進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
圖9是表示壓電元件的平面形狀的變形例的示意性俯視圖。在上述實(shí)施方式中， 雖然壓電元件具有矩形的平面形狀，但是，也可以使用像圖9(a)所示那樣的、內(nèi)側(cè)的第一 邊61a和外側(cè)的第二邊61b為圓弧狀的壓電元件。在此，第一邊61a和第二邊61b與駐波 產(chǎn)生的圓環(huán)同心，并且是直徑小于該圓環(huán)的圓和直徑大于該圓環(huán)的圓的一部分。這樣，也可 以使用第一邊61a和第二邊61b為圓弧等曲線的壓電元件61。另外，在圖9(a)中，第一、第 二邊61a、61b是圓弧，第三、第四邊61c、61d是對(duì)于中心0沿徑向延伸的直線的一部分。與 此不同的是，也可以像圖9 (b)所示的壓電元件62那樣，第一、第二邊62a、62b是同樣的圓 弧，但第三、第四邊62c、62d是不通過(guò)中心0的直線的一部分。
此外，也可以使用像圖9 (c)所示那樣的、第一邊63a為直線狀、第二邊6 具有圓 弧等曲線狀的形狀的壓電元件63。使第三、第四邊63c、63d為直線狀。即使在使用這樣的 壓電元件61、62或者63的情況下，也只要使第三、第四邊的中點(diǎn)之間的距離是以中心角為λ θ/2即可。
圖10是用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式2所涉及的超聲波電動(dòng)機(jī)的定子71的示意性 俯視圖。在實(shí)施方式2中，在圓環(huán)狀的定子71的上表面，粘貼有平面形狀為矩形的12片壓 電元件72 83。在此，根據(jù)λ = 360° /9 = 40°，各壓電元件72 83具有與以上述 中心角為λ 0_/2 = 20°對(duì)應(yīng)的尺寸。即，若以壓電元件73為示例，則使通過(guò)其一對(duì)短邊的 中點(diǎn)、且朝向中心0的假想線Ε1、Ε2之間的中心角為20°。這就像利用上述式(1)來(lái)求解 那樣，求解得(360° /9)/2 = 20°。而且，相鄰壓電元件之間的間隔是以中心角為λ 0_/4 =10°。
如圖10所示那樣，上述12片壓電元件72 83每隔一個(gè)用作為構(gòu)成A相驅(qū)動(dòng)部 或者B相驅(qū)動(dòng)部的壓電元件。在圖10中，關(guān)于A相驅(qū)動(dòng)部，對(duì)壓電元件標(biāo)注A+或A-來(lái)表 示，關(guān)于構(gòu)成B相驅(qū)動(dòng)部的壓電元件，標(biāo)注B+或B-。
即，壓電元件72、74、76、78、80、82構(gòu)成A相驅(qū)動(dòng)部。其中，壓電元件72、76、80為 Α+，壓電元件74、78、82為Α-。所謂A+和Α-，是指壓電體在厚度方向上沿相反方向進(jìn)行極 化。對(duì)于B相驅(qū)動(dòng)部，也采用相同的結(jié)構(gòu)。因而，通過(guò)對(duì)A相驅(qū)動(dòng)部和B相驅(qū)動(dòng)部施加具有 士90°的相位差的驅(qū)動(dòng)電壓，能激振波數(shù)為9的九波駐波，通過(guò)A相的九波駐波和B相的九 波駐波的合成波，得到九波行波。
圖11是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3所涉及的超聲波電動(dòng)機(jī)的定子的示意性俯視圖。
在實(shí)施方式1、2中，壓電元件具有與以中心角為λ 0/2對(duì)應(yīng)的尺寸，相鄰壓電元件 隔開(kāi)以中心角為λ 0/4而配置，但是，也可以采用將隔開(kāi)λ 0/4的間隔而配置的一個(gè)壓電元 件分割成與以中心角為λ 0/2的整數(shù)倍相一致的結(jié)構(gòu)。即，也可以在實(shí)施方式1、2的一個(gè)壓 電元件中，將形成于壓電體的兩面的電極中的至少一個(gè)電極進(jìn)行分割。在此，分割成多個(gè)壓 電元件部，使相鄰壓電元件部的極化方向?yàn)橄喾捶较?，壓電元件的尺寸與以中心角為λ Jl 的整數(shù)倍對(duì)應(yīng)。換言之，也可以在一個(gè)壓電元件中，實(shí)質(zhì)上不設(shè)置間隔而配置多個(gè)壓電元件部。在此，在多個(gè)壓電元件中，使極化方向在周向上交替反向，由多個(gè)壓電元件部形成的一 個(gè)壓電元件的尺寸與以中心角為λ θ/2的整數(shù)倍對(duì)應(yīng)。
在將一個(gè)壓電元件分割成k個(gè)(k為自然數(shù))壓電元件部的情況下，成為 (1 ·λ 0/2+λ 0 ·4)η = 2π。因而，由于波數(shù)m = 2 31/λ 0，因此，成為 η = 4A2k+l)m· · ·式 (2).因而，使用如片壓電體，能激振得到波的行波。圖11相當(dāng)于k = 2及n = 2 的情況下的實(shí)施方式。由于Ok+l)n= 10，因此，十波的行波通過(guò)如=4父2 = 8片分別一 分為二的壓電元件來(lái)構(gòu)成。即，壓電元件81 88分別具有第一、第二分割壓電元件部81a、 81b 88a、88b。各壓電元件部如圖示的用A+、A-、B-、B+所示的那樣，在+方向或者-方 向進(jìn)行極化處理。+方向或者-方向表示在壓電體的厚度方向的一個(gè)或者另一個(gè)方向進(jìn)行 極化處理。此外，A+和A-表示是構(gòu)成A相驅(qū)動(dòng)部的壓電元件部，B+和B-表示是構(gòu)成B相 驅(qū)動(dòng)部的壓電元件部。
在此，由于λ 0是以中心角為360° /10 = 36°，因此，成為λ 0/2 = 18°。因而， 一個(gè)壓電元件具有以中心角為18°的尺寸，如圖11所示，由第一、第二壓電元件部形成的 一個(gè)壓電元件具有以中心角為36°的尺寸。另外，成為λ0/4 = 9°。因而，相鄰壓電元件 之間的間隔成為以中心角為9°。
在本實(shí)施方式中，通過(guò)對(duì)驅(qū)動(dòng)A相的電壓和驅(qū)動(dòng)B相的驅(qū)動(dòng)電壓給與士 90°的相 位差進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，激振得到驅(qū)動(dòng)相位不同的各十波的A相駐波和B相駐波，作為它們的合成波 則得到十波的行波。
這樣，在本發(fā)明中，能使用如倍的壓電體來(lái)激振波的行波。換言之，可以 知道，實(shí)施方式1、2相當(dāng)于實(shí)施方式3中的k = 1的情況。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明
1...定子
2...振動(dòng)體
3 6...壓電元件
7...壓電體
8,9...電極
11...觸點(diǎn)
12.. 保持板
12a. ·保持片
13...螺栓
14.. 保持構(gòu)件
15...基板
16.. 轉(zhuǎn)子
17...間隔
21...超聲波電動(dòng)機(jī)
31.. 定子
32.. 振動(dòng)體
33 --36...壓電元件
41.. 定子
42...振動(dòng)體
43 ,46. · ·壓電元件
51 ^ 58...壓電元件
61 -63...壓電元件
61a ‘ 61d...第一 第四邊
62a ‘ 62d...第一 第四邊
63a ‘ 63d...第一 第四邊
71.. 定子
72 ^ 88...壓電元件
權(quán)利要求
1.一種超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，包括 定子和轉(zhuǎn)子，所述定子具有振動(dòng)體，該振動(dòng)體由外邊緣為圓或者多邊形的板狀體形成；及 4n片壓電元件，該如片壓電元件固定在該振動(dòng)體的單面，從而通過(guò)使所述振動(dòng)體振動(dòng) 來(lái)產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)地行進(jìn)的3η波(η為自然數(shù))的行波，并且，該如片壓電元件沿所述行波旋轉(zhuǎn) 的方向即周向分散配置，在設(shè)與該所述行波的波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的圍繞所述周向中心的中心角為λ θ時(shí)，各壓電元件具 有與以中心角為λ 0/2對(duì)應(yīng)的尺寸，并且相鄰壓電元件之間沿所述周向隔開(kāi)與以中心角為 λ 0/4對(duì)應(yīng)的間隔而配置，各壓電元件具有壓電體、及形成于壓電體的兩面的一對(duì)電極，在如片壓電元件中，壓 電元件的壓電體與在所述周向的一側(cè)相鄰的壓電元件的壓電體在厚度方向上沿同一方向 進(jìn)行極化，而與在所述周向的另一側(cè)相鄰的壓電元件的壓電體在厚度方向上沿相反方向進(jìn) 行極化處理，所述轉(zhuǎn)子配置成與所述定子接觸，接受由定子產(chǎn)生的3η波的行波所引起的振動(dòng)以進(jìn) 行旋轉(zhuǎn)。
2.一種超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，包括 定子和轉(zhuǎn)子，所述定子具有振動(dòng)體，該振動(dòng)體由外邊緣為圓或者多邊形的板狀體形成；及如片(η為自然數(shù))壓電元件，該如片壓電元件固定在該振動(dòng)體的單面，從而通過(guò)使所 述振動(dòng)體振動(dòng)來(lái)產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)地行進(jìn)的波(其中，k、n為自然數(shù))的行波，并且，該如 片壓電元件沿所述振動(dòng)體的所述行波旋轉(zhuǎn)的方向即周向分散配置，所述各壓電元件具有壓電體、及形成于壓電體的兩面的一對(duì)電極，各壓電元件的壓電 體具有在所述周向上并排設(shè)置的k個(gè)極化區(qū)域，在設(shè)與產(chǎn)生的行波的波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的圍繞所述 周向中心的中心角為λ θ時(shí)，各極化區(qū)域具有與以中心角為λ 0/2對(duì)應(yīng)的尺寸，并且相鄰壓 電元件隔開(kāi)與以所述中心角為λ 0/4對(duì)應(yīng)的間隔而配置，相鄰極化區(qū)域在厚度方向上沿相 反方向進(jìn)行極化處理，在所述如片壓電元件中，所述壓電元件的k個(gè)極化區(qū)域的極化方向、 與在周向的一側(cè)相鄰的壓電元件的k個(gè)極化區(qū)域的極化方向相同，而與在另一側(cè)相鄰的壓 電元件的k個(gè)極化區(qū)域的極化方向成相反極性，并產(chǎn)生波的行波，所述轉(zhuǎn)子與所述定子接觸，接受由該定子產(chǎn)生的所述行波所引起的振動(dòng)以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，所述多個(gè)壓電元件配置成對(duì)于所述振動(dòng)體的單面的中心呈點(diǎn)對(duì)稱。
4.如權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，所述壓電元件具有位于所述振動(dòng)體的中心側(cè)的第一邊、與第一邊相對(duì)的第二邊、以及 連接第一邊和第二邊的第三邊和第四邊。
5.如權(quán)利要求4所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于， 所述壓電元件具有矩形的平面形狀。
6.如權(quán)利要求5所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，在所述矩形中，第三邊的中點(diǎn)與第四邊的中點(diǎn)的距離的尺寸與以所述中心角為λ Jl對(duì)應(yīng)。
7.如權(quán)利要求1至6的任一項(xiàng)所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于， 還包括保持所述振動(dòng)體的保持構(gòu)件。
8.如權(quán)利要求7所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，所述保持構(gòu)件與所述振動(dòng)體的第一面連結(jié)，并使所述振動(dòng)體的與第一面成相反側(cè)的第 二面?zhèn)瘸蔀樗稣駝?dòng)體與所述轉(zhuǎn)子接觸的部分。
9.如權(quán)利要求8所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，在所述振動(dòng)體的與所述轉(zhuǎn)子接觸的一側(cè)的面上，還包括以從所述振動(dòng)體的表面突出的 方式設(shè)置的觸點(diǎn)。
10.如權(quán)利要求1至9所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于， 所述振動(dòng)體具有環(huán)狀的平面形狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種超聲波電動(dòng)機(jī)，該超聲波電動(dòng)機(jī)容易制造，效率高，且轉(zhuǎn)子要接觸的部分的限制較少，能實(shí)現(xiàn)保持結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化。超聲波電動(dòng)機(jī)包括定子(1)和轉(zhuǎn)子，所述定子(1)在外邊緣為圓或者多邊形的振動(dòng)體(2)的單面上，沿外邊緣的延伸方向粘貼有n片(n為自然數(shù))壓電元件(3～6)，在設(shè)產(chǎn)生的行波的波長(zhǎng)為λθ時(shí)，各壓電元件(3～6)具有與以中心角為λθ/2對(duì)應(yīng)的尺寸，并且相鄰壓電元件之間沿上述周向隔開(kāi)與以中心角為λθ/4對(duì)應(yīng)的間隔而配置，相鄰壓電元件(3～6)在厚度方向上沿相反方向進(jìn)行極化處理，所述轉(zhuǎn)子配置成與定子(1)接觸，接受由定子(1)產(chǎn)生的3n波的行波所引起的振動(dòng)以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
文檔編號(hào)H02N2/00GK102037638SQ20098011844
公開(kāi)日2011年4月27日 申請(qǐng)日期2009年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月27日
發(fā)明者淺野宏志 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所