藍(lán)寶石襯底的制作方法
【專利摘要】藍(lán)寶石襯底，包括襯底本體，在襯底本體上表面相互嵌套地設(shè)置有用于生長緩沖層的第一凸起和第二凸起，所述第一凸起具有第一分布周期，第二凸起具有第二分布周期，所述第一凸起呈圓臺(tái)狀外形，第二凸起呈圓錐狀外形，第一凸起的底面直徑大于第二凸起的底面直徑，第一凸起的高度大于第二凸起的高度，在第一凸起和第二凸起的側(cè)壁上形成有DBR膜系；各圓臺(tái)狀凸起之間的間距較大，可以生長外延片，有利于提高外延片的生長質(zhì)量，各圓錐狀凸起之間的間距較小，有利于光的多次反射，提高光的提取效率；通過雙周期的圖形化藍(lán)寶石襯底，形成了緩沖層的疊加優(yōu)化，從而使后續(xù)外延生長的外延片質(zhì)量以及光的提取效率得到同步提高。
【專利說明】
藍(lán)寶石襯底
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，特別是涉及一種藍(lán)寶石襯底。【背景技術(shù)】
[0002]隨著人們生活水平的提高，環(huán)保意識(shí)的增強(qiáng)，對(duì)家具環(huán)境、休閑和舒適度追求的不斷提高，燈具燈飾也逐漸由單純的照明功能，轉(zhuǎn)向照明和裝飾共存的局面，LED取代傳統(tǒng)光源進(jìn)入人們的日常生活成為必然之勢;現(xiàn)有藍(lán)寶石晶片的襯底表面設(shè)有圓錐狀凸塊陣列， 但是若圓錐狀凸塊間距較小，則不利于外延在在圓錐狀凸塊之間的生長，若圓錐狀凸塊間距較大，則不利于光的反射，影響光的提取效率。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種藍(lán)寶石襯底，其不僅有利于提尚后續(xù)外延片的生長質(zhì)量，還可以進(jìn)一步提尚光的提取效率。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是:所述藍(lán)寶石襯底包括襯底本體，在襯底本體上表面相互嵌套地設(shè)置有用于生長緩沖層的第一凸起和第二凸起，所述第一凸起具有第一分布周期，第二凸起具有第二分布周期，所述第一凸起呈圓臺(tái)狀外形，第二凸起呈圓錐狀外形，第一凸起的底面直徑大于第二凸起的底面直徑，第一凸起之間的間距大于第二凸起之間的間距，在第一凸起和第二凸起的側(cè)壁上形成有DBR膜系。
[0005]優(yōu)選的，在襯底本體的背面粗糙層為0.5微米。
[0006]優(yōu)選的，第一凸起底面直徑為10微米，第二凸起的底面直徑為為5-7微米。
[0007]優(yōu)選的，所述DBR膜系由S1和Ti02兩種材料層疊形成，所述DBR膜系為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu)，所述DBR膜系的外層為S1，所述DBR膜系的內(nèi)層為Ti02。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型相鄰各圓臺(tái)狀凸起之間的間距較大，可以生長外延片，有利于提高外延片的生長質(zhì)量，各圓錐狀凸起之間的間距較小，有利于光的多次反射，提高光的提取效率;通過雙周期的圖形化藍(lán)寶石襯底，形成了緩沖層的疊加優(yōu)化， 從而使后續(xù)外延生長的外延片質(zhì)量以及光的提取效率得到同步提高。【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)不意圖；[0〇1〇]圖2為本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)不意圖。圖中:[〇〇11 ]1.襯底本體，2.背面粗糙層，3.DBR膜系，4.第一凸起，5.第二凸起?！揪唧w實(shí)施方式】
[0012]下面通過具體實(shí)施例進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。
[0013]如圖1-2所示:藍(lán)寶石襯底，包括襯底本體1，在襯底本體1上表面相互嵌套地設(shè)置有用于生長緩沖層的第一凸起4和第二凸起5,所述第一凸起4具有第一分布周期，第二凸起5具有第二分布周期，所述第一凸起4呈圓臺(tái)狀外形，第二凸起5呈圓錐狀外形，第一凸起4的底面直徑大于第二凸起5的底面直徑，第一凸起4之間的間距大于第二凸起5之間的間距，第一凸起4的底面直徑為10微米，第二凸起5的底面直徑為6微米;各圓臺(tái)狀凸起之間的間距較大，可以生長外延片，有利于提高外延片的生長質(zhì)量，各圓錐狀凸起之間的間距較小，有利于光的多次反射，提高了光的提取效率;在第一凸起4和第二凸起5的側(cè)壁上形成有DBR膜系 3，所述DBR膜系3由S1和Ti02兩種材料層疊形成，所述DBR膜系3為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu)，所述DBR 膜系3的外層為S1,所述DBR膜系3的內(nèi)層為Ti02;本實(shí)用新型將圖形化襯底技術(shù)和DBR技術(shù)有機(jī)地結(jié)合在一起，能夠更有效地提高LED的發(fā)光效率，在襯底本體1的背面粗糙層2的粗糙度為0.5微米，與研磨機(jī)的載臺(tái)結(jié)合緊密，做PSS的成品率比較高；同時(shí)易于清洗。
[0014]除說明書所述技術(shù)特征外，均為本專業(yè)技術(shù)人員已知技術(shù)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.藍(lán)寶石襯底，其特征在于包括襯底本體(1)，在襯底本體(1)上表面相互嵌套地設(shè)置 有用于生長緩沖層的第一凸起(4)和第二凸起(5)，所述第一凸起(4)具有第一分布周期，第 二凸起(5)具有第二分布周期，所述第一凸起(4)呈圓臺(tái)狀外形，第二凸起(5)呈圓錐狀外 形，第一凸起(4)的底面直徑大于第二凸起(5)的底面直徑，第一凸起(4)之間的間距大于第 二凸起(5)之間的間距，在第一凸起和(4)第二凸起(5)的側(cè)壁上形成有DBR膜系(3)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底，其特征在于所述襯底本體(1)的背面粗糙層粗糙 度為0.5微米。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底，其特征在于第一凸起(4)底面直徑為10微米，第 二凸起(5)的底面直徑為5-7微米。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底，其特征在于所述DBR膜系(3)為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu)，所 述DBR膜系(3)的外層為S1，所述DBR膜系(3)的內(nèi)層為Ti02。
【文檔編號(hào)】H01L33/20GK205595363SQ201620401735
【公開日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年5月3日
【發(fā)明人】丁澤, 何亞東, 房觀耀
【申請(qǐng)人】元鴻（山東）光電材料有限公司