專利名稱：制造無源矩陣有機(jī)電致發(fā)光器件的方法、該器件及其設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體涉及無源矩陣有機(jī)電致發(fā)光器件(PMOLED, Passive Matrix Organic Electroluminescent Device)領(lǐng)域,更具體地,涉及利用隔離柱的制造PMOLED的方法、利用該方法制造的PMOLED及包括該P(yáng)MOLED的顯示設(shè)備。
背景技術(shù)：
典型的有機(jī)電致發(fā)光器件(OLED,Organic Electroluminescent Device)通常包括基板、在基板上形成的第一顯示電極層、在第一顯示電極層上形成的功能層以及在功能層上形成的第二顯示電極層。功能層由合適的有機(jī)電致發(fā)光(EL)介質(zhì)構(gòu)成。第一顯示電極層包括相互分隔開的多個(gè)第一顯示電極，第二顯示電極層包括相互分隔開的多個(gè)第二顯示電極。通過在OLED的第一顯示電極和第二顯示電極之間施加電壓，利用有機(jī)EL介質(zhì)的電致發(fā)光效應(yīng)，使OLED發(fā)光。近些年，采用隔離柱技術(shù)制造PMOLED的方案已被提出并得到廣泛應(yīng)用。圖I示意性示出了利用這樣的方案形成的示例性PMOLED的結(jié)構(gòu)。圖I中所示的PMOLED可通過以下過程形成。首先，在基板I上形成一組相互平行并相互間隔開的、條狀的第一顯示電極(也稱為“陽(yáng)極”)2。然后，在形成有第一顯示電極2的基板I上形成與所述第一顯示電極垂直的一組相互平行并相互間隔開的條狀的隔離柱4，如圖I中所示，每個(gè)隔離柱4具有呈倒梯形形狀的橫截面。之后，在形成有隔離柱4的基板I上依次沉積功能層5和第二顯示電極層6。在該沉積步驟中，由于陰影效應(yīng)，在隔離柱4的側(cè)面上并不形成連續(xù)的沉積材料，由此，第二顯示電極層6由隔離柱有效地分隔成一組相互不連接的條狀的第二顯示電極(也稱為“陰極”)，功能層5亦如此。在PMOLED領(lǐng)域，多種形成具有呈倒梯形形狀的橫截面的隔離柱——如圖I中所示的隔離柱4——的方法是已知的。例如，美國(guó)專利US 5，701，055和公告號(hào)為CN 100372146C 的中國(guó)專利中均記載了這方面的內(nèi)容，這些專利的內(nèi)容在此通過引用的方式被全部納入本文。根據(jù)上文的描述清楚的是，在采用隔離柱技術(shù)制作PMOLED的情況下，隔離柱可以起到阻隔的作用，使一次沉積到基板上的例如第二顯示電極材料自動(dòng)形成相互不連接的多個(gè)第二顯示電極。另外，在對(duì)其上形成有第一、第二顯示電極及位于其間的功能層的基板進(jìn)行封裝時(shí)，隔離柱可起到支撐的作用，例如可防止封裝片或干燥片對(duì)功能層產(chǎn)生影響。為使隔離柱有效地起到上述作用，隔離柱本身的設(shè)計(jì)非常關(guān)鍵。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供利用隔離柱的制造PMOLED的優(yōu)化方法以及利用該方法制造的 PMOLED和包括該P(yáng)MOLED的顯示設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種利用隔離柱的制造PMOLED的方法，該方法包括
在基板上形成相互平行并相互間隔開的一組第一顯示電極；在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱，所述一組單層隔離柱相互平行并相互間隔開，且垂直于所述一組第一顯示電極，每個(gè)所述單層隔離柱在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈倒梯形形狀的橫截面；以及在形成有所述一組第一顯示電極和一組單層隔離柱的基板上依次沉積功能層和第二顯示電極層，其中所述橫截面的每個(gè)側(cè)邊與所述基板成45度-70度的角。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種利用隔離柱的制造PMOLED的方法，該方法包括在基板上形成相互平行并相互間隔開的一組第一顯示電極；在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組各具有上層和下層的雙層隔離柱，所述一組雙層隔離柱相互平行并相互間隔開，且垂直于所述一組第一顯示電極，每個(gè)所述雙層隔離柱的上層在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈倒梯形形狀的橫截面；以及在形成有所述一組第一顯示電極和一組雙層隔離柱的基板上依次沉積功能層和第二顯示電極層，其中所述橫截面的每個(gè)側(cè)邊與所述基板成45度-70度的角。根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供一種根據(jù)本發(fā)明第一方面或第二方面的方法制造的 PMOLEDo根據(jù)本發(fā)明的第四方面，提供一種有機(jī)電致發(fā)光顯示設(shè)備，該顯示設(shè)備包括根據(jù)本發(fā)明第三方面的PMOLED。利用根據(jù)本發(fā)明的方法，可容易地使隔離柱成型。另外，根據(jù)本發(fā)明的隔離柱可起到良好的對(duì)第二顯示電極進(jìn)行分隔的作用，且不易倒塌，可有效防止第二顯示電極與第一顯示電極短路或鄰近的第二顯示電極相連(即，行連)。


通過下文結(jié)合附圖的詳細(xì)描述，將更好地理解本發(fā)明。在附圖中圖I示意性示出了采用單層隔離柱技術(shù)形成的示例性PMOLED的結(jié)構(gòu)；圖2示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的一示例性單層隔離柱或一示例性雙層隔離柱的上層的橫截面；圖3示意性示出了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中形成的單層隔離柱；圖4示意性示出了在本發(fā)明的另一實(shí)施例中形成的單層隔離柱；圖5示意性示出了在本發(fā)明的又一實(shí)施例中形成的單層隔離柱；圖6a和6b示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的單層隔離柱的正常橫截面和不希望的異常橫截面。應(yīng)理解，這些附圖僅出于示例和說明的目的，未必按比例繪制。
具體實(shí)施例方式在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案中，利用隔離柱的制造PMOLED的方法可包括以下步驟:I)在一基板上形成相互平行并相互間隔開的一組第一顯示電極(也稱為“陽(yáng)極”);2)在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成相互平行并相互間隔開的一組單層隔離柱，使得所述一組單層隔離柱垂直于所述一組第一顯示電極，并且每個(gè)所述單層隔離柱在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈倒梯形形狀的橫截面；3)在形成有所述一組第一顯示電極和一組單層隔離柱的基板上依次沉積功能層和第二顯示電極層。根據(jù)本發(fā)明，在步驟2)中，使得每個(gè)單層隔離柱的上述橫截面的每個(gè)側(cè)邊與基板成45度至70度的角。如本領(lǐng)域技術(shù)人員理解的，在上述步驟3)中，由于隔離柱的存在，功能層被分隔成相互不連接的一組功能層部分，第二顯示電極層被分隔成相互不連接的一組第二顯示電極(也稱為“陰極”)，且每個(gè)功能層部分和第二顯示電極垂直于第一顯示電極。圖2示意性示出了如上述步驟2)中形成的根據(jù)本發(fā)明的一示例性單層隔離柱的橫截面。如圖2中所示，該橫截面呈倒梯形形狀，具有寬度為a的上底、寬度為b的下底以及兩個(gè)側(cè)邊，其中b< a。圖2中左邊的側(cè)邊與下底的延長(zhǎng)線所成的銳角0 1對(duì)應(yīng)于該側(cè)邊與基板所成的角(下稱“第一隔離柱角度”)，右邊的側(cè)邊與下底的延長(zhǎng)線所成的銳角92 對(duì)應(yīng)于該側(cè)邊與基板所成的角(下稱“第二隔離柱角度”)。根據(jù)本發(fā)明，第一隔離柱角度和第二隔離柱角度均在45度至70度的范圍內(nèi)。另外，根據(jù)具體情況，第一隔離柱角度和第二隔離柱角度可以相等或不相等。在本發(fā)明的制造PMOLED的方法中，隔離柱的厚度，即圖2中所示的倒梯形橫截面的高度h，可在3-3. 5微米的范圍內(nèi)，例如可為3. 3微米。另外，隔離柱的寬度，即圖2中所示的倒梯形橫截面的下底寬度b，可為10微米。在一個(gè)實(shí)施例中，可通過以下步驟2. 1)-2. 3)在形成有所述第一顯示電極的基板上形成所述一組單層隔離柱。需要說明的是，該實(shí)施例是示例性的，而非限制性的；亦可以其它合適方法在形成有所述第一顯示電極的基板上形成單層隔離柱。在步驟2. I)中，在形成有所述一組第一顯示電極的基板上涂覆預(yù)定厚度的隔離柱膠。在步驟2. 2)中，預(yù)烘烤所述隔離柱膠。在步驟2. 3)中，對(duì)所述隔離柱膠曝光、顯影以形成所述一組單層隔離柱。在步驟2. I)中，隔離柱膠的預(yù)定厚度可根據(jù)期望獲得的單層隔離柱的高度和第一、第二隔離柱角度等確定。根據(jù)情況，該預(yù)定厚度可被選擇為比期望獲得的單層隔離柱的高度大，例如大10% -20%。優(yōu)選地，該預(yù)定厚度可被選擇為3. 7微米。根據(jù)本發(fā)明，粘度大于15厘泊的隔離柱膠是優(yōu)選的；選擇這樣的隔離柱膠可便于實(shí)現(xiàn)期望的隔離柱角度。根據(jù)本發(fā)明，顏色較深的、不透明的隔離柱膠是優(yōu)選的；選擇這樣的隔離柱膠可有利于防止最終得到的PMOLED漏光以及提高器件的整體對(duì)比度。在步驟2.2)中，可在一溫度范圍內(nèi)以逐漸升高的溫度預(yù)烘烤所述隔離柱膠。例如，可在常溫下開始該預(yù)烘烤步驟，并在該預(yù)烘烤步驟期間逐漸升高溫度直到溫度升高到例如100°C。例如，可在25-100°C的范圍內(nèi)以逐漸升高的溫度預(yù)烘烤所述隔離柱膠。下面以示例的、非限制性的方式對(duì)步驟2. 3)進(jìn)行詳細(xì)描述。首先，在將具有預(yù)定圖案的掩模布置于所述隔離柱膠之上的情況下對(duì)所述隔離柱膠曝光。在隔離柱膠為負(fù)型隔離柱膠的情況下，該掩模具有的圖案及被布置的方式使得與所要獲得的單層隔離柱對(duì)應(yīng)的隔離柱膠被暴露，其余隔離柱膠被掩模覆蓋。在隔離柱膠為正型隔離柱膠的情況下，該掩模具有的圖案及被布置的方式使得與所要獲得的單層隔離柱對(duì)應(yīng)的隔離柱膠被掩模覆蓋，其余隔離柱膠被暴露。曝光量可以垂直于基板的方式從基板上方施加。所施加的曝光量可基于所要獲得的單層隔離柱的第一、第二隔離柱角度確定。在其它方面相同的情況下，所施加的曝光量越大，得到的隔離柱角度越大。然后，以一定濃度的顯影液以一定的速度對(duì)曝光后的隔離柱膠顯影，使不需要的隔離柱膠全部被去除即可。在隔離柱膠為負(fù)型隔離柱膠的情況下，可在對(duì)曝光后的隔離柱膠顯影之前，烘烤該隔離柱膠。可在較低的初始溫度下開始該烘烤步驟，然后逐漸將溫度升高到較高的最終烘烤溫度；這樣可有利于確保最終形成的單層隔離柱從上到下是平滑過渡的，即最終形成的單層隔離柱具有如圖6a所示的倒梯形橫截面，而非具有如圖6b所示的異常形狀的橫截面。優(yōu)選以從低溫到高溫的順序在多個(gè)遞增的溫度下執(zhí)行該烘烤步驟。例如，可先在第一溫度下烘烤隔離柱膠一段時(shí)間，接著在第二溫度下烘烤隔離柱膠一段時(shí)間， 接著在第三溫度下烘烤隔離柱膠一段時(shí)間，最后在第四溫度下烘烤隔離柱膠一段時(shí)間，其中所述的第一、第二、第三和第四溫度遞增，例如可分別為40°C、60°C、80°C、100°C。優(yōu)選地，在執(zhí)行上述步驟2. I)之前，對(duì)形成有所述一組第一顯示電極的基板進(jìn)行清洗(包括藥液清洗和紫外線(UV)清洗)。藥液清洗主要是去除基板表面的無機(jī)物。UV清洗主要是去除基板表面的有機(jī)物。根據(jù)本發(fā)明，將UV清洗的能量控制在合適的量，以免因能量過大而導(dǎo)致之后形成的隔離柱與基板表面的(聚酰亞胺，PI)絕緣層結(jié)合不好而倒塌。另外，優(yōu)選地，在執(zhí)行上述步驟2. 3)之后，固烤所形成的單層隔離柱；這樣可使隔離柱更加牢固。例如，可在例如220-230°C的溫度下對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方案中，利用隔離柱的制造PMOLED的方法可包括以下步驟11)在一基板上形成相互平行并相互間隔開的一組第一顯示電極(也稱為“陽(yáng)極”);22) 在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成相互平行并相互間隔開的一組各具有上層和下層的雙層隔離柱，使得所述一組雙層隔離柱垂直于所述一組第一顯示電極，并且每個(gè)所述雙層隔離柱的上層在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈倒梯形形狀的橫截面；33)在形成有所述一組第一顯示電極和一組雙層隔離柱的基板上依次沉積功能層和第二顯示電極層。根據(jù)本發(fā)明，在步驟22)中，使得每個(gè)雙層隔離柱的上層的上述橫截面的每個(gè)側(cè)邊與基板成45度至70度的角。如本領(lǐng)域技術(shù)人員理解的，在上述步驟33)中，由于隔離柱的存在，功能層被分隔成相互不連接的一組功能層部分，第二顯示電極層被分隔成相互不連接的一組第二顯示電極(也稱為“陰極”)，且每個(gè)功能層部分和第二顯示電極垂直于第一顯示電極。在上述步驟22)中形成的根據(jù)本發(fā)明的一示例性雙層隔離柱的上層的橫截面在圖2中示意性示出。如圖2中所示，該橫截面呈倒梯形形狀，具有寬度為a的上底、寬度為 b的下底以及兩個(gè)側(cè)邊，其中b< a。圖2中左邊的側(cè)邊與下底的延長(zhǎng)線所成的銳角0 1對(duì)應(yīng)于該側(cè)邊與基板所成的角(下稱“第一隔離柱角度”)，右邊的側(cè)邊與下底的延長(zhǎng)線所成的銳角9 2對(duì)應(yīng)于該側(cè)邊與基板所成的角(下稱“第二隔離柱角度”)。根據(jù)本發(fā)明，第一隔離柱角度和第二隔離柱角度均在45度至70度的范圍內(nèi)。另外，根據(jù)具體情況，第一隔離柱角度和第二隔離柱角度可以相等或不相等。在本發(fā)明的利用雙層隔離柱的制造PMOLED的方法中，雙層隔離柱的上層的厚度，即圖2中所示的倒梯形橫截面的高度h，可在3-3. 5微米的范圍內(nèi)，例如可為3. 3微米。另外，雙層隔離柱的上層的寬度，即圖2中所示的倒梯形橫截面的下底寬度b，可為10微米。根據(jù)本發(fā)明，每個(gè)雙層隔離柱的下層在平行于所述一組第一顯示電極的方向上可具有呈例如矩形形狀、正梯形形狀或其它合適形狀的橫截面。利用雙層隔離柱，可便于形成具有較高高度的隔離柱，可有利于后續(xù)的功能層沉積。在形成有所述第一顯示電極的基板上形成所述一組雙層隔離柱的過程可部分參照前文的有關(guān)在形成有所述第一顯示電極的基板上形成所述一組單層隔離柱的內(nèi)容。本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本申請(qǐng)的教導(dǎo)，可以多種合適方式實(shí)現(xiàn)在形成有所述第一顯示電極的基板上形成所述一組雙層隔離柱。實(shí)施例I及相關(guān)測(cè)試在該實(shí)施例中，通過以下過程形成PMOLED。首先，在一透明基板上形成相互平行并相互間隔開的一組透明的第一顯示電極 (也稱為“陽(yáng)極”)。然后，通過以下步驟在該透明基板上形成相互平行并相互間隔開的且垂直于所述一組第一顯示電極的一組絕緣的單層隔離柱，使得每個(gè)單層隔離柱在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈倒梯形形狀的橫截面在所述透明基板上涂覆一定厚度的負(fù)型隔離柱膠；從常溫開始以逐漸升高的、最高達(dá)100°C的溫度預(yù)烘烤所述隔離柱膠；利用掩模，以垂直于基板的方式從基板上方對(duì)所述隔離柱膠曝光，該掩模具有的圖案及被布置的方式使得與所要獲得的單層隔離柱對(duì)應(yīng)的隔離柱膠被暴露，其余隔離柱膠被掩模覆蓋；以從低溫到高溫的順序分別在40°c、60°c、80°c、10(rc的溫度下烘烤隔離柱膠；對(duì)隔離柱膠顯影，以形成所述一組單層隔離柱；在220°C左右的溫度下對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤。圖3示意性示出了該實(shí)施例中所形成的單層隔離柱。如圖3所示，該隔離柱的橫截面的兩個(gè)側(cè)邊分別與基板成47. 79度的角和54. 11度的角。在形成所述一組隔離柱之后，在基板上沉積由有機(jī)EL介質(zhì)構(gòu)成的功能層。在沉積功能層之后，在基板上沉積由金屬材料構(gòu)成的第二顯示電極層。由于上述一組隔離柱的存在，功能層被分隔成相互不連接的一組功能層部分，第二顯示電極層被分隔成相互不連接的一組第二顯示電極(也稱為“陰極”)。在上述的對(duì)隔離柱膠顯影之后且在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之前，用壓強(qiáng)為
0.3MPa左右的水對(duì)隔離柱進(jìn)行了沖洗，沒有隔離柱被沖塌。另外，在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之后，在顯微鏡下觀察隔離柱，未發(fā)現(xiàn)行連?！靶羞B”意指兩條或更多條本應(yīng)該不導(dǎo)通的第二顯示電極(陰極電極)之間導(dǎo)通；在發(fā)生行連的情況下，一個(gè)第二顯示電極通電會(huì)導(dǎo)致另外的第二顯示電極通電。此外，在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之后，進(jìn)行了漏電流測(cè)試，未檢測(cè)到漏電流。實(shí)施例2及相關(guān)測(cè)試實(shí)施例2與實(shí)施例I基本相同，只是在實(shí)施例2中，所形成的單層隔離柱的橫截面的兩個(gè)側(cè)邊分別與基板成45. 03度的角和48. 44度的角。圖4示意性示出了實(shí)施例2中所形成的單層隔離柱。在該實(shí)施例中，在對(duì)隔離柱膠顯影以形成隔離柱之后且在對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之前，用壓強(qiáng)為0. 3MPa左右的水對(duì)隔離柱進(jìn)行了沖洗，沒有隔離柱被沖塌。另外，在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之后，在顯微鏡下觀察隔離柱，未發(fā)現(xiàn)行連。此外，在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之后，進(jìn)行了漏電流測(cè)試，未檢測(cè)到漏電流。實(shí)施例3及相關(guān)測(cè)試實(shí)施例3與實(shí)施例I基本相同，只是在實(shí)施例3中，所形成的單層隔離柱的橫截面的兩個(gè)側(cè)邊分別與基板成62. 67度的角和67. 36度的角。圖5示意性示出了實(shí)施例3中所形成的單層隔離柱。在該實(shí)施例中，在對(duì)隔離柱膠顯影以形成隔離柱之后且在對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之前，用壓強(qiáng)為0. 3MPa左右的水對(duì)隔離柱進(jìn)行了沖洗，沒有隔離柱被沖塌。另外，在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之后，在顯微鏡下觀察隔離柱，未發(fā)現(xiàn)行連。此外，在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之后，進(jìn)行了漏電流測(cè)試，未檢測(cè)到漏電流。對(duì)比實(shí)施例I及相關(guān)測(cè)試對(duì)比實(shí)施例I與實(shí)施例I基本相同，只是在對(duì)比實(shí)施例I中，所形成的單層隔離柱的橫截面的兩個(gè)側(cè)邊分別與基板成40. 36度的角和39. 68度的角。在該對(duì)比實(shí)施例中，在對(duì)隔離柱膠顯影以形成隔離柱之后且在對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之前，用壓強(qiáng)為0. 3MPa左右的水對(duì)隔離柱進(jìn)行了沖洗，部分隔離柱被沖塌。另外，在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之后，在顯微鏡下觀察隔離柱，未發(fā)現(xiàn)行連。此外，在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之后，進(jìn)行了漏電流測(cè)試，未檢測(cè)到漏電流。對(duì)比實(shí)施例2及相關(guān)測(cè)試對(duì)比實(shí)施例2與實(shí)施例I基本相同，只是在對(duì)比實(shí)施例2中，所形成的單層隔離柱的橫截面的兩個(gè)側(cè)邊分別與基板成78. 82度的角和75. 38度的角。在該對(duì)比實(shí)施例中，在對(duì)隔離柱膠顯影以形成隔離柱之后且在對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之前，用壓強(qiáng)為0. 3MPa左右的水對(duì)隔離柱進(jìn)行了沖洗，沒有隔離柱被沖塌。另外，在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之后，在顯微鏡下觀察隔離柱，發(fā)現(xiàn)有行連現(xiàn)象。此外，在上述的對(duì)隔離柱進(jìn)行固烤之后，進(jìn)行了漏電流測(cè)試，檢測(cè)到了一定的漏電流。其它對(duì)比已發(fā)現(xiàn)，與對(duì)比實(shí)施例I和2相比，實(shí)施例1-3中的隔離柱更容易成型。實(shí)際上，發(fā)明人已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，將期望的隔離柱角度設(shè)定在45度-70度的范圍內(nèi)具有如下好處隔離柱側(cè)面的扭力變化較小。應(yīng)理解，上述實(shí)施方案和實(shí)施例僅出于示例和說明的目的，本領(lǐng)域技術(shù)人員在不偏離本發(fā)明范圍的情況下，可以做出許多改型和變體。本發(fā)明的范圍僅由所附的權(quán)利要求書限定。
權(quán)利要求
1.一種利用隔離柱的制造無源矩陣有機(jī)電致發(fā)光器件的方法，包括在基板上形成相互平行并相互間隔開的一組第一顯示電極；在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱，所述一組單層隔離柱相互平行并相互間隔開，且垂直于所述一組第一顯示電極，每個(gè)所述單層隔離柱在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈倒梯形形狀的橫截面；以及在形成有所述一組第一顯示電極和一組單層隔離柱的基板上依次沉積功能層和第二顯示電極層，其中所述橫截面的每個(gè)側(cè)邊與所述基板成45度-70度的角。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中，在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱包括在形成有所述一組第一顯示電極的基板上涂覆預(yù)定厚度的隔離柱膠；預(yù)烘烤所述隔離柱膠；對(duì)所述隔離柱膠曝光，其中具有預(yù)定圖案的掩模被布置于所述隔離柱膠之上；以及對(duì)曝光后的隔離柱膠顯影，以形成所述一組單層隔離柱。
3.權(quán)利要求2所述的方法，其中，在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱還包括固烤所述一組單層隔離柱。
4.權(quán)利要求2所述的方法，其中，在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱還包括在涂覆所述隔離柱膠之前，清洗形成有所述一組第一顯示電極的基板。
5.權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述隔離柱膠是負(fù)型隔離柱膠，所述掩模的圖案及被布置的方式使得與所述一組單層隔離柱對(duì)應(yīng)的隔離柱膠被暴露，其余隔離柱膠被掩模覆蓋，并且在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱還包括在對(duì)曝光后的隔離柱膠顯影之前，以從低溫到高溫的順序在多個(gè)不同溫度下烘烤曝光后的隔離柱膠。
6.權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述隔離柱膠是正型隔離柱膠，所述掩模的圖案及被布置的方式使得與所述一組單層隔離柱對(duì)應(yīng)的隔離柱膠被掩模覆蓋，其余隔離柱膠被暴露。
7.權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述預(yù)定厚度為3.7微米。
8.一種利用隔離柱的制造無源矩陣有機(jī)電致發(fā)光器件的方法，包括在基板上形成相互平行并相互間隔開的一組第一顯示電極；在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組各具有上層和下層的雙層隔離柱， 所述一組雙層隔離柱相互平行并相互間隔開，且垂直于所述一組第一顯示電極，每個(gè)所述雙層隔離柱的上層在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈倒梯形形狀的橫截面； 以及在形成有所述一組第一顯示電極和一組雙層隔離柱的基板上依次沉積功能層和第二顯示電極層，其中所述橫截面的每個(gè)側(cè)邊與所述基板成45度-70度的角。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中，每個(gè)所述雙層隔離柱的下層在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈矩形形狀或正梯形形狀的橫截面。
10.權(quán)利要求I或8所述的方法，其中，所述隔離柱由粘度大于15厘泊的不透明的隔離柱膠形成。
11.根據(jù)權(quán)利要求I或8所述的方法，其中所述橫截面具有3-3.5微米優(yōu)選為3. 3微米的高度。
12.一種根據(jù)權(quán)利要求1-11中任一項(xiàng)所述的方法制造的無源矩陣有機(jī)電致發(fā)光器件。
13.一種有機(jī)電致發(fā)光顯示設(shè)備，包括根據(jù)權(quán)利要求12所述的無源矩陣有機(jī)電致發(fā)光器件。
全文摘要
提供利用隔離柱的制造無源矩陣有機(jī)電致發(fā)光器件的方法、利用該方法制造的有機(jī)電致發(fā)光器件及包括該有機(jī)電致發(fā)光器件的有機(jī)電致發(fā)光顯示設(shè)備。該方法包括在基板上形成相互平行并相互間隔開的一組第一顯示電極；在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成相互平行并相互間隔開的一組單層或雙層隔離柱，所述一組隔離柱垂直于所述一組第一顯示電極，每個(gè)所述單層隔離柱或每個(gè)所述雙層隔離柱的上層在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈倒梯形形狀的橫截面；在形成有所述一組第一顯示電極和一組隔離柱的基板上依次沉積功能層和第二顯示電極層，其中所述橫截面的每個(gè)側(cè)邊與所述基板成45度-70度的角。
文檔編號(hào)H01L51/52GK102593379SQ20121002916
公開日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2012年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月9日
發(fā)明者辛小剛, 邱勇, 高裕弟 申請(qǐng)人:北京維信諾科技有限公司, 昆山維信諾顯示技術(shù)有限公司, 清華大學(xué)