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一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列的制作方法

文檔序號:6956636閱讀:207來源:國知局
專利名稱:一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導體激光器件封裝技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
大功率,超大功率固體激光系統(tǒng)為國家技術(shù)發(fā)展戰(zhàn)略方向之一,近年來國家不斷 加大投入力度,十二五期間,國家科學技術(shù)部明確提出要制作出3-5千瓦級的大功率固體 激光器。這類激光器需要高質(zhì)量和穩(wěn)定性能的半導體激光泵浦模塊,目前這類模塊大都依 賴進口。市場上常見的固體激光器泵浦模塊多為工業(yè)水冷或去離子水冷。這兩種水冷方式 的優(yōu)點是可以有效的對器件進行散熱,從而使器件輸出較高的功率。對于某些特殊領(lǐng)域?qū)?整機系統(tǒng)的體積和重量非常敏感,如航空航天領(lǐng)域,車載系統(tǒng)和便攜系統(tǒng)等。在上述應用 中,用戶多追求高峰值功率,本發(fā)明的目的是提出一種風冷半導體激光封裝模式,適用于脈 沖式工作模式。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提出一種基于一種激光單體所排列成的水平發(fā)光陣列的封裝設 計,填補國內(nèi)的空白。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列,陣列的發(fā)光器件由多個發(fā)光單體 組成,所述發(fā)光單體用焊料片焊接在一個熱沉的表面上,每個發(fā)光單體之間由焊料片組和 電連接組件串聯(lián)連接,呈一字形排列,形成一線性發(fā)光區(qū)域。所述激光模塊用緊固件緊固到 用戶端固態(tài)表面,激光器件所產(chǎn)生的熱量由激光單體傳至熱沉散發(fā)到環(huán)境當中。所述發(fā)光單體由下述部件構(gòu)成正極、半導體激光bar條、負極和陶瓷片,所述半 導體激光bar條的上下兩個表面分別被焊接到負極的下表面和正極的上表面;所述正極的 一面加工有一溝矩形槽,所述負極的一面加工有一溝槽,這兩個溝槽為形成陣列式用焊料 片組和電連接組件串聯(lián)連接所用;所述陶瓷片為一具有一定厚度的矩形片,在所述陶瓷片 的一個表面的部分區(qū)域形成金屬化,另一表面完全金屬化;所述正極和負極的背面分別焊 接到所述陶瓷片的金屬化表面上。所述熱沉為一長形金屬立方體,所述熱沉的前表面焊接激光陣列,所述熱沉前表 面與上表面所夾邊加工成一凹槽,在凹槽內(nèi)存放焊接時多余焊料,所述熱沉的上表面和相 鄰兩側(cè)表面交界處加工成臺階狀,供焊接電路板時阻擋焊料流出所用。所述熱沉上表面加 工有一個用于模塊緊固的通孔,并在中間加工出一個用于放置溫度檢測器件的沉孔。所述電路板的下表面設有一焊盤,焊盤焊接到所述熱沉上表面;在所述焊盤周圍 的表面涂有阻焊劑以防止焊料流淌出焊盤。所述電路板加工有若干個用于緊固螺栓的通孔 和一個用于放置溫度監(jiān)測器件的通孔,在所述電路板的上表面安裝有電極引出片,所述電 極引出片用焊接或粘貼方式固定在所述電路板上。
焊接成的發(fā)光單體可以單獨進行測試,對各種參數(shù)如輸出功率,工作電流,工作條 件下的波長,熱阻等等進行逐一篩選。篩選后的激光單體根據(jù)其測試的參數(shù)進行匹配組合, 以保證焊接后的激光陣列性能的一致性,工作穩(wěn)定性和可靠性。經(jīng)過測試篩選后的激光單體排成陣列被焊接到熱沉的前表面上,同時用連接組件 焊接連接形成串聯(lián)形式,串聯(lián)后的發(fā)光陣列正負極連接到電路板上面的電極上面。


下面根據(jù)附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。圖1是本發(fā)明實施例所述的一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列整體 結(jié)構(gòu)外觀圖;圖2是本發(fā)明實施例所述的一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列的爆 炸圖;圖3是本發(fā)明實施例所述的發(fā)光單體的外觀圖;圖4是本發(fā)明實施例所述的發(fā)光單體的爆炸圖;圖5是熱沉的結(jié)構(gòu)圖;圖6是電路板的下表面結(jié)構(gòu)圖;圖7是電路板的上表面結(jié)構(gòu)圖;圖8是電路板的立體結(jié)構(gòu)圖;圖9是激光陣列模塊實物的電流-電壓和電流-功率實測數(shù)據(jù)表;圖10是激光陣列模塊實物的波長-強度實測數(shù)據(jù)表。
具體實施例方式如圖1-8所示,一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列,陣列的發(fā)光器件 由多個發(fā)光單體1組成,所述發(fā)光單體用焊料片4焊接在一個熱沉5的表面5. 1上,每個發(fā) 光單體1之間由焊料片組2和電連接組件3串聯(lián)連接,呈一字形排列,形成一線性發(fā)光區(qū) 域。所述激光模塊用緊固件7緊固到用戶端固態(tài)表面,激光器件所產(chǎn)生的熱量由激光單體 1傳至熱沉5散發(fā)到環(huán)境當中。所述發(fā)光單體1由下述部件構(gòu)成正極1. 1、半導體激光bar條1. 2、負極1. 3和 陶瓷片1. 4,所述半導體激光bar條1. 2的上下兩個表面分別被焊接到負極1. 3的下表面 和正極1. 1的上表面;所述正極1. 1的一面加工有一溝矩形槽1. 1. 1,所述負極1. 3的一面 加工有一溝槽1. 3. 1,這兩個溝槽為形成陣列式用焊料片組2和電連接組件3串聯(lián)連接所 用;所述陶瓷片1. 4為一具有一定厚度的矩形片,在所述陶瓷片1. 4的一個表面的部分區(qū)域 1. 4. 2,1. 4. 1形成金屬化,另一表面完全金屬化;所述正極1. 1和負極1. 3的背面分別焊接 到所述陶瓷片1. 4的金屬化表面1. 4. 2,1. 4. 1上。所述熱沉5為一長形金屬立方體,所述熱沉5的前表面5. 1焊接激光陣列,所述熱 沉前表面5. 1與上表面所夾邊加工成一凹槽5. 2,在凹槽5. 2內(nèi)存放焊接時多余焊料,所述 熱沉5的上表面和相鄰兩側(cè)表面交界處加工成臺階狀5. 3,供焊接電路板時阻擋焊料流出 所用。所述熱沉上表面加工有一個用于模塊緊固的通孔5. 4,并在中間加工出一個用于放置 溫度檢測器件的沉孔5. 5。
所述電路板6的下表面設有一焊盤6. 1,焊盤6. 1焊接到所述熱沉5上表面;在所 述焊盤6. 1周圍的表面6. 5涂有阻焊劑以防止焊料流淌出焊盤6. 1。所述電路板6加工有 若干個用于緊固螺栓的通孔6. 2和一個用于放置溫度監(jiān)測器件的通孔6. 3,在所述電路板6 的上表面安裝有電極引出片6. 6,所述電極引出片6. 6用焊接或粘貼方式固定在所述電路 板上。實施本發(fā)明不受上述技術(shù)方案的限制,在不脫離本發(fā)明原理的前提下,本發(fā)明還 會有其他方式的變化和改進。這些變化和改進都落入本發(fā)明要求保護的范圍,本發(fā)明要求 保護范圍由所附的權(quán)利要求及其等效物界定。此模塊在300微秒3%占空比和25C環(huán)境溫度條件下,電流加至100安培,輸出峰 值功率超過400瓦,電光轉(zhuǎn)換效率55%,光譜寬度小于3nm,熱阻0. 06C/W,計算后的100安 培工作節(jié)點溫度為31C。根據(jù)上述原理設計出相應的激光陣列模塊實物和實測數(shù)據(jù)如圖 9-10所示。
權(quán)利要求
1.一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列,陣列的發(fā)光器件由多個發(fā)光單體 (1)組成,其特征在于,所述發(fā)光單體用焊料片(4)焊接在一個熱沉( 的表面(5. 1)上,每 個發(fā)光單體(1)之間由焊料片組( 和電連接組件(3)串聯(lián)連接,呈一字形排列,所述激光 模塊用緊固件(7)緊固到用戶端固態(tài)表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列,,其特征在 于,所述發(fā)光單體(1)由下述部件構(gòu)成正極(1. 1)、半導體激光bar條(1. 2)、負極(1. 3)和 陶瓷片(1. 4),所述半導體激光bar條(1. 2)的上下兩個表面分別被焊接到負極(1. 3)的下 表面和正極(1. 1)的上表面;所述正極(1. 1)的一面加工有一溝矩形槽(1. 1. 1),所述負極 (1.3)的一面加工有一溝槽(1.3. 1);所述陶瓷片(1.4)為一具有一定厚度的矩形片,在所 述陶瓷片(1. 4)的一個表面的部分區(qū)域(1. 4. 2,1. 4. 1)形成金屬化,另一表面完全金屬化; 所述正極(1. 1)和負極(1. 3)的背面分別焊接到所述陶瓷片(1. 4)的金屬化表面(1. 4. 2、 1. 4. 1)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列,其特征在 于,所述熱沉( 為一長形金屬立方體,所述熱沉(5)的前表面(5. 1)焊接激光陣列,所述 熱沉前表面(5. 1)與上表面所夾邊加工成一凹槽(5.幻,在凹槽(5. 2)內(nèi)存放焊接時多余焊 料,所述熱沉(5)的上表面和相鄰兩側(cè)表面交界處加工成臺階狀(5. 3),所述熱沉上表面加 工有一個用于模塊緊固的通孔(5. 4),并在中間加工出一個用于放置溫度檢測器件的沉孔 (5. 5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列,其特征在 于,所述電路板(6)的下表面設有一焊盤(6. 1),焊盤(6. 1)焊接到所述熱沉( 上表面; 在所述焊盤(6. 1)周圍的表面(6. 5)涂有阻焊劑,所述電路板(6)加工有若干個用于緊固 螺栓的通孔(6. 2)和一個用于放置溫度監(jiān)測器件的通孔(6.幻,在所述電路板(6)的上表面 安裝有電極引出片(6. 6),所述電極引出片(6.6)用焊接或粘貼方式固定在所述電路板上。
全文摘要
一種風冷固體激光泵浦用半導體激光水平陣列,陣列的發(fā)光器件由多個發(fā)光單體組成,所述發(fā)光單體用焊料片焊接在一個熱沉的表面上,每個發(fā)光單體之間由焊料片組和電連接組件串聯(lián)連接,呈一字形排列,形成一線性發(fā)光區(qū)域。所述激光模塊用緊固件緊固到用戶端固態(tài)表面,激光器件所產(chǎn)生的熱量由激光單體傳至熱沉散發(fā)到環(huán)境當中。焊接成的發(fā)光單體可以單獨進行測試,對各種參數(shù)如輸出功率,工作電流,工作條件下的波長,熱阻等等進行逐一篩選。篩選后的激光單體根據(jù)其測試的參數(shù)進行匹配組合,以保證焊接后的激光陣列性能的一致性,工作穩(wěn)定性和可靠性。
文檔編號H01S5/024GK102130426SQ20101055087
公開日2011年7月20日 申請日期2010年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月19日
發(fā)明者張軍, 李大明, 潘華東 申請人:無錫亮源激光技術(shù)有限公司
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