專利名稱：：層合陶瓷電容器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及層合陶瓷電容器及其制造方法，其特征在于Ni內(nèi)部電極。
背景技術(shù)：
：層合陶瓷電容器可以如下制造在陶瓷生片(greensheet)上通過(guò)絲網(wǎng)印刷涂布含有Ni金屬粒子的導(dǎo)電糊料，形成內(nèi)部電極圖案，將形成此內(nèi)部電極圖案的陶瓷生片多片層合得到層合體，燒成該層合體，由此制得。Ni導(dǎo)電糊料與陶瓷生片同時(shí)燒成。導(dǎo)電糊料中所含的Ni金屬粒子的燒結(jié)開(kāi)始溫度低于由陶瓷生片形成的陶瓷層的燒結(jié)開(kāi)始溫度，因此，Ni金屬粒子的燒結(jié)先開(kāi)始，然后收縮開(kāi)始。再之后陶瓷電介質(zhì)層的燒結(jié)開(kāi)始。此處，至陶資電介質(zhì)層燒結(jié)時(shí)，金屬粒子進(jìn)一步燒成。因此，導(dǎo)致進(jìn)一步收縮，使完成的層合陶瓷電容器的內(nèi)部電極呈網(wǎng)格狀或島狀中斷的狀態(tài)。由此導(dǎo)致內(nèi)部電極的面積減小，靜電電容降低。作為用于解決上述內(nèi)部電極中斷的方法，例如有特開(kāi)平8-078267號(hào)公報(bào)及特開(kāi)2001-122660號(hào)公報(bào)中公開(kāi)的在導(dǎo)電糊料中添加陶瓷粉末使導(dǎo)電糊料燒結(jié)收縮的溫度接近陶瓷電介質(zhì)層燒結(jié)收縮的溫度的方法。另外，還公開(kāi)了如特開(kāi)2004-319435號(hào)公報(bào)所示的在導(dǎo)電糊料的Ni金屬粒子的表面上形成具有較高熔點(diǎn)的貴金屬的被覆層的方法。專利文獻(xiàn)1特開(kāi)平8-078267號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開(kāi)2001-122660號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3特開(kāi)2004-319435號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容然而，在向?qū)щ姾现刑砑犹召Y粉末的方法中存在以下問(wèn)題。在燒成過(guò)程中金屬粒子生長(zhǎng)，結(jié)果導(dǎo)致陶瓷粉末和金屬粒子分離，陶瓷粉末被排出到陶瓷電介質(zhì)層中。一般情況下陶瓷粉末與作為導(dǎo)電糊料主成分的金屬粒子的潤(rùn)濕性差，因此存在于導(dǎo)電糊料階段的金屬粒子間的陶瓷粉末在燒成過(guò)程中被金屬粒子擠出。燒成過(guò)程中被排出的陶瓷粉末聚集，形成柱狀或網(wǎng)格狀，使鄰接的二片陶瓷電介質(zhì)層連接。另外，由于金屬粒子的粒子生長(zhǎng)在厚度方向被陶瓷電介質(zhì)層抑制，所以沿著與內(nèi)部電極的面方向平行的方向延伸。由于在此金屬粒子進(jìn)行粒子生長(zhǎng)的同時(shí)，導(dǎo)電糊料沿著與內(nèi)部電極的面方向平行的方向燒結(jié)收縮，因此，隨著此收縮，金屬粒子間產(chǎn)生間隙。上述現(xiàn)象導(dǎo)致內(nèi)部電極的連續(xù)性降低，靜電電容降低。另外，由于被覆有高熔點(diǎn)貴金屬的方法中，使用昂貴的貴金屬作為被覆金屬，所以金屬粒子的單價(jià)升高，使用Ni的優(yōu)勢(shì)減小。本發(fā)明能夠解決上述問(wèn)題，以較低成本得到具有連續(xù)性良好的內(nèi)部電極的層合陶資電容器。本發(fā)明提供一種層合陶瓷電容器，所述層合陶瓷電容器具有使陶瓷電介質(zhì)層和內(nèi)部電極層交替層合且使該內(nèi)部電極層每隔一層在對(duì)置的端面露出而形成的大致長(zhǎng)方體形狀的層合體、和形成于上述層合電極，其中，所述內(nèi)部電極層由以Ni為主體的金屬粒子構(gòu)成，由與術(shù)平均粒徑小于所述內(nèi)部電極層的厚度。內(nèi)部電極層的連續(xù)性降低的原因在于，構(gòu)成內(nèi)部電極層的金屬粒平均粒徑小于內(nèi)部電極層的厚度時(shí)，由于內(nèi)部電極層的厚度方向的粒子生長(zhǎng)存在空間，所以能夠抑制沿著與內(nèi)部電極層的面方向平行的方向的粒子生長(zhǎng)。根據(jù)上述方法，燒結(jié)后構(gòu)成層合陶瓷電容器內(nèi)部電極此能夠得到連續(xù)性良好的內(nèi)部電極。需要說(shuō)明的是，算術(shù)平均粒徑是測(cè)定多個(gè)(例如100個(gè))粒子的粒徑，以其測(cè)定值的平均值為平均粒徑。另外，本發(fā)明還提供一種層合陶瓷電容器，所述層合陶資電容器具有使陶瓷電介質(zhì)層和內(nèi)部電極層交替層合且使該內(nèi)部電極層每隔一層在對(duì)置的端面露出而形成的大致長(zhǎng)方體形狀的層合體、和形成于上述層合體的內(nèi)部電極露出的端面上且與所述內(nèi)部電極層電連接的一對(duì)外部電極，其中，所述內(nèi)部電極層由導(dǎo)電金屬層構(gòu)成，所述導(dǎo)電金屬層是在具有10—14~l(T18atm氧分壓的還原燒成氣氛中熱處理含有Ni金屬粒子的導(dǎo)電糊料而得到的，所述Ni金屬粒子被覆有選自Mn、Co、Fe、Cu、Nb、Ba、Ca、Sr、Ti、Zn、V及稀土類金屬中的金屬或金屬氧化物。根據(jù)上述方法，燒結(jié)后構(gòu)成層合陶瓷電容器的內(nèi)部電極的金屬粒在與內(nèi)部電極層的面方向平行的方向燒結(jié)收縮被抑制，因此，能夠得到連續(xù)性良好的內(nèi)部電極。另外，由于此內(nèi)部電極由在Ni上被覆有賤金屬的金屬粒子形成，所以能夠較便宜地形成。另外，本發(fā)明還提供一種層合陶瓷電容器的制造方法，其中，所述層合陶瓷電容器具有使陶瓷電介質(zhì)層和內(nèi)部電極層交替層合且使該內(nèi)部電極層每隔一層在對(duì)置的端面露出而形成的大致長(zhǎng)方體形狀的層合體、和形成于上述層合體的內(nèi)部電極露出的端面上且與所述內(nèi)部電極層電連接的一對(duì)外部電極，所述層合陶資電容器的制造方法包括以下工序準(zhǔn)備成為陶瓷電介質(zhì)層的陶資生片的工序；準(zhǔn)備含有Ni金屬粒子的導(dǎo)電糊料的工序，其中，上迷Ni金屬粒子被覆有選自Mn、Co、Fe、Cu、Nb、Ba、Ca、Sr、Ti、Zn、V及稀土類金屬中的金屬或金屬氧化物；在上述陶瓷生片上涂布所述導(dǎo)電糊料形成成為內(nèi)部電極層的內(nèi)部電極圖案的工序；將形成上述內(nèi)部電極圖案的上述陶瓷生片層合，形成層合體的工序；將上述層合體在具有10—14~10—18atm氧分壓的還原燒成氣氛中燒成的工序。如上述方法所示，通過(guò)將具有4皮覆有Mn、Co、Fe、Cu、Nb、Ba、Ca、Sr、Ti、Zn、V及稀土類金屬等的Ni金屬粒子的導(dǎo)電糊料在具有10—14~10^atm氧分壓的還原燒成氣氛中燒成，能夠抑制金屬粒子沿與內(nèi)部電極層的面方向平行的方向的粒子生長(zhǎng)，并抑制導(dǎo)電糊料沿與內(nèi)部電極層的面方向平行的方向的燒結(jié)收縮，因此能夠得到連續(xù)性良好的內(nèi)部電極。根據(jù)本發(fā)明，能夠以較低成本得到具有連續(xù)性良好的內(nèi)部電極的層合陶瓷電容器。圖1本發(fā)明的層合陶瓷電容器的模式截面圖。圖2圖1的虛線A部分的放大圖。圖3表示內(nèi)部電極層的厚度的測(cè)定方法。圖4表示內(nèi)部電極層的連續(xù)性的測(cè)定方法。圖5表示構(gòu)成內(nèi)部電極層的金屬粒子的平均粒徑的測(cè)定方法。符號(hào)說(shuō)明1層合陶瓷電容器2陶瓷層合體3陶瓷電介質(zhì)層4內(nèi)部電才及層5外部電極6第一金屬鍍層7第二金屬鍍層具體實(shí)施例方式根據(jù)本發(fā)明的層合陶瓷電容器的實(shí)施方案。圖l為本發(fā)明的層合陶瓷電容器的模式截面圖。圖2為虛線A部分的放大圖。圖1所示的層合陶資電容器1具有使陶瓷電介質(zhì)層3和內(nèi)部電極層4交替層合且使該內(nèi)部電極層4每隔一層在對(duì)置的端面露出而形成的大致長(zhǎng)方體形狀的陶瓷層合體2、和形成于上述陶瓷層合體2的內(nèi)部電極層4露出的端面上且與所述內(nèi)部電極層4電連接的一對(duì)外部電極5。并且，外部電極5上根據(jù)需要可以形成用于保護(hù)外部電極5的第一金屬鍍層6及用于提高焊錫潤(rùn)濕性(solderwettability)的第二金屬鍍層7。如圖2所示，此層合陶資電容器1的內(nèi)部電極層4由金屬粒子40構(gòu)成。此金屬粒子40的由與內(nèi)部電極層4的面方向平行的方向的粒徑R求出的算術(shù)平均粒徑小于內(nèi)部電極層4的厚度T。由于金屬粒子40的粒子生長(zhǎng)在厚度方向被陶瓷電介質(zhì)層3抑制，所以沿著與內(nèi)部電極層4的面方向平行的方向延伸。因此，通過(guò)使與內(nèi)部電極層4的面方向平行的方向的平均粒徑小于內(nèi)部電極層4的厚度，能夠抑制金屬粒子40的粒子生長(zhǎng)，并抑制燒結(jié)收縮，因此能夠得到連續(xù)性良好的內(nèi)部電才及4。上述金屬粒子40通過(guò)使用含有導(dǎo)電粉末的導(dǎo)電糊料形成內(nèi)部電極層，在具有10_14~10_18atm氧分壓的還原燒成氣氛中熱處理而得到，所述導(dǎo)電粉末在Ni金屬粒子上被覆有選自Mn、Co、Fe、Cu、Nb、Ba、Ca、Sr、Ti、Zn、V及稀土類金屬中的賤金屬粒子或其氧化物的粒子。需要說(shuō)明的是，此處作為稀土類金屬可以舉出Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu。在Ni金屬粒子上被覆有上述賤金屬粒子或氧化物粒子的導(dǎo)電粉末，可以通過(guò)噴霧熱分解法、或吸附乙酰丙酮金屬配位化合物的方法等獲得。噴霧熱分解法，是噴霧含有使賤金屬析出的賤金屬鹽的溶液，成為液滴，將此鹽加熱至高于該鹽分解溫度的溫度或析出的賤金屬的熔點(diǎn)附近或其以上的溫度，將該鹽熱分解，使賤金屬或賤金屬氧化物的粒子在Ni金屬粒子的表面析出的方法。另外，吸附乙酰丙酮金屬配位化合物的方法，使Ni金屬粒子分散在醇、酮、酯、醛等有機(jī)溶齊'J中，一邊加熱至50°C~90°C，一邊滴入乙酰丙酮化物和賤金屬的配位化合物，攪拌10分鐘10小時(shí)，將所得的物質(zhì)在350°C450。C下熱處理10分鐘~2小時(shí)的方法。通過(guò)上述方法，能夠在Ni金屬粒子的表面形成賤金屬或賤金屬氧化物的牢固的被覆層。以下說(shuō)明圖1的層合陶瓷電容器的制造方法。首先，將燒結(jié)后形成陶瓷電介質(zhì)層3的電介質(zhì)陶瓷粉末與有機(jī)粘合劑及溶劑混合形成陶瓷漿料。作為電介質(zhì)陶瓷粉末，使用以鈦酸鋇為主相、向其中混合稀土類金屬氧化物或過(guò)渡金屬氧化物等添加物進(jìn)行熱處理得到的物質(zhì)。作為有機(jī)粘合劑，例如可以使用聚乙烯醇縮丁醛等。另外，作為溶劑，例如可以使用乙醇等。通過(guò)刮板法等將此陶瓷漿料形成厚度3~l(Him的片狀，得到陶瓷生片。然后，將通過(guò)上述噴霧熱分解法或吸附乙酰丙酮金屬配位化合物的方法等得到的Ni粉末與有機(jī)粘合劑及溶劑混合，得到內(nèi)部電極用導(dǎo)電糊料。作為用于導(dǎo)電糊料的有機(jī)粘合劑，例如可以使用乙基纖維素等。作為溶劑，例如可以使用萜品醇等，但優(yōu)選使用與構(gòu)成陶瓷生片的有機(jī)粘合劑的相溶性小的溶劑。接下來(lái)，通過(guò)絲網(wǎng)印刷在準(zhǔn)備的陶瓷生片上涂布準(zhǔn)備的導(dǎo)電糊料，燒成后形成作為內(nèi)部電極層4的內(nèi)部電極圖案。內(nèi)部電極圖案中多個(gè)大致呈長(zhǎng)方形的糊料膜以規(guī)定的間隔(邊緣的大小x2+切除范圍的大小)呈格子狀排列。接下來(lái)，將形成了內(nèi)部電極圖案的陶瓷生片以規(guī)定形狀沖裁，將其以規(guī)定片數(shù)層合，然后加熱加壓，得到層合體的集合體。此處，層合陶瓷生片時(shí)，使每一層沿內(nèi)部電極圖案的長(zhǎng)度方向錯(cuò)開(kāi)半個(gè)圖案進(jìn)行層合。由此在切斷分割、燒結(jié)后，能夠得到使內(nèi)部電極層4每隔一層在對(duì)置的端面露出而形成的大致長(zhǎng)方體形狀的陶瓷層合體2。作為錯(cuò)開(kāi)半個(gè)圖案的方法，有沖裁陶瓷生片時(shí)錯(cuò)開(kāi)半個(gè)圖案進(jìn)行沖裁的方法、或使用預(yù)先錯(cuò)開(kāi)半個(gè)圖案的印刷絲網(wǎng)形成內(nèi)部電極圖案的方法。接下來(lái)，采用切斷機(jī)或切割機(jī)(dicingsaw)等切斷分割層合體的集合體，燒結(jié)后得到成為陶瓷層合體2的層合體。然后，將此層合體在氮?dú)夥罩屑訜?，脫去粘合劑后，在具?0—14~10—18atm氧分壓的還原燒成氣氛中于1100°C~1300。C的溫度下燒成。由此，得到陶瓷層合體2。需要說(shuō)明的是，在現(xiàn)有的還原燒成氣氛中的燒成是在10_6~10—"atm氧分壓下進(jìn)行。本發(fā)明中在與目前相比較低區(qū)域的氧分壓下進(jìn)行燒成。接下來(lái)，在陶資層合體2的內(nèi)部電極4露出的端面上涂布導(dǎo)電糊料，燒成，形成外部電極5。作為構(gòu)成外部電極的金屬，可以舉出Ag、Cu或Ni等。需要說(shuō)明的是，外部電極5也可以在燒成陶瓷層合體2前涂布導(dǎo)電糊料，與陶瓷電介質(zhì)層3同時(shí)燒成而形成。然后，通過(guò)電解Ni電鍍或電解Cu電鍍?cè)诖送獠侩姌O5上形成第一鍍層6,在其上通過(guò)電解Sn電鍍形成第二鍍層7。由此可以得到層合陶覺(jué)電容器1。上述所得的層合陶資電容器1可以抑制構(gòu)成內(nèi)部電極層4的金屬粒子40的粒子生長(zhǎng)。通過(guò)抑制金屬粒子40的粒子生長(zhǎng)，能夠抑制導(dǎo)電糊料的燒結(jié)收縮。由此，能夠抑制存在于導(dǎo)電糊料階段的金屬粒子間的陶瓷粉末在燒成過(guò)程中被金屬粒子擠出的現(xiàn)象。另外，能夠抑制伴隨導(dǎo)電糊料燒結(jié)收縮的金屬粒子間的間隙生成。通過(guò)上述作用，能夠得到具有連續(xù)性良好的內(nèi)部電極層4的層合陶瓷電容器1。實(shí)施例(實(shí)施例1)準(zhǔn)備顯示X7R特性(在25。C基準(zhǔn)下在-55°C~+125。C的溫度范圍內(nèi)靜電電容的變化率在士15%以內(nèi))的作為電容器材料的鈦酸鋇類電介質(zhì)陶瓷粉末，將其與聚乙烯醇縮丁醛、鄰苯二甲酸二辛酯及乙醇等混合，用分散磨(dispermill)混合15小時(shí)，得到陶瓷漿料。采用刮板法將所得的陶瓷漿料涂布在帶狀的PET膜上，形成厚度1.4|im的陶瓷生片。將通過(guò)噴霧熱分解法在算術(shù)平均粒徑為0.2pm的Ni粒子上被覆CoO的Ni粉末與乙基纖維素及辟品醇等混合，制作內(nèi)部電極用導(dǎo)電糊料。采用絲網(wǎng)印刷法在陶瓷生片上涂布此導(dǎo)電糊料，在15cmxl5cm的范圍內(nèi)，以3.75mmx0.75mm的大致長(zhǎng)方形形狀，多個(gè)厚度為l(im的糊料膜按0.25mm的間隔被格子狀排列，形成內(nèi)部電極圖案。此時(shí)，使導(dǎo)電糊料的涂布量用X射線測(cè)定器測(cè)定為4.0)ig/mm2。接下來(lái)，將形成內(nèi)部電極圖案的陶瓷生片以15cmxl5cm的形狀沖裁，層合350片此沖裁的陶瓷生片，使每一層交替錯(cuò)開(kāi)半個(gè)圖案，進(jìn)而在此層合體的上下面層合厚度100(im的陶瓷生片作為保護(hù)層，然后加熱壓接，得到層合體的集合體。接下來(lái)，用切斷機(jī)以2.0mmxl,0mm的大小切斷分割所得的層合體的集合體，得到層合體。將此層合體在280。C的氮?dú)夥罩忻撜澈蟿Ｈ缓?，通過(guò)浸漬涂布在層合體的內(nèi)部電極露出面上涂布Ni導(dǎo)電糊料，形成外部電極。然后，將此未燒成芯片在氧分壓為10—14~10_18atm的還原氣氛中于1200。C的溫度下燒成1小時(shí)，然后在800。C的氮?dú)夥罩袩崽幚?，得?.6mmx0.8mm、具有10|iF的公稱靜電電容的層合陶瓷電容器。對(duì)于上述層合陶瓷電容器，如表1所示，準(zhǔn)備改變被覆Ni粒子的CoO的量的試樣、及改變燒成氣氛的氧分壓的試樣。需要說(shuō)明的是，試樣5是使用將未被覆有CoO的Ni粉末和CoO的粉末混合的導(dǎo)電糊料形成內(nèi)部電極的試樣。另外，CoO的被覆量或添加量以Ni為100時(shí)的atomic%表示。<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>對(duì)于所得的層合陶瓷電容器，測(cè)定其靜電電容、內(nèi)部電極層的厚度、內(nèi)部電極層的連續(xù)性及構(gòu)成內(nèi)部電極的金屬粒子的平均粒徑，如表2所示。此處，靜電電容如下測(cè)定在150。C下將層合陶瓷電容器加熱1小時(shí)后，在室溫下放置3小時(shí)，冷卻，使用例如惠普(HewlettPackard)制4278A等測(cè)定器，在25。C的環(huán)境下各試樣分別測(cè)定10個(gè)，求其平均值。內(nèi)部電極層的厚度如下測(cè)定從側(cè)面研磨層合陶資電容器，使內(nèi)部電極露出，用顯微鏡等放大5000~10000倍進(jìn)行觀察，如圖3所示，以規(guī)定間隔W(例如刻度尺上2jim)引出垂線a、b、c、d及e，測(cè)定覆蓋在內(nèi)部電極層上的各垂線長(zhǎng)度tl~tl8,在3處進(jìn)行上述測(cè)定，求出平均值。需要說(shuō)明的是，垂線e和最上方的內(nèi)部電極層及從上數(shù)第3層的內(nèi)部電極層的交差部分，沒(méi)有經(jīng)過(guò)金屬部分，故不作為測(cè)定點(diǎn)。連續(xù)性如下測(cè)定從側(cè)面研磨層合陶瓷電容器，使內(nèi)部電極露出，用顯微鏡等放大5000~10000倍進(jìn)行觀察，如圖4所示，使用顯微鏡的刻度尺等，測(cè)定觀察部分的長(zhǎng)度L0，然后，測(cè)定每層內(nèi)部電極層在L0范圍內(nèi)的金屬部分的長(zhǎng)度L1L4，得出總量，計(jì)算SLn/LO，求出一層的連續(xù)率，分別測(cè)定30層，求出其平均值。另外，金屬粒子的平均粒徑如下求出將研磨側(cè)面使內(nèi)部電極露出的層合陶瓷電容器在低于燒成溫度100。C左右的溫度(例如110(TC)下，在與燒成時(shí)相同的氧分壓下再燒成1小時(shí)，進(jìn)行熱蝕刻，如圖5所示，求出其平均值作為平均粒徑。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>此處，靜電電容優(yōu)選為公稱靜電電容值的±10%，即9.0pF~ll.O)aF的范圍。另外，連續(xù)性優(yōu)選為80%以上。試樣1相當(dāng)于現(xiàn)有的層合陶覺(jué)電容器，根據(jù)表2的結(jié)果，與內(nèi)部電極層的厚度相比金屬粒子的平均粒徑較大，連續(xù)性低，不足80%，靜電電容也不足9.0pF。試樣2中用于內(nèi)部電極的導(dǎo)電糊料是本發(fā)明的導(dǎo)電糊料，燒成氣氛的氧分壓為現(xiàn)有的范圍，連續(xù)性低，不足80%,靜電電容也不足9.0(iF。試樣3為在本發(fā)明的燒成氣氛的氧分壓下燒成現(xiàn)有的層合陶瓷電容器形成的，連續(xù)性低，不足80%,靜電電容也不足9.0pF。試樣5也不能得到本發(fā)明的效果。而用本發(fā)明的導(dǎo)電糊料及在本發(fā)明的燒成氣氛的氧分壓范圍下形成的試樣4，與內(nèi)部電極層的厚度相比金屬粒子的平均粒徑較小，連續(xù)性為80%以上，靜電電容也為9.0|iF以上。試樣6試樣lO改變被覆Ni粒子的CoO的量，根據(jù)表2所示，在0.05~20atomic%的范圍的試樣，金屬粒子的平均粒徑小于內(nèi)部電極層的厚度，連續(xù)性為80%以上，靜電電容也為9.0|iF以上。試樣11~試樣14改變燒成氣氛的氧分壓，根據(jù)表2，與試樣2的結(jié)果一致，氧分壓為10—14~10—18atm的范圍的試樣，金屬粒子的平均粒徑小于內(nèi)部電極層的厚度，連續(xù)性為80%以上，靜電電容也為9.0pF以上。需要說(shuō)明的是，氧分壓低于10—"atm時(shí)，如試樣13所示，陶瓷電介質(zhì)層被還原，不能作為電容器發(fā)揮功能。(實(shí)施例2)使用通過(guò)吸附乙酰丙酮金屬配位化合物的方法在算術(shù)平均粒徑為0.2|im的Ni粒子上被覆有賤金屬的Ni粉末，除此之外，與實(shí)施例1相同地形成層合陶資電容器。被覆的賤金屬的種類如表3所示。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>對(duì)于所得的層合陶瓷電容器，與實(shí)施例l相同地測(cè)定靜電電容、內(nèi)部電極層的厚度、內(nèi)部電極層的連續(xù)性及構(gòu)成內(nèi)部電極的金屬粒子的平均粒徑，如表4所示。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>根據(jù)表4的結(jié)果可知，作為被覆Ni的賤金屬，即使使用Co之夕卜的Mn、Fe、Cu、Nb、Ba、Ca、Sr、Ti、Zn、V及稀土類金屬，也能得到相同的效果。由以上結(jié)果可知，本發(fā)明的層合陶資電容器連續(xù)性良好。本發(fā)明在內(nèi)部電極層的厚度為以下的層合陶瓷電容器之類的金屬粒子量少、易于促進(jìn)燒結(jié)收縮的情況下為特別有效的手段，如上述實(shí)施例所述，能夠得到具有厚度為l(im以下、連續(xù)性良好的內(nèi)部電極層的層合陶資電容器。權(quán)利要求1、一種層合陶瓷電容器，具有使陶瓷電介質(zhì)層和內(nèi)部電極層交替層合且使所述內(nèi)部電極層每隔一層在對(duì)置的端面露出而形成的大致長(zhǎng)方體形狀的層合體、和形成于所述層合體的內(nèi)部電極露出的端面上且與所述內(nèi)部電極層電連接的一對(duì)外部電極，其特征在于，所述內(nèi)部電極層由以Ni為主體的金屬粒子構(gòu)成，由與所述內(nèi)部電極層的面方向平行的方向的粒徑求出的所述金屬粒子的算術(shù)平均粒徑小于所述內(nèi)部電極層的厚度。2、一種層合陶資電容器，具有使陶資電介質(zhì)層和內(nèi)部電極層交替層合且使所述內(nèi)部電極層每隔一層在對(duì)置的端面露出而形成的大致長(zhǎng)方體形狀的層合體、和形成于所述層合體的內(nèi)部電極露出的端面上且與所述內(nèi)部電極層電連接的一對(duì)外部電極，其特征在于，所述內(nèi)部電極層由導(dǎo)電金屬層構(gòu)成，所述導(dǎo)電金屬層是在具有1014~10—18atm氧分壓的還原燒成氣氛中熱處理含有Ni金屬粒子的導(dǎo)電糊料而得到的，所述Ni金屬粒子被覆有選自Mn、Co、Fe、Cu、Nb、Ba、Ca、Sr、Ti、Zn、V及稀土類金屬中的金屬或金屬氧化物。3、一種層合陶資電容器的制造方法，其中，所述層合陶瓷電容器具有使陶瓷電介質(zhì)層和內(nèi)部電極層交替層合且使所述內(nèi)部電極層每隔一層在對(duì)置的端面露出而形成的大致長(zhǎng)方體形狀的層合體、和形成于所述層合體的內(nèi)部電極露出的端面上且與所述內(nèi)部電極層電連接的一對(duì)外部電極，所述層合陶瓷電容器的制造方法的特征在于，包括以下工序準(zhǔn)備成為陶瓷電介質(zhì)層的陶瓷生片的工序；準(zhǔn)備具有Ni金屬粒子的導(dǎo)電糊料的工序，所述Ni金屬粒子被覆有選自Mn、Co、Fe、Cu、Nb、Ba、Ca、Sr、Ti、Zn、V及稀土類金屬中的金屬或金屬氧化物；在所述陶瓷生片上涂布所述導(dǎo)電糊料形成成為內(nèi)部電極層的內(nèi)部電極圖案的工序；將形成了所述內(nèi)部電極圖案的所述陶瓷生片層合，形成層合體的工序；將所述層合體在具有10_14~10—18atm氧分壓的還原燒成氣氛中燒成的工序。全文摘要本發(fā)明的目的在于以較低成本得到具有連續(xù)性良好的內(nèi)部電極的層合陶瓷電容器。層合陶瓷電容器(1)的內(nèi)部電極層(4)由金屬粒子(40)構(gòu)成。此金屬粒子(40)由與內(nèi)部電極層(4)的面方向平行的方向的粒徑(R)求出的算術(shù)平均粒徑小于內(nèi)部電極層(4)的厚度(T)，可以通過(guò)使用含有導(dǎo)電粉末的導(dǎo)電糊料形成內(nèi)部電極層，在具有10^-14～10^-18atm氧分壓的還原燒成氣氛中進(jìn)行熱處理而得到，所述導(dǎo)電粉末在Ni金屬粒子上被覆有選自Mn、Co、Fe、Cu、Nb、Ba、Ca、Sr、Ti、Zn及稀土類金屬中的賤金屬粒子或其氧化物的粒子。文檔編號(hào)H01G4/008GK101354962SQ20081014404公開(kāi)日2009年1月28日申請(qǐng)日期2008年7月25日優(yōu)先權(quán)日2007年7月26日發(fā)明者水野洋一,粕谷雄一申請(qǐng)人:太陽(yáng)誘電株式會(huì)社