專利名稱：形成風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，具體涉及一種形成風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體的制造過程中，需要通過光刻套刻來進(jìn)行芯片的定位，具體方法是在芯 片的四周設(shè)置劃片槽，同時(shí)在劃片槽內(nèi)放置各種工藝上或產(chǎn)品上要用到的標(biāo)記，如光刻對 準(zhǔn)標(biāo)記。 現(xiàn)有的劃片槽結(jié)構(gòu)形成如圖1所示的矩形陣列。該矩形陣列中能夠排列5X4個 心片。 但是隨著半導(dǎo)體工藝的進(jìn)步，芯片的尺寸不斷縮小，為了保持和提高硅片面積的 利用率，劃片槽的寬度也需要相應(yīng)縮小，而對于生產(chǎn)制造中必須放置在劃片槽中的各種標(biāo) 記并不能全部縮小，例如放置在最外邊劃片槽中的光刻對準(zhǔn)標(biāo)記，因此這種矩形陣列的劃 片槽限制了硅片面積的利用率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種形成風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的方法，用該方法 可以形成風(fēng)車形劃片槽，從而提高硅片面積的利用率。 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明形成風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的方法的技術(shù)解決方案為， 包括以下步驟 第一步，根據(jù)芯片的尺寸和芯片的排列數(shù)目，生成矩形陣列的劃片槽數(shù)據(jù)；
第二步，確定占位圖形單元的數(shù)據(jù)，生成多個占位圖形單元； 第三步，將各占位圖形單元放置于所述矩形陣列四周的劃片槽內(nèi)，各占位圖形單 元在所述矩形陣列四周的劃片槽內(nèi)排列成風(fēng)車形； 第四步，利用布爾運(yùn)算將占位圖形單元所在位置上的劃片槽層次去除，使矩形陣 列四周的劃片槽形成風(fēng)車形狀。 所述占位圖形單元的寬度小于所述矩形陣列中位于四周的劃片槽寬度。
所述矩形陣列各邊的占位圖形單元的總長度不超過矩形陣列各邊邊長的一半。
本發(fā)明可以達(dá)到的技術(shù)效果是 本發(fā)明通過在劃片槽上設(shè)置占位圖形單元，利用占位圖形單元阻止其它工藝用圖 形單元被放置在其所在的區(qū)域。通過占位圖形單元的規(guī)律性排列，形成需要的風(fēng)車形劃片 槽結(jié)構(gòu)。 本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了本來比較復(fù)雜的風(fēng)車形劃片槽數(shù)據(jù)設(shè)計(jì)，使工藝用圖形單元按風(fēng)車 形的規(guī)則排列在劃片槽四周。


下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明
圖1是現(xiàn)有技術(shù)矩形陣列的劃片槽結(jié)構(gòu)的示意圖； 圖2是風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的示意圖； 圖3是本發(fā)明形成風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的方法示意圖。 圖中，A劃片槽結(jié)構(gòu)中內(nèi)部的劃片槽寬度，B劃片槽結(jié)構(gòu)中四周的劃片槽寬度，Bl、 B2、B3、R1、R2占位圖形單元，0占位圖形單元的原點(diǎn)。
具體實(shí)施例方式
為了盡能夠地縮小劃片槽的面積，提高硅片面積的利用率，使劃片槽結(jié)構(gòu)形成如 圖2所示的風(fēng)車形排列。 這種風(fēng)車形排列的劃片槽結(jié)構(gòu)的形成方法包括以下步驟 1、利用現(xiàn)有技術(shù)，根據(jù)芯片的尺寸和芯片的排列數(shù)目，生成矩形陣列的劃片槽數(shù) 據(jù)； 2、確定占位圖形單元的數(shù)據(jù)，生成占位圖形單元；
a、確定各占位圖形單元的尺寸； 占位圖形單元的寬度小于劃片槽結(jié)構(gòu)中位于四周的劃片槽寬度；
各占位圖形單元的長度不超過與其對應(yīng)的芯片尺寸； 劃片槽結(jié)構(gòu)的矩形陣列各邊的占位圖形單元的總長度小于矩形陣列各邊邊長的 一半； b、根據(jù)芯片的排列數(shù)目，確定四周每條邊上所需要的占位圖形單元的數(shù)目。
3、將占位圖形單元放置于矩形陣列四周的劃片槽內(nèi)，以矩形陣列各邊中點(diǎn)或中點(diǎn) 附近為起點(diǎn)，依次逆時(shí)針排列，使各占位圖形單元在所述矩形陣列四周的劃片槽內(nèi)排列成 風(fēng)車形；矩形陣列每條邊最后一個占位圖形單元中設(shè)置工藝特殊結(jié)構(gòu)。 4、利用布爾運(yùn)算將占位圖形單元所在位置上的劃片槽層次去除，使矩形陣列四周 的劃片槽形成風(fēng)車形狀。 占位圖形單元能夠阻止其它工藝用圖形單元被放置在其所在的區(qū)域。由于矩形陣 列的每個邊上的占位圖形單元的總長度大約是矩形陣列該邊長的一半，因此每個邊上的占 位圖形單元僅占據(jù)矩形陣列四周劃片槽的一半。 每條邊最后一個占位圖形單元中設(shè)有工藝特殊結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)作為劃片槽上的特殊 結(jié)構(gòu)。 通過以下方法，能夠形成所用芯片尺寸為400X450um，芯片排列數(shù)目為5X4的寬 度為50um的風(fēng)車形排列的劃片槽結(jié)構(gòu) 1、利用現(xiàn)有技術(shù)，讀入芯片的尺寸(CX = 400um， CY = 450um)和排列數(shù)目(AX =
5，AY = 4)，生成矩形陣列的劃片槽數(shù)據(jù)，如圖1所示；該矩形陣列中，位于內(nèi)部的劃片槽寬
度A為50咖，位于四周的劃片槽寬度B為48um ; 2、生成占位圖形單元，如圖3所示； a、確定四周每條邊上所需要的占位圖形單元的數(shù)目； 上下邊占位圖形單元的個數(shù)為(AX+1)/2 = 3 左右邊占位圖形單元的個數(shù)為(AY+1)/2 = 2 b、確定各占位圖形單元的尺寸；
占位圖形單元的寬度應(yīng)小于48um，使占位圖形單元的寬度為42um，這樣可使該部位保留6um的劃片槽寬度； 上下邊占位圖形單元的長度不超過CX ;
左右邊占位圖形單元的長度不超過CY ;
則各占位圖形單元的坐標(biāo)為 以矩形陣列每條邊的中心作為各占位圖形單元的原點(diǎn)O，上下邊第一個占位圖形單元B1的X方向范圍是2um到CX/2，第二個占位圖形單元B2的X方向范圍CX/2到3*CX/2，第三個占位圖形單元B3的范圍3*CX/2到5*CX/2 ;左右邊第一個占位圖形單元Rl的Y方向范圍是2um到CY，第二個占位圖形單元R2的Y方向范圍CY到2*CY。
c、在每條邊最后一個占位圖形單元中產(chǎn)生工藝特殊結(jié)構(gòu)； 3、以矩形陣列四周每條邊的中心為起點(diǎn)，將所生成的占位圖形單元依次放置在矩形陣列四周各邊的劃片槽內(nèi)，疊加后的占位圖形單元完全覆蓋從各邊中心開始2um到各邊頂點(diǎn)的區(qū)域； 4、在劃片槽中放置其他內(nèi)部和外部工藝圖形單元，由于占位圖形單元的存在，工藝圖形單元不會擺放在四周各邊占位圖形單元所在的區(qū)域。 5、利用布爾運(yùn)算將占位圖形單元所在位置上的劃片槽層次切割去除，就可以形成風(fēng)車形的劃片槽數(shù)據(jù)，如圖3所示。 本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了本來比較復(fù)雜的風(fēng)車形劃片槽數(shù)據(jù)設(shè)計(jì)，使工藝用圖形單元按風(fēng)車形的規(guī)則排列在劃片槽四周。
權(quán)利要求
一種形成風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，包括以下步驟第一步，根據(jù)芯片的尺寸和芯片的排列數(shù)目，生成矩形陣列的劃片槽數(shù)據(jù)；第二步，確定占位圖形單元的數(shù)據(jù)，生成多個占位圖形單元；第三步，將各占位圖形單元放置于所述矩形陣列四周的劃片槽內(nèi)，各占位圖形單元在所述矩形陣列四周的劃片槽內(nèi)排列成風(fēng)車形；第四步，利用布爾運(yùn)算將占位圖形單元所在位置上的劃片槽層次去除，使矩形陣列四周的劃片槽形成風(fēng)車形狀。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的形成風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于所述占位圖形 單元的寬度小于所述矩形陣列中位于四周的劃片槽寬度。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的形成風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于所述矩形 陣列各邊的占位圖形單元的總長度小于矩形陣列各邊邊長的一半。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的形成風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于所述各占位圖 形單元的長度不超過芯片的尺寸。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種形成風(fēng)車形劃片槽結(jié)構(gòu)的方法，包括以下步驟第一步，根據(jù)芯片的尺寸和芯片的排列數(shù)目，生成矩形陣列的劃片槽數(shù)據(jù)；第二步，確定占位圖形單元的數(shù)據(jù)，生成多個占位圖形單元；第三步，將各占位圖形單元放置于所述矩形陣列四周的劃片槽內(nèi)，各占位圖形單元在所述矩形陣列四周的劃片槽內(nèi)排列成風(fēng)車形；第四步，利用布爾運(yùn)算將占位圖形單元所在位置上的劃片槽層次去除，使矩形陣列四周的劃片槽形成風(fēng)車形狀。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了本來比較復(fù)雜的風(fēng)車形劃片槽數(shù)據(jù)設(shè)計(jì)，使工藝用圖形單元按風(fēng)車形的規(guī)則排列在劃片槽四周。
文檔編號H01L21/00GK101745993SQ20081004408
公開日2010年6月23日 申請日期2008年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月10日
發(fā)明者丁華, 倪凌云, 周京英, 孫長江, 張喆 申請人:上海華虹Nec電子有限公司