專利名稱：真空容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空容器，更詳細(xì)地說，是涉及適用于構(gòu)成例如FPD用基板等處理基板的處理裝置的真空預(yù)備室等的真空容器。
背景技術(shù)：
真空容器目前在各種產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。例如，在半導(dǎo)體生產(chǎn)工序中，真空容器被廣泛地應(yīng)用于蝕刻處理裝置或成膜處理裝置。這種處理裝置例如構(gòu)成為具有晶片或FPD用基板等的被處理基板的載置機(jī)構(gòu)、真空預(yù)備室、搬送室及處理室。而且，真空預(yù)備室、搬送室及處理室分別作為真空容器而形成。
例如，圖7為專利文獻(xiàn)1中構(gòu)成本案申請(qǐng)人提案的FPD用基板的處理裝置的真空預(yù)備室的圖示。該真空預(yù)備室1內(nèi)設(shè)有多關(guān)節(jié)型的搬送裝置2，通過搬送裝置2在載置機(jī)構(gòu)(未圖示)和處理室(未圖示)之間進(jìn)行FPD用基板S的接收傳遞。該真空預(yù)備室1具有移動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)，在載置機(jī)構(gòu)和處理室之間往復(fù)移動(dòng)，當(dāng)與處理室之間進(jìn)行FPD用基板S的接收傳遞時(shí)，前方的開口部壓接在處理室的閘閥側(cè)側(cè)面，因而可以抽真空。另外，在真空預(yù)備室1的后方，設(shè)置有閘閥3，以便在真空預(yù)備室1和載置機(jī)構(gòu)之間進(jìn)行FPD用基板S的接收傳遞。而且，圖7雖未標(biāo)示，但是真空預(yù)備室1具有框體、可開閉的蓋體以及在蓋體和框體之間安裝的密封部件，以便在組裝搬送機(jī)構(gòu)2時(shí)或維護(hù)時(shí)能夠開放蓋體。另外，1A為FPD用基板S的搬出搬入口。
但是，伴隨近年FPD用基板S的大型化，真空預(yù)備室1也正在大型化。并且，由于真空預(yù)備室1例如由鋁或不銹鋼等金屬制成，與之相應(yīng)，蓋體本身要求有能夠堪負(fù)真空的剛性，所以蓋體本身重量加大，靠人手開閉蓋體就變得較為困難。
因此，如圖8(a)所示，將由氣缸機(jī)構(gòu)等構(gòu)成的開閉機(jī)構(gòu)6設(shè)置于真空預(yù)備室1，如同圖(b)所示，受助于該開閉機(jī)構(gòu)6，加重了的開閉蓋體1B就能開閉了。
專利文獻(xiàn)1特開平11-345859號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容發(fā)明所要解決的課題是FPD用基板S今后還會(huì)有逐漸大型化的趨勢(shì)，隨之，處理裝置也會(huì)大型化，其真空預(yù)備室1的蓋體1B就會(huì)例如超過1500mm，由于蓋體1B的受壓面積也會(huì)大幅度增大，蓋體1B為能夠堪負(fù)框體1內(nèi)的真空，就需要制作成壁厚較大的特殊規(guī)格，這樣會(huì)導(dǎo)致其制作成本飛升，而且，蓋體1B開放時(shí)的高度(跳起高度)增高，需要對(duì)于因維護(hù)等引起的開放時(shí)的安全有萬全之策，存在引起總成本大幅度飛升這樣的課題。另外，也會(huì)產(chǎn)生因蓋體1B的大型化導(dǎo)致開閉操作本身變得困難這樣的課題。再者，為了能夠進(jìn)行存在于真空預(yù)備室內(nèi)的機(jī)構(gòu)或FPD用基板等的取出作業(yè)，需要能將框體上面輕易地打開。
本發(fā)明是為解決上述課題而提出的，目的在于提供如下的真空容器，即，將蓋體小型化、輕重量化而能夠降低制作成本的同時(shí)，還能夠降低跳起高度，并且，可以將框體上面的一部分或整個(gè)面作為一開口，進(jìn)而可以削減包括維護(hù)等在內(nèi)的總成本。
為解決上述課題采取如下方法本發(fā)明權(quán)利要求1所述的真空容器包括框體、和從該框體的上端開口部密封內(nèi)部的可開閉的蓋體，其特征在于，將上述蓋體分割成多個(gè)蓋部件的同時(shí)，在這些蓋部件和上述框體的上端之間介插密封輔助部件。
另外，本發(fā)明權(quán)利要求2所述的真空容器的特征在于在權(quán)利要求1所述的發(fā)明中，上述密封輔助部件具有接觸上述框體上端面的第一接觸部；和與第一接觸部一體化且在上述框體的上端開口部與上述各蓋部件接觸的第二接觸部。
另外，本發(fā)明權(quán)利要求3所述的真空容器的特征在于在權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的發(fā)明中，將在上述框體的上端開口部支撐上述各蓋部件的支撐構(gòu)件架設(shè)于上述框體的上端間。
另外，本發(fā)明權(quán)利要求4所述的真空容器的特征在于權(quán)利要求1～3任一項(xiàng)所述的發(fā)明中，在上述框體和上述密封輔助部件的第一接觸部之間及在上述各蓋部件和上述密封輔助部件之間，分別介入安裝密封部件。
另外，本發(fā)明權(quán)利要求5所述的真空容器的特征在于權(quán)利要求1～4任一項(xiàng)所述的中，將上述密封輔助部件和上述支撐構(gòu)件一體化。
另外，本發(fā)明權(quán)利要求6所述的真空容器的特征在于權(quán)利要求1～5任一項(xiàng)所述發(fā)明中，將上述框體做成矩形，一邊至少為1500mm。
另外，本發(fā)明權(quán)利要求7所述的真空容器的特征在于權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的中，由透明材料制成上述密封輔助部件及/或上述蓋體。
另外，本發(fā)明權(quán)利要求8所述的真空容器的特征在于權(quán)利要求7所述的中，上述透明材料由丙烯酸酯樹脂或聚碳酸酯樹脂制成。
另外，本發(fā)明權(quán)利要求9所述的真空容器的特征在于權(quán)利要求1～8任一項(xiàng)所述的發(fā)明中，在上述框體內(nèi)設(shè)置裝置基板的機(jī)構(gòu)。
另外，本發(fā)明權(quán)利要求10所述的真空容器的特征在于權(quán)利要求1～9任一項(xiàng)所述的發(fā)明中，在上述框體內(nèi)設(shè)置搬送基板的機(jī)構(gòu)。
發(fā)明效果如下根據(jù)本發(fā)明的權(quán)利要求1～權(quán)利要求9所述的發(fā)明，可以提供如下真空容器，即，在將蓋體小型化、輕重量化而能夠降低制作成本的同時(shí)，還能夠降低跳起高度，進(jìn)而可以削減包括維護(hù)等在內(nèi)的總成本。


圖1為表示本發(fā)明一實(shí)施方式的真空容器上部的圖。(a)為表示真空容器的蓋體關(guān)閉狀態(tài)的立體圖；(b)為表示蓋體打開狀態(tài)的立體圖。
圖2為表示從框體卸下圖1中支撐構(gòu)件及密封輔助部件狀態(tài)的立體圖。
圖3為表示圖1所示真空容器圖。(a)為表示破斷蓋體一部分的平面圖；(b)為與表示(a)中蓋體打開狀態(tài)的支撐構(gòu)件垂直方向的截面圖；(c)為沿(a)中支撐構(gòu)件的長(zhǎng)度方向的截面圖。
圖4為表示打開圖1中真空容器的第一蓋部件狀態(tài)的立體圖。
圖5為表示本發(fā)明其它實(shí)施方式關(guān)鍵部位的圖。(a)為其立體圖；(b)為表示密封輔助部件的立體圖。
圖6為表示本發(fā)明另一實(shí)施方式的圖。(a)為其立體圖；(b)為沿表示蓋體關(guān)閉狀態(tài)的合葉機(jī)構(gòu)的截面圖；(c)為表示從與(b)的側(cè)面垂直的側(cè)面打開蓋體狀態(tài)的截面圖；(d)表示從(c)的狀態(tài)要關(guān)閉蓋體的狀態(tài)的截面圖。
圖7為表示透視構(gòu)成現(xiàn)有處理裝置的真空預(yù)備室的立體圖。
圖8為表示現(xiàn)有大型真空預(yù)備室的圖。(a)為表示其蓋體為關(guān)閉狀態(tài)的立體圖；(b)為表示打開蓋體狀態(tài)的立體圖。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)圖1～圖7所示實(shí)施方式，對(duì)本發(fā)明加以說明。在本實(shí)施方式中，通過多個(gè)分割蓋體可以獲得合乎目的的真空容器。雖然在本實(shí)施方式中，是以適用于構(gòu)成FPD用基板的處理裝置的真空預(yù)備室為例進(jìn)行說明，但本發(fā)明可以廣泛適用于大型的真空容器。
(實(shí)施例1)本實(shí)施例中的真空容器10例如如圖1(a)所示，包括上端具有開口部的框體11；和從該框體11的開口部密封內(nèi)部的可開閉的蓋體12，作為構(gòu)成FPD用基板的處理裝置的真空預(yù)備室來使用，框體11由例如鋁或不銹鋼等金屬制成。
而且，本實(shí)施例中，蓋體12具有以下主要特征。即，本實(shí)施例所采用的蓋體12，如圖1(a)、(b)所示，構(gòu)成為由第一、第二蓋部件12A、12B組成的二分割構(gòu)造，可以個(gè)別地開閉各蓋部件12A、12B。這些蓋部件12A、12B，各自的受壓面積比起一體物要小，所以無需特殊的耐壓標(biāo)準(zhǔn)，可以減輕其重量。這些蓋部件12A、12B，可以由與框體11相同的材料制成。另外，這些蓋部件12A、12B，根據(jù)場(chǎng)合不同，也可以由例如丙烯酸酯樹脂或聚碳酸酯樹脂等透明且機(jī)械強(qiáng)度大的合成樹脂制成，可以確認(rèn)其內(nèi)部情況。這些蓋部件12A、12B，只要能確保機(jī)械強(qiáng)度，也可以制成中空狀。
另外，在圍繞框體11的開口部的上端面11A上，整個(gè)周邊設(shè)置有細(xì)溝(未圖示)，該溝內(nèi)如圖1(b)及圖2中雙點(diǎn)劃線所示，裝有由O形圈構(gòu)成的第一密封部件13作為密封部件。該密封部件13與后述密封輔助部件共同作用，使框體11內(nèi)保持在規(guī)定的真空度。
另外，在框體11的上端面11A上，設(shè)有四個(gè)用于開閉第一、第二蓋部件12A、12B的開閉機(jī)構(gòu)14。這些開閉機(jī)構(gòu)14由例如彈簧氣缸(cylinder)等的氣缸機(jī)構(gòu)構(gòu)成，第一、第二蓋部件12A、12B上各帶有兩個(gè)。屬于第一蓋部件12A的兩個(gè)開閉機(jī)構(gòu)14的氣缸14A的基端部分別通過合葉(hinge)機(jī)構(gòu)15安裝在框體11上端左右，各自的活塞桿14B的前端通過連接部件14C連接在蓋部件12A的自由端部，各開閉機(jī)構(gòu)14平行配置。其它兩個(gè)開閉機(jī)構(gòu)14分別屬于第二蓋部件12B，與分別屬于第一蓋部件12A的開閉機(jī)構(gòu)14相對(duì)配置。例如，當(dāng)由人手打開第一蓋部件12A時(shí)，將第一蓋部件12A的自由端由左右拉起到超過開閉機(jī)構(gòu)14的死點(diǎn)位置之后，開閉機(jī)構(gòu)14開始動(dòng)作，通過合葉機(jī)構(gòu)15使第一蓋部件12A旋轉(zhuǎn)打開。第二蓋部件12B也可以同樣地打開。另外，合葉機(jī)構(gòu)15上設(shè)置有進(jìn)行第一、第二蓋部件12A、12B開閉操作的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)也可以使蓋部件12A、12B的開閉動(dòng)作自動(dòng)化或者有所輔助。另外，開閉機(jī)構(gòu)14不限于兩個(gè)，也可以設(shè)置兩個(gè)以上。
另外，在第一、第二蓋部件12A、12B的內(nèi)面的外周端部，整個(gè)外周設(shè)置有細(xì)溝(未圖示)，該溝內(nèi)如圖1(b)所示裝有密封部件例如由O形圈制成的第二密封部件16。該密封部件16與第一密封部件13同樣，與后述的密封輔助部件共同作用，使框體11內(nèi)保持在規(guī)定的真空度。
而且如圖1(b)及圖2、圖3(a)、(b)所示，框體11的開口部上，架設(shè)著支撐第一、第二蓋部件12A、12B的支撐構(gòu)件17，可自由裝卸。支撐構(gòu)件17長(zhǎng)度方向的兩端上如圖2、圖3(c)所示，形成段部17A，另外，在框體11的開口端部11A上形成與支撐構(gòu)件17的段部17A結(jié)合的切口部11B[參照?qǐng)D3(c)]。該支撐構(gòu)件17在架設(shè)于框體11的狀態(tài)下，支撐構(gòu)件17的上面與框體11的上端面11A處于同一平面。
而且，密封輔助部件(封閉輔助部件)18由鋁或不銹鋼，或者具有剛性且透明或不透明的合成樹脂(例如丙烯酸酯樹脂、聚碳酸酯樹脂等)等制成，如圖2、圖3(a)、(b)所示，可自由裝卸地安裝在框體11的上端面11A及支撐構(gòu)件17的表面。即，密封輔助部件18如圖2所示，具有與框體11的上端面11A接觸的矩形形狀的第一接觸部18A、與第一接觸部18A一體化且橫穿框體11的開口部與第一、第二蓋部件12A、12B的自由端部?jī)?nèi)面接觸的第二接觸部18B，整體形成“日”字狀。第二接觸部18B形成為寬度與支撐構(gòu)件17的寬度相同或者較之狹窄，其整面由支撐構(gòu)件17所支撐。因此，密封輔助部件18在關(guān)閉第一、第二蓋部件12A、12B將框體11的內(nèi)部抽成真空時(shí)，其下面與圖2雙點(diǎn)劃線所示的框體11的上端面11A的第一密封部件13貼緊，同時(shí)，其上面在圖2雙點(diǎn)劃線所示的位置與第一、第二蓋部件12A、12B的第二密封部件16分別貼緊，從外部密封住框體11內(nèi)部。
本實(shí)施例的真空容器10是作為FPD用基板的真空預(yù)備室使用，所以如圖7所示的FPD用基板的搬送機(jī)構(gòu)或者FPD用基板的載置臺(tái)(未圖示)是裝在框體11的內(nèi)部。并且，在框體11的前后左右設(shè)置有FPD用基板的搬出搬入口(未圖示)，這些搬出搬入口通過閘閥將框體11內(nèi)從外部遮斷密封。在框體11內(nèi)裝入搬送機(jī)構(gòu)的情況下，通過框體11內(nèi)的搬送機(jī)構(gòu)，在載置機(jī)構(gòu)和處理室之間接收傳遞FPD用基板。另外，在框體11內(nèi)裝入載置臺(tái)的情況下，通過載置機(jī)構(gòu)一側(cè)及處理室一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)，以真空容器10為中繼點(diǎn)接收傳遞FPD用基板。
下面，對(duì)動(dòng)作進(jìn)行說明。當(dāng)作為蓋體12的第一、第二蓋部件12A、12B關(guān)閉時(shí)，真空容器10起到作為FPD用基板的處理裝置的真空預(yù)備室的作用。在框體11內(nèi)接收到FPD用基板后，通過氮?dú)獾确腔钚詺怏w凈化框體11內(nèi)的空氣，然后使用真空泵等真空裝置將框體11內(nèi)減壓，在框體11內(nèi)形成處理室標(biāo)準(zhǔn)的真空狀態(tài)。此時(shí)，第一、第二蓋部件12A、12B由于大氣壓而被牢牢地壓在框體11側(cè)。由于該按壓力，第一、第二密封部件13、16對(duì)于密封輔助部件18緊壓，通過第一密封部件13密封框體11的上端面11A和密封輔助部件18之間，同時(shí)，通過第二密封部件16密封第一、第二蓋部件12A、12B和密封輔助部件18之間，使框體11內(nèi)形成真空狀態(tài)。
一旦框體11的內(nèi)部達(dá)到真空狀態(tài)，第一、第二蓋部件12A、12B就會(huì)受到大氣壓力，然而，若其各自的受壓面積大致減半，按壓力就會(huì)大致減半，與之相應(yīng)，在框體11的開口部，通過支撐構(gòu)件17支撐著蓋部件12A、12B的自由端部，通過密封輔助部件18可以可靠地密封第一、第二蓋部件12A、12B和框體的上端面之間，進(jìn)而，可以可靠地將框體11的內(nèi)部保持在規(guī)定的真空度，順利地在框體11和處理室間進(jìn)行FPD用基板的接收傳遞。另外，此時(shí)，支撐構(gòu)件17可以可靠地防止第一、第二蓋部件向框體11內(nèi)部的彎曲，發(fā)揮良好的密封性能。
而且，如果持續(xù)地使用真空容器10，那么根據(jù)需要就要維護(hù)搬送機(jī)構(gòu)等的驅(qū)動(dòng)部。另外，作為由FPD用基板的處理產(chǎn)生的副生成物等的微粒，侵入真空容器10的框體11內(nèi)等會(huì)引起微粒堆積，所以需要清潔。因此，在解除了真空容器10的框體11內(nèi)部的真空之后，例如從框體11左右通過人手將第一蓋部件12A的自由端側(cè)抬升到超過開閉機(jī)構(gòu)14的死點(diǎn)的位置后，開閉機(jī)構(gòu)14一開始動(dòng)作，其活塞桿14B就收縮，第一蓋部件12A通過合葉機(jī)構(gòu)15旋轉(zhuǎn)，就打開框體11的開口部的僅一半(參照?qǐng)D4)。另外，第二蓋部件12B也與第一蓋部件12A一樣地打開，就全面打開框體11的開口部。
在該狀態(tài)下，密封輔助部件18及支撐構(gòu)件17成為障礙，無法維護(hù)蓋體12的內(nèi)部，所以通過順次卸下密封輔助部件18及支撐構(gòu)件17，可以全面打開框體11的內(nèi)部，可以進(jìn)行裝入框體11內(nèi)的搬送裝置或載置臺(tái)的維護(hù)工作。另外，還可以進(jìn)行框體11內(nèi)部的清潔工作?？蝮w11內(nèi)的維護(hù)及清潔工作結(jié)束后，進(jìn)行第一、第二蓋部件12A、12B的清潔工作。真空容器10如果是超過1500mm的大型容器，例如如圖4所示，在關(guān)閉第二蓋部件12B的狀態(tài)下上到其上面，在第二蓋部件12B上可以進(jìn)行第一蓋部件12A內(nèi)面及框體11內(nèi)部的清潔工作。第二蓋部件12B也以與第一蓋部件12A同樣的順序進(jìn)行清潔。進(jìn)而進(jìn)行第一、第二蓋部件12A、12B表面的清潔。另外，與這些工作同步，進(jìn)行第一、第二密封部件13、16、開閉機(jī)構(gòu)14及合葉機(jī)構(gòu)15等的維護(hù)。
真空容器10的維護(hù)結(jié)束后，在復(fù)原各部件之后，關(guān)閉第一、第二蓋部件12A、12B，通過從外部密封框體11的內(nèi)部，可以作為真空預(yù)備室使用。
如以上說明，根據(jù)本實(shí)施例，將蓋體12分割成第一、第二蓋部件12A、12B的同時(shí)，在這些蓋部件12A、12B和框體11的上端面之間設(shè)置密封輔助部件18，因此，作為二分割構(gòu)造的第一、第二蓋部件12A、12B，將蓋體12小型化、輕重量化，可以降低制造成本的同時(shí)，還可以降低各蓋部件12A、12B各自的跳起高度，并且，即便蓋體12為二分割構(gòu)造，通過密封輔助部件18，可以可靠地密封第一、第二蓋部件12A、12B和框體11的上端面11A之間。另外，因?yàn)榭梢越档偷谝?、第二蓋部件12A、12B各自的跳起高度，所以不要特別的安全對(duì)策，可以極大地降低包括真空容器10的維護(hù)等在內(nèi)的總體成本。
另外，根據(jù)本實(shí)施例，密封輔助部件18因?yàn)榫哂信c框體11的上端面11A接觸的第一接觸部18A；和與第一接觸部18A一體化且在框體11的開口部與第一、第二蓋部件12A、12B接觸的第二接觸部18B，所以第一、第二蓋部件12A、12B各自在整個(gè)周長(zhǎng)上都可以可靠地密封框體11的內(nèi)部，可靠維持框體11內(nèi)的真空度。另外，根據(jù)本實(shí)施例，是例如一邊超過1500mm，蓋體12的受壓面積較大的真空容器10的情況下，能夠起到顯著的效果。另外，因?yàn)樵诳蝮w11的開口部支撐第一、第二蓋部件12A、12B的支撐構(gòu)件17架設(shè)在框體11的上端間，所以第一、第二蓋部件12A、12B即使受到大氣壓力，也可以可靠地防止這些蓋部件12A、12B向框體11一側(cè)的彎曲，可以最大限度地發(fā)揮第一、第二密封部件13、16及密封輔助部件18的功能。另外，因?yàn)樵谡婵杖萜?0的框體11內(nèi)設(shè)置了FPD用基板的搬送裝置或者載置臺(tái)，所以真空容器10可以作為密封機(jī)構(gòu)及維護(hù)性高的處理裝置的真空預(yù)備室發(fā)揮作用。
另外，也可以將支撐構(gòu)件17和密封輔助部件18做成一體化(未圖示)。在這種情況下，可以將支撐構(gòu)件17和密封輔助部件18同時(shí)安裝在框體11的上端面11A上，且可以獲得與上述實(shí)施例同樣的作用效果。
(實(shí)施例2)本實(shí)施例的真空容器20中，如圖5所示，作為二分割構(gòu)造的蓋體22的第一、第二蓋部件22A、22B及密封輔助部件28的形態(tài)，與上述實(shí)施例不同，同時(shí)，在省略了支撐構(gòu)件這一點(diǎn)上與上述實(shí)施例也不相同。除這些地方之外，可以按照上述實(shí)施例構(gòu)造而成。因此，在此以本實(shí)施例的特征為中心進(jìn)行說明。
本實(shí)施例采用的第一、第二蓋部件22A、22B，如圖5(a)所示，各自的壁厚從基端部向自由端部逐漸增大。關(guān)于其理由后面說明。這樣，在蓋部件22A、22B的重量增大的情況下，可以通過將各蓋部件22A、22B做成中空狀實(shí)現(xiàn)輕重量化。
另一方面，密封輔助部件28如圖5(b)所示，具有第一接觸部28A及第二接觸部28B。第二接觸部28B由兩部分構(gòu)成從第一接觸部28A的中間部(相當(dāng)于第一、第二蓋部件22A、22B的自由端部的部位)在垂直上方伸出設(shè)置的左右垂直部28C；和連接這些垂直部28C的水平部28D。在第二接觸部28B的兩側(cè)分別安裝有第二密封部件26。該密封部件26構(gòu)成環(huán)狀，沿第一接觸部28A的上面、垂直部28C及水平部28D的一面配置。因此，如果關(guān)閉第一、第二蓋部件22A、22B，這些蓋部件22A、22B的壁厚的自由端面與第二接觸部28B的第二密封部件26貼緊，同時(shí)，這些蓋部件22A、22B自由端部以外的內(nèi)面外周緣部與第二接觸部28B的第二密封部件26貼緊。
另外，在框體21的上端面21A上與上述實(shí)施例同樣，安裝有第一密封部件(未圖示)，該第一密封部件與密封輔助部件28的下面即第一接觸部28A的下面接觸。
這樣，由于第一、第二蓋部件22A、22B的壁厚的自由端面分別與密封輔助部件28的第二接觸部28B兩側(cè)面接觸，框體21內(nèi)成為真空狀態(tài)，即便向第一、第二蓋部件22A、22B施加強(qiáng)大按壓力，這些蓋部件22A、22B各自的自由端面與密封輔助部件28的第二接觸部28B接觸，按壓力也會(huì)從各自的自由端面作用于第二接觸部28B而相互抵消，不會(huì)使蓋部件22A、22B向框體21內(nèi)彎曲。
也就是說，通過將第一、第二蓋部件22A、22B的自由端部比其它部分做成較大壁厚，來確保足夠承受大氣壓力產(chǎn)生的按壓力的機(jī)械強(qiáng)度。從這種觀點(diǎn)來看，第一、第二蓋部件22A、22B也可以不是其各自的壁厚向自由端面逐漸增大的類型。關(guān)鍵是，自由端面的壁厚如果具有耐得住大氣壓力產(chǎn)生的按壓力即可；重量上如果可能，也可以將蓋部件整體做成均一厚度；另外，強(qiáng)度上如果可能，也可以增厚自由端面部分的附近部位，將其它部位做得比它薄，但厚度均一。
如以上說明，根據(jù)本實(shí)施例，第一、第二蓋部件22A、22B各自的自由端面從密封輔助部件28的第一接觸部28A抬升與形成的第二接觸部28B的左右兩面接觸，所以即使在沒有設(shè)置支撐第一、第二蓋部件22A、22B的支撐構(gòu)件的情況下，對(duì)于第一、第二蓋部件22A、22B，大氣壓力產(chǎn)生的壓力通過第二接觸部28B在互相接觸的各蓋部件22A、22B各自的自由端面互相抵消，可以防止各自的彎曲，與上述實(shí)施例同樣地，能夠發(fā)揮穩(wěn)定的密封性能。
在本實(shí)施例中，雖然將第二密封部件26安裝在密封輔助部件28，但是，也可以與實(shí)施例1、2一樣，將該密封部件26安裝在第一、第二蓋部件22A、22B的相應(yīng)地方。另外，在本實(shí)施例中，雖然將第一密封部件安裝在框體21，但也可以將該密封部件安裝在密封輔助部件28的第一接觸部28A下面。
(實(shí)施例3)如圖6(a)～(d)所示，本實(shí)施例的真空容器30包括將蓋體22四分割的第一、第二、第三、第四蓋部件32A、32B、32C、32D；這些蓋部件32A、32B、32C、32D內(nèi)面的外周緣部中支撐位于框體31的開口部的部分的十字狀支撐構(gòu)件37；和包裹該支撐構(gòu)件37的表面及框體31的上端面31A的“田”字狀的密封輔助部件38。除這些之外按實(shí)施例1構(gòu)成。
本實(shí)施例采用的第一、第二、第三、第四蓋部件32A、32B、32C、32D如圖6(a)所示，各自帶有一個(gè)開閉機(jī)構(gòu)34。例如，第一蓋部件32A上安裝的開閉機(jī)構(gòu)34在框體31的上端面31A上沿第一蓋部件32A的側(cè)面配置。并且，該開閉機(jī)構(gòu)34的氣缸34A通過連接部件(未圖示)連接在第一蓋部件32A的側(cè)面的自由端部附近。另外，開閉機(jī)構(gòu)34的活塞桿34B的先端，沿第一蓋部件32A的基端部通過配置在框體31的上端面的合葉機(jī)構(gòu)35連接在第一蓋部件32A上。
支撐構(gòu)件37如上所述做成十字狀，如圖6(b)所示，在十字狀的各端面上形成段部37A。支撐構(gòu)件37的各段部37A與在框體31的上端面31A的相應(yīng)地方形成的切口部31B相結(jié)合。并且，密封輔助部件38具有與框體31的上端面31A接觸的第一接觸部38A和與支撐構(gòu)件37接觸的十字狀第二接觸部38B。其它按實(shí)施例1構(gòu)成。
如以上說明，根據(jù)本實(shí)施例，可以將蓋體32及開閉機(jī)構(gòu)34比上述各實(shí)施例更小型化、輕重量化。
另外，在上述各實(shí)施例中，就蓋體做二分割及四分割進(jìn)行了說明，但是，根據(jù)需要，也可以分割成更多。因此，支撐構(gòu)件及密封輔助部件的形態(tài)也結(jié)合蓋體的分割數(shù)量發(fā)生變化。而且，第一密封部件既可以介插在密封輔助部件和框體之間，也可以安裝在密封輔助部件、框體的任一方上。同樣地，第二密封部件既可以介插在蓋體和密封輔助部件之間，也可以安裝在蓋體、密封輔助部件的任一方上。另外，框體、蓋體及密封輔助部件的材料不局限于上述各實(shí)施例，按目的可以使用各種材料。還有，在上述各實(shí)施例中，關(guān)于適用于構(gòu)成FPD用基板的處理裝置的真空預(yù)備室的真空容器進(jìn)行了說明，但是，對(duì)于適合本發(fā)明目的的其它各種真空容器，也廣泛地適用。
產(chǎn)業(yè)上利用的可能性本發(fā)明的真空容器能夠較好地適用于例如構(gòu)成FPD用基板的處理裝置的真空預(yù)備室等的大型真空容器。
權(quán)利要求
1.一種真空容器，包括框體、和從該框體的上端開口部密封內(nèi)部的可開閉的蓋體，其特征在于，將所述蓋體分割成多個(gè)蓋部件的同時(shí)，在這些蓋部件和所述框體的上端之間介插密封輔助部件，在所述框體和所述密封輔助部件的第一接觸部之間及在所述各蓋部件和所述密封輔助部件之間，分別介入安裝密封部件，將所述框體做成矩形，一邊至少為1500mm以上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空容器，其特征在于，所述密封輔助部件具有接觸所述框體上端面的第一接觸部；和與第一接觸部一體化且在所述框體的上端開口部與所述各蓋部件接觸的第二接觸部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1和權(quán)利要求2所述的真空容器，其特征在于，將在所述框體的上端開口部支撐所述各蓋部件的支撐構(gòu)件架設(shè)于所述框體的上端間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1和權(quán)利要求3所述的真空容器，其特征在于，將所述密封輔助部件和所述支撐構(gòu)件一體化。
5.根據(jù)權(quán)利要求1和權(quán)利要求4所述的真空容器，其特征在于，由透明材料制成所述密封輔助部件及/或所述蓋體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1和權(quán)利要求5所述的真空容器，其特征在于，所述透明材料由丙烯酸酯樹脂或聚碳酸酯樹脂制成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1和權(quán)利要求6所述的真空容器，其特征在于，在所述框體內(nèi)設(shè)置裝置基板的機(jī)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1和權(quán)利要求7所述的真空容器，其特征在于，在所述框體內(nèi)設(shè)置搬送基板的機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種真空容器。伴隨LCD用基板S的處理裝置的大型化，真空預(yù)備室(1)的蓋體(1B)將會(huì)超過1500mm，這樣一來蓋體(1B)的受壓面積大幅度增大，就需要制作壁厚較大的特殊規(guī)格的蓋體(1B)才能夠耐住框體(1)內(nèi)的真空，其制作成本飛升，并且蓋體(1B)開放時(shí)的高度(跳起高度)增高，需要對(duì)因維護(hù)等開閉時(shí)的安全有萬全之策，故導(dǎo)致總成本大幅度升高。針對(duì)這一問題使用如下方法解決，本發(fā)明的真空容器(10)包括其上端設(shè)置開口部的框體(11)；和從該框體(11)的上端開口封閉內(nèi)部的可開閉的蓋體(12)。將蓋體(12)二分割成第一、第二蓋部件12A、12B，同時(shí)，在這些蓋部件12A、12B和框體11的上端面11A之間安裝密封輔助部件18。
文檔編號(hào)H01L21/677GK1581433SQ200410070059
公開日2005年2月16日 申請(qǐng)日期2004年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月12日
發(fā)明者岡部星兒 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社