專利名稱：高反射率高抗損傷閾值超寬帶飛秒激光反射器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于激光技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及到高反射率高抗損傷閾值超寬帶飛秒激光反射器。
背景技術(shù)：
高峰值功率飛秒激光脈沖為人類揭示物質(zhì)微觀結(jié)構(gòu)和超快過程規(guī)律提供了一種有效的手段，尤其近年來，人們利用TW級的超短超強激光開展了與物質(zhì)靶相互作用的物理實驗，來研究物質(zhì)原子尺度上的運行規(guī)律。對于高峰值功率的飛秒激光脈沖的產(chǎn)生和應(yīng)用而言，需要有合適的光學(xué)元件來引導(dǎo)光路，如反射、透射和折射方式等，其中最普遍使用的是反射導(dǎo)光，對于飛秒激光脈沖一般采用在光學(xué)玻璃上鍍反射膜來實現(xiàn)高反射率，但對于飛秒激光脈沖來說，峰值功率很高，光譜帶寬很寬，而鍍寬譜帶的反射膜工藝復(fù)雜，膜層很厚，對鍍膜機要求高，而且難以實現(xiàn)抗高峰值功率的損傷閾值。
光學(xué)直角棱鏡的材料通常采用K9玻璃或融熔石英玻璃，當激光在直角棱鏡傳輸?shù)竭_斜面時，如果入射角為45°，在200nm～2200nm波段內(nèi)可實現(xiàn)光學(xué)全反射，它們的全反射帶寬都達到2000nm以上，對于超寬帶的飛秒激光，光譜帶寬一般為200nm以上，為實現(xiàn)45°寬帶反射，一般需在光學(xué)玻璃上蒸鍍超寬帶反射膜，這種超寬帶反射膜一般需用氧化鋯或氧化鈦鍍層上覆蓋氧化硅鍍層，在氧化硅鍍層上再覆蓋氧化鋯或氧化鈦鍍層，交替蒸鍍50～60層，透過率一般最高達到95％，當高功率激光入射到這樣厚的膜層上時，由于吸收和膜層缺陷原因，很容易損傷鍍膜層，損傷閾值低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的主要技術(shù)問題在于克服上述蒸鍍寬帶全反射膜鍍層的缺陷，提供一種設(shè)計合理、結(jié)構(gòu)簡單、透光率高的高反射率高抗損傷閾值超寬帶激光反射器。
解決上述技術(shù)問題本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是在支架或底座上設(shè)置有斜面與一個直角側(cè)面或與另一個直角側(cè)面的夾角為45°的直角棱鏡，在直角棱鏡的一個直角側(cè)面和另一個直角側(cè)面上真空蒸鍍有增透膜，直角棱鏡的斜面為光學(xué)拋光面。
本發(fā)明直角棱鏡的一個直角側(cè)面和另一個直角側(cè)面上真空蒸鍍的增透膜為氧化鉭和氧化硅，真空交替蒸鍍6～12層。
本發(fā)明直角棱鏡的材料采用K9光學(xué)玻璃或融熔石英光學(xué)玻璃制成。
本發(fā)明直角棱鏡的材料采用K9光學(xué)玻璃或融熔石英光學(xué)玻璃制成，在直角棱鏡的一個直角面和另一個直角面上真空鍍有增透膜，增透膜的材料采用氧化鉭和氧化硅，真空交替蒸鍍6～12層。由于本發(fā)明的直角棱鏡采用上述材料以及結(jié)構(gòu)，使得本發(fā)明的直角棱鏡能通過光譜帶寬為200nm以上超寬帶的飛秒激光，透光率達到99.5％。本發(fā)明具有設(shè)計合理、結(jié)構(gòu)簡單、透光率高、激光吸收小、抗激光損傷閾值高等優(yōu)點，可在飛秒激光的光學(xué)設(shè)備上推廣使用。


圖1是本發(fā)明一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步詳細說明，但本實用新型不限于這些實施例。
實施例1在圖1中，本實施例的高反高損傷閾值超寬帶激光反射器由直角棱鏡1、支架2聯(lián)接構(gòu)成。在支架2的上端通過螺紋與直角棱鏡1相聯(lián)接。本實施例的直角棱鏡1為等腰直角棱鏡，直角棱鏡1的斜面C與一個直角側(cè)面A的夾角為45°，直角棱鏡1的斜面C與另一個直角側(cè)面B的夾角為45°，直角棱鏡1的材料采用K9光學(xué)玻璃。在直角棱鏡1的一個直角側(cè)面A上鍍有增透膜，在直角棱鏡1的另一個直角側(cè)面B上鍍有增透膜，增透膜的材料采用氧化鉭和氧化硅，真空交替蒸鍍8層，斜面C是光學(xué)拋光面。由于直角棱鏡1采用上述材料以及結(jié)構(gòu)，使得直角棱鏡1可通過光譜帶寬為200nm以上超寬帶的飛秒激光脈沖，飛秒激光脈沖沿水平光軸入射到直角棱鏡1的一個直角側(cè)面A上，一個直角側(cè)面A上鍍有增透膜，透射后到達直角棱鏡1的斜邊C面，經(jīng)全反射后沿垂直光軸到達另一個直角側(cè)面B，另一個直角側(cè)面B面也鍍有增透膜，經(jīng)另一個直角側(cè)面B透射后輸出，這樣飛秒激光脈沖從水平方向變成垂直方向傳輸，直角棱鏡1起到改變傳輸方向的作用，而且保持了99.5％以上的透過率和激光脈沖的寬帶光譜。
實施例2在本實施例中，直角棱鏡1采用K9光學(xué)玻璃制成，在直角棱鏡1的一個直角側(cè)面A和另一個別直角側(cè)面B上真空鍍的增透膜為氧化鉭和氧化硅，真空交替蒸鍍6層。直角棱鏡1的幾何形狀以及另部件的聯(lián)接關(guān)系與實施例1相同。
實施例3在本實施例中，直角棱鏡1采用K9光學(xué)玻璃制成，在直角棱鏡1的一個直角側(cè)面A和另一個直角側(cè)面B上真空鍍的增透膜為氧化鉭和氧化硅，真空交替蒸鍍12層。直角棱鏡1的幾何形狀以及另部件的聯(lián)接關(guān)系與實施例1相同。
實施例4在以上實施例1～3中，直角棱鏡1的材料采用融熔石英光學(xué)玻璃。直角棱鏡1的幾何形狀以及另部件的聯(lián)接關(guān)系與實施例1相同，直角棱鏡1的一個直角側(cè)面A和另一個直角側(cè)面B上真空鍍的增透膜為氧化鉭和氧化硅，真空交替蒸鍍層數(shù)與相應(yīng)的實施例相同。
根據(jù)上述原理，還可設(shè)計出另外一種具體結(jié)構(gòu)的高反射率高抗損傷閾值超寬帶飛秒激光反射器。
權(quán)利要求
1.一種高反射率高抗損傷閾值超寬帶飛秒激光反射器，其特征在于在支架[2]或底座上設(shè)置有斜面[C]與一個直角側(cè)面[A]或與另個一直角側(cè)面[B]的夾角為45°的直角棱鏡[1]，在直角棱鏡[1]的一個直角側(cè)面[A]和另一個直角側(cè)面[B]上真空蒸鍍有增透膜，直角棱鏡[1]的斜面[C]為光學(xué)拋光面。
2.按照權(quán)利要求1所述的高反射率高抗損傷閾值超寬帶飛秒激光反射器，其特征在于所說直角棱鏡[1]的一個直角側(cè)面[A]和另一直角側(cè)面[B]上真空蒸鍍的增透膜為氧化鉭和氧化硅，真空交替蒸鍍6～12層。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的高反射率高抗損傷閾值超寬帶飛秒激光反射器，其特征在于所說的直角棱鏡[1]的材料采用K9光學(xué)玻璃或融熔石英光學(xué)玻璃制成。
全文摘要
一種高反射率高抗損傷閾值超寬帶飛秒激光反射器，在支架或底座上設(shè)置有斜面與一個直角側(cè)面或與另一個直角側(cè)面的夾角為45°的直角棱鏡，在直角棱鏡的一個直角側(cè)面和另一個直角側(cè)面上真空蒸鍍有增透膜，直角棱鏡的斜面為光學(xué)拋光面。由于本發(fā)明的直角棱鏡采用上述材料以及結(jié)構(gòu)，使得本發(fā)明的直角棱鏡能通過光譜帶寬為200nm以上超寬帶的飛秒激光，透光率達到99.5％。本發(fā)明具有設(shè)計合理、結(jié)構(gòu)簡單、透光率高、激光吸收小、抗激光損傷閾值高等優(yōu)點，可在飛秒激光的光學(xué)設(shè)備上推廣使用。
文檔編號H01S3/00GK1441263SQ03114620
公開日2003年9月10日 申請日期2003年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月8日
發(fā)明者王屹山, 程昭, 趙衛(wèi), 孫傳東 申請人:中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所