冗余通孔插入方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種冗余通孔插入方法，所述冗余通孔插入方法包括冗余通孔填充步驟、版圖合并步驟、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤輸出步驟、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤移除步驟、版圖比較步驟以及最終版圖輸出步驟，其中，所述版圖比較步驟用于對(duì)所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤移除步驟前后的冗余通孔版圖進(jìn)行比較，并且如果比較的二者相同則進(jìn)行所述最終版圖輸出步驟，如果比較的二者不同則回到所述版圖合并步驟以進(jìn)行下一次設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟。本發(fā)明所提供的冗余通孔插入方法能夠針對(duì)不同的原始設(shè)計(jì)版圖進(jìn)行適當(dāng)次數(shù)的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查，不僅可以提高冗余通孔插入效率，還可以確保最終得到不存在違反設(shè)計(jì)規(guī)則的冗余通孔版圖。
【專利說(shuō)明】
冗余通孔插入方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體而言涉及一種冗余通孔插入方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)趨向于40納米模式以下，需要冗余通孔插入到設(shè)計(jì)版圖中，其可以幫助減少通孔開(kāi)路風(fēng)險(xiǎn)/連接電阻，以增強(qiáng)產(chǎn)品良率。冗余通孔插入已經(jīng)是可制造性設(shè)計(jì)(Design For Manufacture, DFM)的一個(gè)重要項(xiàng)目。
[0003]在現(xiàn)有的冗余通孔插入方法中，所進(jìn)行的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查(Design RuleCheck, DRC)的次數(shù)通常被設(shè)置為固定值。當(dāng)設(shè)置的固定值較小時(shí)，對(duì)于設(shè)計(jì)比較復(fù)雜的原始版圖，進(jìn)行固定次數(shù)的DRC可能會(huì)使最終輸出的冗余通孔版圖仍然存在違反設(shè)計(jì)規(guī)則的問(wèn)題，特別是在出現(xiàn)DRC遞歸錯(cuò)誤時(shí)問(wèn)題更為嚴(yán)重。當(dāng)設(shè)置的固定值較大時(shí)，又會(huì)比實(shí)際需要多進(jìn)行設(shè)計(jì)規(guī)則的檢查，從而嚴(yán)重影響冗余通孔插入的執(zhí)行效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種冗余通孔插入方法，所述冗余通孔插入方法包括冗余通孔填充步驟、版圖合并步驟、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤輸出步驟、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤移除步驟、版圖比較步驟以及最終版圖輸出步驟，其中，所述版圖比較步驟用于對(duì)所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤移除步驟前后的冗余通孔版圖進(jìn)行比較，并且如果比較的二者相同則進(jìn)行所述最終版圖輸出步驟，如果比較的二者不同則回到所述版圖合并步驟以進(jìn)行下一次設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟。
[0005]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述冗余通孔插入方法在所述版圖比較步驟之后進(jìn)一步包括:設(shè)計(jì)規(guī)則檢查次數(shù)判定步驟，所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查次數(shù)判定步驟在所述比較的二者不同時(shí)判定已進(jìn)行的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查次數(shù)是否等于所請(qǐng)求的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查循環(huán)次數(shù)，并且如果判定結(jié)果是肯定的，則進(jìn)行所述最終版圖輸出步驟，如果判定結(jié)果是否定的，則回到所述版圖合并步驟。
[0006]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述所請(qǐng)求的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查循環(huán)次數(shù)是預(yù)先根據(jù)原始設(shè)計(jì)版圖金屬層數(shù)設(shè)置的，為原始設(shè)計(jì)版圖金屬層數(shù)的數(shù)倍。
[0007]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述冗余通孔填充步驟用于插入冗余通孔，并且輸出冗余通孔版圖。
[0008]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述版圖合并步驟用于合并所述冗余通孔填充步驟輸出的冗余通孔版圖和原始設(shè)計(jì)版圖，或者用于合并所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤移除步驟之后的冗余通孔版圖和所述原始設(shè)計(jì)版圖。
[0009]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟針對(duì)合并后的整個(gè)版圖進(jìn)行。
[0010]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟通過(guò)調(diào)用制程設(shè)計(jì)套件(Process Design Kit, PDK)中的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查代碼而實(shí)現(xiàn)。
[0011 ] 在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤輸出步驟通過(guò)在所述制程設(shè)計(jì)套件中的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查代碼后添加設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤輸出函數(shù)而實(shí)現(xiàn)。
[0012]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤移除步驟用于從插入的冗余通孔版圖中移除設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤。
[0013]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述最終版圖輸出步驟輸出的冗余通孔版圖不存在設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤。
[0014]本發(fā)明所提供的冗余通孔插入方法能夠針對(duì)不同的原始設(shè)計(jì)版圖，自動(dòng)反饋進(jìn)行滿足實(shí)際需要的適當(dāng)次數(shù)的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查，代替次數(shù)巨大的預(yù)先固定設(shè)置的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查循環(huán)次數(shù)，從而在確保最終得到不存在違反設(shè)計(jì)規(guī)則的冗余通孔版圖的同時(shí)，盡可能地提高冗余通孔插入的執(zhí)行效率。
【附圖說(shuō)明】
[0015]本發(fā)明的下列附圖在此作為本發(fā)明的一部分用于理解本發(fā)明。附圖中示出了本發(fā)明的實(shí)施例及其描述，用來(lái)解釋本發(fā)明的原理。
[0016]附圖中:
[0017]圖1示出了現(xiàn)有的冗余通孔插入方法的流程圖；
[0018]圖2示出了現(xiàn)有的冗余通孔插入方法發(fā)生DRC遞歸錯(cuò)誤的示意圖；
[0019]圖3示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的冗余通孔插入方法的流程圖；以及
[0020]圖4示出了根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的冗余通孔插入方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]在下文的描述中，給出了大量具體的細(xì)節(jié)以便提供對(duì)本發(fā)明更為徹底的理解。然而，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言顯而易見(jiàn)的是，本發(fā)明可以無(wú)需一個(gè)或多個(gè)這些細(xì)節(jié)而得以實(shí)施。在其他的例子中，為了避免與本發(fā)明發(fā)生混淆，對(duì)于本領(lǐng)域公知的一些技術(shù)特征未進(jìn)行描述。
[0022]應(yīng)當(dāng)理解的是，本發(fā)明能夠以不同形式實(shí)施，而不應(yīng)當(dāng)解釋為局限于這里提出的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例將使公開(kāi)徹底和完全，并且將本發(fā)明的范圍完全地傳遞給本領(lǐng)域技術(shù)人員。
[0023]在此使用的術(shù)語(yǔ)的目的僅在于描述具體實(shí)施例并且不作為本發(fā)明的限制。在此使用時(shí)，單數(shù)形式的“一”、“一個(gè)”和“所述/該”也意圖包括復(fù)數(shù)形式，除非上下文清楚指出另外的方式。還應(yīng)明白術(shù)語(yǔ)“組成”和/或“包括”，當(dāng)在該說(shuō)明書(shū)中使用時(shí)，確定所述特征、整數(shù)、步驟、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一個(gè)或更多其它的特征、整數(shù)、步驟、操作、元件、部件和/或組的存在或添加。在此使用時(shí)，術(shù)語(yǔ)“和/或”包括相關(guān)所列項(xiàng)目的任何及所有組合。
[0024]為了徹底理解本發(fā)明，將在下列的描述中提出詳細(xì)的步驟以及詳細(xì)的結(jié)構(gòu)，以便闡釋本發(fā)明提出的技術(shù)方案。本發(fā)明的較佳實(shí)施例詳細(xì)描述如下，然而除了這些詳細(xì)描述夕卜，本發(fā)明還可以具有其他實(shí)施方式。
[0025]隨著集成電路特征尺寸的減小，由于通孔失效造成的芯片成品率下降是可制造性設(shè)計(jì)面臨的一個(gè)主要挑戰(zhàn)，插入冗余通孔是有效改善通孔成品率和可靠性的典型方式。
[0026]在現(xiàn)有的冗余通孔插入方法中，DRC的次數(shù)通常被設(shè)置為固定值，例如設(shè)定DRC循環(huán)次數(shù)為2或3。圖1示出了現(xiàn)有的冗余通孔插入方法100的流程圖。如圖1所示，冗余通孔插入方法100包括冗余通孔填充步驟101、版圖合并步驟102、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟103、DRC錯(cuò)誤輸出步驟104、DRC錯(cuò)誤移除步驟105、DRC次數(shù)判定步驟106以及最終版圖輸出步驟107。其中，在DRC次數(shù)判定步驟106中判定已進(jìn)行的DRC次數(shù)是否等于所設(shè)定的DRC循環(huán)計(jì)數(shù)，如果是，則進(jìn)入最終版圖輸出步驟107，如果否，則返回到版圖合并步驟102，稍后進(jìn)行下一次設(shè)計(jì)規(guī)則檢查，直到已進(jìn)行的DRC次數(shù)達(dá)到所設(shè)定的DRC循環(huán)計(jì)數(shù)。該方法100對(duì)于復(fù)雜的原始版圖很可能不能完全消除DRC錯(cuò)誤。
[0027]圖2示出了現(xiàn)有的冗余通孔插入方法發(fā)生DRC遞歸錯(cuò)誤的示意圖。示例性地，在圖2中，DRC的次數(shù)被設(shè)置為2次。首先插入冗余通孔，包括RVl堆棧單元(stack cell)、RV2堆棧單元和RV3堆棧單元；在合并版圖后，進(jìn)行了第一次設(shè)計(jì)規(guī)則檢查，并由于RVl堆棧單元中報(bào)告有DRC錯(cuò)誤而移除了 RVl堆棧單元；然后進(jìn)行第二次設(shè)計(jì)規(guī)則檢查，由于RVl堆棧單元的移除而引起RV2堆棧單元中報(bào)告有新DRC錯(cuò)誤而移除了 RV2堆棧單元；在先后移除了 RVl堆棧單元和RV2堆棧單元后，完成了所設(shè)定的兩次DRC，最終輸出了僅包括RV3堆棧單元的冗余通孔版圖，然而，實(shí)際上該版圖仍然存在由于RV2堆棧單元的移除而引起RV3堆棧單元出現(xiàn)新的DRC錯(cuò)誤的問(wèn)題。由此可見(jiàn)，現(xiàn)有的冗余通孔插入方法可能無(wú)法得到完全沒(méi)有DRC錯(cuò)誤(即DRC clean)的冗余通孔版圖。
[0028]本發(fā)明提供一種冗余通孔插入方法，圖3示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的冗余通孔插入方法300的流程圖。如圖3所示，冗余通孔插入方法300包括冗余通孔填充步驟301、版圖合并步驟302、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟303、DRC錯(cuò)誤輸出步驟304、DRC錯(cuò)誤移除步驟305、版圖比較步驟306以及最終版圖輸出步驟307。其中，版圖比較步驟306用于對(duì)DRC錯(cuò)誤移除步驟306前后的冗余通孔版圖進(jìn)行比較，并且如果比較的二者相同則進(jìn)行最終版圖輸出步驟307，如果比較的二者不同則回到版圖合并步驟302以進(jìn)行下一次設(shè)計(jì)規(guī)則檢查。
[0029]具體地，在步驟301中，可以插入冗余通孔，并且輸出冗余通孔版圖。該冗余通孔版圖例如稱為第一冗余通孔版圖。在步驟302中，可以將步驟301所輸出的冗余通孔版圖與原始設(shè)計(jì)版圖進(jìn)行合并，以生成新的版圖，該新的版圖例如稱為第一版圖。在步驟303中，可以針對(duì)合并后的整個(gè)版圖例如第一版圖進(jìn)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢查。其中，設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟303可以通過(guò)調(diào)用I3DK DRC code而實(shí)現(xiàn)。在步驟304中，可以輸出在步驟303中檢查出的DRC錯(cuò)誤。其中，DRC錯(cuò)誤輸出步驟304可以通過(guò)在TOK DRC code后添加DRC錯(cuò)誤輸出函數(shù)而實(shí)現(xiàn)。在步驟305中，可以將步驟304輸出的DRC錯(cuò)誤從插入的冗余通孔版圖(例如第一冗余通孔版圖)中移除，以形成第二冗余通孔版圖。
[0030]在步驟306中，可以對(duì)DRC錯(cuò)誤移除步驟306前后的冗余通孔版圖(例如第一冗余通孔版圖和第二冗余通孔版圖)進(jìn)行比較:如果比較的二者相同，則意味著步驟303中并沒(méi)有檢查出相關(guān)冗余通孔的DRC錯(cuò)誤，步驟304中輸出的相關(guān)冗余通孔的DRC錯(cuò)誤為0，相應(yīng)地，步驟305中并沒(méi)有移除任何RV堆棧單元，即經(jīng)過(guò)步驟303的檢查，所插入的第一冗余通孔版圖后本身已經(jīng)是沒(méi)有DRC錯(cuò)誤的版圖，因此可將其作為步驟307的最終輸出；反之，如果比較的二者不同，則意味著步驟303中檢查出了相關(guān)冗余通孔的DRC錯(cuò)誤，并且在步驟305中移除了相關(guān)該DRC錯(cuò)誤的冗余通孔版圖，移除后形成的版圖(例如第二冗余通孔版圖)仍可能存在DRC錯(cuò)誤，因此需要回到步驟302，在步驟302中將DRC錯(cuò)誤移除步驟305之后的冗余通孔版圖(例如第二冗余通孔版圖)與原始設(shè)計(jì)版圖合并，并在步驟303中再次進(jìn)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢查。如此循環(huán)，直到版圖比較步驟306中比較的二者相同。因此，步驟307中最終輸出的冗余通孔版圖不存在DRC錯(cuò)誤。
[0031]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的上述冗余通孔插入方法300不設(shè)置固定的DRC循環(huán)次數(shù)，而是在進(jìn)行一次DRC以及DRC錯(cuò)誤移除后進(jìn)行移除前后的版圖比較，根據(jù)比較結(jié)果的自動(dòng)反饋判斷是否需要進(jìn)行下一次DRC。因此，冗余通孔插入方法300可以基于不同復(fù)雜程度的原始版圖自適應(yīng)地調(diào)整DRC循環(huán)次數(shù)，在保證冗余通孔插入效率的同時(shí)確保最終得到不存在違反設(shè)計(jì)規(guī)則的冗余通孔版圖。
[0032]圖4示出了根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的冗余通孔插入方法400的流程圖。如圖4所示，冗余通孔插入方法400與冗余通孔插入方法300類似，不同之處僅在于冗余通孔插入方法400在版圖比較步驟406之后可以包括DRC次數(shù)判定步驟407。當(dāng)在步驟406中比較的二者不同時(shí)可以進(jìn)入DRC次數(shù)判定步驟407，其判定已進(jìn)行的DRC次數(shù)是否等于所請(qǐng)求的DRC循環(huán)次數(shù)。其中，所請(qǐng)求的DRC循環(huán)次數(shù)可以非常大，例如所請(qǐng)求的DRC循環(huán)次數(shù)可以為圖1所示的現(xiàn)有冗余通孔插入方法流程圖固定設(shè)置的DRC循環(huán)次數(shù)的數(shù)倍(例如三倍或更多)或者是為原始設(shè)計(jì)版圖金屬層數(shù)的數(shù)倍。示例性地，現(xiàn)有的冗余通孔插入方法100中所固定設(shè)置的DRC循環(huán)次數(shù)為2或3，那么在冗余通孔插入方法400中，所請(qǐng)求的DRC循環(huán)次數(shù)例如可以為7。
[0033]如果在步驟407中判定結(jié)果是肯定的，即已進(jìn)行的DRC次數(shù)已經(jīng)達(dá)到所請(qǐng)求的DRC循環(huán)次數(shù)，由于進(jìn)行的DRC次數(shù)已經(jīng)足夠多，再出現(xiàn)DRC錯(cuò)誤的可能性已經(jīng)很小，因此為了保證冗余通孔插入效率，同時(shí)防止出現(xiàn)遞歸死循環(huán)，可以不繼續(xù)進(jìn)行DRC，直接進(jìn)行最終版圖輸出步驟408 ;反之，如果在步驟407中判定結(jié)果是否定的，則回到版圖合并步驟402，直到406中比較的二者相同，或者直到已進(jìn)行的DRC次數(shù)達(dá)到所請(qǐng)求的DRC循環(huán)次數(shù)。
[0034]冗余通孔插入方法400在冗余通孔插入方法300的基礎(chǔ)上添加了 DRC次數(shù)判定步驟407，雖然可能承擔(dān)很小的最終輸出版圖仍存在DRC錯(cuò)誤的風(fēng)險(xiǎn)，但相對(duì)于冗余通孔插入方法300卻能夠進(jìn)一步提高冗余通孔插入效率，同時(shí)可以防止出現(xiàn)遞歸死循環(huán)。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以在本發(fā)明的教導(dǎo)下根據(jù)不同復(fù)雜程度的原始設(shè)計(jì)版圖作出合適的選擇。
[0035]本發(fā)明已經(jīng)通過(guò)上述實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但應(yīng)當(dāng)理解的是，上述實(shí)施例只是用于舉例和說(shuō)明的目的，而非意在將本發(fā)明限制于所描述的實(shí)施例范圍內(nèi)。此外本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是，本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例，根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)還可以做出更多種的變型和修改，這些變型和修改均落在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍以內(nèi)。本發(fā)明的保護(hù)范圍由附屬的權(quán)利要求書(shū)及其等效范圍所界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種冗余通孔插入方法，其特征在于，所述冗余通孔插入方法包括冗余通孔填充步驟、版圖合并步驟、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤輸出步驟、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤移除步驟、版圖比較步驟以及最終版圖輸出步驟，其中， 所述版圖比較步驟用于對(duì)所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤移除步驟前后的冗余通孔版圖進(jìn)行比較，并且如果比較的二者相同則進(jìn)行所述最終版圖輸出步驟，如果比較的二者不同則回到所述版圖合并步驟以進(jìn)行下一次設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟。2.如權(quán)利要求1所述的冗余通孔插入方法，其特征在于，所述冗余通孔插入方法在所述版圖比較步驟之后進(jìn)一步包括: 設(shè)計(jì)規(guī)則檢查次數(shù)判定步驟，所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查次數(shù)判定步驟在所述比較的二者不同時(shí)判定已進(jìn)行的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查次數(shù)是否等于所請(qǐng)求的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查循環(huán)次數(shù)，并且如果判定結(jié)果是肯定的，則進(jìn)行所述最終版圖輸出步驟，如果判定結(jié)果是否定的，則回到所述版圖合并步驟。3.如權(quán)利要求2所述的冗余通孔插入方法，其特征在于，所述所請(qǐng)求的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查循環(huán)次數(shù)是預(yù)先根據(jù)原始設(shè)計(jì)版圖金屬層數(shù)設(shè)置的，為原始設(shè)計(jì)版圖金屬層數(shù)的數(shù)倍。4.如權(quán)利要求1-3中的任一項(xiàng)所述的冗余通孔插入方法，其特征在于，所述冗余通孔填充步驟用于插入冗余通孔，并且輸出冗余通孔版圖。5.如權(quán)利要求4所述的冗余通孔插入方法，其特征在于，所述版圖合并步驟用于合并所述冗余通孔填充步驟輸出的冗余通孔版圖和原始設(shè)計(jì)版圖，或者用于合并所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤移除步驟之后的冗余通孔版圖和所述原始設(shè)計(jì)版圖。6.如權(quán)利要求1-3中的任一項(xiàng)所述的冗余通孔插入方法，其特征在于，所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟針對(duì)合并后的整個(gè)版圖進(jìn)行。7.如權(quán)利要求6所述的冗余通孔插入方法，其特征在于，所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查步驟通過(guò)調(diào)用制程設(shè)計(jì)套件中的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查代碼而實(shí)現(xiàn)。8.如權(quán)利要求7所述的冗余通孔插入方法，其特征在于，所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤輸出步驟通過(guò)在所述制程設(shè)計(jì)套件中的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查代碼后添加設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤輸出函數(shù)而實(shí)現(xiàn)。9.如權(quán)利要求1-3中的任一項(xiàng)所述的冗余通孔插入方法，其特征在于，所述設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤移除步驟用于從插入的冗余通孔版圖中移除設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤。10.如權(quán)利要求1-3中的任一項(xiàng)所述的冗余通孔插入方法，其特征在于，所述最終版圖輸出步驟輸出的冗余通孔版圖不存在設(shè)計(jì)規(guī)則檢查錯(cuò)誤。
【文檔編號(hào)】G06F17/50GK105989207SQ201510084492
【公開(kāi)日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2015年2月16日
【發(fā)明人】樊強(qiáng)
【申請(qǐng)人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司