硅片組下線管控方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片組下線管控方法。
【背景技術(shù)】
[0002]由于半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠(Fab)中使用的硅片一般都是由供應(yīng)商提供，而由供應(yīng)商提供的硅片是按照一定的數(shù)量被裝在硅片盒中的，為了便于管理，供應(yīng)商通常都會(huì)在每個(gè)硅片盒上設(shè)置晶圓批次編號(hào)(LOT ID)，但是每個(gè)硅片盒的LOT ID并不是若干LOT ID中唯一的，可能存在多個(gè)硅片盒的LOT ID相同的情況。這樣就會(huì)導(dǎo)致Fab在對(duì)這些硅片進(jìn)行加工的時(shí)候，需要重新對(duì)其進(jìn)行編號(hào)，以得到唯一的LOT ID。
[0003]目前，由于大部分的Fab并沒有建立的完善的硅片入庫和MES配對(duì)機(jī)制，所以在硅片下線前，需要通過人工對(duì)需要下線的LOT進(jìn)行配對(duì)，這就存在著兩組或多組硅片互相用錯(cuò)的風(fēng)險(xiǎn)，如果該風(fēng)險(xiǎn)不及時(shí)排除，可能造成廢片等生產(chǎn)事故，而對(duì)于該問題，現(xiàn)有的做法中除了加強(qiáng)二次檢查(double check)的力度外，并沒有其他更好的方法。
[0004]中國專利(CN101276444A)公開了一種非成品晶圓的庫存管理系統(tǒng)、庫存管理方法及程序，包括:根據(jù)來自支出終端的庫存查詢，確認(rèn)非成品晶圓的庫存，受理指出請(qǐng)求并進(jìn)行支出處理，并具有庫存管理部，通過晶圓厚度區(qū)分并管理上述非成品晶圓；以及庫存查詢處理部，進(jìn)行回答，以在適合支出終端接受了非成品晶圓的庫存查詢的條件(使用工序、使用目的、或由此導(dǎo)出的品名等)的庫存中，優(yōu)先指出屬于最薄的晶圓厚度類別的晶圓庫存。該專利所提供的方法能夠?qū)A的庫存進(jìn)行適當(dāng)?shù)墓芾恚浠诘臈l件是晶圓的厚度不相同。
[0005]所以，上述專利仍未解決上文提及的若干問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]鑒于上述問題，本發(fā)明提供一種硅片組下線管控方法。
[0007]本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為:
[0008]一種硅片組下線管控方法，其中，包括:
[0009]步驟S1、提供具有編號(hào)且編號(hào)不重復(fù)的若干硅片組；
[0010]步驟S2、在一個(gè)制造終端上產(chǎn)生LOT編號(hào)；
[0011]步驟S3、根據(jù)硅片的種類，將所述硅片組的編號(hào)與LOT編號(hào)進(jìn)行綁定；
[0012]步驟S4、制定硅片組的投料計(jì)劃，并根據(jù)該投料計(jì)劃獲取相應(yīng)的硅片組；
[0013]步驟S5、將獲取的硅片組的編號(hào)與所述制造終端上的LOT編號(hào)進(jìn)行匹配，以確定需要下線的硅片組的編號(hào)；
[0014]步驟S6、所述制造終端根據(jù)該需要下線的硅片組的編號(hào)將對(duì)應(yīng)的硅片組進(jìn)行下線操作。
[0015]所述的硅片組下線管控方法，其中，所述制造終端包括制造執(zhí)行系統(tǒng)。
[0016]所述的硅片組下線管控方法，其中，所述若干硅片組由Fab中的物料管理部門進(jìn)行保管。
[0017]所述的硅片組下線管控方法，其中，步驟S4中，由Fab中的制造部制定所述硅片組的投料計(jì)劃，并根據(jù)該投料計(jì)劃向所述物料管理部門發(fā)送領(lǐng)料單，所述物料管理部門根據(jù)所述領(lǐng)料單向所述制造部發(fā)送相應(yīng)的硅片組，以使得所述制造部獲取相應(yīng)的硅片組。
[0018]所述的硅片組下線管控方法，其中，步驟S2中，由Fab中的生產(chǎn)控制科制定多個(gè)與所述若干硅片組編號(hào)一一對(duì)應(yīng)的LOT編號(hào)并在所述制造終端進(jìn)行創(chuàng)建。
[0019]所述的硅片組下線管控方法，其中，步驟S6中，所述制造終端通過一生產(chǎn)自動(dòng)化系統(tǒng)根據(jù)該需要下線的硅片組的編號(hào)將對(duì)應(yīng)的硅片組進(jìn)行下線操作。
[0020]所述的硅片組下線管控方法，其中，所述投料計(jì)劃中規(guī)定著每天需要投放至生產(chǎn)線的硅片組的數(shù)量和編號(hào)。
[0021]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:
[0022]通過本發(fā)明能夠避免以下兩種情況:
[0023]1)倉庫發(fā)錯(cuò)貨而現(xiàn)場(chǎng)沒有發(fā)現(xiàn)，從而將發(fā)錯(cuò)的硅片用于下線的產(chǎn)品上；
[0024]2)倉庫沒有發(fā)錯(cuò)貨，但由于人工選配硅片時(shí)的疏忽，造成產(chǎn)品硅片的選錯(cuò)。
【附圖說明】
[0025]參考所附附圖，以更加充分的描述本發(fā)明的實(shí)施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明范圍的限制。
[0026]圖1是本發(fā)明方法的流程框圖；
[0027]圖2是本發(fā)明方法實(shí)施例中對(duì)步驟進(jìn)行細(xì)化后的流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]本發(fā)明提供了一種硅片組下線管控方法，尤其是一種硅片自動(dòng)下線防呆的控制方法。主要通過在獲取硅片組前將每個(gè)硅片組設(shè)置成一唯一的編號(hào)，并在獲取硅片后，將所獲得的硅片組與制造執(zhí)行系統(tǒng)上的LOT編號(hào)進(jìn)行匹配，最后通過自動(dòng)化程序?qū)⑵ヅ浜蟮墓杵M進(jìn)行自動(dòng)化的下線，從而有效避免下錯(cuò)硅片組的可能。
[0029]本發(fā)明的硅片組下線管控方法主要包括:步驟S1、提供具有編號(hào)且編號(hào)不重復(fù)的若干硅片組；步驟S2、在一個(gè)制造終端上產(chǎn)生LOT編號(hào)；步驟S3、根據(jù)硅片的種類，將所述硅片組的編號(hào)與LOT編號(hào)進(jìn)行綁定；步驟S4、制定硅片組的投料計(jì)劃，并根據(jù)該投料計(jì)劃獲取相應(yīng)的硅片組；步驟S5、將獲取的硅片組的編號(hào)與所述制造終端上的LOT編號(hào)進(jìn)行匹配，以確定需要下線的硅片組的編號(hào)；步驟S6、所述制造終端根據(jù)該需要下線的硅片組的編號(hào)將對(duì)應(yīng)的硅片組進(jìn)行下線操作。
[0030]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明方法進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0031]如圖1所示，本實(shí)施例中的方法包括創(chuàng)建LOT、制定投料計(jì)劃、發(fā)出原始硅片組、接收原始硅片組，以及投料下線。
[0032]其中，在創(chuàng)建LOT的過程中主要包括:如圖2所示，步驟S1:提供具有編號(hào)且編號(hào)不重復(fù)的若干硅片組；該若干硅片組一般存儲(chǔ)于Fab中的物料管理部門(MC)，并由物料管理部門存放在倉庫中。該若干硅片組的編號(hào)可以是硅片在工廠入庫時(shí)所制定的流水號(hào)，其需要保證與硅片的供應(yīng)商所提供的流水號(hào)一一對(duì)應(yīng)且不重復(fù)，從而避免后續(xù)在調(diào)取硅片組時(shí)因編號(hào)不唯一而發(fā)生的取錯(cuò)硅片組的風(fēng)險(xiǎn)。然后，進(jìn)行步驟S2:在一個(gè)制造終端上產(chǎn)生LOT編號(hào)；在該步驟中的制造終端可優(yōu)選為一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacture Execut1nSystem,MES)。接著，進(jìn)行步驟S3:根據(jù)硅片的種類，將硅片組的編號(hào)與LOT編號(hào)進(jìn)行綁定；該綁定過程也可在一制造終端上進(jìn)行，同樣的，作為優(yōu)選的，該制造終端與上述步驟S2中所采用的制造終端相同，即在制造執(zhí)行系統(tǒng)中進(jìn)行該綁定操作。
[0033]上述的步驟S1?S3均由Fab中的生產(chǎn)控制科(PC)負(fù)責(zé)。
[0034]當(dāng)完成上述的創(chuàng)建LOT的過程之后，需要制定投料計(jì)劃、發(fā)出原始硅片組和接收原始硅片組；其中，該制定投料計(jì)劃的過程可以通過Fab中的制造部(MFG)執(zhí)行，發(fā)出原始硅片組的過程由Fab中的物料管理部門執(zhí)行，而接收原始硅片組的過程則還是由制造部執(zhí)行。對(duì)應(yīng)于上述的三個(gè)步驟，進(jìn)行步驟S4:制定硅片組的投料計(jì)劃，并根據(jù)該投料計(jì)劃獲取相應(yīng)的硅片組；進(jìn)一步的，當(dāng)制造部制定完硅片組的投料計(jì)劃后，根據(jù)該投料計(jì)劃向物料管理部門發(fā)送領(lǐng)料單，當(dāng)物料管理部門收到領(lǐng)料單后，該物料管理部門根據(jù)該領(lǐng)料單向制造部發(fā)送相應(yīng)的硅片組，從而使制造部獲取相應(yīng)的硅片組。其中，領(lǐng)料單可以是實(shí)物的單據(jù)也可以是數(shù)字化的單據(jù)，優(yōu)選的，其可生成于制造執(zhí)行系統(tǒng)中，并通過該制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行發(fā)送和接收，從而實(shí)現(xiàn)操作的自動(dòng)化和保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。在實(shí)際生產(chǎn)過程中，可以采用企業(yè)資源計(jì)劃(ERP)來管理物料管理部門的發(fā)貨。該步驟中所制定的投料計(jì)劃中規(guī)定著每天需要投放至生產(chǎn)線上的硅片組的數(shù)量及其相應(yīng)的編號(hào)。
[0035]當(dāng)制造部完成了投料計(jì)劃的制定并將領(lǐng)料單發(fā)送至物料管理部門，且收到物料管理部門發(fā)送來的相應(yīng)的硅片組后，需要進(jìn)行步驟S5:將獲取的硅片組的編號(hào)與制造終端上的LOT編號(hào)進(jìn)行匹配，以確定需要下線的硅片組的編號(hào)；在該步驟中，當(dāng)制造部獲取了從物料管理部門發(fā)送的硅片組后，可以將該硅片組的編號(hào)與先前在制造終端上建立的LOT編號(hào)進(jìn)行比對(duì)，從而確定物料管理部門發(fā)送來的硅片組是否與需要下線硅片組一致，由于該比對(duì)過程是在制造終端上進(jìn)行的，因此具有較高的可靠性，進(jìn)而確保了硅片組在下線之前的把關(guān)。
[0036]最后，進(jìn)行投料下線，相應(yīng)的進(jìn)行步驟S6:制造終端根據(jù)需要下線的硅片組的編號(hào)將對(duì)應(yīng)的硅片組進(jìn)行下線操作；該步驟由制造部進(jìn)行，當(dāng)制造部確認(rèn)了所獲取的硅片組與制造終端上的LOT編號(hào)相吻合時(shí)，通過制造終端上的一生產(chǎn)自動(dòng)化系統(tǒng)(ΕΑΡ)將對(duì)應(yīng)的硅片組進(jìn)行下線操作。
[0037]綜上所述，本發(fā)明通過對(duì)硅片組進(jìn)行唯一編號(hào)的設(shè)置，以減少在拿取硅片組時(shí)發(fā)生錯(cuò)誤幾率；通過在獲取硅片組后將其與制造執(zhí)行系統(tǒng)上的LOT編號(hào)進(jìn)行匹配，以對(duì)硅片組進(jìn)行確認(rèn)，從而可以避免發(fā)錯(cuò)硅片組的情況；又通過自動(dòng)化設(shè)備將匹配后的硅片組進(jìn)行下線操作，中途避免了因人工下線而導(dǎo)致的誤操作等錯(cuò)誤情況。
[0038]對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片組下線管控方法，其特征在于，包括: 步驟S1、提供具有編號(hào)且編號(hào)不重復(fù)的若干硅片組； 步驟S2、在一個(gè)制造終端上產(chǎn)生LOT編號(hào)； 步驟S3、根據(jù)硅片的種類，將所述硅片組的編號(hào)與LOT編號(hào)進(jìn)行綁定； 步驟S4、制定硅片組的投料計(jì)劃，并根據(jù)該投料計(jì)劃獲取相應(yīng)的硅片組； 步驟S5、將獲取的硅片組的編號(hào)與所述制造終端上的LOT編號(hào)進(jìn)行匹配，以確定需要下線的硅片組的編號(hào)； 步驟S6、所述制造終端根據(jù)該需要下線的硅片組的編號(hào)將對(duì)應(yīng)的硅片組進(jìn)行下線操作。2.如權(quán)利要求1所述的硅片組下線管控方法，其特征在于，所述制造終端包括制造執(zhí)行系統(tǒng)。3.如權(quán)利要求2所述的硅片組下線管控方法，其特征在于，所述若干硅片組由Fab中的物料管理部門進(jìn)行保管。4.如權(quán)利要求3所述的硅片組下線管控方法，其特征在于，步驟S4中，由Fab中的制造部制定所述硅片組的投料計(jì)劃，并根據(jù)該投料計(jì)劃向所述物料管理部門發(fā)送領(lǐng)料單，所述物料管理部門根據(jù)所述領(lǐng)料單向所述制造部發(fā)送相應(yīng)的硅片組，以使得所述制造部獲取相應(yīng)的硅片組。5.如權(quán)利要求4所述的硅片組下線管控方法，其特征在于，步驟S2中，由Fab中的生產(chǎn)控制科制定多個(gè)與所述若干硅片組編號(hào)一一對(duì)應(yīng)的LOT編號(hào)并在所述制造終端進(jìn)行創(chuàng)建。6.如權(quán)利要求5所述的硅片組下線管控方法，其特征在于，步驟S6中，所述制造終端通過一生產(chǎn)自動(dòng)化系統(tǒng)根據(jù)該需要下線的硅片組的編號(hào)將對(duì)應(yīng)的硅片組進(jìn)行下線操作。7.如權(quán)利要求6所述的硅片組下線管控方法，其特征在于，所述投料計(jì)劃中規(guī)定著每天需要投放至生產(chǎn)線的硅片組的數(shù)量和編號(hào)。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種硅片組下線管控方法，通過對(duì)硅片組進(jìn)行唯一編號(hào)的設(shè)置，以減少在拿取硅片組時(shí)發(fā)生錯(cuò)誤幾率；通過在獲取硅片組后將其與制造執(zhí)行系統(tǒng)上的LOT編號(hào)進(jìn)行匹配，以對(duì)硅片組進(jìn)行確認(rèn)，從而可以避免發(fā)錯(cuò)硅片組的情況；又通過自動(dòng)化設(shè)備將匹配后的硅片組進(jìn)行下線操作，中途避免了因人工下線而導(dǎo)致的誤操作等錯(cuò)誤情況。
【IPC分類】G06Q50/28, G06Q10/08
【公開號(hào)】CN105335833
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410273949
【發(fā)明人】張寒汀
【申請(qǐng)人】上海華力微電子有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請(qǐng)日】2014年6月18日