一種對(duì)sims數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法及系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法，該方法包括：輸入二次離子質(zhì)譜SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)，解析SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)中所包含的元素；對(duì)SIMS測(cè)試結(jié)果中的環(huán)境元素進(jìn)行過濾，留下分析元素；基于設(shè)置的分析模式對(duì)分析元素進(jìn)行模式分析；對(duì)分析的分析元素進(jìn)行功能編輯；對(duì)功能編輯完的分析元素按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出。實(shí)施本發(fā)明，方便用戶快速了解SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)內(nèi)容。
【專利說明】—種對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法及系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及計(jì)算機(jī)【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法及系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]二次離子質(zhì)譜 Secondary-1on-mass spectroscope (SIMS),是利用質(zhì)譜法分析初級(jí)離子入射靶面后，濺射產(chǎn)生的二次離子而獲取材料表面信息的一種方法。二次離子質(zhì)譜可以分析包括氫在內(nèi)的全部元素，并能給出同位素的信息、分析化合物組分和分子結(jié)構(gòu)。二次離子質(zhì)譜具有很高的靈敏度，可達(dá)到PPm甚至ppb的量級(jí)，還可以進(jìn)行微區(qū)成分成像和深度剖面分析。因此，SIMS是一種分析材料組分和結(jié)構(gòu)的有力工具。
[0003]二次離子質(zhì)譜的圖譜分析是SMS測(cè)試最重要、最關(guān)鍵的步驟。只有準(zhǔn)確讀取并詳盡的分析了測(cè)試數(shù)據(jù)，才能夠掌握所測(cè)試材料的特征。而SIMS測(cè)試數(shù)據(jù)多而復(fù)雜，如何快速、清晰、準(zhǔn)確、有效的讀取并分析數(shù)據(jù)特征成為SMS測(cè)試意義的關(guān)鍵點(diǎn)。目前，市面上并沒有通用的SMS測(cè)試結(jié)果分析軟件系統(tǒng)，給SMS分析工作帶來不便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)缺陷，本發(fā)明提供一種對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法及系統(tǒng)，可以批量讀取數(shù)據(jù)，逐個(gè)或群體分析SMS結(jié)果，并能夠靈活的輸出Bitmap、TEXT、EXCEL等多種格式的分析結(jié)果檔案資料。
[0005]本發(fā)明提供了一種對(duì)SMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法，包括:
[0006]輸入二次離子質(zhì)譜SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)，解析SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)中所包含的元素；
[0007]對(duì)SIMS測(cè)試結(jié)果中的環(huán)境元素進(jìn)行過濾，留下分析元素；
[0008]基于設(shè)置的分析模式對(duì)分析元素進(jìn)行模式分析；
[0009]對(duì)分析的分析元素進(jìn)行功能編輯；
[0010]對(duì)功能編輯完的分析元素按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出。
[0011]所述模式分析包括:面密度分析、斜率分析、均值分析、結(jié)深分析、厚度分析、厚度標(biāo)不O
[0012]所述對(duì)分析的SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行功能編輯包括:圖表特征編輯、橫坐標(biāo)特征編輯、縱坐標(biāo)特征編輯、單位編輯、圖表標(biāo)題編輯、圖表背景編輯、圖表縮放功能編輯。
[0013]所述對(duì)功能編輯完的SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出中的格式文檔包括=EXCEL格式測(cè)試數(shù)據(jù)、TEXT格式文檔、Bitmap格式圖片。
[0014]所述輸入二次離子質(zhì)譜SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)包括:
[0015]輸入一個(gè)或者一個(gè)以上的SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行多個(gè)樣品的直接對(duì)比分析。
[0016]相應(yīng)的，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種對(duì)SMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括:[0017]輸入模塊，用于輸入二次離子質(zhì)譜SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)，解析SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)中所包含的元素；
[0018]元素過濾模塊，用于對(duì)SIMS測(cè)試結(jié)果中的環(huán)境元素進(jìn)行過濾，留下分析元素；
[0019]分析模塊，用于基于設(shè)置的分析模式對(duì)分析元素進(jìn)行模式分析；
[0020]功能編輯模塊，用于對(duì)分析的分析元素進(jìn)行功能編輯；
[0021]輸出模塊，用于對(duì)功能編輯完的分析元素按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出。
[0022]所述分析模塊中的模式分析包括:面密度分析、斜率分析、均值分析、結(jié)深分析、厚度分析、厚度標(biāo)不。
[0023]所述功能編輯模塊中的功能編輯包括:圖表特征編輯、橫坐標(biāo)特征編輯、縱坐標(biāo)特征編輯、單位編輯、圖表標(biāo)題編輯、圖表背景編輯、圖表縮放功能編輯。
[0024]所述對(duì)功能編輯完的SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出中的格式文檔包括=EXCEL格式測(cè)試數(shù)據(jù)、TEXT格式文檔、Bitmap格式圖片。
[0025]所述輸入模塊用于輸入一個(gè)或者一個(gè)以上的SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行多個(gè)樣品的直接對(duì)比分析。
[0026]以上技術(shù)可以看出，本發(fā)明實(shí)施例可快速、詳細(xì)、直觀的讀取SMS測(cè)試結(jié)果，并以圖譜形式顯示。通過本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)分析與處理模塊分析圖譜的特征及任意點(diǎn)的數(shù)據(jù)；通過編輯模塊實(shí)現(xiàn)圖譜圖像的個(gè)性化編輯。本系統(tǒng)可以輸出EXCEL格式測(cè)試數(shù)據(jù)、圖譜曲線圖、SMS測(cè)試結(jié)果整合報(bào)告多種結(jié)果。方便用戶快速了解SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)內(nèi)容。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。
[0028]圖1是本發(fā)明實(shí)施例中的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法流程圖；
[0029]圖2是本發(fā)明實(shí)施例中的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖3是本發(fā)明實(shí)施例中的原始測(cè)試檔案讀取后示意圖；
[0031 ] 圖4是本發(fā)明實(shí)施例中的摻雜元素深度/厚度分析示意圖；
[0032]圖5是本發(fā)明實(shí)施例中的摻雜元素濃度分析示意圖；
[0033]圖6是本發(fā)明實(shí)施例中的摻雜界面陡直度分析示意圖；
[0034]圖7是本發(fā)明實(shí)施例中的輸出圖片的另一種外觀式樣示意圖；
[0035]圖8是本發(fā)明實(shí)施例中所測(cè)得數(shù)據(jù)的一種EXCEL輸出形式。
【具體實(shí)施方式】
[0036]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0037]圖1示出了本發(fā)明實(shí)施例中的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法流程圖，具體如下:
[0038]SlOl:輸入二次離子質(zhì)譜SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)，解析SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)中所包含的元素；
[0039]需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例中可以輸入一個(gè)SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，也可以輸入兩個(gè)或者以上的SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行多個(gè)樣品的直接對(duì)比分析等等。
[0040]S102:對(duì)SMS測(cè)試結(jié)果中的環(huán)境元素進(jìn)行過濾，留下分析元素；
[0041]由于對(duì)SMS測(cè)試結(jié)果的分析只是針對(duì)有效的元素，而SMS結(jié)果中的環(huán)境元素比較雜亂，并不是所有元素都需要進(jìn)行分析，只需要分析出那些用戶關(guān)注的元素即可，所以需要進(jìn)行元素的過濾，保留下分析元素。
[0042]S103:基于設(shè)置的分析模式對(duì)分析元素進(jìn)行模式分析；
[0043]需要說明的是，這里的模式分析包括:面密度分析、斜率分析、均值分析、結(jié)深分析、厚度分析、厚度標(biāo)示。
[0044]這些分析可以是全部，也可以是部分。主要根據(jù)用戶所需的結(jié)果進(jìn)行設(shè)置，用戶可以只需要面密度分析的數(shù)據(jù)，也可以需要面密度分析和斜率分析的數(shù)據(jù)。這些模式分析是用戶在系統(tǒng)調(diào)試時(shí)，自動(dòng)設(shè)置完成的。
[0045]S104:對(duì)分析的分析元素進(jìn)行功能編輯；
[0046]這里的功能編輯包括:圖表特征編輯、橫坐標(biāo)特征編輯、縱坐標(biāo)特征編輯、單位編輯、圖表標(biāo)題編輯、圖表背景編輯、圖表縮放功能編輯。
[0047]這些功能編輯在完成數(shù)據(jù)分析之后，需要對(duì)結(jié)果數(shù)據(jù)的形勢(shì)作出的一些編輯，使之輸出能夠讓用戶更輕易只管了解整個(gè)測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)等等。
[0048]S105:對(duì)功能編輯完的分析元素按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出。
[0049]本發(fā)明實(shí)施例中的格式文檔包括=EXCEL格式測(cè)試數(shù)據(jù)、TEXT格式文檔、Bitmap格式圖片等。在輸出結(jié)果時(shí)，可以根據(jù)用戶所需得打最終的文檔輸出模式，比如用戶只需要EXCEL格式數(shù)據(jù)，僅僅只輸出EXCEL格式測(cè)試數(shù)據(jù)。當(dāng)然這里也可以是所有的格式文檔都輸出，供用戶參閱。
[0050]相應(yīng)的，圖2示出了本發(fā)明實(shí)施例中的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括:
[0051]輸入模塊，用于輸入二次離子質(zhì)譜SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)，解析SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)中所包含的元素；
[0052]需要說明的是，這里的輸入模塊可以輸入一個(gè)SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，也可以輸入兩個(gè)或者以上的SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行多個(gè)樣品的直接對(duì)比分析等等。
[0053]元素過濾模塊，用于對(duì)SMS測(cè)試結(jié)果中的環(huán)境元素進(jìn)行過濾，留下分析元素；
[0054]需要說明的是，由于對(duì)SIMS測(cè)試結(jié)果的分析只是針對(duì)有效的元素，而SIMS結(jié)果中的環(huán)境元素比較雜亂，并不是所有元素都需要進(jìn)行分析，只需要分析出那些用戶關(guān)注的元素即可，所以需要由元素過濾模塊進(jìn)行元素的過濾，保留下分析元素。
[0055]分析模塊，用于基于設(shè)置的分析模式對(duì)分析元素進(jìn)行模式分析；
[0056]需要說明的是，這里分析模塊中的的模式分析包括:面密度分析、斜率分析、均值分析、結(jié)深分析、厚度分析、厚度標(biāo)示。
[0057]這些分析可以是全部，也可以是部分。主要根據(jù)用戶所需的結(jié)果進(jìn)行設(shè)置，用戶可以只需要面密度分析的數(shù)據(jù)，也可以需要面密度分析和斜率分析的數(shù)據(jù)。這些模式分析是用戶在系統(tǒng)調(diào)試時(shí)，自動(dòng)設(shè)置完成的。
[0058]功能編輯模塊，用于對(duì)分析的分析元素進(jìn)行功能編輯；
[0059]需要說明的是，這里功能編輯模塊中的功能編輯包括:圖表特征編輯、橫坐標(biāo)特征編輯、縱坐標(biāo)特征編輯、單位編輯、圖表標(biāo)題編輯、圖表背景編輯、圖表縮放功能編輯。
[0060]這些功能編輯在完成數(shù)據(jù)分析之后，需要對(duì)結(jié)果數(shù)據(jù)的形勢(shì)作出的一些編輯，使之輸出能夠讓用戶更輕易只管了解整個(gè)測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)等等。
[0061]輸出模塊，用于對(duì)功能編輯完的分析元素按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出。
[0062]本發(fā)明實(shí)施例中的格式文檔包括=EXCEL格式測(cè)試數(shù)據(jù)、TEXT格式文檔、Bitmap格式圖片等。在輸出模塊進(jìn)行輸出結(jié)果時(shí)，可以根據(jù)用戶所需得打最終的文檔輸出模式，比如用戶只需要EXCEL格式數(shù)據(jù)，僅僅只輸出EXCEL格式測(cè)試數(shù)據(jù)。當(dāng)然這里也可以是所有的格式文檔都輸出，供用戶參閱。
[0063]以下，結(jié)合一個(gè)GaN基LED的外延結(jié)構(gòu)的SMS測(cè)試結(jié)果分析的實(shí)施例，介紹本發(fā)明的特征。
[0064]GaN基LED的外延片主要結(jié)構(gòu)包括Mg摻雜的p型GaN、Si摻雜的η型GaN、InGaN/GaN多量子阱、P型AlGaN電子阻擋層。因此，該樣品元素主要包含Mg、In、Al、S1、Ga、N。由于Ga和N屬于基礎(chǔ)元素，SIMS主要分析摻雜元素的量及分布情況，因此SMS測(cè)試時(shí)主要測(cè)試Mg、In、Al、Si。同時(shí)，受樣品表面及環(huán)境影響，測(cè)試結(jié)果通常包含C、H、0，本實(shí)施例中稱之為“環(huán)境元素”。
[0065]該實(shí)施例分析步驟如下:
[0066]第一步，打開SMS測(cè)試結(jié)果檔案；觀察測(cè)試結(jié)果所包含元素有:C、H、0、Mg、In、Al、Si ；
[0067]第二步，過濾環(huán)境元素C、H、0，只留下分析元素Mg、In、Al、Si ；
[0068]第三步，對(duì)分析元素有目的的進(jìn)行模式分析。在此，分別以“厚度分析”、“均值分析”、“斜率分析”三個(gè)典型SMS測(cè)試分析功能進(jìn)行實(shí)施例的闡述。
[0069]分析一:“厚度分析”功能一摻雜元素深度/厚度分析
[0070]參考圖3和圖4，如下操作:
[0071]使用“厚度分析”功能，標(biāo)示目標(biāo)元素所涵蓋的深度區(qū)間。通過雙擊目標(biāo)元素譜線，改變目標(biāo)元素，依次分別標(biāo)示出Al元素?fù)诫s膜層厚度為4.17X 10-2um, In元素?fù)诫s膜層厚度為25.18X ΙΟΛιπκ Si摻雜膜層距外延層最表面距離為74.65Χ 10_2um ；
[0072]分析二:“均值分析”功能一摻雜元素濃度分析
[0073]參考圖5，在分析一的基礎(chǔ)上，可如下操作:
[0074]使用“均值分析”功能，標(biāo)示某區(qū)間內(nèi)元素的平均摻雜濃度；首先，選擇Al元素為目標(biāo)分析元素，即鼠標(biāo)左鍵雙擊Al元素譜線，然后選取“均值分析”功能，標(biāo)示如圖4所示厚度為4.17 X IO-2Um的Al摻雜膜層內(nèi)Al元素的平均摻雜濃度為1.59 X 1020a.u ;同理，標(biāo)示厚度為25.18X 10_2um的In摻雜膜層內(nèi)In元素的平均摻雜濃度為1.62 X IO2V U。
[0075]分析三:“斜率分析”功能一摻雜界面陡直度分析
[0076]參考圖6，在分析一和分析二的基礎(chǔ)上，可如下操作:
[0077]使用“斜率分析”功能，進(jìn)行某元素?fù)诫s薄膜與兩側(cè)其他元素?fù)诫s膜層界面的陡直度分析。例如，選擇距外延層最表面距離為74.65X IO-2Um的Si摻雜膜層為目標(biāo)分析單元。首先，鼠標(biāo)左鍵雙擊Si元素譜線，然后選取“斜率分析”功能，調(diào)整需要做斜率計(jì)算的曲線線段，斜率測(cè)量結(jié)果為-4.709 X l(T2um/deCade。該斜率的絕對(duì)值越大，表示該膜層與兩側(cè)膜層的界面越陡直，元素變化趨勢(shì)較大；否則，表示該膜層與兩側(cè)膜層的界面較平緩，即摻雜元素呈逐漸變化的趨勢(shì)。正負(fù)號(hào)僅表示在膜層兩側(cè)的哪一側(cè)，在本測(cè)試圖中，正值表示曲線向左傾斜，而負(fù)值表示曲線向右傾斜。
[0078]第四步，根據(jù)需要，單獨(dú)輸出每種分析結(jié)果的圖片資料；如圖4?圖6是輸出的不同分析內(nèi)容或不同外觀風(fēng)格的Bitmap格式的圖片；
[0079]第五步，根據(jù)需要，輸出EXCEL格式的數(shù)據(jù)原始檔案，如圖8中所示；
[0080]第六步，關(guān)閉系統(tǒng)結(jié)束。
[0081]通過本發(fā)明實(shí)施例的分析，獲取了 GaN基LED的外延結(jié)構(gòu)的元素?fù)诫s深度、膜層厚度、摻雜界面陡直度等信息，對(duì)外延片生長(zhǎng)的改進(jìn)具有科學(xué)的指導(dǎo)意義，提高工作效率，縮短產(chǎn)品開發(fā)周期。
[0082]綜上，本發(fā)明實(shí)施例利用SMS數(shù)據(jù)快速讀取與分析的軟件系統(tǒng)分析了 GaN基LED的外延結(jié)構(gòu)，并輸出了圖譜曲線圖、EXCEL格式數(shù)據(jù)。本發(fā)明實(shí)施例可快速、詳細(xì)、直觀的讀取SIMS測(cè)試結(jié)果，并以圖譜形式顯示。通過本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)分析與處理模塊分析圖譜的特征及任意點(diǎn)的數(shù)據(jù)；通過編輯模塊實(shí)現(xiàn)圖譜圖像的個(gè)性化編輯。本系統(tǒng)可以輸出EXCEL格式測(cè)試數(shù)據(jù)、圖譜曲線圖、SMS測(cè)試結(jié)果整合報(bào)告多種結(jié)果。方便用戶快速了解SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)內(nèi)容。
[0083]以上對(duì)本發(fā)明實(shí)施例所提供的對(duì)SMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法及系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在【具體實(shí)施方式】及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
【權(quán)利要求】
1.一種對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法，其特征在于，包括: 輸入二次離子質(zhì)譜SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)，解析SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)中所包含的元素； 對(duì)SIMS測(cè)試結(jié)果中的環(huán)境元素進(jìn)行過濾，留下分析元素； 基于設(shè)置的分析模式對(duì)分析元素進(jìn)行模式分析； 對(duì)分析的分析元素進(jìn)行功能編輯； 對(duì)功能編輯完的分析元素按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出。
2.如權(quán)利要求1所述的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法，其特征在于，所述模式分析包括:面密度分析、斜率分析、均值分析、結(jié)深分析、厚度分析、厚度標(biāo)示。
3.如權(quán)利要求1所述的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法，其特征在于，所述對(duì)分析的SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行功能編輯包括:圖表特征編輯、橫坐標(biāo)特征編輯、縱坐標(biāo)特征編輯、單位編輯、圖表標(biāo)題編輯、圖表背景編輯、圖表縮放功能編輯。
4.如權(quán)利要求1所述的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法，其特征在于，所述對(duì)功能編輯完的SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出中的格式文檔包括=EXCEL格式測(cè)試數(shù)據(jù)、TEXT格式文檔、Bitmap格式圖片。
5.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的方法，其特征在于，所述輸入二次離子質(zhì)譜SIMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)包括: 輸入一個(gè)或者一個(gè)以上的SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行多個(gè)樣品的直接對(duì)比分析。
6.一種對(duì)SMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括: 輸入模塊，用于輸入二次離子質(zhì)譜SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)，解析SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)中所包含的元素； 元素過濾模塊，用于對(duì)SIMS測(cè)試結(jié)果中的環(huán)境元素進(jìn)行過濾，留下分析元素； 分析模塊，用于基于設(shè)置的分析模式對(duì)分析元素進(jìn)行模式分析； 功能編輯模塊，用于對(duì)分析的分析元素進(jìn)行功能編輯； 輸出模塊，用于對(duì)功能編輯完的分析元素按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出。
7.如權(quán)利要求6所述的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的系統(tǒng)，其特征在于，所述分析模塊中的模式分析包括:面密度分析、斜率分析、均值分析、結(jié)深分析、厚度分析、厚度標(biāo)示。
8.如權(quán)利要求6所述的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的系統(tǒng)，其特征在于，所述功能編輯模塊中的功能編輯包括:圖表特征編輯、橫坐標(biāo)特征編輯、縱坐標(biāo)特征編輯、單位編輯、圖表標(biāo)題編輯、圖表背景編輯、圖表縮放功能編輯。
9.如權(quán)利要求6所述的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的系統(tǒng)，其特征在于，所述對(duì)功能編輯完的SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)按照設(shè)置的格式文檔進(jìn)行內(nèi)容輸出中的格式文檔包括=EXCEL格式測(cè)試數(shù)據(jù)、TEXT格式文檔、Bitmap格式圖片。
10.如權(quán)利要求6至9任一項(xiàng)所述的對(duì)SIMS數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和分析的系統(tǒng)，其特征在于，所述輸入模塊用于輸入一個(gè)或者一個(gè)以上的SMS測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行多個(gè)樣品的直接對(duì)比分析。
【文檔編號(hào)】G06F17/27GK103455616SQ201310410665
【公開日】2013年12月18日 申請(qǐng)日期:2013年9月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月10日
【發(fā)明者】方方 申請(qǐng)人:廣州金鑒檢測(cè)科技有限公司