專利名稱：超越探針臺(tái)排列方式的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種超越探針臺(tái)排列方式的方法。
背景技術(shù)：
目前在硅片量產(chǎn)測(cè)試中，探針臺(tái)針對(duì)探針卡信息及硅片信息會(huì)存放在一個(gè)叫品種參數(shù)的文件中，其中探針卡信息包括同測(cè)數(shù)、排列方式、被測(cè)器件(DUT)相對(duì)位置等信息，存儲(chǔ)在位置名變量中，如圖1所示，測(cè)試時(shí)，測(cè)試機(jī)通過GPIB讀取探針臺(tái)的位置名變量LocationName，通過在位置名變量LocationName配置文件中查找對(duì)應(yīng)的名稱，解析該位置名變量LocationName，從而得到探針卡信息，計(jì)算出此次測(cè)試接觸中每個(gè)被測(cè)器件DUT的坐標(biāo)信息，測(cè)試程序接收該計(jì)算得到的坐標(biāo)信息并用于序列碼的寫入等操作。隨著現(xiàn)在同測(cè)數(shù)的不斷提高和芯片測(cè)試壓焊點(diǎn)排列復(fù)雜性的提升，對(duì)探針卡廠商也是極大的挑戰(zhàn)，常規(guī)的探針卡排列已經(jīng)無法滿足要求，為了滿足同測(cè)數(shù)，探針卡只有使用超常規(guī)的方式，比如隔列、隔行、夾花等形式才能做出滿足一定同測(cè)數(shù)要求的探針卡。但問題也隨之而來，因?yàn)槟壳疤结樑_(tái)的位置名變量(LocationName)沒有諸如隔列、隔行等特殊排列的信息，所以當(dāng)兩張?zhí)结樋ǖ耐瑴y(cè)數(shù)一樣、水平方向與豎直方向的被測(cè)器件數(shù)一樣、參考被測(cè)器件位置一樣、其它被測(cè)器件與參考被測(cè)器件的相對(duì)位置一樣時(shí)，無法分辨出哪張是特殊排列，哪張是常規(guī)排列，所以無法使用超越目前探針臺(tái)排列方式以外的排列進(jìn)行測(cè)試。例如，位置名變量LocationName為“F0816LUY”時(shí)，表示探針卡為08 X 16排列的128同測(cè)，如圖2所示，其中參考被測(cè)器件1在左上角，被測(cè)器件2在被測(cè)器件1的Y方向。而當(dāng)探針卡排列為08X16排列，參考被測(cè)器件1同樣在左上角，被測(cè)器件2同樣在被測(cè)器件1的Y方向，但為每列兩兩相隔的時(shí)候，如圖3所示，僅靠當(dāng)前系統(tǒng)提供的位置名變量LocationName已無法提供隔列的信息。如果要實(shí)現(xiàn)隔列的測(cè)試，一個(gè)方案是需要探針臺(tái)升級(jí)操作系統(tǒng)，提供測(cè)試機(jī)能夠描述隔列信息的參數(shù)，但開發(fā)升級(jí)操作系統(tǒng)，費(fèi)用巨大，而且還要考慮新系統(tǒng)與現(xiàn)有系統(tǒng)的兼容問題，十分復(fù)雜。另一個(gè)方案是針對(duì)特殊排列的探針卡，購(gòu)買能夠支持多種排列方式的探針臺(tái)，但這需要十分昂貴的購(gòu)機(jī)費(fèi)用，增加了測(cè)試成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種超越探針臺(tái)排列方式的方法，它能夠在不改變探針臺(tái)的情況下，正常使用超常規(guī)排列方式的探針卡，突破同測(cè)時(shí)探針臺(tái)對(duì)排列方式的限制。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的超越探針臺(tái)排列方式的方法包括以下步驟步驟一明確需要測(cè)試的探針卡的排列方式，并自定義一能夠描述該排列方式的新位置名
變量；在測(cè)試機(jī)的位置名配置文件中增加該新位置名變量及其對(duì)應(yīng)的配置信息；在與該探針卡對(duì)應(yīng)的測(cè)試程序中增加該新位置名變量，其值(變量的名字)與所述位置名配置文件中增加的新位置名變量的值(變量的名字)一致；更新測(cè)試機(jī)GPIB驅(qū)動(dòng)，使其具備訪問測(cè)試機(jī)測(cè)試程序、用測(cè)試程序的新位置名變量替換探針臺(tái)的原位置名變量的功能；步驟二 測(cè)試時(shí)，GPIB驅(qū)動(dòng)訪問測(cè)試機(jī)測(cè)試程序，查找該程序是否存在新位置名
變量；步驟三當(dāng)所述測(cè)試程序中存在新位置名變量時(shí)GPIB驅(qū)動(dòng)用該新位置名變量替換從探針臺(tái)發(fā)送過來的原位置名變量；當(dāng)所述測(cè)試程序中不存在新位置名變量時(shí)保持從探針臺(tái)發(fā)送過來的原位置名變量。其中所述步驟一中位置名配置文件中增加的所述新位置名變量的配置信息包括該新位置名變量(即其值)、對(duì)應(yīng)的測(cè)試探針卡的同測(cè)數(shù)、被測(cè)器件排列方式、被測(cè)器件的相對(duì)坐標(biāo)。測(cè)試機(jī)根據(jù)步驟三中得到的新位置名變量或探針臺(tái)的原位置名變量，在所述位置名配置文件中查找與該變量對(duì)應(yīng)的配置信息當(dāng)所述新位置名變量或原位置名變量在所述位置名配置文件中存在且其值一致時(shí)，測(cè)試機(jī)根據(jù)其配置信息計(jì)算每個(gè)被測(cè)器件的坐標(biāo)信息，測(cè)試程序接收該各個(gè)被測(cè)器件的坐標(biāo)信息并進(jìn)行測(cè)試；當(dāng)所述新位置名變量或原位置名變量在所述位置名配置文件中不存在時(shí)，測(cè)試機(jī)報(bào)警。利用自定義的新位置名變量，探針臺(tái)的原位置名變量的內(nèi)容能夠被替換成任意我們所需要的內(nèi)容，因此能夠描述多種特殊排列的特征信息，比如08X16隔行用F0816LUYH1V0來表示，隔列用F0816LUYH0V1表示，夾花用F0816H1V1表示，所以能夠支持所有排列方式的測(cè)試。綜上所述本發(fā)明能夠在不改變探針臺(tái)的情況下，正常使用超常規(guī)排列方式的探針卡，突破同測(cè)時(shí)探針臺(tái)對(duì)排列方式的限制，使其具備測(cè)試特殊排列方式的能力，從而減少開發(fā)新系統(tǒng)及購(gòu)買新設(shè)備的費(fèi)用，降低測(cè)試成本。


下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明圖1為常規(guī)測(cè)試機(jī)與探針臺(tái)工作方式示意圖；圖2為探針臺(tái)位置名變量為“F0816LUY”時(shí)被測(cè)器件位置示意圖；圖3為一超常規(guī)探針卡被測(cè)器件位置示意圖；圖4為使用本發(fā)明的方法后測(cè)試機(jī)與探針臺(tái)工作方式示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明通過在測(cè)試機(jī)位置名配置文件中增加新位置名變量的配置信息，并以其替代從探針臺(tái)發(fā)送過來的原位置名變量，實(shí)現(xiàn)特殊排列方式的測(cè)試，其具體步驟包括步驟一準(zhǔn)備工作，包含明確需要測(cè)試的探針卡的排列方式，并自定義一能夠描述該探針卡排列方式的新位置名變量NewLocName ；
在測(cè)試機(jī)的位置名配置文件中增加所述新位置名變量NewLocName的配置信息，該配置信息包括該新位置名變量的值“NewLocName”、與其對(duì)應(yīng)的所述測(cè)試探針卡的同測(cè)數(shù)、被測(cè)器件排列方式、被測(cè)器件的相對(duì)坐標(biāo)等信息，完成此步配置后，所述位置名配置文件同時(shí)仍然包含有探針臺(tái)的原位置名變量的配置信息，如變量Namel、變量Name3的配置信息，如圖4所示；在與所述探針卡對(duì)應(yīng)的測(cè)試程序中增加所述新位置名變量NewLocName，該新位置名變量NewLocName的值(變量的名字)與所述位置名配置文件中增加的新位置名變量的值(變量的名字)一致；更新測(cè)試機(jī)GPIB驅(qū)動(dòng)，使其具備訪問測(cè)試程序、用新位置名變量替換探針臺(tái)的原位置名變量的功能；步驟二測(cè)試時(shí)，如圖4所示，探針臺(tái)執(zhí)行測(cè)試命令，傳遞原位置名變量LocationName給測(cè)試機(jī)，同時(shí)GPIB驅(qū)動(dòng)訪問測(cè)試機(jī)測(cè)試程序、查找該測(cè)試程序是否存在新位置名變量NewLocName ；步驟三當(dāng)所述測(cè)試程序存在新位置名變量NewLocName時(shí)，GPIB驅(qū)動(dòng)用該新位置名變量NewLocName替換從探針臺(tái)發(fā)送過來的原位置名變量LocationName ；當(dāng)所述測(cè)試程序不存在新位置名變量NewLocName時(shí)，GPIB驅(qū)動(dòng)保留從探針臺(tái)發(fā)送過來的原位置名變量Location Name ；步驟四測(cè)試機(jī)根據(jù)步驟三中得到的新位置名變量NewLocName或原位置名變量Location Name，在所述位置名配置文件中查找與其對(duì)應(yīng)的信息；步驟五當(dāng)所述的新位置名變量NewLocName (即其值)或原位置名變量LocationName (即其值)在所述位置名配置文件存在時(shí)，測(cè)試機(jī)根據(jù)其對(duì)應(yīng)的配置信息計(jì)算各被測(cè)器件的坐標(biāo)信息，測(cè)試程序接收該各個(gè)被測(cè)器件的坐標(biāo)信息進(jìn)行測(cè)試；當(dāng)所述的新位置名變量NewLocName (即其值)或原位置名變量LocationName (即其值)在所述位置名配置文件不存在時(shí)，測(cè)試機(jī)報(bào)警。本發(fā)明通過在測(cè)試機(jī)位置名配置文件中增加新位置名變量NewLocName的配置信息，并以其替代從探針臺(tái)發(fā)送過來的原位置名變量Location Name,實(shí)現(xiàn)特殊排列方式的測(cè)試。需要說明的是上述僅為本發(fā)明較佳實(shí)施，不能以此限制本發(fā)明的實(shí)施范圍，即凡依照本發(fā)明方法、技術(shù)原理及精神所作的變化與修飾，皆屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種超越探針臺(tái)排列方式的方法，其特征在于，包括如下步驟步驟一明確需要測(cè)試的探針卡的排列方式，并自定義一能夠描述該排列方式的新位置名變量；在測(cè)試機(jī)的位置名配置文件中增加該新位置名變量及其對(duì)應(yīng)的配置信息；在與該探針卡對(duì)應(yīng)的測(cè)試程序中增加該新位置名變量，其值與所述位置名配置文件中增加的新位置名變量的值一致；更新測(cè)試機(jī)GPIB驅(qū)動(dòng)，使其具備訪問測(cè)試機(jī)測(cè)試程序、用測(cè)試程序的新位置名變量替換探針臺(tái)的原位置名變量的功能；步驟二 測(cè)試時(shí)，GPIB驅(qū)動(dòng)訪問測(cè)試機(jī)測(cè)試程序，查找該程序是否存在新位置名變量；步驟三當(dāng)所述測(cè)試程序中存在新位置名變量時(shí)=GPIB驅(qū)動(dòng)用該新位置名變量替換從探針臺(tái)發(fā)送過來的原位置名變量；當(dāng)所述測(cè)試程序中不存在新位置名變量時(shí)保持從探針臺(tái)發(fā)送過來的原位置名變量。
2.如權(quán)利要求1所述的超越探針臺(tái)排列方式的方法，其特征在于所述步驟一中位置名配置文件中增加的所述新位置名變量的配置信息包括所述新位置名變量、所述對(duì)應(yīng)的測(cè)試探針卡的同測(cè)數(shù)、被測(cè)器件排列方式、被測(cè)器件的相對(duì)坐標(biāo)。
3.如權(quán)利要求1所述的超越探針臺(tái)排列方式的方法，其特征在于測(cè)試機(jī)根據(jù)步驟三中得到的新位置名變量或探針臺(tái)的原位置名變量，在所述位置名配置文件中查找與該變量對(duì)應(yīng)的配置信息。
4.如權(quán)利要求3所述的超越探針臺(tái)排列方式的方法，其特征在于所述新位置名變量或原位置名變量在所述位置名配置文件中存在且其值一致，則測(cè)試機(jī)根據(jù)其配置信息計(jì)算每個(gè)被測(cè)器件的坐標(biāo)信息，測(cè)試程序接收該各個(gè)被測(cè)器件的坐標(biāo)信息并進(jìn)行測(cè)試。
5.如權(quán)利要求3所述的超越探針臺(tái)排列方式的方法，其特征在于所述新位置名變量或原位置名變量在所述位置名配置文件中不存在，則測(cè)試機(jī)報(bào)警。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種超越探針臺(tái)排列方式的方法，其根據(jù)使用的探針卡，自定義一新位置名變量，在測(cè)試機(jī)位置名配置文件中添加該新位置名變量的配置信息，同時(shí)在對(duì)應(yīng)的測(cè)試程序中增加該新位置名變量，測(cè)試時(shí)GPIB訪問測(cè)試程序中的該新位置名變量，并以其替換從探針臺(tái)發(fā)送過來的原位置名變量，再用該新位置名變量在位置名配置文件中查找對(duì)應(yīng)的排列信息，計(jì)算得到每個(gè)被測(cè)器件的坐標(biāo)信息進(jìn)行測(cè)試。本發(fā)明的方法能夠在不改變探針臺(tái)的情況下，實(shí)現(xiàn)任意排列方式的測(cè)試，正常使用超常規(guī)排列方式的探針卡，突破同測(cè)時(shí)探針臺(tái)對(duì)排列方式的限制。
文檔編號(hào)G06F9/44GK102591624SQ20111000162
公開日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2011年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月6日
發(fā)明者朱淵源, 辛吉升 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司