Ltcc光纖法珀高溫壓力傳感器及傳感系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型為一種LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器及傳感系統(tǒng)，該傳感器主要由基座、壓力敏感膜片、光纖、插芯及尾柄組成。本實(shí)用新型采用LTCC技術(shù)一體化制造直接接觸高溫的壓力敏感膜片和基座，用高溫膠水將光纖固定在尾柄及插芯內(nèi)，采用陶瓷燒結(jié)技術(shù)或高溫膠水將插芯與基座連接，使光纖端面與壓力敏感膜片平行放置構(gòu)成法珀腔，通過光纖傳感技術(shù)測量壓力導(dǎo)致的膜片撓度變化，從而進(jìn)行壓力測量。本實(shí)用新型解決了高溫下熱應(yīng)力不匹配導(dǎo)致的傳感器失效問題。另外，采用光纖傳輸可以隔絕高溫，消除高溫對信號處理電路的影響。在超高溫環(huán)境下，所制作的壓力傳感器可以實(shí)現(xiàn)寬頻帶的原位壓力測量。
【專利說明】
LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器及傳感系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本實(shí)用新型涉及光纖傳感技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器及 傳感系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002] 航天航空發(fā)動機(jī)的工作溫度一般高于1300°C，火箭推動器的工作溫度高達(dá)3000 °C，而常用的壓力傳感器包括壓阻傳感器、電阻傳感器、壓電傳感器、石英光纖傳感器等，其 長時間工作溫度最高不超過900°C，遠(yuǎn)低于發(fā)動機(jī)的工作溫度，限制了壓力傳感器在航天航 空飛行器中的應(yīng)用。因此，超高溫壓力傳感器在航天航空飛行器的健康狀態(tài)監(jiān)測、飛行控制 和設(shè)計(jì)優(yōu)化方面有迫切的需求。
[0003] 目前，為了解決超高溫壓力傳感器的需求和壓力傳感器耐溫低之間的矛盾，在實(shí) 際應(yīng)用中主要采用以下兩種替代方法:一是采用水冷或者氣冷的壓力傳感器，其工作溫度 可以達(dá)到1000 °c。二是長引壓管結(jié)合常溫壓力傳感器的測量方法，溫度范圍更高。這兩種方 法都具有著明顯的缺點(diǎn)：水冷式或氣冷系統(tǒng)比較復(fù)雜，將導(dǎo)致重量大大增加以及水冷或氣 冷產(chǎn)生的安全問題，限制了該類型傳感器在航天航空發(fā)動機(jī)中的應(yīng)用;在引壓管結(jié)合常溫 壓力傳感器的測量方法中，引壓管起著傳遞壓力和隔離熱量傳遞的功能，這樣不但會導(dǎo)致 非原位測量準(zhǔn)確度不高，而且引壓會降低測量的動態(tài)特性，不能滿足實(shí)時反饋控制的需求。 因此，原位超高溫環(huán)境下的壓力測量是目前測量技術(shù)的一個瓶頸。
[0004] 綜上所述，超高溫環(huán)境中的壓力參數(shù)原位測量具有迫切的需求和極大的挑戰(zhàn)，急 需進(jìn)一步研究。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本實(shí)用新型的目的是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，而提供一種LTCC光纖 法珀高溫壓力傳感器及傳感系統(tǒng)。
[0006] 本實(shí)用新型是通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：
[0007] -種LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器，包括陶瓷基座、陶瓷插芯、尾柄和光纖；陶瓷 基座內(nèi)設(shè)有內(nèi)腔，內(nèi)腔與陶瓷基座底面之間形成陶瓷壓力敏感膜片，陶瓷基座、內(nèi)腔及陶瓷 壓力敏感膜片采用LTCC(低溫共燒陶瓷)技術(shù)一體化制造而成；陶瓷插芯固定于陶瓷基座 上，且陶瓷插芯的底部伸至內(nèi)腔中；尾柄固定于陶瓷插芯的頂部，光纖固定于陶瓷插芯及 尾柄中；陶瓷插芯及光纖的出光面與陶瓷壓力敏感膜片平行放置構(gòu)成法珀腔;陶瓷基座、內(nèi) 腔、陶瓷壓力敏感膜片、陶瓷插芯、尾柄和光纖都位于同一軸線上。
[0008] 所述的陶瓷插芯和光纖的出光面都經(jīng)過研磨處理，以保證出射光纖端面光的反射 率。
[0009] 所述的陶瓷壓力敏感膜片的反射光一面（即陶瓷壓力敏感膜片的內(nèi)表面)鍍有反 射膜(如通過濺射技術(shù)），以保證光纖透射光的反射率。
[0010] 進(jìn)一步的，本實(shí)用新型所述的LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器的制備方法，包括如 下步驟：
[0011] 1)陶瓷基座制備：陶瓷基座及其內(nèi)腔、陶瓷壓力敏感膜片是采用LTCC技術(shù)一體化 制造而成的，具體為，a)通過打孔機(jī)形成生瓷片的定位孔、過孔以及內(nèi)孔結(jié)構(gòu);b)通過定位 孔將多層100μπι厚的生瓷片進(jìn)行疊片，并保證過孔及內(nèi)孔的垂直度;c)將疊片完成后的整體 結(jié)構(gòu)真空封裝后置于層壓機(jī)中進(jìn)行層壓;d)將層壓后的整體結(jié)構(gòu)在燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)即 可;其中，由下而上計(jì)，第一層生瓷片作為陶瓷壓力敏感膜片，陶瓷壓力敏感膜片的厚度通 過第一層生瓷片厚度的設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn);第二層生瓷片到第六層生瓷片上開設(shè)內(nèi)孔，五個內(nèi)孔 疊壓形成陶瓷基座的內(nèi)腔，內(nèi)孔直徑?jīng)Q定陶瓷壓力敏感膜片的有效直徑，陶瓷壓力敏感膜 片的有效直徑通過內(nèi)孔直徑的設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn);第七層生瓷片到第N層生瓷片上開設(shè)過孔，若干 過孔疊壓形成用于固定陶瓷插芯的孔結(jié)構(gòu)，陶瓷插芯固定于陶瓷基座內(nèi)的深度通過若干過 孔總深度(即:N-6片生瓷片的總厚度)的設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)；
[0012] 2)陶瓷基座與陶瓷插芯固定:將陶瓷插芯的底部通過陶瓷高溫?zé)Y(jié)技術(shù)或高溫膠 水固定于陶瓷基座上的過孔內(nèi)，保證陶瓷插芯與陶瓷基座垂直固定；
[0013] 3)陶瓷插芯與尾柄固定:將陶瓷插芯的頂部通過壓接機(jī)壓接在尾柄內(nèi)。
[0014] 4)光纖與陶瓷插芯、尾柄固定:光纖通過高溫膠水膠結(jié)固化于陶瓷插芯及尾柄中， 高溫膠水的熱膨脹系數(shù)與光纖、陶瓷插芯的接近，具體為，將高溫膠水注入尾柄及陶瓷插芯 的插孔內(nèi)，然后將光纖插入尾柄及陶瓷插芯的插孔中，最后加熱使高溫膠水凝固即可。
[0015] 本實(shí)用新型所述的LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器，利用陶瓷、光纖、熱膨脹系數(shù)接 近的高溫膠水等耐高溫材料，并采用LTCC(低溫共燒陶瓷)技術(shù)一體化加工陶瓷基座及其 內(nèi)腔、陶瓷壓力敏感膜片，同時利用光纖傳感高靈敏度、抗電磁干擾、結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)，解決 了高溫壓力傳感器主要存在的3大問題:一、高溫下敏感材料或機(jī)理失效;二、不同材料熱膨 脹系數(shù)不同導(dǎo)致的熱應(yīng)力不匹配，進(jìn)而導(dǎo)致高溫下傳感頭損壞;三、高溫沿信號熱線傳導(dǎo)對 信號處理電路的影響，實(shí)現(xiàn)了超高溫環(huán)境下壓力信號的測量。同時，上述結(jié)構(gòu)的LTCC光纖法 珀高溫壓力傳感器還具有結(jié)構(gòu)簡單、加工工藝簡單、便于制造的優(yōu)點(diǎn)。
[0016] 進(jìn)一步的，本實(shí)用新型還公開了一種基于本實(shí)用新型所述LTCC光纖法珀高溫壓力 傳感器的傳感系統(tǒng)，該系統(tǒng)是基于本實(shí)用新型所述的LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器上設(shè)計(jì) 而成的，該系統(tǒng)包括LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器和信號解調(diào)系統(tǒng)；
[0017] 信號解調(diào)系統(tǒng)包括SLD光源、第一光纖親合器、第二光纖親合器、第一濾波器、第二 濾波器、第一光電探測器、第二光電探測器、正交信號處理單元和接口模塊，其中，第一光纖 親合器分別與SLD光源和第二光纖親合器連接，第二光纖親合器又分別與第一濾波器和第 二濾波器連接，第一濾波器又與第一光電探測器連接，第二濾波器又與第二光電探測器連 接，第一光電探測器和第二光電探測器又同時與正交信號處理單元連接，正交信號處理單 元又與接口模塊連接；
[0018] LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器的光纖通過石英單模光纖與信號解調(diào)系統(tǒng)的第一 光纖耦合器連接。
[0019] 本系統(tǒng)中，SLD光源的輸出光通過第一光纖耦合器進(jìn)入LTCC光纖法珀高溫壓力傳 感器;LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器返回的干涉信號再次通過第一光纖耦合器后，被第二 光纖耦合器分成相同的兩束光;這兩束光分別經(jīng)第一濾波器和第二濾波器濾波后分別到達(dá) 第一光電探測器和第二光電探測器，進(jìn)而被轉(zhuǎn)化為電信號輸出；兩路電信號進(jìn)入正交信號 處理器進(jìn)行運(yùn)算，得到法珀腔的腔長變化量，實(shí)現(xiàn)壓力傳感。
[0020] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：
[0021] 本實(shí)用新型采用低溫共燒陶瓷的方法（即所述LTCC技術(shù))一體化制造直接接觸高 溫的傳感器關(guān)鍵部件（陶瓷基座和陶瓷壓力敏感膜片），可以解決高溫下由于熱應(yīng)力不匹配 導(dǎo)致的傳感器損壞問題;本實(shí)用新型中將光纖端面與陶瓷壓力敏感膜片平行放置構(gòu)成法珀 腔進(jìn)行壓力測量。由于光纖和陶瓷均屬于耐高溫材料，解決了高溫環(huán)境下敏感材料或機(jī)理 失效問題;本實(shí)用新型通過光纖傳感方法實(shí)現(xiàn)壓力信號測量，同時可以解決高溫對信號處 理電路的影響問題。采用光纖傳輸可以隔絕高溫，消除高溫對信號處理電路的影響。在超高 溫環(huán)境下，本實(shí)用新型傳感器可以實(shí)現(xiàn)寬頻帶的原位壓力測量。此外，本實(shí)用新型的LTCC光 纖法珀高溫壓力傳感器的結(jié)構(gòu)十分簡單，這大大降低了加工和調(diào)試難度。
【附圖說明】
[0022] 圖1為本實(shí)用新型LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023] 圖2為基于本實(shí)用新型所述LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器的傳感系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意 圖。
[0024] 圖中：1-陶瓷基座、2-陶瓷插芯、3-尾柄、4-光纖、5-內(nèi)腔、6-陶瓷壓力敏感膜片、7-法珀腔、8-反射膜；
[0025] 102-SLD光源、103-第一光纖耦合器、104-第二光纖耦合器、105-第一濾波器、106- 第二濾波器、107-第一光電探測器、108-第二光電探測器、109-正交信號處理單元、110-接 口模塊、111-石英單模光纖。
【具體實(shí)施方式】
[0026] 以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步地描述：
[0027] 如圖1所示，一種LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器，包括陶瓷基座1、陶瓷插芯2、尾柄 3和光纖4;陶瓷基座1內(nèi)設(shè)有內(nèi)腔5,內(nèi)腔5與陶瓷基座1底面之間形成陶瓷壓力敏感膜片6， 陶瓷基座1、內(nèi)腔5及陶瓷壓力敏感膜片6采用LTCC技術(shù)一體化制造而成；陶瓷插芯2固定于 陶瓷基座1上，且陶瓷插芯2的底部伸至內(nèi)腔5中；尾柄3固定于陶瓷插芯2的頂部，光纖4固定 于陶瓷插芯2及尾柄3中；陶瓷插芯2及光纖4的出光面與陶瓷壓力敏感膜片6平行放置構(gòu)成 法珀腔7;陶瓷基座1、內(nèi)腔5、陶瓷壓力敏感膜片6、陶瓷插芯2、尾柄3和光纖4都位于同一軸 線上。
[0028] 具體實(shí)施時，所述的陶瓷插芯2和光纖4的出光面都經(jīng)過研磨處理。所述的陶瓷壓 力敏感膜片6的反射光一面鍍有反射膜8。
[0029] 本實(shí)用新型所述的LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器的制備方法，包括如下步驟：
[0030] 1)陶瓷基座1制備：陶瓷基座1及其內(nèi)腔5、陶瓷壓力敏感膜片6是采用LTCC技術(shù)一 體化制造而成的，具體為，a通過打孔機(jī)形成生瓷片的定位孔、過孔以及內(nèi)孔結(jié)構(gòu)；b通過定 位孔將多層100μπι厚的生瓷片進(jìn)行疊片，并保證過孔及內(nèi)孔的垂直度;c將疊片完成后的整 體結(jié)構(gòu)真空封裝后置于層壓機(jī)中進(jìn)行層壓;d將層壓后的生瓷片結(jié)構(gòu)在燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié) 即可;其中，由下而上計(jì)，第一層生瓷片作為陶瓷壓力敏感膜片6,陶瓷壓力敏感膜片6的厚 度通過第一層生瓷片厚度的設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn);第二層生瓷片到第六層生瓷片上開設(shè)內(nèi)孔，五個 內(nèi)孔疊壓形成陶瓷基座1的內(nèi)腔5,內(nèi)孔直徑?jīng)Q定陶瓷壓力敏感膜片6的有效直徑，陶瓷壓力 敏感膜片6的有效直徑通過內(nèi)孔直徑的設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn);第七層生瓷片到第N層生瓷片上開設(shè)過 孔，若干過孔疊壓形成用于固定陶瓷插芯2的孔結(jié)構(gòu)，陶瓷插芯2固定于陶瓷基座1內(nèi)的深度 通過若干過孔的總深度的設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)；
[0031] 2)陶瓷基座1與陶瓷插芯2固定:將陶瓷插芯2的底部通過陶瓷高溫?zé)Y(jié)技術(shù)或高 溫膠水固定于陶瓷基座1上的過孔內(nèi)，保證陶瓷插芯2與陶瓷基座1垂直固定；
[0032] 3)陶瓷插芯2與尾柄3固定:將陶瓷插芯2的頂部通過壓接機(jī)壓接在尾柄3內(nèi)。
[0033] 4)光纖4與陶瓷插芯2、尾柄4固定:光纖4通過高溫膠水膠結(jié)固化于陶瓷插芯2及尾 柄3中，具體為，將高溫膠水注入尾柄3及陶瓷插芯2的插孔內(nèi)，然后將光纖4插入尾柄4及陶 瓷插芯2的插孔中，最后加熱使高溫膠水凝固即可。
[0034] -種基于本實(shí)用新型所述LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器的傳感系統(tǒng)，包括LTCC光 纖法珀高溫壓力傳感器和信號解調(diào)系統(tǒng)；
[0035] 信號解調(diào)系統(tǒng)包括SLD光源102、第一光纖耦合器103、第二光纖耦合器104、第一濾 波器105、第二濾波器106、第一光電探測器107、第二光電探測器108、正交信號處理單元109 和接口模塊110，其中，第一光纖耦合器103分別與SLD光源102和第二光纖耦合器104連接， 第二光纖親合器104又分別與第一濾波器105和第二濾波器106連接，第一濾波器105又與第 一光電探測器107連接，第二濾波器106又與第二光電探測器108連接，第一光電探測器107 和第二光電探測器108又同時與正交信號處理單元109連接，正交信號處理單元109又與接 口模塊110連接；
[0036] LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器的光纖4通過石英單模光纖111與信號解調(diào)系統(tǒng)的 第一光纖親合器103連接。
[0037] SLD光源102輸出的光經(jīng)過第一光纖耦合器103、石英單模光纖111、光纖4入射到 LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器內(nèi)部由光纖4端面和陶瓷壓力敏感膜片6平行放置構(gòu)成的法 珀腔7中，并在光纖4端面和陶瓷壓力敏感膜片6之間進(jìn)行多次反射和折射。當(dāng)LTCC光纖法珀 高溫壓力傳感器處于溫度/壓力復(fù)合罐100施加的沿陶瓷壓力敏感膜片6軸向的壓力或者高 溫環(huán)境下時，陶瓷壓力敏感膜片6的中心撓度使得法珀腔7的腔長發(fā)生變化，通過多光束干 涉將陶瓷壓力敏感膜片6的撓度轉(zhuǎn)化為傳感器輸出的干涉信號的相位改變。LTCC光纖法珀 高溫壓力傳感器返回的干涉信號再次通過第一光纖耦合器103后，被第二光纖耦合器104分 成相同的兩束光，其中一束光經(jīng)第一濾波器105濾波后被第一光電探測器107探測，進(jìn)而被 轉(zhuǎn)化為電信號輸出。同時，另一束光經(jīng)第二濾波器106濾波后被第二光電探測器108探測，進(jìn) 而被轉(zhuǎn)化為電信號輸出。第一光電探測器107和第二光電探測器108輸出的兩路電信號均進(jìn) 入正交信號處理單元109進(jìn)行運(yùn)算，得到法珀腔7的腔長變化量，實(shí)現(xiàn)高溫環(huán)境下壓力的傳 感。
[0038] 進(jìn)一步，針對高頻壓力測量的需要，本實(shí)用新型研究面向?qū)嵱没幕趯拵Ч怆p 波長解調(diào)系統(tǒng)，以及產(chǎn)生正交相位的方法。對基于雙波長解調(diào)原理的寬頻帶高精度信號解 調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行說明：
[0039] 通過調(diào)節(jié)第一路中第一濾波器105的中心波長，使該中心波長和另一路中第二濾 波器106的中心波長匹配設(shè)置，產(chǎn)生兩路正交信號。在初步實(shí)驗(yàn)中，采用光纖布拉格光柵來 代替濾波器，其中一個光柵固定在壓電陶瓷上，通過控制壓電陶瓷實(shí)現(xiàn)中心波長的移動控 制。兩路產(chǎn)生的正交信號可以表示為
[0040] /丨=，isin〇/9"(7)) (1)
[0041 ] /； = Acosi^Jj}) (Z)
[0042]當(dāng)A = B時，根據(jù)式(1)和⑵，可得
(3)
[0044] 根據(jù)式(3)，如果
，計(jì)算得到的相位A(t)將不等于％(〇4Ut)在$(0 為π/2整數(shù)倍時從+π/2跳變到-π/2,或者從-π/2跳變至Ι」+π/2?？紤]到相位跳變的情況，我們 檢測Φι(?)兩個相鄰采樣點(diǎn)的相位，在突變點(diǎn)減去跳變值+Jiradian或一Jiradian，并通過累 加器求和即可得到被測相位? L(t)。根據(jù)式(3)，可以看出當(dāng)獲得的正交信號幅值不相等或 者信號的相位差不是V2時，計(jì)算得到的相位將不準(zhǔn)確，傳感器的測量精度將受到影響。本 實(shí)用新型采用自動增益控制實(shí)現(xiàn)正交信號幅值的歸一化，采用正交信號的利薩如圖形對相 位差進(jìn)行檢測與校正。
[0045] 最后說明的是，以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制，盡管參 照較佳實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對本 實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的宗旨和范 圍，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器，其特征在于:包括陶瓷基座（1)、陶瓷插芯（2)、 尾柄(3)和光纖(4);陶瓷基座（1)內(nèi)設(shè)有內(nèi)腔(5)，內(nèi)腔(5)與陶瓷基座（1)底面之間形成陶 瓷壓力敏感膜片（6);陶瓷插芯（2)固定于陶瓷基座（1)上，且陶瓷插芯（2)的底部伸至內(nèi)腔 (5)中；尾柄(3)固定于陶瓷插芯(2)的頂部，光纖(4)固定于陶瓷插芯(2)及尾柄(3)中；陶瓷 插芯（2)及光纖(4)的出光面與陶瓷壓力敏感膜片（6)平行放置構(gòu)成法珀腔(7);陶瓷基座 (1) 、內(nèi)腔(5)、陶瓷壓力敏感膜片(6)、陶瓷插芯(2)、尾柄(3)和光纖(4)都位于同一軸線上。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器，其特征在于:所述的陶瓷插芯 (2) 和光纖(4)的出光面都經(jīng)過研磨處理。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器，其特征在于:所述的陶瓷 壓力敏感膜片(6)的反射光一面鍍有反射膜(8)。4. 一種基于權(quán)利要求1所述LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器的傳感系統(tǒng)，其特征在于:包 括LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器和信號解調(diào)系統(tǒng)； 信號解調(diào)系統(tǒng)包括SLD光源（102)、第一光纖親合器（103)、第二光纖親合器（104)、第一 濾波器（105)、第二濾波器（106)、第一光電探測器（107)、第二光電探測器（108)、正交信號 處理單元（109)和接口模塊（110)，其中，第一光纖耦合器（103)分別與SLD光源（102)和第二 光纖耦合器（104)連接，第二光纖耦合器（104)又分別與第一濾波器（105)和第二濾波器 (106)連接，第一濾波器（105)又與第一光電探測器（107)連接，第二濾波器（106)又與第二 光電探測器（108)連接，第一光電探測器（107)和第二光電探測器（108)又同時與正交信號 處理單元(109)連接，正交信號處理單元(109)又與接口模塊(110)連接； LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器的光纖(4)通過石英單模光纖（111)與信號解調(diào)系統(tǒng)的 第一光纖親合器(103)連接。
【文檔編號】G01L1/24GK205679342SQ201620450511
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年5月17日 公開號201620450511.8, CN 201620450511, CN 205679342 U, CN 205679342U, CN-U-205679342, CN201620450511, CN201620450511.8, CN205679342 U, CN205679342U
【發(fā)明人】賈平崗, 熊繼軍, 田曉丹, 劉佳, 李哲
【申請人】中北大學(xué)