膜厚的檢測裝置的制造方法
【專利摘要】本申請?zhí)峁┝艘环N膜厚的檢測裝置。該檢測裝置包括至少一個(gè)公共電極與至少一個(gè)檢測芯片，各檢測芯片包括：檢測電極陣列，包括多個(gè)檢測電極且與公共電極在第一方向上相對且間隔設(shè)置；復(fù)位單元，與檢測電極陣列中的各檢測電極電連接并將其上的電信號(hào)復(fù)位；初始放大單元，與各檢測電極電連接且用于放大電信號(hào)；移位控制單元，與初始放大單元電連接，用于控制電信號(hào)的輸出順序；掃描位總線，包括多個(gè)掃描連接點(diǎn)，一個(gè)掃描連接點(diǎn)與移位控制單元電連接；邏輯控制單元，用于接收外界的輸入信號(hào)、產(chǎn)生控制檢測芯片的控制信號(hào)與輸出檢測信號(hào)。該裝置的檢測精度較高。
【專利說明】
膜厚的檢測裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本申請涉及膜厚的檢測領(lǐng)域，具體而言，涉及一種膜厚的檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在金融領(lǐng)域中，驗(yàn)鈔機(jī)、ATM機(jī)與清分機(jī)通過各種方式對紙幣的真?zhèn)芜M(jìn)行鑒別并篩選，其中，很多都是通過對紙幣的厚度的檢測來辨別紙幣的真?zhèn)?。而紙幣厚度的檢測大多都采用壓輪的檢測方式，即紙幣通過壓輪時(shí)，測量壓輪的間隙，進(jìn)而通過間隙來判斷紙幣的厚度。這種檢測方式存在很多缺點(diǎn)，包括檢測結(jié)構(gòu)龐大、分辨率不高、高速送入紙幣時(shí)容易造成卡鈔，且檢測精度較低，例如，當(dāng)紙幣上貼有較小的異物時(shí)，不容易檢測出來。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本申請的主要目的在于提供一種膜厚的檢測裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的檢測裝置龐大且檢測精度較低的問題。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本申請的一個(gè)方面，提供了一種膜厚的檢測裝置，該檢測裝置包括至少一個(gè)公共電極與至少一個(gè)檢測芯片，其中，各上述檢測芯片包括:檢測電極陣列，與上述公共電極在第一方向上相對且間隔設(shè)置，上述公共電極與上述檢測電極陣列之間的間隔構(gòu)成待測膜的傳輸通道，上述檢測電極陣列包括多個(gè)檢測電極;復(fù)位單元，與上述檢測電極陣列中的各上述檢測電極電連接，用于將各上述檢測電極的電信號(hào)進(jìn)行復(fù)位;初始放大單元，與上述檢測電極陣列中的各上述檢測電極電連接，上述初始放大單元用于放大各上述檢測電極的電信號(hào);移位控制單元，與上述初始放大單元電連接，上述移位控制單元用于控制放大后的多個(gè)上述電信號(hào)的輸出順序;掃描位總線，包括多個(gè)掃描連接點(diǎn)，一個(gè)上述掃描連接點(diǎn)與上述移位控制單元電連接;邏輯控制單元，用于接收外界的輸入信號(hào)、產(chǎn)生控制上述檢測芯片的控制信號(hào)與輸出檢測信號(hào)。
[0005]進(jìn)一步地，上述檢測芯片還包括:增益放大單元，包括第一輸入端與第二輸入端，上述第一輸入端與一個(gè)上述掃描連接點(diǎn)電連接。
[0006]進(jìn)一步地，上述初始放大單元為初始放大器陣列，上述初始放大器陣列包括多個(gè)初始放大器，上述初始放大器與上述檢測電極一一對應(yīng)，各上述初始放大器的輸入端與對應(yīng)的檢測電極電連接。
[0007]進(jìn)一步地，上述復(fù)位單元為復(fù)位開關(guān)陣列，上述復(fù)位開關(guān)陣列包括多個(gè)復(fù)位開關(guān)，上述復(fù)位開關(guān)與上述檢測電極一一對應(yīng)，各上述復(fù)位開關(guān)包括復(fù)位開關(guān)第一端、復(fù)位開關(guān)第二端與復(fù)位開關(guān)第三端，各上述復(fù)位開關(guān)第一端接入固定電壓，上各述復(fù)位開關(guān)第二端接入復(fù)位信號(hào)，各上述復(fù)位開關(guān)第三端與對應(yīng)的檢測電極電連接，上述復(fù)位信號(hào)控制上述復(fù)位開關(guān)接通，將對應(yīng)的上述檢測電極的電信號(hào)進(jìn)行復(fù)位。
[0008]進(jìn)一步地，上述移位控制單元包括:移位開關(guān)陣列，包括多個(gè)移位開關(guān)，上述移位開關(guān)與上述初始放大器一一對應(yīng)，各上述移位開關(guān)包括移位開關(guān)第一端、移位開關(guān)第二端與移位開關(guān)第三端，各上述移位開關(guān)第一端與對應(yīng)的初始放大器的輸出端電連接;移位控制電路與各上述移位開關(guān)第二端電連接，上述移位控制電路用于控制各上述移位開關(guān)的接通與關(guān)斷。
[0009]進(jìn)一步地，上述檢測芯片還包括:掃描存儲(chǔ)開關(guān)陣列，包括多個(gè)掃描存儲(chǔ)開關(guān)，上述掃描存儲(chǔ)開關(guān)與上述初始放大器一一對應(yīng)，各上述掃描存儲(chǔ)開關(guān)包括掃描存儲(chǔ)開關(guān)第一端、掃描存儲(chǔ)開關(guān)第二端與掃描存儲(chǔ)開關(guān)第三端，各上述掃描存儲(chǔ)開關(guān)第一端與對應(yīng)的初始放大器的輸出端電連接，各上述掃描存儲(chǔ)開關(guān)第二端接入掃描開關(guān)信號(hào)；掃描存儲(chǔ)電容陣列，包括多個(gè)掃描存儲(chǔ)電容，上述掃描存儲(chǔ)電容包括掃描電容第一端與掃描電容第二端，上述掃描存儲(chǔ)電容與上述掃描存儲(chǔ)開關(guān)一一對應(yīng)，各上述掃描電容第一端電連接在對應(yīng)的掃描存儲(chǔ)開關(guān)第三端與對應(yīng)的移位開關(guān)第一端之間，各上述掃描電容第二端接地，各上述掃描存儲(chǔ)電容用于存儲(chǔ)對應(yīng)的初始放大器在掃描對應(yīng)的檢測電極時(shí)的輸出電信號(hào)。
[0010]進(jìn)一步地，上述檢測芯片還包括:掃描位總線鉗位開關(guān)，包括掃描鉗位開關(guān)第一端、掃描鉗位開關(guān)第二端與掃描鉗位開關(guān)第三端，上述掃描鉗位開關(guān)第一端電連接在上述掃描位總線與上述第一輸入端之間，上述掃描鉗位開關(guān)第二端接入鉗位開關(guān)信號(hào)，上述掃描鉗位開關(guān)第三端接入固定電壓Vc，在讀取各上述掃描存儲(chǔ)電容的電信號(hào)前，上述鉗位開關(guān)信號(hào)控制上述掃描位總線鉗位開關(guān)接通，將上述掃描位總線的電壓鉗位到電壓Vc。
[0011 ]進(jìn)一步地，上述增益放大單元包括:增益放大器，包括兩個(gè)輸入端與一個(gè)輸出端，兩個(gè)輸入端分別對應(yīng)上述第一輸入端與上述第二輸入端，上述第一輸入端與上述掃描位總線電連接;基準(zhǔn)電壓取樣電路，與上述第二輸入端電連接，上述基準(zhǔn)電壓取樣電路用于調(diào)節(jié)上述增益放大器的輸出電信號(hào);輸出緩沖電路，上述輸出緩沖電路的輸入端與上述增益放大器的上述輸出端電連接，用于增加上述增益放大器的輸出信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力。
[0012]進(jìn)一步地，上述移位開關(guān)陣列包括多對移位開關(guān)，多對上述移位開關(guān)與多個(gè)上述初始放大器對應(yīng)，每對移位開關(guān)包括兩個(gè)移位開關(guān)，分別是第一移位開關(guān)與第二移位開關(guān)，各上述第一移位開關(guān)包括第一移位開關(guān)第一端、第一移位開關(guān)第二端與第一移位開關(guān)第三端;各上述第二移位開關(guān)包括第二移位開關(guān)第一端、第二移位開關(guān)第二端與第二移位開關(guān)第三端，其中，各上述第一移位開關(guān)第一端與對應(yīng)的掃描電容第一端電連接，各上述第一移位開關(guān)第三端與上述掃描位總線電連接，各上述第一移位開關(guān)第二端與上述移位控制電路電連接，且上述檢測芯片還包括:復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)陣列，包括多個(gè)復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)，上述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)與上述初始放大器一一對應(yīng)，各上述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)包括復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第一端、復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第二端與復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第三端，各上述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第一端與對應(yīng)的初始放大器的輸出端電連接，各上述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第二端接入復(fù)位開關(guān)信號(hào);復(fù)位存儲(chǔ)電容陣列，包括多個(gè)復(fù)位存儲(chǔ)電容，上述復(fù)位存儲(chǔ)電容與上述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)一一對應(yīng)，各上述復(fù)位存儲(chǔ)電容包括復(fù)位電容第一端與復(fù)位電容第二端，各上述復(fù)位電容第一端電連接在對應(yīng)的復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第三端與對應(yīng)的第二移位開關(guān)第一端之間，各上述復(fù)位電容第二端接地，各上述復(fù)位存儲(chǔ)電容用于存儲(chǔ)對應(yīng)的初始放大器在復(fù)位對應(yīng)的檢測電極時(shí)的輸出電信號(hào)；復(fù)位位總線，包括多個(gè)復(fù)位連接點(diǎn)，一個(gè)上述復(fù)位連接點(diǎn)電連接在各上述第二移位開關(guān)第三端與上述第二輸入端，或者一個(gè)上述復(fù)位連接點(diǎn)與各上述第二移位開關(guān)第三端電連接，另一個(gè)上述復(fù)位連接點(diǎn)與上述第二輸入端電連接。
[0013]進(jìn)一步地，上述檢測芯片還包括:復(fù)位位總線鉗位開關(guān)，包括復(fù)位鉗位開關(guān)第一端、復(fù)位鉗位開關(guān)第二端與復(fù)位鉗位開關(guān)第三端，上述復(fù)位鉗位開關(guān)第一端電連接在上述復(fù)位位總線與上述第二輸入端之間，上述復(fù)位鉗位開關(guān)第二端接入上述鉗位開關(guān)信號(hào)，上述復(fù)位鉗位開關(guān)第三端接入固定電壓Vc，在讀取各上述復(fù)位存儲(chǔ)電容的電信號(hào)前，上述鉗位開關(guān)信號(hào)控制上述復(fù)位位總線鉗位開關(guān)接通，將上述復(fù)位位總線的電壓鉗位到電壓Vc。
[0014]進(jìn)一步地，上述增益放大單元包括:增益放大器，包括兩個(gè)輸入端與一個(gè)輸出端，兩個(gè)輸入端分別對應(yīng)上述第一輸入端與上述第二輸入端，上述第一輸入端與上述掃描位總線電連接，上述第二輸入端與上述復(fù)位位總線電連接;基準(zhǔn)電壓取樣電路，用于調(diào)節(jié)上述增益放大器的輸出電信號(hào);輸出緩沖電路，上述輸出緩沖電路的一個(gè)輸入端與上述增益放大器的上述輸出端電連接，用于增加上述增益放大器的輸出信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力。
[0015]進(jìn)一步地，上述基準(zhǔn)電壓取樣電路的基準(zhǔn)電信號(hào)為基準(zhǔn)電壓，上述Vc與上述基準(zhǔn)電壓相同。
[0016]進(jìn)一步地，上述邏輯控制單元包括輸入引腳與輸出引腳，其中，上述輸出引腳為掃描結(jié)束信號(hào)引腳，當(dāng)掃描結(jié)束時(shí)，用于輸出脈沖信號(hào)，上述輸入引腳包括:時(shí)鐘信號(hào)引腳，用于為上述邏輯控制單元提供一個(gè)穩(wěn)定的頻率信號(hào)；掃描啟動(dòng)信號(hào)引腳，用于輸入掃描啟動(dòng)信號(hào)；第一芯片選擇引腳，用于控制上述檢測芯片的檢測信號(hào)輸出的啟動(dòng)是由同一個(gè)上述檢測芯片中的上述移位控制單元控制還是由與上述檢測芯片連接的另一個(gè)上述檢測芯片的上述輸出引腳控制;分辨率選擇引腳，用于控制上述檢測芯片的厚度檢測分辨率。
[0017]進(jìn)一步地，上述檢測芯片由結(jié)構(gòu)膜層形成，上述結(jié)構(gòu)膜層包括:基板；以及絕緣膜，設(shè)置于上述基板的表面上，上述絕緣膜中包括與上述基板接觸設(shè)置的第一絕緣層，上述第一絕緣層為氧化絕緣層，上述檢測電極陣列設(shè)置在上述絕緣膜的遠(yuǎn)離上述基板的表面上。
[0018]進(jìn)一步地，上述檢測電極為窄條狀電極，上述窄條狀電極在第二方向上的最大寬度小于在第三方向上的最大寬度，上述第二方向和上述第三方向均與上述第一方向垂直，且上述第三方向?yàn)樯鲜龃郎y膜的移動(dòng)方向。
[0019]進(jìn)一步地，至少一個(gè)上述檢測電極包括多個(gè)頂電極與底電極區(qū)域，上述底電極區(qū)域設(shè)置在上述絕緣膜中，上述底電極區(qū)域與上述基板不接觸設(shè)置，上述絕緣膜的遠(yuǎn)離上述基板的表面開設(shè)有多個(gè)過孔，上述頂電極與上述過孔一一對應(yīng)，各上述頂電極與上述底電極區(qū)域通過對應(yīng)的過孔電連接。
[0020]進(jìn)一步地，上述絕緣膜包括:第二絕緣層，設(shè)置在上述第一絕緣層的遠(yuǎn)離上述基板的表面上；以及第三絕緣層，設(shè)置于上述第二絕緣層的遠(yuǎn)離上述第一絕緣層的表面上。
[0021]進(jìn)一步地，上述底電極區(qū)域設(shè)置在上述第三絕緣層中，多個(gè)上述過孔開設(shè)于上述第三絕緣層的遠(yuǎn)離上述第二絕緣層的表面。
[0022]進(jìn)一步地，上述結(jié)構(gòu)膜層還包括:保護(hù)層，覆蓋各上述檢測電極的裸露表面與上述絕緣膜的裸露表面。
[0023]應(yīng)用本申請的技術(shù)方案，檢測裝置將檢測電極陣列、復(fù)位單元、初始放大單元、移位控制單元、掃描位總線與邏輯控制單元集成在一個(gè)檢測芯片上，使得膜厚的檢測裝置體積較小，避免了現(xiàn)有技術(shù)中的檢測裝置體積龐大導(dǎo)致的檢測不便的問題，并且，該檢測芯片中包括復(fù)位單元，進(jìn)行紙幣檢測前，即檢測各檢測電極的電信號(hào)前，該復(fù)位開關(guān)陣列將各檢測電極的電信號(hào)復(fù)位，避免檢測前，檢測電極上的電信號(hào)會(huì)影響檢測值，進(jìn)而避免檢測結(jié)果不精確，提尚了檢測裝置的檢測精度。
【附圖說明】
[0024]構(gòu)成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本申請的進(jìn)一步理解，本申請的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本申請，并不構(gòu)成對本申請的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0025]圖1示出了本申請一種實(shí)施例提供的檢測裝置的局部結(jié)構(gòu)框圖；
[0026]圖2示出了本申請實(shí)施例1提供的檢測裝置的局部電路結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖3示出了本申請實(shí)施例2提供的檢測裝置的局部電路結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖4示出了本申請實(shí)施例3提供的檢測裝置的局部電路結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖5示出了本申請一種實(shí)施例提供的檢測芯片的局部剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖6示出了本申請又一種實(shí)施例提供的檢測芯片的局部剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖7示出了本申請另一種實(shí)施例提供的檢測芯片的局部俯視圖；
[0032]圖8示出了圖7所示的檢測芯片的局部剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖9示出了本申請?jiān)僖环N實(shí)施例提供的檢測芯片的局部俯視圖；
[0034]圖10示出了圖9所示的檢測芯片的局部剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖11示出了本申請又一種實(shí)施例提供的檢測芯片的局部俯視圖；以及
[0036]圖12示出了圖11所示的檢測芯片的局部剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0037]其中，上述附圖包括以下附圖標(biāo)記:
[0038]01、掃描位總線;011、掃描位總線鉗位開關(guān);02、復(fù)位位總線;021、復(fù)位位總線鉗位開關(guān);1、檢測電極陣列;2、第一組合單元;3、第二組合單元;4、移位控制單元；11、檢測電極；
12、絕緣膜;20、復(fù)位開關(guān);30、初始放大器;40、移位開關(guān);41、移位控制電路;42、第一移位開關(guān);43、第二移位開關(guān);50、掃描存儲(chǔ)開關(guān);60、掃描存儲(chǔ)電容；70、復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān);80、復(fù)位存儲(chǔ)電容;91、增益放大器;92、基準(zhǔn)電壓取樣電路;93、輸出緩沖電路；100、公共電極；101、基板；102、第一絕緣層；103、第二絕緣層；104、第三絕緣層；105、底電極區(qū)域；106、過孔；107、頂電極；108、保護(hù)層。
【具體實(shí)施方式】
[0039]應(yīng)該指出，以下詳細(xì)說明都是例示性的，旨在對本申請?zhí)峁┻M(jìn)一步的說明。除非另有指明，本文使用的所有技術(shù)和科學(xué)術(shù)語具有與本申請所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常理解的相同含義。
[0040]需要注意的是，這里所使用的術(shù)語僅是為了描述【具體實(shí)施方式】，而非意圖限制根據(jù)本申請的示例性實(shí)施方式。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式，此外，還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)在本說明書中使用術(shù)語“包含”和/或“包括”時(shí)，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。
[0041]正如【背景技術(shù)】所介紹的，現(xiàn)有技術(shù)中的膜厚的檢測裝置體積龐大且檢測精度較低，為了解決如上的技術(shù)問題，本申請?zhí)岢隽艘环N膜厚的檢測裝置。
[0042]本申請的一種典型的實(shí)施方式中，提供了一種膜厚的檢測裝置，該檢測裝置包括至少一個(gè)公共電極100與至少一個(gè)檢測芯片，該檢測芯片包括檢測電極陣列1、復(fù)位單元、初始放大單元、移位控制單元4、掃描位總線01與邏輯控制單元，圖1為局部檢測芯片的框圖，該圖中只示出了檢測電極陣列1、第一組合單元2、第二組合單元3與移位控制單元4，其中，第一組合單元2包括復(fù)位單元與初始放大單元，第二組合單元3包括邏輯控制單元。
[0043]該檢測裝置中的公共電極100用于在掃描時(shí)提供一個(gè)恒定電場，數(shù)量可以是一個(gè)或者多個(gè)，檢測芯片也可以是一個(gè)或者多個(gè)，當(dāng)公共電極100是一個(gè)時(shí)，檢測芯片可以是一個(gè)也可以是級聯(lián)的多個(gè)；當(dāng)公共電極100是多個(gè)時(shí)，檢測芯片可以是級聯(lián)的多個(gè)也可以是一個(gè)。無論是一個(gè)還是多個(gè)，所有的公共電極100需覆蓋所有的檢測電極陣列I。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況確定檢測芯片與公共電極100的個(gè)數(shù)。
[0044]其中，檢測電極陣列I與上述公共電極100在第一方向上相對且間隔設(shè)置，上述公共電極100與上述檢測電極陣列I之間的間隔構(gòu)成待測膜的傳輸通道，上述檢測電極陣列I包括多個(gè)依次排列的檢測電極11;復(fù)位單元與上述檢測電極陣列I中的各上述檢測電極11電連接，用于將各上述檢測電極11的電信號(hào)進(jìn)行復(fù)位;初始放大單元與上述檢測電極陣列中的各上述檢測電極電連接，上述初始放大單元用于放大各上述檢測電極的電信號(hào);移位控制單元4與上述初始放大單元電連接，上述移位控制單元4用于控制放大后的多個(gè)上述電信號(hào)的輸出順序;掃描位總線01包括多個(gè)掃描連接點(diǎn)，一個(gè)上述掃描連接點(diǎn)與上述移位控制單元電連接。邏輯控制單元用于接收外界的輸入信號(hào)、產(chǎn)生控制上述檢測芯片的控制信號(hào)與輸出檢測信號(hào)。
[0045]公共電極100的控制信號(hào)為電極脈沖信號(hào)，掃描啟動(dòng)信號(hào)到來時(shí)，(即一個(gè)高電平脈沖信號(hào))，檢測芯片開始工作，電極脈沖信號(hào)為低電平，復(fù)位單元初始化對應(yīng)連接的檢測電極11上的電壓(即復(fù)位)，復(fù)位持續(xù)若干個(gè)時(shí)鐘信號(hào)后，電極脈沖信號(hào)為高電平，檢測電極陣列I開始實(shí)時(shí)地檢測外界電場變化，當(dāng)紙幣通過芯片表面時(shí)，紙幣厚度的不同會(huì)影響對向脈沖電極和芯片檢測電極陣列I之間的電場，進(jìn)而導(dǎo)致檢測電極陣列I的檢測電極11上電信號(hào)發(fā)生變化。各檢測電極11上的電信號(hào)經(jīng)過對應(yīng)的初級放大單元放大后實(shí)時(shí)輸出，移位控制單元4將各初級放大器的輸出值依次輸送到掃描位總線01，由掃描位總線01輸出一行代表紙幣厚度的電信號(hào)。檢測芯片在邏輯控制單元的控制下高速掃描一行檢測電極陣列I上的電信號(hào)，連續(xù)掃描多行即可完成整幅紙幣厚度的檢測。
[0046]上述的檢測裝置將檢測電極陣列1、復(fù)位單元、初始放大單元、移位控制單元4、掃描位總線01與邏輯控制單元集成在一個(gè)檢測芯片上，使得膜厚的檢測裝置體積較小，避免了現(xiàn)有技術(shù)中的檢測裝置體積龐大導(dǎo)致的檢測不便的問題，并且，該檢測芯片中包括復(fù)位單元，進(jìn)行紙幣檢測前，即檢測各檢測電極11的電信號(hào)前，該復(fù)位開關(guān)陣列將各檢測電極11的電信號(hào)復(fù)位，避免檢測前，檢測電極11上的電信號(hào)會(huì)影響檢測值，進(jìn)而避免檢測結(jié)果不精確，提高了檢測裝置的檢測精度。
[0047]為了進(jìn)一步放大由掃描位總線輸出的電信號(hào)，提高該電信號(hào)的抗干擾能力，本申請優(yōu)選檢測芯片還包括增益放大單元，增益放大單元包括第一輸入端與第二輸入端，上述第一輸入端與上述掃描位總線01的一個(gè)上述掃描連接點(diǎn)電連接，上述圖1中的第二組合單元3中還包括增益放大單元。
[0048]本申請的一種實(shí)施例中，上述初始放大單元為初始放大器陣列，上述初始放大器陣列包括多個(gè)初始放大器30，上述初始放大器30與上述檢測電極11 一一對應(yīng)，各上述初始放大器30的輸入端與對應(yīng)的檢測電極11電連接。各檢測電極11上的電信號(hào)經(jīng)過對應(yīng)的初級放大器放大后實(shí)時(shí)輸出。
[0049]圖2示出了檢測裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖，矩形虛線框中表示與一個(gè)檢測電極11連接的電路單元，在實(shí)際的檢測芯片中，包括多個(gè)同樣的電路單元。該電路單元中示出了一個(gè)與檢測電極11電連接的初始放大器30。
[0050]本申請的另一種實(shí)施例中，上述復(fù)位單元為復(fù)位開關(guān)陣列，上述復(fù)位開關(guān)陣列包括多個(gè)復(fù)位開關(guān)20，上述復(fù)位開關(guān)20與上述檢測電極11一一對應(yīng)，各上述復(fù)位開關(guān)20包括復(fù)位開關(guān)第一端、復(fù)位開關(guān)第二端與復(fù)位開關(guān)第三端，各上述復(fù)位開關(guān)第一端接入固定電壓(即對應(yīng)圖2中的Vreset)，各上述復(fù)位開關(guān)第二端接入復(fù)位信號(hào)(也稱Sr信號(hào))，各上述復(fù)位開關(guān)第三端與對應(yīng)上述的檢測電極11電連接，上述復(fù)位信號(hào)控制上述復(fù)位開關(guān)20接通，將對應(yīng)的檢測電極11的電信號(hào)進(jìn)行復(fù)位。
[0051]公共電極100的控制信號(hào)為電極脈沖信號(hào)，掃描啟動(dòng)信號(hào)到來時(shí)，(即一個(gè)高電平脈沖信號(hào))，檢測芯片開始工作，電極脈沖信號(hào)為低電平，復(fù)位信號(hào)為高電平時(shí)，各復(fù)位開關(guān)20接通，初始化對應(yīng)連接的檢測電極11上的電信號(hào)(即復(fù)位)，復(fù)位持續(xù)若干個(gè)時(shí)鐘信號(hào)后，電極脈沖信號(hào)為高電平，復(fù)位信號(hào)為低電平時(shí)，各復(fù)位開關(guān)20關(guān)斷，檢測電極陣列I開始實(shí)時(shí)地檢測外界電場變化，當(dāng)紙幣通過芯片表面時(shí)，紙幣厚度的不同會(huì)影響對向脈沖電極和芯片檢測電極陣列I之間的電場，進(jìn)而導(dǎo)致檢測電極陣列I的檢測電極11上電信號(hào)發(fā)生變化。移位控制單元4將各初級放大器的輸出值依次輸送到掃描位總線01，再經(jīng)過增益放大單元進(jìn)行放大，輸出一行代表紙幣厚度的電信號(hào)。檢測芯片在邏輯控制單元的控制下高速掃描一行檢測電極陣列I上的電信號(hào)，連續(xù)掃描多行即可完成整幅紙幣厚度的檢測。
[0052]本申請的再一種實(shí)施例中，上述移位控制單元4包括:移位開關(guān)陣列與移位控制電路，其中，移位開關(guān)陣列包括多個(gè)移位開關(guān)40，如圖2所示，上述移位開關(guān)40與上述初始放大器30 對應(yīng)，各上述移位開關(guān)40包括移位開關(guān)第一端、移位開關(guān)第二端與移位開關(guān)第三端，各上述移位開關(guān)第一端與對應(yīng)的初始放大器30的輸出端電連接;移位控制電路41與各上述移位開關(guān)40的上述移位開關(guān)第二端電連接，上述移位控制電路41用于控制各上述移位開關(guān)40的接通與關(guān)斷。
[0053]當(dāng)檢測電極陣列I開始實(shí)時(shí)地檢測外界電場變化時(shí)，紙幣通過芯片表面，紙幣厚度的不同會(huì)影響對向脈沖電極和芯片檢測電極陣列I之間的電場，進(jìn)而導(dǎo)致檢測電極陣列I的檢測電極11上電信號(hào)發(fā)生變化。移位控制電路41控制各移位開關(guān)40依次接通，將各初級放大器的輸出值依次輸送到掃描位總線01，再經(jīng)過增益放大單元進(jìn)行放大及進(jìn)行后續(xù)的工作。
[0054]上述提到的“上述復(fù)位開關(guān)20與上述檢測電極11一一對應(yīng)”表示復(fù)位開關(guān)陣列中的復(fù)位開關(guān)20的個(gè)數(shù)與檢測電極11的個(gè)數(shù)是相同的，且復(fù)位開關(guān)20與檢測電極11--對應(yīng)連接。本申請凡是類似的表述，均表示二者的個(gè)數(shù)相同，且--對應(yīng)。
[0055]并且，上述提到的移位開關(guān)40與復(fù)位開關(guān)20均是M0SFET，本申請中提到的其它開關(guān)在沒有特殊說明的情況下，均是M0SFET。但是上述所有的開關(guān)并不限于M0SFET，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的開關(guān)。
[0056]本申請的一種實(shí)施例中，上述檢測芯片還包括掃描存儲(chǔ)開關(guān)陣列與掃描存儲(chǔ)電容陣列，其中，掃描存儲(chǔ)開關(guān)陣列包括多個(gè)掃描存儲(chǔ)開關(guān)50，上述掃描存儲(chǔ)開關(guān)50與上述初始放大器30—一對應(yīng)，各上述掃描存儲(chǔ)開關(guān)50包括掃描存儲(chǔ)開關(guān)第一端、掃描存儲(chǔ)開關(guān)第二端與掃描存儲(chǔ)開關(guān)第三端，各上述掃描存儲(chǔ)開關(guān)第一端與對應(yīng)的初始放大器30的輸出端電連接，各上述掃描存儲(chǔ)開關(guān)第二端接入掃描開關(guān)信號(hào)(也稱St信號(hào))；掃描存儲(chǔ)電容陣列包括多個(gè)掃描存儲(chǔ)電容60，各上述掃描存儲(chǔ)電容60包括掃描電容第一端與掃描電容第二端，上述掃描存儲(chǔ)電容60與上述掃描存儲(chǔ)開關(guān)50 對應(yīng)，各上述掃描電容第一端電連接在對應(yīng)的掃描存儲(chǔ)開關(guān)第三端與對應(yīng)的移位開關(guān)40的上述移位開關(guān)第一端之間，各上述掃描電容第二端接地，各上述掃描存儲(chǔ)電容60用于存儲(chǔ)對應(yīng)的初始放大器30在掃描對應(yīng)的檢測電極11時(shí)的輸出電信號(hào)。圖3示出了該檢測裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖，矩形虛線框中表示與一個(gè)檢測電極11連接的電路單元，在實(shí)際的檢測裝置中，包括多個(gè)同樣的電路單元。
[0057]檢測電極11上的電壓復(fù)位后，電極脈沖信號(hào)為高電平，復(fù)位信號(hào)為低電平，掃描開關(guān)信號(hào)為高電平時(shí)，各復(fù)位開關(guān)20關(guān)斷，檢測電極陣列I開始實(shí)時(shí)地檢測外界電場變化，當(dāng)紙幣通過芯片表面時(shí)，紙幣厚度的不同會(huì)影響對向脈沖電極和芯片檢測電極陣列I之間的電場，進(jìn)而導(dǎo)致檢測電極陣列I的檢測電極11上電信號(hào)發(fā)生變化。各檢測電極11上的電信號(hào)經(jīng)過對應(yīng)的初級放大器放大后實(shí)時(shí)輸出，將輸出的電壓存儲(chǔ)至對應(yīng)的掃描存儲(chǔ)電容60中后，掃描開關(guān)信號(hào)為低電平，即掃描存儲(chǔ)開關(guān)陣列斷開，移位控制電路41控制各移位開關(guān)40依次接通，將各掃描存儲(chǔ)電容60中的存儲(chǔ)值依次輸送到掃描位總線01，再經(jīng)過增益放大單元進(jìn)行放大。在檢測芯片中設(shè)置掃描存儲(chǔ)電容陣列與掃描存儲(chǔ)開關(guān)陣列，可以將各檢測電極11上檢測到的電信號(hào)同時(shí)存儲(chǔ)后再依次讀出，避免了邊掃描邊讀取方式產(chǎn)生的偏差，進(jìn)一步提高了檢測裝置的檢測精度。
[0058]為了在每次讀取掃描存儲(chǔ)電容60的存儲(chǔ)電壓前，將掃描位總線01的電位鉗位到一個(gè)固定值，避免掃描位總線01寄生電容對檢測精度的影響，進(jìn)而進(jìn)一步提高檢測裝置的檢測精度，本申請優(yōu)選檢測芯片還包括掃描位總線鉗位開關(guān)011，其包括掃描鉗位開關(guān)第一端、掃描鉗位開關(guān)第二端與掃描鉗位開關(guān)第三端，各上述掃描鉗位開關(guān)第一端電連接在上述掃描位總線01與上述增益放大單元的上述第一輸入端之間，各上述掃描鉗位開關(guān)第三端接入固定電壓Vc，各上述掃描鉗位開關(guān)第二端接入鉗位開關(guān)信號(hào)(也稱Sc信號(hào))，在讀取各上述掃描存儲(chǔ)電容60的電信號(hào)前，上述鉗位開關(guān)信號(hào)控制上述掃描位總線鉗位開關(guān)011接通，將上述掃描位總線01的電壓鉗位到電壓Vc。并且，鉗位開關(guān)信號(hào)與移位控制電路41的信號(hào)相反，即當(dāng)鉗位開關(guān)信號(hào)控制掃描位總線鉗位開關(guān)011接通時(shí)，移位控制電路41控制各移位開關(guān)40關(guān)斷。
[0059]本申請的再一種實(shí)施例中，如圖2與圖3中，上述增益放大單元包括增益放大器91、基準(zhǔn)電壓取樣電路92與輸出緩沖電路93。其中，增益放大器91包括兩個(gè)輸入端與一個(gè)輸出端，兩個(gè)輸入端分別對應(yīng)上述第一輸入端與上述第二輸入端，上述第一輸入端與上述掃描位總線01電連接;基準(zhǔn)電壓取樣電路92與上述第二輸入端電連接，上述基準(zhǔn)電壓取樣電路92用于調(diào)節(jié)上述增益放大器91的輸出電信號(hào);上述輸出緩沖電路93的輸入端與上述增益放大器91的上述輸出端電連接，用于增加上述增益放大器91的輸出信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力，其輸出端輸出檢測芯片的檢測信號(hào)(即SIG信號(hào))。該增益放大單元可以對掃描位總線01上的輸出值進(jìn)行放大，并且調(diào)節(jié)輸出值的基準(zhǔn)，使增益放大器91的輸出信號(hào)的范圍更可調(diào)，方便后續(xù)多種讀取模塊的讀取。例如，測試某一物體，施加給增益放大器91的基準(zhǔn)電壓為IV，增益放大器91的輸出范圍為I到1.5V，測試同一物體，施加給增益放大器91的基準(zhǔn)電壓為2V時(shí)，放大器輸出范圍為2到2.5V。
[0060]本申請的再一種實(shí)施例中，上述移位開關(guān)陣列包括多對移位開關(guān)，多對上述移位開關(guān)與多個(gè)上述初始放大器30 對應(yīng)，每對移位開關(guān)包括兩個(gè)移位開關(guān)，分別是第一移位開關(guān)42與第二移位開關(guān)43，各上述第一移位開關(guān)42包括第一移位開關(guān)第一端、第一移位開關(guān)第二端與第一移位開關(guān)第三端;各上述第二移位開關(guān)43包括第二移位開關(guān)第一端、第二移位開關(guān)第二端與第二移位開關(guān)第三端，其中，各上述第一移位開關(guān)第一端與對應(yīng)的掃描電容第一端電連接，各上述第一移位開關(guān)第三端與上述掃描位總線Ol電連接，各上述第一移位開關(guān)第二端與上述移位控制電路41電連接。圖4示出了該檢測裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖，矩形虛線框中表示與一個(gè)檢測電極11連接的電路單元，在實(shí)際的檢測裝置中，包括多個(gè)同樣的電路單元。
[0061]且上述檢測芯片還包括復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)陣列、復(fù)位存儲(chǔ)電容陣列與復(fù)位位總線02。其中，復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)陣列包括多個(gè)復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)70，上述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)70與上述初始放大器30 對應(yīng)，各上述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)70包括復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第一端、復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第二端與復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第三端，各上述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第一端與上述初始放大器30的輸出端電連接，各上述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第二端接入復(fù)位開關(guān)信號(hào)(也稱Sd信號(hào))；復(fù)位存儲(chǔ)電容陣列包括多個(gè)復(fù)位存儲(chǔ)電容80，上述復(fù)位存儲(chǔ)電容80與上述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)70—一對應(yīng)，各上述復(fù)位存儲(chǔ)電容80包括復(fù)位電容第一端與復(fù)位電容第二端，上述復(fù)位電容第一端電連接在對應(yīng)的復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第三端與對應(yīng)的第二移位開關(guān)第一端之間，上述復(fù)位電容第二端接地，各上述復(fù)位存儲(chǔ)電容80用于存儲(chǔ)對應(yīng)的初始放大器30在復(fù)位對應(yīng)的檢測電極11時(shí)的輸出電信號(hào);復(fù)位位總線02包括多個(gè)復(fù)位連接點(diǎn)，一個(gè)上述復(fù)位連接點(diǎn)電連接在各上述第二移位開關(guān)的第三端與上述增益放大單元的上述第二輸入端，或者一個(gè)上述復(fù)位連接點(diǎn)與各上述第二移位開關(guān)第三端電連接，另一個(gè)上述復(fù)位連接點(diǎn)與上述增益放大單元的上述第二輸入端電連接。
[0062]電極脈沖信號(hào)為低電平，復(fù)位信號(hào)為高電平時(shí)，各復(fù)位開關(guān)20接通若干個(gè)時(shí)鐘周期，對檢測電極11上的電信號(hào)進(jìn)行復(fù)位，當(dāng)復(fù)位開關(guān)信號(hào)高電平時(shí)，復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)70接通若干個(gè)時(shí)鐘周期后斷開，各初始放大器30的輸出信號(hào)存儲(chǔ)至對應(yīng)的復(fù)位存儲(chǔ)電容80中，復(fù)位信號(hào)為低電平，電極脈沖信號(hào)為高電平，掃描開關(guān)信號(hào)為高電平時(shí)，各復(fù)位開關(guān)20關(guān)斷，檢測電極陣列I開始檢測外界電場變化，若干時(shí)鐘周期后，掃描開關(guān)信號(hào)高電平，初始放大器30輸出的掃描電壓存儲(chǔ)到掃描存儲(chǔ)電容60中；移位控制電路41依次控制一對移位開關(guān)接通，將掃描存儲(chǔ)電容60中的電壓與增益放大單元的第一輸入端電連接、同時(shí)將復(fù)位存儲(chǔ)電容80中的電信號(hào)與增益放大單元的第二輸入端電連接，因此，各掃描存儲(chǔ)電容60電壓減去對應(yīng)的各復(fù)位存儲(chǔ)電容80電信號(hào)后進(jìn)行放大，消除了各單元電路之間的離散性，進(jìn)一步提高厚度檢測精度。
[0063]為了在每次讀取復(fù)位存儲(chǔ)電容80的存儲(chǔ)電壓前，將復(fù)位位總線02的電位鉗位到一個(gè)固定值，避免復(fù)位位總線02寄生電容對檢測精度的影響，進(jìn)而進(jìn)一步提高檢測裝置的檢測精度，本申請優(yōu)選上述檢測芯片還包括復(fù)位位總線鉗位開關(guān)021，該復(fù)位位總線鉗位開關(guān)021包括復(fù)位鉗位開關(guān)第一端、復(fù)位鉗位開關(guān)第二端與復(fù)位鉗位開關(guān)第三端，上述復(fù)位鉗位開關(guān)第一端電連接在上述復(fù)位位總線02與上述增益放大單元的上述第二輸入端之間，上述復(fù)位鉗位開關(guān)第三端接入固定電壓Vc，上述復(fù)位鉗位開關(guān)第二端接入上述鉗位開關(guān)信號(hào)，在讀取各上述復(fù)位存儲(chǔ)電容80的電信號(hào)前，上述鉗位開關(guān)信號(hào)控制上述復(fù)位位總線鉗位開關(guān)021接通，將上述復(fù)位位總線02的電壓鉗位到電壓Vc。
[0064]本申請的又一種實(shí)施例中，如圖2至圖4所示，上述增益放大單元包括:增益放大器91、基準(zhǔn)電壓取樣電路92與輸出緩沖電路93。其中，增益放大器91包括兩個(gè)輸入端與一個(gè)輸出端，兩個(gè)輸入端分別對應(yīng)上述第一輸入端與上述第二輸入端，上述第一輸入端與上述掃描位總線Ol電連接，上述第二輸入端與上述復(fù)位位總線02電連接;基準(zhǔn)電壓取樣電路92用于調(diào)節(jié)上述增益放大器91的輸出電信號(hào);上述輸出緩沖電路93的輸入端與上述增益放大器91的上述輸出端電連接，用于增大上述增益放大器91的輸出信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力。
[0065]上述基準(zhǔn)電壓取樣電路的基準(zhǔn)電信號(hào)為基準(zhǔn)電壓，上述Vc可以與上述基準(zhǔn)電壓相同，也可以與其不相同。為了初始化增益放大器91，平衡增益放大器91的輸出電壓，優(yōu)選上述Vc通常與上述基準(zhǔn)電壓取樣電路92中的基準(zhǔn)電壓相同。
[0066]本申請的另一種實(shí)施例中，上述邏輯控制單元包括輸入引腳與輸出引腳，其中，上述輸出引腳為掃描結(jié)束信號(hào)引腳，當(dāng)掃描結(jié)束時(shí)，用于輸出脈沖信號(hào)。上述輸入引腳包括:時(shí)鐘信號(hào)引腳、掃描啟動(dòng)信號(hào)引腳、第一芯片選擇引腳與分辨率選擇引腳。
[0067]其中，時(shí)鐘信號(hào)引腳用于為上述邏輯控制單元提供一個(gè)穩(wěn)定的頻率信號(hào)，即為上述檢測芯片提供工作的時(shí)序時(shí)鐘基準(zhǔn)，半個(gè)時(shí)鐘信號(hào)周期是邏輯控制單元中各信號(hào)動(dòng)作的最小單位。
[0068]掃描啟動(dòng)信號(hào)引腳用于輸入掃描啟動(dòng)信號(hào)，在掃描啟動(dòng)信號(hào)引腳上輸入一個(gè)時(shí)鐘周期的高電平脈沖信號(hào)，即可啟動(dòng)檢測芯片開始一行的掃描;第一芯片選擇引腳用于控制上述檢測芯片的檢測信號(hào)輸出的啟動(dòng)是由同一個(gè)上述檢測芯片中的上述移位控制單元控制還是由與上述檢測芯片連接的另一個(gè)上述檢測芯片的上述輸出引腳控制，當(dāng)上述檢測裝置只包括一個(gè)上述檢測芯片時(shí)，上述檢測信號(hào)在移位控制單元的控制下立即輸出，當(dāng)上述檢測裝置包括多個(gè)上述檢測芯片，第二個(gè)檢測芯片及以后的檢測芯片的第一芯片檢測引腳與上一個(gè)檢測芯片的掃描結(jié)束信號(hào)引腳相連，第二個(gè)檢測芯片及以后的檢測芯片的檢測信號(hào)的輸出啟動(dòng)均由上一個(gè)檢測芯片的掃描結(jié)束信號(hào)控制，即第一個(gè)檢測芯片的檢測信號(hào)輸出結(jié)束后，掃描結(jié)束信號(hào)引腳上出現(xiàn)一個(gè)高電平脈沖給第二個(gè)檢測芯片的第一芯片選擇引腳，第二個(gè)檢測芯片開始輸出檢測信號(hào)，依次類推，直至所有芯片的檢測信號(hào)輸出完成。分辨率選擇引腳用于控制上述檢測芯片的厚度檢測分辨率。
[0069]本申請的電信號(hào)沒有特殊說明均指電壓信號(hào)。但是并不限于電壓信號(hào)，不同的情況中，該電壓信號(hào)也可以是電流信號(hào)等。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)具體的情況將上述的電信號(hào)設(shè)置為具體的電壓或電流信號(hào)。
[0070]本申請的又一種實(shí)施例中，如圖5與圖6所示，上述檢測芯片由結(jié)構(gòu)膜層形成，上述結(jié)構(gòu)膜層包括基板101與絕緣膜12，其中，絕緣膜12設(shè)置于上述基板101的表面上，上述絕緣膜12中包括與上述基板101接觸設(shè)置的第一絕緣層102，上述第一絕緣層102為氧化絕緣層，上述檢測電極陣列I設(shè)置在上述絕緣膜12的遠(yuǎn)離上述基板101的表面上。
[0071]上述的檢測電極也是結(jié)構(gòu)膜層中的一層，集成的檢測芯片中的檢測電路也是由結(jié)構(gòu)膜層形成的，形成檢測電路的結(jié)構(gòu)膜層不僅包括基板與絕緣膜，還包括其他的本領(lǐng)域技術(shù)人員知曉的結(jié)構(gòu)膜層，這里就不再闡述了。
[0072]為了進(jìn)一步減小此檢測電極11的面積，進(jìn)而降低其寄生容量，提尚掃描時(shí)檢測電極11上電壓復(fù)位速度，進(jìn)而提高整個(gè)檢測裝置的響應(yīng)速度，如圖7與圖8所示，本申請優(yōu)選上述檢測電極11為窄條狀電極。且上述窄條狀電極在第二方向上的最大寬度小于在第三方向上的最大寬度，上述第二方向和上述第三方向均與上述第一方向垂直，且上述第三方向?yàn)樯鲜龃郎y膜的移動(dòng)方向。
[0073]本申請的另一種實(shí)施例中，如圖9至圖12所示，至少一個(gè)上述檢測電極11包括多個(gè)頂電極107與底電極區(qū)域105，上述底電極區(qū)域105設(shè)置在上述絕緣膜12中，上述底電極區(qū)域105與上述基板101不接觸設(shè)置，上述絕緣膜12的遠(yuǎn)離上述基板101的表面開設(shè)有多個(gè)過孔106，上述頂電極107與上述過孔106——對應(yīng)，各上述頂電極107與上述底電極區(qū)域105通過對應(yīng)的過孔106電連接。這種結(jié)構(gòu)的頂電極107相當(dāng)于一個(gè)大的頂電極107分割成長條狀(長方體)或方塊(正方體)陣列，增加了檢測電極與外界電場的接觸面積，進(jìn)一步提高檢測電極11感度。
[0074]由圖7、圖9或圖11所示，檢測電極11或者底電極區(qū)域105不是嚴(yán)格的長方體或正方體，而是在一面具有一個(gè)小突起，小突起利于電荷集中，便于與其他的結(jié)構(gòu)進(jìn)行電氣連接的。這個(gè)小突起也可以沒有的，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況設(shè)置檢測電極或者底電極區(qū)域的形狀。
[0075]為了進(jìn)一步保證檢測電極11在生產(chǎn)制備中的易制性，如圖6、圖8、圖10與圖12所示，本申請優(yōu)選上述絕緣膜12包括第二絕緣層103與第三絕緣層104，其中，第二絕緣層103設(shè)置在上述第一絕緣層102的遠(yuǎn)離上述基板101的表面上；第三絕緣層104設(shè)置于上述第二絕緣層103的遠(yuǎn)離上述第一絕緣層102的表面上。
[0076]本申請的再一種實(shí)施例中，如圖10或圖12(圖10與圖12的檢測芯片的結(jié)構(gòu)本身不相同，但是，剖面結(jié)構(gòu)圖是相同的)所示，上述底電極區(qū)域105設(shè)置在上述第三絕緣層104中，多個(gè)上述過孔106開設(shè)于上述第三絕緣層104的遠(yuǎn)離上述第二絕緣層103的表面上。
[0077]為了保護(hù)檢測電極11不受外界因素影響，如圖6、圖8、圖10與圖12所示，本申請優(yōu)選上述檢測芯片還包括保護(hù)層108，該保護(hù)層108覆蓋各上述頂電極107的裸露表面與上述絕緣膜12的裸露表面。
[0078]上述的每一種檢測電極11的結(jié)構(gòu)可以應(yīng)用到上述不同的檢測芯片中。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)具體的情況，將檢測芯片中的檢測電極11設(shè)置為合適的結(jié)構(gòu)。
[0079]該檢測裝置中檢測芯片是集成電路芯片，其制備可以通過集成電路工藝實(shí)現(xiàn)，此處就不再贅述了。
[0080]為了使得本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠更加清楚地了解本申請的技術(shù)方案，以下將結(jié)合具體的實(shí)施例對本申請的技術(shù)方案進(jìn)行說明。
[0081 ] 實(shí)施例1
[0082]該檢測裝置中包括一個(gè)公共電極100與一個(gè)檢測芯片。其中，檢測芯片中包括檢測電極陣列1、復(fù)位開關(guān)陣列、初始放大器陣列、移位開關(guān)陣列、移位控制電路41、掃描位總線
01、增益放大單元與邏輯控制單元。圖2的矩形虛線框中僅示出了與一個(gè)檢測電極11對應(yīng)的單元電路，檢測芯片中一共有多個(gè)此類單元電路。
[0083]其中，檢測電極陣列I與上述公共電極100相對且間隔設(shè)置，上述公共電極100與各上述檢測電極陣列I之間的間隔構(gòu)成待測膜的傳輸通道，且檢測電極陣列I包括等間距一行排列的多個(gè)相同檢測電極11;圖2示出的每個(gè)檢測電極11對應(yīng)一個(gè)復(fù)位開關(guān)20、一個(gè)初始放大器30、一個(gè)移位開關(guān)40、移位控制電路41、增益放大單元和邏輯控制單元。移位控制電路41控制各移位開關(guān)40依次打開與關(guān)斷；增益放大單元由增益放大器91、基準(zhǔn)電壓取樣電路92與輸出緩沖電路93構(gòu)成。
[0084]邏輯控制電路的輸入引腳有時(shí)鐘信號(hào)CLK引腳(也稱CLK引腳)、掃描啟動(dòng)信號(hào)FS引腳(也稱FS引腳)、第一芯片選擇SI引腳(也稱SI引腳)與分辨率選擇MODE引腳(也稱MODE引腳)。其中，SI引腳用于控制上述檢測芯片的檢測信號(hào)輸出的啟動(dòng)，當(dāng)上述檢測裝置只包括一個(gè)上述檢測芯片時(shí)，SI引腳接高電平，上述檢測信號(hào)在移位控制電路41的控制下立即輸出，當(dāng)上述檢測裝置包括多個(gè)上述檢測芯片，SI引腳接上一檢測芯片的SO引腳，第二個(gè)檢測芯片及以后的檢測芯片的檢測信號(hào)的輸出啟動(dòng)均由上一個(gè)檢測芯片的掃描結(jié)束信號(hào)控制，即第一個(gè)檢測芯片的檢測信號(hào)輸出結(jié)束后，掃描結(jié)束信號(hào)引腳上出現(xiàn)一個(gè)高電平脈沖給第二個(gè)檢測芯片的第一芯片選擇引腳，第二個(gè)檢測芯片開始輸出檢測信號(hào)，依次類推，直至所有芯片的檢測信號(hào)輸出完成。MODE引腳為分辨率選擇引腳，該引腳高低電平或脈沖輸入可以選擇檢測電極陣列I的工作模式，最高分辨率時(shí)所有檢測電極11獨(dú)立工作，低分辨率時(shí)相鄰檢測電極11按規(guī)律合并工作，目前該檢測芯片的厚度分辨率可達(dá)到SOODPIt3CLK信號(hào)為時(shí)鐘輸入引腳，由外部給該檢測芯片提供時(shí)鐘信號(hào)。邏輯控制電路的輸出SO引腳的一個(gè)脈沖信號(hào)表示一行掃描輸出過程完成。
[0085]基準(zhǔn)電壓取樣電路92的取樣基準(zhǔn)由VREF引腳提供，VREF電壓同時(shí)也是增益放大器91的第二輸入端，作為比較放大的基準(zhǔn)，增益放大單元最終經(jīng)過輸出緩沖電路93由輸出信號(hào)SIG引腳輸出。
[0086]該檢測裝置一行掃描工作時(shí)序如下，掃描啟動(dòng)信號(hào)FS引腳輸入一個(gè)時(shí)鐘周期的高電平脈沖(掃描啟動(dòng)信號(hào))，即可啟動(dòng)檢測芯片工作，電極脈沖信號(hào)為低電平，且復(fù)位信號(hào)(Sr信號(hào))為高電平時(shí)，復(fù)位開關(guān)陣列接通若干個(gè)時(shí)鐘周期，初始化檢測電極陣列I上的電壓后斷開；電極脈沖信號(hào)為高電平，Sr信號(hào)為低電平時(shí)，檢測電極陣列I開始實(shí)時(shí)檢測外界電場變化，當(dāng)此時(shí)紙幣通過芯片表面時(shí)，紙幣厚度的不同會(huì)影響對向公共電極100和檢測電極陣列I中各檢測電極11之間的電場，進(jìn)而導(dǎo)致各檢測電極11上電壓的變化，各檢測電極11上電壓的變化經(jīng)過對應(yīng)的初級放大器放大后實(shí)時(shí)輸出，移位控制電路41控制移位開關(guān)陣列依次接通，將初級放大器陣列的輸出依次輸送到掃描位總線01，再經(jīng)過增益放大器91依次與基準(zhǔn)電壓進(jìn)行差分放大，最后，經(jīng)過輸出緩沖電路93輸出一行代表紙幣厚度的電壓值。檢測芯片在時(shí)鐘信號(hào)的驅(qū)動(dòng)下高速掃描一行檢測電極陣列I上的電壓，連續(xù)掃描多行即可完成整幅紙幣厚度的檢測。通過本實(shí)例能夠?qū)崿F(xiàn)對紙幣厚度的高分辨率檢測，且體積小，成本較低。
[0087]實(shí)施例2
[0088]檢測裝置在實(shí)施例1的檢測裝置的基礎(chǔ)上。在檢測芯片中增加了掃描存儲(chǔ)開關(guān)陣列、掃描存儲(chǔ)電容陣列、掃描位總線鉗位開關(guān)011，圖3的矩形虛線框中僅示出了與一個(gè)檢測電極11連接的單元電路，與圖2比較，該電路僅增加了一個(gè)掃描存儲(chǔ)開關(guān)50、一個(gè)掃描存儲(chǔ)電容60與掃描位總線鉗位開關(guān)011，該檢測芯片中一共有多個(gè)此類單元電路;在讀取每個(gè)掃描存儲(chǔ)電容60前，掃描位總線鉗位開關(guān)011接通，將掃描位總線01的電壓鉗位到Vc，Vc和基準(zhǔn)電壓引VREF腳等電位。
[0089]該檢測裝置一行掃描工作的時(shí)序如下，掃描啟動(dòng)信號(hào)FS引腳輸入一個(gè)時(shí)鐘周期的高電平脈沖(即掃描啟動(dòng)信號(hào))啟動(dòng)檢測芯片工作，電極脈沖信號(hào)為低電平時(shí)，復(fù)位信號(hào)(Sr信號(hào))為高電平時(shí)，各復(fù)位開關(guān)20接通若干個(gè)時(shí)鐘信號(hào)周期，初始對應(yīng)化各檢測電極11上的電壓后斷開；電極脈沖信號(hào)為高電平，Sr信號(hào)為低電平，掃描開關(guān)信號(hào)為高電平時(shí)，各檢測電極11開始實(shí)時(shí)檢測外界電場變化，各檢測電極11上的檢測電壓實(shí)時(shí)由對應(yīng)的初始放大器30陣列放大;若干時(shí)鐘信號(hào)周期后，掃描開關(guān)信號(hào)(St信號(hào))控制掃描存儲(chǔ)開關(guān)陣列接通，將初始放大器30陣列放大的電壓存儲(chǔ)到對應(yīng)的掃描存儲(chǔ)電容60中，然后，St信號(hào)控制掃描存儲(chǔ)開關(guān)50關(guān)斷。移位控制電路41控制各移位開關(guān)40依次接通，將掃描存儲(chǔ)電容60上的電壓依次輸送到掃描位總線01，掃描位總線01上的電壓經(jīng)過增益放大器91與基準(zhǔn)電壓依次進(jìn)行差分放大，最后經(jīng)過輸出緩沖電路93輸出一行電壓信號(hào)。此實(shí)施例采用掃描存儲(chǔ)電容陣列，將檢測芯片一行檢測電壓同時(shí)存儲(chǔ)后再依次讀出，避免了邊掃描邊讀取方式產(chǎn)生的偏差，且在每次讀取掃描電容電壓前，鉗位開關(guān)信號(hào)(Sc信號(hào))控制掃描位總線鉗位開關(guān)011接通，使得掃描位總線01被鉗位到Vc，減小了位總線寄生電容造成的影響，提高掃描精度。
[0090]實(shí)施例3
[0091]與實(shí)施例2的檢測裝置不同的是，檢測芯片增加了復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)陣列、復(fù)位存儲(chǔ)電容陣列、復(fù)位位總線02與復(fù)位位總線鉗位開關(guān)021，圖4的矩形虛線框中僅示出了與一個(gè)檢測電極11連接的單元電路，檢測芯片中一共有多個(gè)此類單元電路;與圖3相比，該圖中增加了一個(gè)第二移位開關(guān)43、一個(gè)復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)70、一個(gè)復(fù)位存儲(chǔ)電容80、復(fù)位位總線02與復(fù)位位總線鉗位開關(guān)021，復(fù)位位總線02連接到增益放大器91的第二輸入端。復(fù)位位總線鉗位開關(guān)021，用于在讀取每一個(gè)復(fù)位存儲(chǔ)電容80前將復(fù)位位總線02鉗位到Vc，鉗位開關(guān)信號(hào)(Sc信號(hào))控制復(fù)位位總線鉗位開關(guān)021和掃描位總線鉗位開關(guān)011同時(shí)通斷。本實(shí)施例中的第一移位開關(guān)42和第二移位開關(guān)43由移位控制電路41同時(shí)接通、斷開，用于同時(shí)將掃描存儲(chǔ)電容60的電壓和復(fù)位存儲(chǔ)電容80的電壓傳送到掃描位總線01和復(fù)位位總線02。
[0092]其一行掃描工作時(shí)序如下，掃描啟動(dòng)信號(hào)FS引腳輸入一個(gè)時(shí)鐘周期的高電平脈沖(即掃描啟動(dòng)信號(hào))，即可啟動(dòng)芯片工作，電極脈沖信號(hào)為低電平，且Sr信號(hào)為高電平，復(fù)位開關(guān)陣列接通若干個(gè)時(shí)鐘信號(hào)周期，初始化對應(yīng)各檢測電極11上的電壓，Sd信號(hào)控制復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)陣列接通，復(fù)位存儲(chǔ)電容陣列存儲(chǔ)此時(shí)各初始放大器30的放大電壓，隨后復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)70斷開，各復(fù)位開關(guān)20斷開。電極脈沖信號(hào)為高電平，Sr信號(hào)為低電平，St信號(hào)為高電平，檢測電極陣列I開始實(shí)時(shí)檢測外界電場變化，各檢測電極11上的檢測電壓實(shí)時(shí)由初始放大器30陣列放大;若干時(shí)鐘脈沖信號(hào)后，掃描存儲(chǔ)開關(guān)陣列接通，將各初始放大器30此時(shí)放大的電壓一同存儲(chǔ)到對應(yīng)的各掃描存儲(chǔ)電容60中，掃描存儲(chǔ)開關(guān)陣列關(guān)斷。
[0093]此時(shí)掃描存儲(chǔ)電容陣列存儲(chǔ)電極脈沖信號(hào)為高電平時(shí)，初始放大器30陣列輸出的掃描電壓，復(fù)位存儲(chǔ)電容陣列存儲(chǔ)電極脈沖信號(hào)為低電平時(shí)，電初始放大器30陣列輸出的復(fù)位電壓。移位控制電路41控制移位開關(guān)陣列依次接通，依次將掃描存儲(chǔ)電容60上的電壓和復(fù)位存儲(chǔ)電容80上的電壓同時(shí)輸送到掃描位總線01和復(fù)位位總線02上;在每對移位開關(guān)40接通前，可由邏輯控制電路控制Sc信號(hào)，進(jìn)而控制鉗位開關(guān)接通，將掃描位總線01和復(fù)位位總線02電壓同時(shí)鉗位到Vc。掃描位總線01上的電壓與復(fù)位位總線02上的電壓經(jīng)過增益放大器91依次進(jìn)行差分放大，最后，經(jīng)輸出緩沖電路93輸出一行電壓信號(hào)。
[0094]此實(shí)施例采用復(fù)位存儲(chǔ)電容陣列，各單元電路存儲(chǔ)復(fù)位狀態(tài)下初始放大器30電壓，在后續(xù)增益放大時(shí)，各單元電路的掃描存儲(chǔ)電容60電壓減去復(fù)位存儲(chǔ)電容80電壓后進(jìn)行放大，消除了各單元電路之間的離散性，進(jìn)一步提高厚度檢測。
[0095]從以上的描述中，可以看出，本申請上述的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果:
[0096]本申請的檢測裝置將檢測電極陣列、復(fù)位單元、初始放大單元、移位控制單元、掃描位總線與邏輯控制單元集成在一個(gè)檢測芯片上，使得膜厚的檢測裝置體積較小，避免了現(xiàn)有技術(shù)中的檢測裝置體積龐大導(dǎo)致的檢測不便的問題，并且，該檢測芯片中包括復(fù)位單元，進(jìn)行紙幣檢測前，即檢測各檢測電極的電信號(hào)前，該復(fù)位開關(guān)陣列將各檢測電極的電信號(hào)復(fù)位，避免檢測前，檢測電極上的電信號(hào)會(huì)影響檢測值，進(jìn)而避免檢測結(jié)果不精確，提高了檢測裝置的檢測精度。
[0097]以上所述僅為本申請的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本申請，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本申請可以有各種更改和變化。凡在本申請的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本申請的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種膜厚的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置包括至少一個(gè)公共電極與至少一個(gè)檢測芯片，其中，各所述檢測芯片包括: 檢測電極陣列，與所述公共電極在第一方向上相對且間隔設(shè)置，所述公共電極與所述檢測電極陣列之間的間隔構(gòu)成待測膜的傳輸通道，所述檢測電極陣列包括多個(gè)檢測電極； 復(fù)位單元，與所述檢測電極陣列中的各所述檢測電極電連接，用于將各所述檢測電極的電信號(hào)進(jìn)行復(fù)位； 初始放大單元，與所述檢測電極陣列中的各所述檢測電極電連接，所述初始放大單元用于放大各所述檢測電極的電信號(hào)； 移位控制單元，與所述初始放大單元電連接，所述移位控制單元用于控制放大后的多個(gè)所述電信號(hào)的輸出順序； 掃描位總線，包括多個(gè)掃描連接點(diǎn)，一個(gè)所述掃描連接點(diǎn)與所述移位控制單元電連接；以及 邏輯控制單元，用于接收外界的輸入信號(hào)、產(chǎn)生控制所述檢測芯片的控制信號(hào)與輸出檢測信號(hào)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，各所述檢測芯片還包括: 增益放大單元，包括第一輸入端與第二輸入端，所述第一輸入端與一個(gè)所述掃描連接點(diǎn)電連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述初始放大單元為初始放大器陣列，所述初始放大器陣列包括多個(gè)初始放大器，所述初始放大器與所述檢測電極一一對應(yīng)，各所述初始放大器的輸入端與對應(yīng)的檢測電極電連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述復(fù)位單元為復(fù)位開關(guān)陣列，所述復(fù)位開關(guān)陣列包括多個(gè)復(fù)位開關(guān)，所述復(fù)位開關(guān)與所述檢測電極一一對應(yīng)，各所述復(fù)位開關(guān)包括復(fù)位開關(guān)第一端、復(fù)位開關(guān)第二端與復(fù)位開關(guān)第三端，各所述復(fù)位開關(guān)第一端接入固定電壓，各所述復(fù)位開關(guān)第二端接入復(fù)位信號(hào)，各所述復(fù)位開關(guān)第三端與對應(yīng)的檢測電極電連接，所述復(fù)位信號(hào)控制所述復(fù)位開關(guān)接通，將對應(yīng)的所述檢測電極的電信號(hào)進(jìn)行復(fù)位。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述移位控制單元包括: 移位開關(guān)陣列，包括多個(gè)移位開關(guān)，所述移位開關(guān)與所述初始放大器 對應(yīng)，各所述移位開關(guān)包括移位開關(guān)第一端、移位開關(guān)第二端與移位開關(guān)第三端，各所述移位開關(guān)第一端與對應(yīng)的初始放大器的輸出端電連接;以及 移位控制電路，與各所述移位開關(guān)第二端電連接，所述移位控制電路用于控制各所述移位開關(guān)的接通與關(guān)斷。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測芯片還包括: 掃描存儲(chǔ)開關(guān)陣列，包括多個(gè)掃描存儲(chǔ)開關(guān)，所述掃描存儲(chǔ)開關(guān)與所述初始放大器一一對應(yīng)，各所述掃描存儲(chǔ)開關(guān)包括掃描存儲(chǔ)開關(guān)第一端、掃描存儲(chǔ)開關(guān)第二端與掃描存儲(chǔ)開關(guān)第三端，各所述掃描存儲(chǔ)開關(guān)第一端與對應(yīng)的初始放大器的輸出端電連接，各所述掃描存儲(chǔ)開關(guān)第二端接入掃描開關(guān)信號(hào)；以及 掃描存儲(chǔ)電容陣列，包括多個(gè)掃描存儲(chǔ)電容，所述掃描存儲(chǔ)電容包括掃描電容第一端與掃描電容第二端，所述掃描存儲(chǔ)電容與所述掃描存儲(chǔ)開關(guān)一一對應(yīng)，各所述掃描電容第一端電連接在對應(yīng)的掃描存儲(chǔ)開關(guān)第三端與對應(yīng)的移位開關(guān)第一端之間，各所述掃描電容第二端接地，各所述掃描存儲(chǔ)電容用于存儲(chǔ)對應(yīng)的初始放大器在掃描對應(yīng)的檢測電極時(shí)的輸出電信號(hào)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測芯片還包括: 掃描位總線鉗位開關(guān)，包括掃描鉗位開關(guān)第一端、掃描鉗位開關(guān)第二端與掃描鉗位開關(guān)第三端，所述掃描鉗位開關(guān)第一端電連接在所述掃描位總線與所述第一輸入端之間，所述掃描鉗位開關(guān)第二端接入鉗位開關(guān)信號(hào)，所述掃描鉗位開關(guān)第三端接入固定電壓Vc，在讀取各所述掃描存儲(chǔ)電容的電信號(hào)前，所述鉗位開關(guān)信號(hào)控制所述掃描位總線鉗位開關(guān)接通，將所述掃描位總線的電壓鉗位到電壓Vc。8.根據(jù)權(quán)利要求2至7中任一項(xiàng)所述的檢測裝置，其特征在于，所述增益放大單元包括: 增益放大器，包括兩個(gè)輸入端與一個(gè)輸出端，兩個(gè)輸入端分別對應(yīng)所述第一輸入端與所述第二輸入端，所述第一輸入端與所述掃描位總線電連接； 基準(zhǔn)電壓取樣電路，與所述第二輸入端電連接，所述基準(zhǔn)電壓取樣電路用于調(diào)節(jié)所述增益放大器的輸出電信號(hào)；以及 輸出緩沖電路，所述輸出緩沖電路的輸入端與所述增益放大器的所述輸出端電連接，用于增加所述增益放大器的輸出信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測裝置，其特征在于，所述移位開關(guān)陣列包括多對移位開關(guān)，多對所述移位開關(guān)與多個(gè)所述初始放大器 對應(yīng)，每對移位開關(guān)包括兩個(gè)移位開關(guān)，分別是第一移位開關(guān)與第二移位開關(guān)，各所述第一移位開關(guān)包括第一移位開關(guān)第一端、第一移位開關(guān)第二端與第一移位開關(guān)第三端；各所述第二移位開關(guān)包括第二移位開關(guān)第一端、第二移位開關(guān)第二端與第二移位開關(guān)第三端，其中，各所述第一移位開關(guān)第一端與對應(yīng)的掃描電容第一端電連接，各所述第一移位開關(guān)第三端與所述掃描位總線電連接，各所述第一移位開關(guān)第二端與所述移位控制電路電連接，且所述檢測芯片還包括: 復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)陣列，包括多個(gè)復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)，所述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)與所述初始放大器一一對應(yīng)，各所述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)包括復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第一端、復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第二端與復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第三端，各所述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第一端與對應(yīng)的初始放大器的輸出端電連接，各所述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第二端接入復(fù)位開關(guān)信號(hào)； 復(fù)位存儲(chǔ)電容陣列，包括多個(gè)復(fù)位存儲(chǔ)電容，所述復(fù)位存儲(chǔ)電容與所述復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)--對應(yīng)，各所述復(fù)位存儲(chǔ)電容包括復(fù)位電容第一端與復(fù)位電容第二端，各所述復(fù)位電容第一端電連接在對應(yīng)的復(fù)位存儲(chǔ)開關(guān)第三端與對應(yīng)的第二移位開關(guān)第一端之間，各所述復(fù)位電容第二端接地，各所述復(fù)位存儲(chǔ)電容用于存儲(chǔ)對應(yīng)的初始放大器在復(fù)位對應(yīng)的檢測電極時(shí)的輸出電信號(hào)；以及 復(fù)位位總線，包括多個(gè)復(fù)位連接點(diǎn)，一個(gè)所述復(fù)位連接點(diǎn)電連接在各所述第二移位開關(guān)第三端與所述第二輸入端，或者 一個(gè)所述復(fù)位連接點(diǎn)與各所述第二移位開關(guān)第三端電連接，另一個(gè)所述復(fù)位連接點(diǎn)與所述第二輸入端電連接。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測芯片還包括: 復(fù)位位總線鉗位開關(guān)，包括復(fù)位鉗位開關(guān)第一端、復(fù)位鉗位開關(guān)第二端與復(fù)位鉗位開關(guān)第三端，所述復(fù)位鉗位開關(guān)第一端電連接在所述復(fù)位位總線與所述第二輸入端之間，所述復(fù)位鉗位開關(guān)第二端接入所述鉗位開關(guān)信號(hào)，所述復(fù)位鉗位開關(guān)第三端接入固定電壓Vc，在讀取各所述復(fù)位存儲(chǔ)電容的電信號(hào)前，所述鉗位開關(guān)信號(hào)控制所述復(fù)位位總線鉗位開關(guān)接通，將所述復(fù)位位總線的電壓鉗位到電壓Vc。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的檢測裝置，其特征在于，所述增益放大單元包括: 增益放大器，包括兩個(gè)輸入端與一個(gè)輸出端，兩個(gè)輸入端分別對應(yīng)所述第一輸入端與所述第二輸入端，所述第一輸入端與所述掃描位總線電連接，所述第二輸入端與所述復(fù)位位總線電連接； 基準(zhǔn)電壓取樣電路，用于調(diào)節(jié)所述增益放大器的輸出電信號(hào)；以及 輸出緩沖電路，所述輸出緩沖電路的輸入端與所述增益放大器的所述輸出端電連接，用于增加所述增益放大器的輸出信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢測裝置，其特征在于，所述基準(zhǔn)電壓取樣電路的基準(zhǔn)電信號(hào)為基準(zhǔn)電壓，所述Vc與所述基準(zhǔn)電壓相同。13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述邏輯控制單元包括輸入引腳與輸出引腳，其中，所述輸出引腳為掃描結(jié)束信號(hào)引腳，當(dāng)掃描結(jié)束時(shí)，用于輸出脈沖信號(hào)，所述輸入引腳包括: 時(shí)鐘信號(hào)引腳，用于為所述邏輯控制單元提供一個(gè)穩(wěn)定的頻率信號(hào)； 掃描啟動(dòng)信號(hào)引腳，用于輸入掃描啟動(dòng)信號(hào)； 第一芯片選擇引腳，用于控制所述檢測芯片的檢測信號(hào)輸出的啟動(dòng)是由同一個(gè)所述檢測芯片中的所述移位控制單元控制還是由與所述檢測芯片連接的另一個(gè)所述檢測芯片的所述輸出引腳控制；以及 分辨率選擇引腳，用于控制所述檢測芯片的厚度檢測分辨率。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測芯片由結(jié)構(gòu)膜層形成，所述結(jié)構(gòu)膜層包括: 基板；以及 絕緣膜，設(shè)置于所述基板的表面上，所述絕緣膜中包括與所述基板接觸設(shè)置的第一絕緣層，所述第一絕緣層為氧化絕緣層，所述檢測電極陣列設(shè)置在所述絕緣膜的遠(yuǎn)離所述基板的表面上。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測電極為窄條狀電極，所述窄條狀電極在第二方向上的最大寬度小于在第三方向上的最大寬度，所述第二方向和所述第三方向均與所述第一方向垂直，且所述第三方向?yàn)樗龃郎y膜的移動(dòng)方向。16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的檢測裝置，其特征在于，至少一個(gè)所述檢測電極包括多個(gè)頂電極與底電極區(qū)域，所述底電極區(qū)域設(shè)置在所述絕緣膜中，所述底電極區(qū)域與所述基板不接觸設(shè)置，所述絕緣膜的遠(yuǎn)離所述基板的表面開設(shè)有多個(gè)過孔，所述頂電極與所述過孔一一對應(yīng)，各所述頂電極與所述底電極區(qū)域通過對應(yīng)的過孔電連接。17.根據(jù)權(quán)利要求16中所述的檢測裝置，其特征在于，所述絕緣膜包括: 第二絕緣層，設(shè)置在所述第一絕緣層的遠(yuǎn)離所述基板的表面上；以及 第三絕緣層，設(shè)置于所述第二絕緣層的遠(yuǎn)離所述第一絕緣層的表面上。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的檢測裝置，其特征在于，所述底電極區(qū)域設(shè)置在所述第三絕緣層中，多個(gè)所述過孔開設(shè)于所述第三絕緣層的遠(yuǎn)離所述第二絕緣層的表面。19.根據(jù)權(quán)利要求14至18中任一項(xiàng)所述的檢測裝置，其特征在于，所述結(jié)構(gòu)膜層還包括: 保護(hù)層，覆蓋各所述檢測電極的裸露表面與所述絕緣膜的裸露表面。
【文檔編號(hào)】G01B7/06GK205505968SQ201620270858
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年4月1日
【發(fā)明人】林永輝, 戴朋飛, 韓曉偉
【申請人】威海華菱光電股份有限公司