一種用于ebsd測試的樣品臺的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種試驗器具，具體涉及一種用于EBSD測試的樣品臺。
【背景技術】
[0002]在掃描電子顯微鏡(SEM)中，入射于樣品上的電子束與樣品作用產(chǎn)生幾種不同效應，其中之一就是在每一個晶體或晶粒內規(guī)則排列的晶格面上產(chǎn)生衍射。從所有原子面上產(chǎn)生的衍射組成“衍射花樣”，這可被看成是一張晶體中原子面間的角度關系圖。20世紀90年代以來，裝配在SEM上的電子背散射花樣(Electron Back-scattering Patterns，簡稱EBSP)晶體微區(qū)取向和晶體結構的分析技術取得了較大的發(fā)展，并已在材料微觀組織結構及微織構表征中廣泛應用。該技術也被稱為電子背散射衍射(Electron BackscatteredDiffract1n，簡稱 EBSD)或取向成像顯微技術(Orientat1n Imaging Microscopy，簡稱OIM)等。EBSD的主要特點是在保留掃描電子顯微鏡的常規(guī)特點的同時進行空間分辨率亞微米級的衍射(給出結晶學的數(shù)據(jù))。
[0003]EBSD是目前常用的材料表征手段，測試過程中樣品在垂直方向需傾斜70°，而且要求樣品在水平方向不能傾斜。目前測試過程中是將樣品用導電膠(或銀膠)粘在樣品臺上。對于重量小的樣品，盡需要將樣品水平方向盡量與探頭平行即可。而對于較重的樣品，由于是傾斜70°，用傳統(tǒng)的方法，樣品在測試過程中會出現(xiàn)移動，圖像位置容易發(fā)生改變，背散射區(qū)域發(fā)生偏移，使試驗結果不準確，導致試驗失敗。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型為解決現(xiàn)有EBSD測試過程中會出現(xiàn)移動，導致最終圖像漂移，試驗失敗的問題，進而提出一種用于EBSD測試的樣品臺。
[0005]本實用新型為解決上述技術問題采取的技術方案是:本實用新型包括支撐臺和兩個定位塊，支撐臺的形狀為楔形，支撐臺的下端面水平設置，支撐臺的上端面與下端面之間的夾角為20°，支撐臺的上端面的兩側分別垂直固接有一個定位塊，兩個定位塊分別對稱設置在支撐臺的小端。
[0006]本實用新型的有益效果是:本實用新型解決了樣品由于重量導致的漂移，以及樣品水平方向不平行的問題。試驗過程中，由于有支撐臺，重量對測試不會造成影響；支撐臺在設計中加入樣品的70°傾斜，SEM樣品臺不需傾轉，保證樣品不會在重力的作用下發(fā)生偏移；可確保樣品水平方向與探頭平行，保證試驗的穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0007]圖1是本實用新型的整體結構示意圖；圖2是本實用新型中支撐臺I的主視圖；圖3是圖2的俯視圖；圖4是圖2的左視圖；圖5是本實用新型中滑臺3和滑塊3-1的連接關系的主視圖；圖6是圖5的俯視圖。
【具體實施方式】
[0008]【具體實施方式】一:結合圖1至圖6說明，本實施方式所述一種用于EBSD測試的樣品臺包括支撐臺I和兩個定位塊2，支撐臺I的形狀為楔形，支撐臺I的下端面水平設置，支撐臺I的上端面與下端面之間的夾角為20°，支撐臺I的上端面的兩側分別垂直固接有一個定位塊2，兩個定位塊2分別對稱設置在支撐臺I的小端。
[0009]如此設計在試驗時，將樣品放置在支撐臺I的上端面上，支撐臺I上的兩個定位塊2擋在樣品的一側，防止樣品在重力的作用下發(fā)生偏移，保證了位置精度，保證成像效果，提高了試驗的成功率。
[0010]【具體實施方式】二:結合圖1至圖6說明，本實施方式所述一種用于EBSD測試的樣品臺還包括滑臺3，滑臺3設置在支撐臺I的上端面上的兩個定位塊2之間，滑臺3的形狀為矩形，滑臺3的左右兩端分別設有滑塊3-1，兩個定位塊2的內側沿支撐臺I上端面的寬度方向分別設有滑槽2-1，滑塊3-1分別插裝在滑槽2-1中，滑臺3與兩個定位塊2滑動連接。其它組成和連接方式與【具體實施方式】一相同。
[0011]如此設計滑臺3可以在支撐臺I的上端面上的一定范圍內移動，滑臺3擋在樣品的一側，防止樣品在重力的作用下發(fā)生偏移，調整滑臺3的位置，可以根據(jù)需要調整樣品的位置，測試多種不同尺寸的樣品。
[0012]【具體實施方式】三:結合圖1至圖6說明，本實施方式所述一個定位塊2的側面沿支撐臺I的長度方向設有螺紋通孔2-2，螺紋通孔2-2中設有鎖緊螺栓，鎖緊螺栓的末端與滑臺3的一側端面配合。其它組成和連接方式與【具體實施方式】二相同。
[0013]如此設計用鎖緊螺栓將滑臺3鎖緊，防止滑臺3的位置發(fā)生偏移，從而導致樣品偏移，影響試驗效果。
[0014]【具體實施方式】四:結合圖1至圖6說明，本實施方式所述滑塊3-1的形狀為楔形，滑塊3-1的大端與滑臺3兩端的下側固接，滑槽2-1的形狀為楔形，滑槽2-1的大端朝向定位塊2的外側，滑槽2-1設置在定位塊2內側的下部。其它組成和連接方式與【具體實施方式】二或三相同。
[0015]【具體實施方式】五:結合圖1至圖6說明，本實施方式所述支撐臺I的第一長度LI為20mm?80mm，支撐臺I的第一寬度Wl為1mm?40mm，定位塊2的第二長度L2為5mm?20mm，定位塊2的第二寬度W2為2mm?8mm，定位塊2的第一高度Hl為3mm?8mm，滑臺3的第三長度L3為16mm?64mm，滑臺3的第三寬度W3為5mm?20mm，滑臺3的第二高度H2為6mm?16_。其它組成和連接方式與【具體實施方式】四相同。
[0016]【具體實施方式】六:結合圖1至圖6說明，本實施方式所述支撐臺I的第一長度LI為32mm，支撐臺I的第一寬度Wl為14mm，定位塊2的第二長度L2為7mm，定位塊2的第二寬度W2為4mm，定位塊2的第一高度Hl為5mm，滑臺3的第三長度L3為24mm，滑臺3的第三寬度W3為8mm，滑臺3的第二高度H2為10mm。其它組成和連接方式與【具體實施方式】五相同。
【主權項】
1.一種用于EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述一種用于EBSD測試的樣品臺包括支撐臺(I)和兩個定位塊(2)，支撐臺(I)的形狀為楔形，支撐臺(I)的下端面水平設置，支撐臺(I)的上端面與下端面之間的夾角為20°，支撐臺(I)的上端面的兩側分別垂直固接有一個定位塊(2)，兩個定位塊(2)分別對稱設置在支撐臺(I)的小端。2.根據(jù)權利要求1所述一種用于EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述一種用于EBSD測試的樣品臺還包括滑臺(3)，滑臺(3)設置在支撐臺(I)的上端面上的兩個定位塊(2)之間，滑臺(3)的形狀為矩形，滑臺(3)的左右兩端分別設有滑塊(3-1)，兩個定位塊(2)的內側沿支撐臺(I)上端面的寬度方向分別設有滑槽(2-1)，滑塊(3-1)分別插裝在滑槽(2-1)中，滑臺(3)與兩個定位塊(2)滑動連接。3.根據(jù)權利要求2所述一種用于EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述一個定位塊(2)的側面沿支撐臺(I)的長度方向設有螺紋通孔(2-2)，螺紋通孔(2-2)中設有鎖緊螺栓，鎖緊螺栓的末端與滑臺(3)的一側端面配合。4.根據(jù)權利要求2或3所述一種用于EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述滑塊(3-1)的形狀為楔形，滑塊(3-1)的大端與滑臺(3)兩端的下側固接，滑槽(2-1)的形狀為楔形，滑槽(2-1)的大端朝向定位塊(2)的外側，滑槽(2-1)設置在定位塊(2)內側的下部。5.根據(jù)權利要求4所述一種用于EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述支撐臺(I)的第一長度(LI)為20mm?80mm，支撐臺(I)的第一寬度(Wl)為1mm?40mm，定位塊(2)的第二長度(L2)為5mm?20mm，定位塊⑵的第二寬度(W2)為2mm?8mm，定位塊⑵的第一高度(Hl)為3mm?8mm，滑臺(3)的第三長度(L3)為16mm?64臟，滑臺(3)的第三寬度(W3)為5mm?20mm，滑臺(3)的第二高度(H2)為6mm?16mm。6.根據(jù)權利要求5所述一種用于EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述支撐臺(I)的第一長度(LI)為32mm，支撐臺⑴的第一寬度(Wl)為14_，定位塊⑵的第二長度(L2)為7mm，定位塊⑵的第二寬度(W2)為4mm，定位塊⑵的第一高度(Hl)為5mm，滑臺(3)的第三長度(L3)為24mm，滑臺(3)的第三寬度(W3)為8mm，滑臺(3)的第二高度(H2)為10mnin
【專利摘要】一種用于EBSD測試的樣品臺。本實用新型涉及一種試驗器具，具體涉及一種用于EBSD測試的樣品臺。本實用新型為解決現(xiàn)有EBSD測試過程中會出現(xiàn)移動，導致最終圖像漂移，試驗失敗的問題。一種用于EBSD測試的樣品臺包括支撐臺和兩個定位塊，支撐臺的形狀為楔形，支撐臺的下端面水平設置，支撐臺的上端面與下端面之間的夾角為20°，支撐臺的上端面的兩側分別垂直固接有一個定位塊，兩個定位塊分別對稱設置在支撐臺的小端。本實用新型用于EBSD測試。
【IPC分類】G01N23/203
【公開號】CN204694653
【申請?zhí)枴緾N201520449394
【發(fā)明人】曹國劍, 王令雙, 范國華, 唐光澤
【申請人】哈爾濱理工大學
【公開日】2015年10月7日
【申請日】2015年6月26日