大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法及系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本申請(qǐng)公開了一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法，包括：對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片中心部分進(jìn)行面型精度測量，獲取中心部分面型精度值；判斷所述中心部分面型精度值是否在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)；若所述中心部分面型精度值在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，則獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息；依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息得到所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果。應(yīng)用本發(fā)明提供的一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法時(shí)，由于在獲取大尺寸光學(xué)鏡片中心部分面型精度值之后增加了對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分進(jìn)行質(zhì)量檢測的步驟，對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片的整個(gè)表面進(jìn)行了全面的質(zhì)量檢測，使得大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果更加準(zhǔn)確，提高了檢測準(zhǔn)確率。
【專利說明】
大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法及系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及光學(xué)檢測技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法，還涉及一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]在光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測的領(lǐng)域中，往往通過對(duì)光學(xué)鏡片表面的面型精度和光潔度的檢測來判斷光學(xué)鏡片是否合格。
[0003]隨著光學(xué)鏡片需求的變化，大尺寸的光學(xué)鏡片需求量越來越多，現(xiàn)有技術(shù)中通常對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測時(shí)，通常利用激光干涉儀來檢測其面型精度，檢測范圍約為101.6mm*101.6mm，而大尺寸光學(xué)鏡片的面積要遠(yuǎn)大于101.6mm*101.6mm，對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片的邊緣以及接近邊緣的部分的表面質(zhì)量無法檢測，因此，當(dāng)大尺寸光學(xué)鏡片的邊緣以及接近邊緣的部分出現(xiàn)刮傷點(diǎn)時(shí)，現(xiàn)有技術(shù)中的檢測方法導(dǎo)致大尺寸的光學(xué)鏡片的面型精度測量出現(xiàn)一定百分比的超差，導(dǎo)致大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量的檢測不準(zhǔn)確。
[0004]因此，如何對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量進(jìn)行準(zhǔn)確有效檢測是本領(lǐng)域技術(shù)人員急需要解決的技術(shù)問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法，能夠?qū)?duì)大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量進(jìn)行準(zhǔn)確有效檢測。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
[0007]—種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法，包括:
[0008]對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片中心部分進(jìn)行面型精度測量，獲取中心部分面型精度值；
[0009]判斷所述中心部分面型精度值是否在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)；[〇〇1〇]若所述中心部分面型精度值在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，則獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息；
[0011]依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息得到所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果。
[0012]優(yōu)選地，在上述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法中，獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息，具體包括:
[0013]生成標(biāo)準(zhǔn)球面波；
[0014]將所述標(biāo)準(zhǔn)球面波轉(zhuǎn)換為能夠覆蓋所述大尺寸平面鏡片面積的標(biāo)準(zhǔn)平面波，并將所述標(biāo)準(zhǔn)平面波發(fā)送至所述大尺寸光學(xué)鏡片表面；
[0015]獲取所述標(biāo)準(zhǔn)平面波經(jīng)過所述大尺寸光學(xué)鏡片透射后形成的所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息。
[0016]優(yōu)選地，在上述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法中，依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片的邊緣部分的圖像信息得到大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果，具體包括:
[0017]依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息判斷所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分是否具有表面缺陷；
[0018]若否，則所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果為所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量合格；
[0019]若是，則所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果為所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量不合格。
[0020]優(yōu)選地，在上述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法中，依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息判斷所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分是否具有表面缺陷，具體包括:
[0021]若所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息為具有明暗條紋的光斑圖像，則判定所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分具有表面缺陷；
[0022]若所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息為亮度均勻的光斑圖像，則判定所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分沒有表面缺陷。
[0023]本發(fā)明還提供了一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)，包括:
[0024]激光干涉儀，用于對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片的中心部分進(jìn)行面型精度測量，獲取中心部分面型精度值；
[0025]判斷模塊，用于判斷所述中心部分面型精度值是否在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)；
[0026]輔助測量儀，用于獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息。
[0027]數(shù)據(jù)處理模塊，用于依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息得到所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果。
[0028]優(yōu)選地，在上述一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)中，所述輔助測量儀包括: [〇〇29]刀口儀，用于生成標(biāo)準(zhǔn)球面波；
[0030]設(shè)置于所述刀口儀與所述大尺寸平面鏡片之間的準(zhǔn)直透鏡，用于將所述標(biāo)準(zhǔn)球面波轉(zhuǎn)換為能夠覆蓋所述大尺寸平面鏡片面積的標(biāo)準(zhǔn)平面波，并將所述標(biāo)準(zhǔn)平面波發(fā)送至所述大尺寸光學(xué)鏡片表面，所述準(zhǔn)直透鏡的直徑與所述大尺寸光學(xué)鏡片的直徑相同；
[0031]圖像采集器，用于獲取所述標(biāo)準(zhǔn)平面波經(jīng)過所述大尺寸光學(xué)鏡片透射后形成的所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息。
[0032]優(yōu)選地，在上述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)中，所述準(zhǔn)直透鏡為雙膠合透鏡。
[0033]優(yōu)選地，在上述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)中，所述圖像采集器為CMOS相機(jī)或(XD相機(jī)。
[0034]優(yōu)選地，在上述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)中，所述激光干涉測量儀為雙頻激光干涉測量儀。
[0035]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明所提供的一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法，包括:對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片中心部分進(jìn)行面型精度測量，獲取中心部分面型精度值;判斷所述中心部分面型精度值是否在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)；若所述中心部分面型精度值在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，則獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息；依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息得到所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果。
[0036]應(yīng)用本發(fā)明提供的一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法時(shí)，由于在獲取大尺寸光學(xué)鏡片中心部分面型精度值之后增加了對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分進(jìn)行質(zhì)量檢測的步驟，對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片的整個(gè)表面進(jìn)行了全面的質(zhì)量檢測，使得大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果更加準(zhǔn)確，提高了檢測準(zhǔn)確率?！靖綀D說明】
[0037]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
[0038]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法示意圖；
[0039]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的輔助測量儀對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片的測量示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0040]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0041]請(qǐng)參閱圖1，圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法示意圖。
[0042]在一種具體的實(shí)施方式中，本發(fā)明提供了一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法，包括以下步驟:
[0043]步驟S10:對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片中心部分進(jìn)行面型精度測量，獲取中心部分面型精度值；
[0044]鑒于面型精度測量的儀器能夠檢測的范圍較小，為了準(zhǔn)確獲取面型精度值，選擇對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片的中心部分進(jìn)行面型精度測量，其中心部分具體指以光學(xué)鏡片的光軸為中心的測量儀器所能夠測量的范圍。進(jìn)行面型精度測量的具體方法請(qǐng)參考現(xiàn)有技術(shù)，在此不再贅述。
[0045]步驟S20:判斷所述中心部分面型精度值是否在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)；
[0046]不同種類的大尺寸光學(xué)鏡片對(duì)其面型精度的要求各不相同，預(yù)設(shè)閾值根據(jù)不同要求進(jìn)行確定，通常情況下光學(xué)鏡片的面型精度值范圍為〇.3nm-10nm，因此，預(yù)設(shè)閾值可以從上述范圍內(nèi)進(jìn)行取值。
[0047]步驟S30:若所述中心部分面型精度值在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，則獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息；
[0048]若所述中心部分面型精度值在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，說明大尺寸光學(xué)鏡片的面型精度基本符合要求，但是大尺寸光學(xué)鏡片是否合格，還需要對(duì)其邊緣部分的質(zhì)量進(jìn)行檢測。大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分具體為除去大尺寸光學(xué)鏡片中心部分的其它部分。等獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息目的是對(duì)邊緣部分進(jìn)行輔助的定性測量，定性測量的成本低，速度快，能夠快速檢測邊緣部分具有的劃痕或者表面凸起。
[0049]步驟S40:依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息得到所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果。
[0050]應(yīng)用本發(fā)明提供的一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法時(shí)，由于在獲取大尺寸光學(xué)鏡片中心部分面型精度值之后增加了對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分進(jìn)行質(zhì)量檢測的步驟，對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片的整個(gè)表面進(jìn)行了全面的質(zhì)量檢測，使得大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果更加準(zhǔn)確，提高了檢測準(zhǔn)確率。
[0051]具體的，上述步驟S30中，獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息，具體包括:[〇〇52]步驟S31:生成標(biāo)準(zhǔn)球面波；
[0053]在大尺寸光學(xué)鏡片入射方向一側(cè)設(shè)置能夠生成標(biāo)準(zhǔn)球面波的儀器，對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片進(jìn)行定性測量。
[0054]步驟S32:將所述標(biāo)準(zhǔn)球面波轉(zhuǎn)換為能夠覆蓋所述大尺寸平面鏡片面積的標(biāo)準(zhǔn)平面波，并將所述標(biāo)準(zhǔn)平面波發(fā)送至所述大尺寸光學(xué)鏡片表面；
[0055]由于標(biāo)準(zhǔn)球面波對(duì)大尺寸平面鏡片的照射范圍是由球面波的光源與大尺寸平面鏡片的距離決定的，為了避免對(duì)不同尺寸的大尺寸平面鏡片照射時(shí)都要調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)球面波光源與大尺寸平面鏡片之間的距離，首先將其轉(zhuǎn)換為與大尺寸平面鏡片面積相同的標(biāo)準(zhǔn)平面波，使其不僅僅照射到大尺寸平面鏡片的中心部分，還照射到邊緣部分，為邊緣部分進(jìn)行測量做準(zhǔn)備，節(jié)省測量時(shí)間，提高測量效率。
[0056]步驟S33:獲取所述標(biāo)準(zhǔn)平面波經(jīng)過所述大尺寸光學(xué)鏡片透射后形成的所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息。[〇〇57]具體的，在上述步驟S40中，依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息得到所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果，具體包括:[〇〇58]依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息判斷所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分是否具有表面缺陷；
[0059]若否，則所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果為所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量合格；
[0060]若是，則所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果為所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量不合格。
[0061]進(jìn)一步的，依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息判斷所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分是否具有表面缺陷，具體包括:
[0062]若所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息為具有明暗條紋的光斑圖像，則判定所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分具有表面缺陷；
[0063]若所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息為亮度均勻的光斑圖像，則判定所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分沒有表面缺陷。
[0064]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的輔助測量儀對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片的測量示意圖。
[0065]在另一種【具體實(shí)施方式】中，本發(fā)明還提供了一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)，包括:
[0066]激光干涉儀，用于對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片的中心部分進(jìn)行面型精度測量，獲取中心部分面型精度值；
[0067]判斷模塊，用于判斷所述中心部分面型精度值是否在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)；
[0068]輔助測量儀，用于獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息。
[0069]數(shù)據(jù)處理模塊，用于依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息得到所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果。
[0070]進(jìn)一步的，在上述一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)中，所述輔助測量儀包括:
[0071]刀口儀101，用于生成標(biāo)準(zhǔn)球面波。
[0072]刀口儀101由點(diǎn)光源、聚光鏡、反射鏡以及針孔板組成，由點(diǎn)光源發(fā)出的光線經(jīng)過第一聚光鏡匯聚成平面光波，再經(jīng)過第二聚光鏡匯聚并經(jīng)過小的平面反射鏡轉(zhuǎn)向，將光源成像在刀口附近，在光源的像上放置針孔，平面波通過針孔形成標(biāo)準(zhǔn)球面波。
[0073]設(shè)置于所述刀口儀101與所述大尺寸平面鏡片103之間的準(zhǔn)直透鏡102,用于將所述標(biāo)準(zhǔn)球面波轉(zhuǎn)換為能夠覆蓋所述大尺寸平面鏡片面積的標(biāo)準(zhǔn)平面波，并將所述標(biāo)準(zhǔn)平面波發(fā)送至所述大尺寸光學(xué)鏡片表面，所述準(zhǔn)直透鏡的直徑與所述大尺寸光學(xué)鏡片的直徑相同。
[0074]準(zhǔn)直透鏡102的作用是一方面將標(biāo)準(zhǔn)球面波轉(zhuǎn)換為平面波，另一方面將平面波的入射面積轉(zhuǎn)換為大尺寸光學(xué)鏡片面積相同的面積，便于照射到大尺寸光學(xué)鏡片的邊緣部分。
[0075]圖像采集器104,用于獲取所述標(biāo)準(zhǔn)平面波經(jīng)過所述大尺寸光學(xué)鏡片103透射后形成的所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息。
[0076]優(yōu)選地，在上述大尺寸光學(xué)鏡片103表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)中，所述準(zhǔn)直透鏡102為雙膠合透鏡。[〇〇77] 雙膠合透鏡由一個(gè)正透鏡和一個(gè)負(fù)透鏡膠合而成，正負(fù)透鏡膠合面兩個(gè)球面半徑相等，結(jié)構(gòu)簡單，光能損失小，有效的將標(biāo)準(zhǔn)球面波轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)平面波。當(dāng)然，準(zhǔn)直透鏡還可以為其它類型的準(zhǔn)直透鏡，例如雙凸透鏡、雙凹透鏡等，均在保護(hù)范圍之內(nèi)。
[0078]優(yōu)選地，在上述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)中，所述圖像采集器104為CMOS 相機(jī)或CCD相機(jī)。用相機(jī)獲取圖像信息更為準(zhǔn)確，如果圖像信息為明暗條紋的圖像，那么相機(jī)采集到的圖像中的明暗條紋更加明顯，容易辨認(rèn)。[〇〇79]優(yōu)選地，在上述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)中，所述激光干涉測量儀為雙頻激光干涉測量儀。雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測長度進(jìn)行度量的儀器，測量精度高，對(duì)測量環(huán)境要求低。當(dāng)然，激光干涉儀還可以為其它類型的激光干涉儀，例如單頻激光干涉測量儀，均在保護(hù)范圍內(nèi)。
[0080]在應(yīng)用本發(fā)明提供的大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法及系統(tǒng)時(shí)，不僅使得大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果更加準(zhǔn)確，提高了檢測準(zhǔn)確率，還可以檢測適合外觀返修鏡片，降低廢品率。當(dāng)刮傷點(diǎn)傷較輕較少且處于邊緣位置時(shí)，只能報(bào)廢處理，為了降低報(bào)廢率， 此種鏡片可以使用拋光粉進(jìn)行局部返修，返修后為了快速準(zhǔn)確的確認(rèn)面型是否符合要求， 合格后進(jìn)行收箱等待出貨。
[0081]本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。
[0082]對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。 對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法，其特征在于，包括:對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片中心部分進(jìn)行面型精度測量，獲取中心部分面型精度值；判斷所述中心部分面型精度值是否在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)；若所述中心部分面型精度值在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，則獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分 的圖像信息；依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息得到所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢 測結(jié)果。2.如權(quán)利要求1所述的大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法，其特征在于，獲取所述大尺 寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息，具體包括:生成標(biāo)準(zhǔn)球面波；將所述標(biāo)準(zhǔn)球面波轉(zhuǎn)換為能夠覆蓋所述大尺寸平面鏡片面積的標(biāo)準(zhǔn)平面波，并將所述 標(biāo)準(zhǔn)平面波發(fā)送至所述大尺寸光學(xué)鏡片表面；獲取所述標(biāo)準(zhǔn)平面波經(jīng)過所述大尺寸光學(xué)鏡片透射后形成的所述大尺寸光學(xué)鏡片邊 緣部分的圖像信息。3.如權(quán)利要求2所述的大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法，其特征在于，依據(jù)所述大尺 寸光學(xué)鏡片的邊緣部分的圖像信息得到大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果，具體包括:依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息判斷所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分是 否具有表面缺陷；若否，則所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果為所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量合 格；若是，則所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果為所述大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量不合 格。4.如權(quán)利要求3所述的大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測方法，其特征在于，依據(jù)所述大尺 寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息判斷所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分是否具有表面缺陷，具 體包括:若所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息為具有明暗條紋的光斑圖像，則判定所述 大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分具有表面缺陷；若所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息為亮度均勻的光斑圖像，則判定所述大尺 寸光學(xué)鏡片邊緣部分沒有表面缺陷。5.—種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括:激光干涉儀，用于對(duì)大尺寸光學(xué)鏡片的中心部分進(jìn)行面型精度測量，獲取中心部分面 型精度值；判斷模塊，用于判斷所述中心部分面型精度值是否在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)；輔助測量儀，用于獲取所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息。數(shù)據(jù)處理模塊，用于依據(jù)所述大尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息得到所述大尺寸光 學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測結(jié)果。6.—種大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述輔助測量儀包括:刀口儀，用于生成標(biāo)準(zhǔn)球面波；設(shè)置于所述刀口儀與所述大尺寸平面鏡片之間的準(zhǔn)直透鏡，用于將所述標(biāo)準(zhǔn)球面波轉(zhuǎn)換為能夠覆蓋所述大尺寸平面鏡片面積的標(biāo)準(zhǔn)平面波，并將所述標(biāo)準(zhǔn)平面波發(fā)送至所述大 尺寸光學(xué)鏡片表面，所述準(zhǔn)直透鏡的直徑與所述大尺寸光學(xué)鏡片的直徑相同；圖像采集器，用于獲取所述標(biāo)準(zhǔn)平面波經(jīng)過所述大尺寸光學(xué)鏡片透射后形成的所述大 尺寸光學(xué)鏡片邊緣部分的圖像信息。7.如權(quán)利要求6所述的大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述準(zhǔn)直透鏡 為雙膠合透鏡。8.如權(quán)利要求7所述的大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述圖像采集 器為CMOS相機(jī)或CCD相機(jī)。9.如權(quán)利要求8所述的大尺寸光學(xué)鏡片表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述激光干涉 測量儀為雙頻激光干涉測量儀。
【文檔編號(hào)】G01N21/95GK106018432SQ201610304685
【公開日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2016年5月10日
【發(fā)明人】胡天佐, 單明星, 夏巖巖
【申請(qǐng)人】長春博信光電子有限公司