電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供抵接部件中的冷卻響應(yīng)性優(yōu)異的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。電子部件檢查裝置(1)具備：多個(gè)頭(3)，其與電子部件抵接；供給流路(10A)，其對(duì)頭(3)供給制冷劑(RF)；以及回收流路(10B)，其從頭(3)回收制冷劑(RF)。另外，供給流路(10A)具有與制冷劑源(28)連接的第一供給流路(47)、以及成為從第一供給流路(47)分支并朝向各頭(3)的第二供給流路(53A)的供給用撓性管(5A)。另一方面，回收流路(10B)具有與制冷劑源(28)連接的第一回收流路(48)、以及成為從第一回收流路(48)分支并朝向各頭(3)的第二回收流路(53B)的回收用撓性管(5B)。
【專利說明】
電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知有例如檢查IC設(shè)備等電子部件的電氣特性的電子部件檢查裝置，該電子部件檢查裝置組裝有用于將IC設(shè)備輸送到檢查部的保持部的電子部件輸送裝置。在對(duì)IC設(shè)備進(jìn)行檢查時(shí)，將IC設(shè)備配置于保持部，使被設(shè)置于保持部的多個(gè)探針與IC設(shè)備的各端子接觸。
[0003]在像這樣的IC設(shè)備的檢查中，有將IC設(shè)備冷卻到規(guī)定溫度，在規(guī)定溫度的范圍內(nèi)進(jìn)行的情況(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。在專利文獻(xiàn)I中公開了對(duì)被安裝于IC設(shè)備的正面的散熱器吹來自風(fēng)扇的空氣來冷卻的結(jié)構(gòu)。
[0004]專利文獻(xiàn)I:日本特開2007-5685號(hào)公報(bào)
[0005]然而，在專利文獻(xiàn)I所記載的冷卻用的結(jié)構(gòu)中，來自風(fēng)扇的空氣中也有吹不到散熱器的成分，其結(jié)果，產(chǎn)生冷卻響應(yīng)性降低的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種抵接部件中的冷卻響應(yīng)性優(yōu)異的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。
[0007]這樣的目的通過下述的本發(fā)明來實(shí)現(xiàn)。
[0008]應(yīng)用例I
[0009]本發(fā)明的電子部件輸送裝置的特征在于，具備:抵接部件，其包含與電子部件抵接的抵接部;供給流路，其對(duì)上述抵接部件供給制冷劑；回收流路，其從上述抵接部件回收上述制冷劑。
[0010]由此，抵接部件中的冷卻響應(yīng)性優(yōu)異。
[0011]應(yīng)用例2
[0012]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述抵接部件被設(shè)置多個(gè)。
[0013]由此，能夠統(tǒng)一與多個(gè)電子部件抵接。
[0014]應(yīng)用例3
[0015]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述供給流路具有與制冷劑供給部連接的第一供給流路以及從上述第一供給流路分支為多個(gè)的第二供給流路。
[0016]由此，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)對(duì)抵接部供給制冷劑。
[0017]應(yīng)用例4
[0018]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述回收流路具有與制冷劑回收部連接的第一回收流路以及從上述第一回收流路分支為多個(gè)的第二回收流路。
[0019]由此，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)從抵接部回收制冷劑。
[0020]應(yīng)用例5
[0021]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具有流路部件，該流路部件包含上述第一供給流路和上述第一回收流路。
[0022]由此，第一供給流路以及第一回收流路的敷設(shè)變得容易。
[0023]應(yīng)用例6
[0024]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選在俯視時(shí)上述流路部件包圍上述抵接部件。
[0025]由此，能夠?qū)Ω鞯纸硬考员M可能最短距離經(jīng)由第二供給流路以及第二回收流路連接該抵接部件和流路部件。
[0026]應(yīng)用例7
[0027]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第一供給流路被配置于上述第一回收流路的內(nèi)側(cè)或外側(cè)的任意一側(cè)。
[0028]由此，在形成第一供給流路以及第一回收流路時(shí)，例如能夠通過鉆孔器加工，分別獨(dú)立地容易地形成。
[0029]應(yīng)用例8
[0030]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第二供給流路以及上述第二回收流路是具有撓性的管。
[0031]由此，敷設(shè)(配管)變得容易。
[0032]應(yīng)用例9
[0033]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具有包含上述第一供給流路和上述第一回收流路的流路部件，
[0034]上述管具有彎曲部，上述彎曲部被配置于上述流路部件的鉛垂上方。
[0035]由此，能夠使第二供給流路以及第二回收流路偏向、即靠近相對(duì)較少地配置有可能干擾第二供給流路以及第二回收流路的其它構(gòu)造體的一側(cè)。
[0036]應(yīng)用例10
[0037]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具有流路部件，該流路部件包含上述第一供給流路和上述第一回收流路，并在俯視時(shí)包圍上述抵接部件，
[0038]上述第二供給流路以及上述第二回收流路被分別配置于比上述流路部件靠?jī)?nèi)側(cè)。
[0039]由此，雖然第二供給流路以及第二回收流路與流路部件相比向外側(cè)變形突出但被限制，因此能夠防止該第二供給流路、第二回收流路剮到其周邊的構(gòu)造體等。
[0040]應(yīng)用例11
[0041 ]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選連接有上述第一供給流路和上述第二供給流路的供給流路連接部、和連接有上述第一回收流路和上述第二回收流路的回收流路連接部被交錯(cuò)配置。
[0042]由此，能夠使鄰接的第二供給流路和第二回收流路緊湊、即縮小間隔地配置，由此，有助于電子部件輸送裝置的小型化。
[0043]應(yīng)用例12
[0044]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具有流路部件，該流路部件包含上述第一供給流路和上述第一回收流路，
[0045]上述供給流路連接部和上述回收流路連接部被配置于上述流路部件的鉛垂上表面。
[0046]由此，能夠使第二供給流路以及第二回收流路偏向、即靠近相對(duì)較少地配置有可能干擾第二供給流路以及第二回收流路的其它構(gòu)造體的一側(cè)。
[0047]應(yīng)用例13
[0048]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述供給流路連接部和上述回收流路連接部包含中繼模塊，并被釬焊于上述中繼模塊。
[0049]由此，在更換第二供給流路、第二回收流路時(shí)，能夠按照中繼模塊來更換，因此，其更換作業(yè)變得容易。
[0050]應(yīng)用例14
[0051]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述中繼模塊通過螺紋固定與上述流路部件連接。
[0052]由此，在更換第二供給流路、第二回收流路時(shí)，能夠按照中繼模塊來更換，因此，其更換作業(yè)變得容易。
[0053]應(yīng)用例15
[0054]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選與上述第二供給流路的上述抵接部件的連接和與上述第二回收流路的上述抵接部件的連接通過釬焊來進(jìn)行。
[0055]由此，能夠防止第二供給流路以及第二回收流路意外地從抵接部件脫離。
[0056]應(yīng)用例16
[0057]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具有流路部件，該流路部件包含上述供給流路以及上述回收流路。
[0058]由此，供給流路以及回收流路的敷設(shè)變得容易。
[0059]應(yīng)用例17
[0060]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述流路部件呈框體狀。
[0061]由此，能夠?qū)Ω鞯纸硬考员M可能最短距離連接該抵接部件和流路部件。
[0062]應(yīng)用例18
[0063]本發(fā)明的電子部件檢查裝置的特征在于，具備:
[0064]抵接部件，其包含與電子部件抵接的抵接部；
[0065]供給流路，其對(duì)上述抵接部件供給制冷劑；
[0066]回收流路，其從上述抵接部件回收上述制冷劑；以及
[0067]檢查部，其檢查上述電子部件。
[0068]由此，抵接部件中的冷卻響應(yīng)性優(yōu)異。
【附圖說明】
[0069]圖1是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實(shí)施方式的簡(jiǎn)要俯視圖。
[0070]圖2是圖1所示的電子部件檢查裝置所具備的檢查區(qū)域中的設(shè)備輸送頭的立體圖。
[0071]圖3是從圖2中的箭頭A方向觀察到的圖(俯視圖)。
[0072]圖4是從圖2中的箭頭B方向觀察到的圖(側(cè)視圖)。
[0073]圖5是圖2所示的設(shè)備輸送頭所具有的流路部件及其周邊的簡(jiǎn)要水平剖視圖。
[0074]圖6是圖5中的C-C線剖視圖。
[0075]圖7是圖2所示的設(shè)備輸送頭所具有的抵接部件及其周邊的簡(jiǎn)要鉛垂剖視圖。
[0076]圖8是圖2所示的設(shè)備輸送頭所具有的抵接部件及其周邊的簡(jiǎn)要鉛垂剖視圖。
[0077]圖9是圖2所示的設(shè)備輸送頭及其周邊的框圖。
[0078]圖10是本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第二實(shí)施方式)所具備的檢查區(qū)域的設(shè)備輸送頭的一部分的鉛垂剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0079]以下，基于附圖所示的優(yōu)選的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0080]第一實(shí)施方式
[0081]圖1是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實(shí)施方式的簡(jiǎn)要俯視圖。圖2是圖1所示的電子部件檢查裝置所具備的檢查區(qū)域中的設(shè)備輸送頭的立體圖。圖3是從圖2中的箭頭A方向觀察到的圖(俯視圖)。圖4是從圖2中的箭頭B方向觀察到的圖(側(cè)視圖)。圖5是圖2所示的設(shè)備輸送頭所具有的流路部件及其周邊的簡(jiǎn)要水平剖視圖。圖6是圖5中的C-C線剖視圖。圖7以及圖8分別是圖2所示的設(shè)備輸送頭所具有的抵接部件及其周邊的簡(jiǎn)要鉛垂剖視圖。圖9是圖2所示的設(shè)備輸送頭及其周邊的框圖。此外，以下，為了便于說明，如圖1所示，將相互正交的3個(gè)軸設(shè)為X軸、Y軸以及Z軸。另外，包含X軸和Y軸的XY平面為水平，Z軸為鉛垂。另外，將與X軸平行的方向稱為“X方向”，將與Y軸平行的方向稱為“Y方向”，將與Z軸平行的方向稱為“Z方向”。另外，將電子部件的輸送方向的上游側(cè)僅稱為“上游側(cè)”，將下游側(cè)僅稱為“下游側(cè)”。另外，在本申請(qǐng)說明書中所說的“水平”并不限定于完全的水平，只要不阻礙電子部件的輸送，也包含相對(duì)于水平傾斜了若干(例如不足5°左右)的狀態(tài)。
[0082]圖1所示的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1是用于檢查/試驗(yàn)(以下僅稱為“檢查”)例如BGA(Ball grid array:球柵陣列)封裝、LGA(Land grid array:柵格陣列)封裝等的IC設(shè)備、LCD(Liquid Crystal Display:液晶顯不器)、CIS(CM0S Image Sensor:CMOS圖像傳感器)等電子部件的電氣特性的裝置。此外，以下，為了便于說明，作為進(jìn)行檢查的上述電子部件以使用IC設(shè)備的情況為代表進(jìn)行說明，并將其設(shè)為“1C設(shè)備90”。
[0083]如圖1所示，檢查裝置I分為托盤供給區(qū)域Al、設(shè)備供給區(qū)域(以下僅稱為“供給區(qū)±|Γ)Α2、檢查區(qū)域A3、設(shè)備回收區(qū)域(以下僅稱為“回收區(qū)域”)A4、以及托盤除去區(qū)域A5。而且，IC設(shè)備90從托盤供給區(qū)域Al到托盤除去區(qū)域A5依次經(jīng)由上述各區(qū)域，并在中途的檢查區(qū)域A3被檢查。像這樣檢查裝置I具備在各區(qū)域輸送IC設(shè)備90的電子部件輸送裝置、在檢查區(qū)域A3內(nèi)進(jìn)行檢查的檢查部16、以及控制部80。在檢查裝置I中，也能夠?qū)⑼斜P供給區(qū)域Al至托盤除去區(qū)域A5中，從輸送IC設(shè)備90的供給區(qū)域A2到回收區(qū)域A4稱為“輸送區(qū)域(輸送區(qū)域)”。
[0084]此外，檢查裝置I將配置有托盤供給區(qū)域Al、托盤除去區(qū)域A5的一方(圖1中的下偵D作為正面?zhèn)?，將其相反的一?cè)、即配置有檢查區(qū)域A3的一方(圖1中的上側(cè))作為背面?zhèn)葋硎褂谩?br>[0085]托盤供給區(qū)域Al是供給排列有未檢查狀態(tài)的多個(gè)IC設(shè)備90的托盤(配置部件)200的進(jìn)料部。在托盤供給區(qū)域Al中，能夠?qū)盈B多個(gè)托盤200。
[0086]供給區(qū)域A2是將被配置在來自托盤供給區(qū)域Al的托盤200上的多個(gè)IC設(shè)備90分別供給到檢查區(qū)域A3的區(qū)域。此外，以橫跨托盤供給區(qū)域Al和供給區(qū)域A2的方式，設(shè)置有一個(gè)一個(gè)地輸送托盤200的托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、11B。
[0087]在供給區(qū)域A2設(shè)置有溫度調(diào)整部(浸泡板)12、設(shè)備輸送頭13、以及托盤輸送機(jī)構(gòu)(第一輸送裝置)15。
[0088]溫度調(diào)整部12是載置多個(gè)IC設(shè)備90的載置部，能夠?qū)υ摱鄠€(gè)IC設(shè)備90進(jìn)行加熱或者冷卻。由此，能夠?qū)C設(shè)備90調(diào)整到適合檢查的溫度。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，在Y方向配置并固定有2個(gè)溫度調(diào)整部12。而且，通過托盤輸送機(jī)構(gòu)IlA從托盤供給區(qū)域Al搬入的(輸送出的)托盤200上的IC設(shè)備90被輸送并載置于任意一個(gè)溫度調(diào)整部12。
[0089]設(shè)備輸送頭13被支承為能夠在供給區(qū)域A2內(nèi)移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭13能夠承擔(dān)從托盤供給區(qū)域Al搬入的托盤200與溫度調(diào)整部12之間的IC設(shè)備90的輸送和溫度調(diào)整部12與后述的設(shè)備供給部14之間的IC設(shè)備90的輸送。
[0090]托盤輸送機(jī)構(gòu)15是使除去了全部的IC設(shè)備90的狀態(tài)的空的托盤200在供給區(qū)域A2內(nèi)朝向X方向輸送的機(jī)構(gòu)。而且，在該輸送后，空的托盤200被托盤輸送機(jī)構(gòu)11B從供給區(qū)域A2送回托盤供給區(qū)域Al。
[0091]檢查區(qū)域A3是檢查IC設(shè)備90的區(qū)域。在該檢查區(qū)域A3設(shè)置有設(shè)備供給部(供給滑梭)14、檢查部16、設(shè)備輸送頭17、以及設(shè)備回收部(回收滑梭)18。
[0092]設(shè)備供給部14是載置溫度調(diào)整后的IC設(shè)備90的載置部，能夠?qū)⒃揑C設(shè)備90輸送到檢查部16附近。該設(shè)備供給部14被支承為能夠在供給區(qū)域A2和檢查區(qū)域A3之間沿著X方向移動(dòng)。另外，在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，在Y方向配置有2個(gè)設(shè)備供給部14，溫度調(diào)整部12上的IC設(shè)備90被輸送并載置于任意一個(gè)設(shè)備供給部14。
[0093]檢查部16是檢查/試驗(yàn)IC設(shè)備90的電氣特性的單元。在檢查部16設(shè)置有在保持有IC設(shè)備90的狀態(tài)下與該IC設(shè)備90的端子電連接的多個(gè)探針。而且，IC設(shè)備90的端子與探針電連接(接觸)，經(jīng)由探針進(jìn)行IC設(shè)備90的檢查。IC設(shè)備90的檢查基于與檢查部16連接的測(cè)試器所具備的檢查控制部所存儲(chǔ)的程序來進(jìn)行。此外，在檢查部16中，與溫度調(diào)整部12相同，能夠?qū)C設(shè)備90進(jìn)行加熱或者冷卻，將該IC設(shè)備90調(diào)整到適合檢查的溫度。
[0094]設(shè)備輸送頭17被支承為能夠在檢查區(qū)域A3內(nèi)移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭17能夠?qū)墓┙o區(qū)域A2搬入的設(shè)備供給部14上的IC設(shè)備90輸送并載置在檢查部16上。
[0095]設(shè)備回收部18是載置通過檢查部16的檢查結(jié)束后的IC設(shè)備90的載置部，能夠?qū)⒃揑C設(shè)備90輸送到回收區(qū)域A4。該設(shè)備回收部18被支承為能夠在檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4之間沿著X方向移動(dòng)。另外，在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，與設(shè)備供給部14相同，在Y方向配置有2個(gè)設(shè)備回收部18，檢查部16上的IC設(shè)備90被輸送并載置于任意一個(gè)設(shè)備回收部18。該輸送通過設(shè)備輸送頭17來進(jìn)行。
[0096]回收區(qū)域A4是回收檢查結(jié)束的多個(gè)IC設(shè)備90的區(qū)域。在該回收區(qū)域A4設(shè)置有回收用托盤19、設(shè)備輸送頭20、以及托盤輸送機(jī)構(gòu)(第二輸送裝置)21。另外，在回收區(qū)域A4也準(zhǔn)備有空的托盤200。
[0097]回收用托盤19是載置IC設(shè)備90的載置部，被固定在回收區(qū)域A4內(nèi)，在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，沿著X方向配置有3個(gè)。另外，空的托盤200也是載置IC設(shè)備90的載置部，沿著X方向配置有3個(gè)。而且，移動(dòng)到回收區(qū)域A4的設(shè)備回收部18上的IC設(shè)備90被輸送并載置于上述回收用托盤19以及空的托盤200中的任意一個(gè)。由此，IC設(shè)備90按照每個(gè)檢查結(jié)果進(jìn)行回收并分類。
[0098]設(shè)備輸送頭20被支承為能夠在回收區(qū)域A4內(nèi)移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭20能夠?qū)C設(shè)備90從設(shè)備回收部18輸送至回收用托盤19、空的托盤200。
[0099]托盤輸送機(jī)構(gòu)21是使從托盤除去區(qū)域A5搬入的空的托盤200在回收區(qū)域A4內(nèi)朝向X方向輸送的機(jī)構(gòu)。而且，在該輸送后，空的托盤200被配置于回收IC設(shè)備90的位置、即可以是上述3個(gè)空的托盤200中的任意一個(gè)。像這樣在檢查裝置I中，在回收區(qū)域A4設(shè)置有托盤輸送機(jī)構(gòu)21，除此以外，在供給區(qū)域A2設(shè)置有托盤輸送機(jī)構(gòu)15。由此，例如與通過一個(gè)輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行空的托盤200的朝向X方向的輸送相比，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的IC設(shè)備90的輸送個(gè)數(shù))的提高。
[0100]此外，作為托盤輸送機(jī)構(gòu)15、21的結(jié)構(gòu)并沒有特別限定，例如，能夠列舉具有吸附托盤200的吸附部件、以及將該吸附部件支承為能夠沿X方向移動(dòng)的滾珠絲杠等支承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。
[0101]托盤除去區(qū)域A5是回收并除去排列有檢查完畢狀態(tài)的多個(gè)IC設(shè)備90的托盤200的去除材料部。在托盤除去區(qū)域A5，能夠?qū)盈B多個(gè)托盤200。
[0102]另外，以橫跨回收區(qū)域A4和托盤除去區(qū)域A5的方式，設(shè)置有一個(gè)一個(gè)地輸送托盤200的托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、22B。托盤輸送機(jī)構(gòu)22A是將載置有檢查完畢的IC設(shè)備90的托盤200從回收區(qū)域A4輸送至托盤除去區(qū)域A5的機(jī)構(gòu)。托盤輸送機(jī)構(gòu)22B是將用于回收IC設(shè)備90的空的托盤200從托盤除去區(qū)域A5輸送至回收區(qū)域A4的機(jī)構(gòu)。
[0103]控制部80例如具有驅(qū)動(dòng)控制部。驅(qū)動(dòng)控制部例如控制托盤輸送機(jī)構(gòu)IIA、IIB、溫度調(diào)整部12、設(shè)備輸送頭13、設(shè)備供給部14、托盤輸送機(jī)構(gòu)15、檢查部16、設(shè)備輸送頭17、設(shè)備回收部18、設(shè)備輸送頭20、托盤輸送機(jī)構(gòu)21、以及托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、22B各部的驅(qū)動(dòng)。
[0104]此外，上述測(cè)試器的檢查控制部例如基于未圖示的存儲(chǔ)器內(nèi)所存儲(chǔ)的程序，進(jìn)行被配置于檢查部16的IC設(shè)備90的電氣特性的檢查等。
[0105]在如以上那樣的檢查裝置I中，除了溫度調(diào)整部12、檢查部16以外，設(shè)備輸送頭13、設(shè)備供給部14、設(shè)備輸送頭17也能夠以對(duì)IC設(shè)備90進(jìn)行加熱或者冷卻的方式構(gòu)成。由此，能夠在輸送IC設(shè)備90期間，將溫度維持為恒定。而且，以下，針對(duì)對(duì)IC設(shè)備90進(jìn)行冷卻，例如在-60°C?-40°C的范圍內(nèi)的低溫環(huán)境下進(jìn)行檢查的情況進(jìn)行說明。
[0106]如圖1所示，檢查裝置I通過第一隔壁61劃分(分隔)托盤供給區(qū)域Al和供給區(qū)域A2之間，通過第二隔壁62劃分供給區(qū)域A2和檢查區(qū)域A3之間，通過第三隔壁63劃分檢查區(qū)域A3和回收區(qū)域A4之間，通過第四隔壁64劃分回收區(qū)域A4和托盤除去區(qū)域A5之間。另外，供給區(qū)域A2和回收區(qū)域A4之間也被第五隔壁65劃分。上述隔壁具有保持各區(qū)域的氣密性的功能。并且，檢查裝置I的最外層被罩覆蓋，該罩例如具有前蓋70、側(cè)蓋71以及72、后蓋73。
[0107]而且，供給區(qū)域A2為被第一隔壁61、第二隔壁62、第五隔壁65、側(cè)蓋71以及后蓋73劃分成的第一室Rl。向第一室Rl按照每個(gè)托盤200搬入未檢查狀態(tài)的多個(gè)IC設(shè)備90。
[0108]檢查區(qū)域A3為被第二隔壁62、第三隔壁63以及后蓋73劃分成的第二室R2。另外，在第二室R2，在比后蓋73靠?jī)?nèi)側(cè)配置有內(nèi)側(cè)隔壁66。
[0109]回收區(qū)域A4為被第三隔壁63、第四隔壁64、第五隔壁65、側(cè)蓋72以及后蓋73劃分成的第三室R3。從第二室R2向第三室R3搬入檢查結(jié)束的多個(gè)IC設(shè)備90。
[0110]如圖1所示，在側(cè)蓋71設(shè)置有第一門(左側(cè)第一門)711和第二門(左側(cè)第二門)712。通過打開第一門711、第二門712，例如能夠進(jìn)行在第一室Rl內(nèi)的例如維護(hù)、IC設(shè)備90中的阻塞的解除等(以下，將這些統(tǒng)稱為“作業(yè)”)。此外，第一門711和第二門712相互向相反方向開閉，為所謂的“左右對(duì)開的門”。另外，在進(jìn)行第一室Rl內(nèi)的作業(yè)時(shí)，該第一室Rl內(nèi)的設(shè)備輸送頭13等的可動(dòng)部停止。第一門711以及第二門712能夠通過汽缸740的動(dòng)作統(tǒng)一地鎖定和解鎖。
[0111]同樣地，在側(cè)蓋72設(shè)置有第一門(右側(cè)第一門)721和第二門(右側(cè)第二門)722。通過打開第一門721、第二門722，例如能夠進(jìn)行第三室R3內(nèi)的作業(yè)。此外，第一門721和第二門722也相互向相反方向開閉，為所謂的“左右對(duì)開的門”。另外，在進(jìn)行第三室R3內(nèi)的作業(yè)時(shí)，該第三室R3內(nèi)的設(shè)備輸送頭20等的可動(dòng)部停止。第一門721以及第二門722能夠通過汽缸745的動(dòng)作統(tǒng)一地鎖定和解鎖。
[0112]另外，在后蓋73也設(shè)置有第一門(背面?zhèn)鹊谝婚T)731、第二門(背面?zhèn)鹊诙T)732以及第三門(背面?zhèn)鹊谌T)733。通過打開第一門731，例如能夠進(jìn)行第一室Rl內(nèi)的作業(yè)。通過打開第三門733，例如能夠進(jìn)行第三室R3內(nèi)的作業(yè)。并且，在內(nèi)側(cè)隔壁66設(shè)置有第四門75。而且，通過打開第二門732以及第四門75，例如能夠進(jìn)行第二室R2內(nèi)的作業(yè)。此外，第一門731、第二門732以及第四門75向相同的方向開閉，第三門733向與上述門相反方向開閉。另夕卜，在進(jìn)行第二室R2內(nèi)的作業(yè)時(shí)，該第二室R2內(nèi)的設(shè)備輸送頭17等的可動(dòng)部停止。第一門731能夠通過汽缸741的動(dòng)作鎖定和解鎖，第二門732能夠通過汽缸742的動(dòng)作鎖定和解鎖，第三門733能夠通過汽缸744的動(dòng)作鎖定和解鎖，第四門75能夠通過汽缸743的動(dòng)作鎖定和解鎖。
[0113]而且，通過關(guān)閉各門，能夠確保對(duì)應(yīng)的各室內(nèi)的氣密性、隔熱性。
[0114]如上所述，在檢查裝置I中，為了對(duì)IC設(shè)備90例如在-60°C?-40°C的范圍內(nèi)的低溫環(huán)境下進(jìn)行檢查，以能夠?qū)C設(shè)備90進(jìn)行冷卻的方式構(gòu)成溫度調(diào)整部12、設(shè)備輸送頭13、設(shè)備供給部14、設(shè)備輸送頭17、檢查部16。而且，即使在它們之中，也是進(jìn)行檢查的檢查區(qū)域A3的設(shè)備輸送頭17上的溫度管理相對(duì)重要。以下，對(duì)設(shè)備輸送頭17進(jìn)行說明。
[0115]如圖2?圖4所示，設(shè)備輸送頭17具有頭單元171以及冷卻單元(冷卻用構(gòu)造體)172。
[0116]如圖3所示，頭單元171具有16個(gè)頭3、以及統(tǒng)一地支承上述頭3的支承體173。
[0117]支承體173是從上側(cè)支承16個(gè)頭3的板部件。
[0118]16個(gè)頭3在本實(shí)施方式中被配置成在Y方向?yàn)?行、在X方向?yàn)?列的矩陣狀(參照?qǐng)D3)，分別依次標(biāo)注有“頭I”?“頭16”的編號(hào)(參照?qǐng)D7、圖8)。由于這些頭3除了配置位置不同以外是大致相同的結(jié)構(gòu)，所以以下對(duì)一個(gè)頭3代表性地進(jìn)行說明。
[0119]如圖7、圖8所示，頭3是與IC設(shè)備90抵接的抵接部件。該頭3具有抵接部31、導(dǎo)熱模塊32、冷卻模塊33、外殼34、Pt傳感器35、以及加熱器36。
[0120]抵接部31具有位于下方的前端模塊部311、以及被設(shè)置于前端模塊部311的上部的凸緣部312。該抵接部31例如由鋁等金屬材料構(gòu)成。
[0121]前端模塊部311是從IC設(shè)備90的上方與IC設(shè)備90上表面901抵接的部分。在該前端模塊部311內(nèi)置有作為檢測(cè)抵接部31的溫度的溫度檢測(cè)部的Pt傳感器35。而且，能夠?qū)⒂蒔t傳感器35檢測(cè)出的溫度視為與前端模塊部311抵接的IC設(shè)備90的溫度。
[0122]此外，如圖9所示，Pt傳感器35與控制部80電連接，將檢測(cè)出溫度時(shí)的檢測(cè)結(jié)果發(fā)送至控制部80。由于該P(yáng)t傳感器35是按照每個(gè)頭3各設(shè)置有一個(gè)，所以在圖9所示的結(jié)構(gòu)中，Pt傳感器35共計(jì)16個(gè)。
[0123]凸緣部312是以自由拆裝的方式被安裝于外殼34的部分。由此，能夠按照IC設(shè)備90的種類對(duì)抵接部31進(jìn)行更換。
[0124]在外殼34中收納有導(dǎo)熱模塊32以及冷卻模塊33。
[0125]導(dǎo)熱模塊32被固定于外殼34，與抵接部31的凸緣部312抵接。該導(dǎo)熱模塊32例如由鋁等金屬材料構(gòu)成。另外，在導(dǎo)熱模塊32中內(nèi)置有加熱器36。由此，能夠?qū)⒂杉訜崞?6產(chǎn)生的熱經(jīng)由導(dǎo)熱模塊32、抵接部31傳遞至IC設(shè)備90，也能夠進(jìn)行對(duì)該IC設(shè)備90的加熱。
[0126]在導(dǎo)熱模塊32的上方配置有由與導(dǎo)熱模塊32相同的材料構(gòu)成的冷卻模塊33。冷卻模塊33具有供來自冷卻單元172的制冷劑RF通過的流路331。
[0127]該冷卻模塊33能夠在外殼34內(nèi)沿上下方向滑動(dòng)。另外，冷卻模塊33被施力部件(未圖示)朝向上方施力。由此，冷卻模塊33可以采取與導(dǎo)熱模塊32分離的狀態(tài)(參照?qǐng)D7)和抵抗施力部件的作用力與導(dǎo)熱模塊32抵接的狀態(tài)(參照?qǐng)D8)。而且，通過流路331充滿制冷劑RF的冷卻模塊33在規(guī)定的時(shí)機(jī)與導(dǎo)熱模塊32抵接，能夠經(jīng)由抵接部31、導(dǎo)熱模塊32吸收IC設(shè)備90的熱。通過該吸熱，能夠?qū)C設(shè)備90進(jìn)行冷卻。此外，在冷卻時(shí)加熱器36停止。
[0128]在比冷卻模塊33靠上方通過冷卻模塊33和外殼34劃分成空間341?？臻g341經(jīng)由配管23與栗24連通。通過該栗24動(dòng)作，能夠供給動(dòng)作流體WF而使空間341內(nèi)成為加壓狀態(tài)，因此，冷卻模塊33能夠抵抗施力部件的作用力而與導(dǎo)熱模塊32抵接。
[0129]另外，在配管23，在空間341與栗24之間設(shè)置有閥25。由此，能夠切換向空間341內(nèi)的動(dòng)作流體WF的供給和該供給的停止。
[0130]如圖9所示，閥25與控制部80電連接。而且，控制部80基于Pt傳感器35的檢測(cè)結(jié)果，在應(yīng)對(duì)IC設(shè)備90進(jìn)行冷卻時(shí)將閥25設(shè)為開狀態(tài)，向空間341內(nèi)供給動(dòng)作流體WF，在停止IC設(shè)備90的冷卻時(shí)將閥25設(shè)為閉狀態(tài)，停止動(dòng)作流體WF的供給。此外，由于與各頭3對(duì)應(yīng)地一對(duì)一地設(shè)置有閥25，所以在圖9所示的結(jié)構(gòu)中，共計(jì)有16個(gè)。
[0131]通過設(shè)置有多個(gè)(在本實(shí)施方式中是16個(gè))如以上那樣的結(jié)構(gòu)的頭3，能夠?qū)⒍鄠€(gè)IC設(shè)備90統(tǒng)一地按壓于檢查部16，因此，能夠容易地進(jìn)行迅速的檢查。
[0132]如圖2所示，冷卻單元172具有流路部件4、16根供給用撓性管5A、16根回收用撓性管5B、供給用接頭37、以及回收用接頭38。
[0133]如圖2、圖3所示，在鉛垂上方觀察時(shí)(俯視)，流路部件4是包圍頭單元171(頭3)的“O”字形的框體。由此，能夠?qū)︻^單元171的各頭3，以盡可能最短距離經(jīng)由供給用撓性管5A以及回收用撓性管5B連接該頭3和流路部件4。
[0134]此外，在本實(shí)施方式中，流路部件4的從其鉛垂上方觀察時(shí)的外形形狀大致呈長(zhǎng)方形，具有沿著X方向延伸的長(zhǎng)邊41以及長(zhǎng)邊43、以及沿著Y方向延伸的短邊42以及短邊44。
[0135]而且，如圖5所示，在流路部件4形成有(包含有)作為向各頭3供給制冷劑RF的供給流路1A的一部分的第一供給流路47、以及作為從各頭3回收制冷劑RF的回收流路1B的一部分的第一回收流路48。
[0136]第一供給流路47以流路部件4的長(zhǎng)邊41側(cè)作為起點(diǎn)471，在從該起點(diǎn)471依次沿著長(zhǎng)邊41、短邊42、長(zhǎng)邊43時(shí)，在短邊44側(cè)成為終點(diǎn)472。制冷劑RF從起點(diǎn)471側(cè)朝向終點(diǎn)472側(cè)流下。
[0137]另外，第一供給流路47在起點(diǎn)471與供給用接頭37連接。而且，該供給用接頭37經(jīng)由配管26與制冷劑源28連接。制冷劑源28作為向第一供給流路47供給制冷劑RF的制冷劑供給部發(fā)揮作用。此外，作為制冷劑RF并沒有特別限定，例如，能夠使用如氟化液等的液體。
[0138]另一方面，第一回收流路48以流路部件4的長(zhǎng)邊41側(cè)作為起點(diǎn)481，在從該起點(diǎn)481依次沿著長(zhǎng)邊41、短邊42、長(zhǎng)邊43、短邊44時(shí)，在長(zhǎng)邊41側(cè)成為終點(diǎn)482。制冷劑RF從起點(diǎn)481側(cè)朝向終點(diǎn)482側(cè)流下。
[0139]另外，第一回收流路48在終點(diǎn)482與回收用接頭38連接。而且，該回收用接頭38經(jīng)由配管27與制冷劑源28連接。制冷劑源28也作為從回收用接頭38回收制冷劑RF的制冷劑回收部發(fā)揮作用。
[0140]此外，供給用接頭37、回收用接頭38為所謂的“彎頭型”的接頭。
[0141]如圖5所示，第一供給流路47被配置于比第一回收流路48靠外側(cè)。另外，如圖6所示，第一供給流路47被配置于比第一回收流路48靠上側(cè)。因此，圖5是水平剖視圖，但第一供給流路47的水平剖面和第一回收流路48的水平剖面并不是相同的水平剖面，為向鉛垂方向偏移的水平ItlJ面。
[0142]而且，通過第一供給流路47和第一回收流路48成為這樣的配置，能夠在形成第一供給流路47時(shí)。能夠?qū)﹂L(zhǎng)邊41、短邊42、長(zhǎng)邊43、短邊44各邊，例如使用鉆孔器形成相互連通的直線狀的孔，在形成第一回收流路48時(shí)，對(duì)長(zhǎng)邊41、短邊42、長(zhǎng)邊43、短邊44各邊，例如使用鉆孔器形成相互連通的直線狀的孔。在形成各孔后，通過用塞子49密封該孔的開口部，而得到第一供給流路47以及第一回收流路48。
[0143]由于16根供給用撓性管5A和16根回收用撓性管5B除了配置位置不同以外是相同的結(jié)構(gòu)，所以以下，以與一個(gè)頭3連接的I根供給用撓性管5A和I根回收用撓性管5B為代表進(jìn)行說明。
[0144]如圖5所示，供給用撓性管5A其一端部為供給流路連接部51A，與第一供給流路47的中途連接，另一端部為頭側(cè)流路連接部52A，與頭3的流路331的入口連接。由此，供給用撓性管5A的中空部(內(nèi)腔部)成為從第一供給流路47分支并朝向一個(gè)頭3的流路331的第二供給流路53A。該第二供給流路53A與第一供給流路47—起構(gòu)成供給流路10A。由此，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)向頭3供給制冷劑RF。
[0145]回收用撓性管5B其一端部為回收流路連接部51B，與第一回收流路48的中途連接，另一端部為頭側(cè)流路連接部52B，與頭3的流路331的出口連接。由此，回收用撓性管5B的中空部(內(nèi)腔部)成為從第一回收流路48分支并朝向一個(gè)頭3的流路331的第二回收流路53B。該第二回收流路53B與第一回收流路48—起構(gòu)成回收流路10B。由此，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)從頭3回收制冷劑RF。
[0146]而且，通過具有如以上那樣的結(jié)構(gòu)的供給流路1A以及回收流路10B，能夠使制冷劑RF循環(huán)，并且不會(huì)使該制冷劑RF過量或不足、即不浪費(fèi)地供給至各頭3。由此，供給流路1A中的冷卻響應(yīng)性優(yōu)異，因此，能夠高效地進(jìn)行IC設(shè)備90的冷卻。
[0147]另外，由于供給用撓性管5A以及回收用撓性管5B分別是具有撓性的管，所以敷設(shè)變得容易。由此，如圖4所示，能夠?qū)⒐┙o用撓性管5A以及回收用撓性管5B分別盡可能配管(配置)于比流路部件4靠?jī)?nèi)側(cè)。通過這樣的配管，限制供給用撓性管5A以及回收用撓性管5B比流路部件4向外側(cè)變形突出。由此，即使設(shè)備輸送頭17在檢查區(qū)域A3內(nèi)移動(dòng)，也能夠防止供給用撓性管5A、回收用撓性管5B剮到其周邊的其它構(gòu)造體(以下僅稱為“其它構(gòu)造體”)。
[0148]如圖2所示，供給用撓性管5A的供給流路連接部51A被配置于流路部件4的鉛垂上表面45，回收用撓性管5B的回收流路連接部51B也被配置于流路部件4的鉛垂上表面45。另外，如圖4所示，在供給用撓性管5A，形成有被配置于比流路部件4靠鉛垂上方，并彎曲成發(fā)夾狀的彎曲部54A，在回收用撓性管5B，也形成有被配置于比流路部件4靠鉛垂上方，并彎曲成發(fā)夾狀的彎曲部54B。通過這樣的配管，能夠使供給用撓性管5A以及回收用撓性管5B偏向、即靠近相對(duì)較少地配置有其它構(gòu)造體的一側(cè)。
[0149]如圖5所示，供給流路連接部51A和回收流路連接部51B被交錯(cuò)配置。由此，能夠使與X方向鄰接的供給用撓性管5A以及回收用撓性管5B彼此在X方向緊湊、即縮小間隔地配置，因此，有助于設(shè)備輸送頭17的小型化。
[0150]此外，在本實(shí)施方式中，優(yōu)選供給流路連接部51A以及回收流路連接部51B通過釬焊與流路部件4連接。
[0151]另外，優(yōu)選頭側(cè)流路連接部52A以及頭側(cè)流路連接部52B通過釬焊與頭3連接。由此，能夠防止頭側(cè)流路連接部52A以及頭側(cè)流路連接部52B意外地從頭3脫離、即防止頭側(cè)流路連接部52A以及頭側(cè)流路連接部52B的連接被意外地解除。
[0152]第二實(shí)施方式
[0153]圖10是本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第二實(shí)施方式)所具備的檢查區(qū)域中的設(shè)備輸送頭的一部分的鉛垂剖視圖。
[0154]以下，參照該圖對(duì)本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明，以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說明，對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說明。
[0155]本實(shí)施方式除了供給流路連接部以及回收流路連接部的結(jié)構(gòu)(連接方式)不同以外，其他與上述第一實(shí)施方式相同。
[0156]如圖1O所示，在本實(shí)施方式中，供給流路連接部51A(或者回收流路連接部5IB)具有中繼模塊55，該中繼模塊55通過釬焊連接有供給用撓性管5A(或者回收用撓性管5B)。
[0157]另外，中繼模塊55具有多個(gè)(在圖10所示的結(jié)構(gòu)中是2個(gè))沉孔551。另一方面，在流路部件4，在與各沉孔551對(duì)應(yīng)的位置，形成有螺紋孔46。而且，能夠使螺栓(內(nèi)六角螺栓)56插通各沉孔551，并使該螺栓56與螺紋孔46旋合。由此，能夠通過螺紋固定連接中繼模塊55。
[0158]通過以上那樣的結(jié)構(gòu)，在更換供給用撓性管5A時(shí)，只要松動(dòng)螺栓56，就能夠?qū)γ總€(gè)中繼模塊55進(jìn)行更換，因此，更換作業(yè)變得容易。
[0159]以上，對(duì)將本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置圖示的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，構(gòu)成電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的各部能夠置換為可以發(fā)揮相同的作用的任意的結(jié)構(gòu)。另外，也可以附加任意的結(jié)構(gòu)物。
[0160]另外，本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置也可以是組合了上述各實(shí)施方式中的任意2個(gè)以上的結(jié)構(gòu)(特征)的裝置。
[0161]另外，頭單元所具有的頭的個(gè)數(shù)在上述各實(shí)施方式中是16個(gè)，當(dāng)然并不限定于此。
[0162]另外，流路部件在上述各實(shí)施方式中是“O”字形的框體，但并不局限于此，也可以是“U”字形的框體。
[0163]另外，第一供給流路在上述實(shí)施方式中被配置于比第一回收流路靠外側(cè)，但并不局限于此，也可以被配置于比第一回收流路靠?jī)?nèi)側(cè)。
[0164]另外，第一供給流路在上述實(shí)施方式中被配置于比第一回收流路靠上側(cè)，但并不局限于此，也可以被配置于比第一回收流路靠下側(cè)。
[0165]附圖標(biāo)記說明
[0166]卜_檢查裝置(電子部件檢查裝置)；1(^-供給流路;1(^-回收流路；114、1處-托盤輸送機(jī)構(gòu)；12...溫度調(diào)整部(浸泡板)；13…設(shè)備輸送頭；14...設(shè)備供給部(供給滑梭)；15...托盤輸送機(jī)構(gòu)(第一輸送裝置)；16…檢查部；17...設(shè)備輸送頭；171…頭單元；172…冷卻單元(冷卻用構(gòu)造體)；173...支承體；18...設(shè)備回收部(回收滑梭)；19…回收用托盤;2(l...設(shè)備輸送頭;21…托盤輸送機(jī)構(gòu)(第一輸送裝置)；22A、22B...托盤輸送機(jī)構(gòu);23…配管;24...栗;25…閥；26、27…配管;28...制冷劑源;3…頭;3l...抵接部;311…前端模塊部;312…凸緣部;32...導(dǎo)熱模塊;33...冷卻模塊;33l...流路;34...外殼;34l...空間；35."Pt傳感器;36…加熱器;37…供給用接頭；38…回收用接頭；4…流路部件；41…長(zhǎng)邊;42...短邊；43…長(zhǎng)邊；44...短邊;45...鉛垂上表面;46...螺紋孔;47...第一供給流路;47l...起點(diǎn)；472...終點(diǎn);48...第一回收流路;48 l...起點(diǎn)；482…終點(diǎn)；49…塞子;5A...供給用撓性管;51A…供給流路連接部;52A.??頭側(cè)流路連接部;53A.??第二供給流路;54A.??彎曲部;5B..?回收用撓性管;5IB…回收流路連接部；52B..?頭側(cè)流路連接部;53B…第二回收流路;54B…彎曲部；55…中繼模塊；551…沉孔;56...螺栓(內(nèi)六角螺栓)；61...第一隔壁;62...第二隔壁;63...第三隔壁;64...第四隔壁;65...第五隔壁;66...內(nèi)側(cè)隔壁；70...前蓋；71...側(cè)蓋；711...第一門；712...第二門；72...側(cè)蓋;721…第一門；722…第二門；73...后蓋;731…第一門；732…第二門；733…第三門；740、741、742、743、744、745…汽缸；75...第四門;80…控制部；90...IC設(shè)備；901…上表面;200...托盤(配置部件);Al...托盤供給區(qū)域;A2...設(shè)備供給區(qū)域(供給區(qū)域);A3…檢查區(qū)域;A4...設(shè)備回收區(qū)域(回收區(qū)域);Α5.._托盤除去區(qū)域;Rl...第一室;R2...第二室;R3...第三室;RF…制冷劑;WF…動(dòng)作流體ο
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電子部件輸送裝置，其特征在于，具備: 抵接部件，其包含與電子部件抵接的抵接部； 供給流路，其對(duì)上述抵接部件供給制冷劑；以及 回收流路，其從上述抵接部件回收上述制冷劑。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述抵接部件被設(shè)置有多個(gè)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述供給流路具有與制冷劑供給部連接的第一供給流路以及從上述第一供給流路分支為多個(gè)的第二供給流路。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述回收流路具有與制冷劑回收部連接的第一回收流路以及從上述第一回收流路分支為多個(gè)的第二回收流路。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 具有流路部件，該流路部件包含上述第一供給流路和上述第一回收流路。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 在俯視時(shí)上述流路部件包圍上述抵接部件。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述第一供給流路被配置于上述第一回收流路的內(nèi)側(cè)或外側(cè)的任意一方。8.根據(jù)權(quán)利要求4?7中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述第二供給流路以及上述第二回收流路是具有撓性的管。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 具有流路部件，該流路部件包含上述第一供給流路和上述第一回收流路， 上述管具有彎曲部，上述彎曲部被配置于上述流路部件的鉛垂上方。10.根據(jù)權(quán)利要求4?9中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 具有流路部件，該流路部件包含上述第一供給流路和上述第一回收流路，在俯視時(shí)包圍上述抵接部件， 上述第二供給流路以及上述第二回收流路被分別配置于比上述流路部件靠?jī)?nèi)側(cè)。11.根據(jù)權(quán)利要求4?10中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 連接了上述第一供給流路和上述第二供給流路的供給流路連接部、與連接了上述第一回收流路和上述第二回收流路的回收流路連接部被交錯(cuò)配置。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 具有流路部件，該流路部件包含上述第一供給流路和上述第一回收流路， 上述供給流路連接部和上述回收流路連接部被配置于上述流路部件的鉛垂上表面。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述供給流路連接部和上述回收流路連接部包含中繼模塊，并被釬焊于上述中繼模塊。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述中繼模塊通過螺紋固定與上述流路部件連接。15.根據(jù)權(quán)利要求4?14中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 與上述第二供給流路的上述抵接部件的連接以及與上述第二回收流路的上述抵接部件的連接是通過釬焊進(jìn)行的。16.根據(jù)權(quán)利要求1?15中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 具有流路部件，該流路部件包含上述供給流路以及上述回收流路。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述流路部件呈框體狀。18.一種電子部件檢查裝置，其特征在于，具備: 抵接部件，其包含與電子部件抵接的抵接部； 供給流路，其對(duì)上述抵接部件供給制冷劑； 回收流路，其從上述抵接部件回收上述制冷劑；以及 檢查部，其檢查上述電子部件。
【文檔編號(hào)】G01R31/00GK105929262SQ201610048422
【公開日】2016年9月7日
【申請(qǐng)日】2016年1月25日
【發(fā)明人】高田冬生, 中村敏
【申請(qǐng)人】精工愛普生株式會(huì)社