一種光學系統(tǒng)立式裝檢裝置及裝檢方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光學系統(tǒng)立式裝檢裝置及裝檢方法，屬于精密光學應用技術(shù)領(lǐng)域，該裝檢裝置包括調(diào)整轉(zhuǎn)臺及在調(diào)整轉(zhuǎn)臺上自下至上依次設(shè)置的3個調(diào)整支架；調(diào)整轉(zhuǎn)臺用于放置被裝檢零件，3個調(diào)整支架安裝在一固定安裝架上，自下至上分別為補償鏡調(diào)整支架、干涉儀調(diào)整支架和自準平面鏡調(diào)整支架；3個調(diào)整支架均包括豎向?qū)к壓蜋M向?qū)к?，所述豎向?qū)к壟c固定安裝架固連，橫向?qū)к壞軌蜓刎Q向?qū)к壣舷禄瑒?；本發(fā)明能夠避免由于重力原因引起的面形問題，裝檢光路可自由組合調(diào)節(jié)，可滿足不同光學系統(tǒng)的檢測需求。
【專利說明】
一種光學系統(tǒng)立式裝檢裝置及裝檢方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于精密光學應用技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種光學系統(tǒng)立式裝檢裝置及裝檢方法，可應用于精密光學應用技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著我國科學技術(shù)的發(fā)展，大口徑光學系統(tǒng)在天文光學、空間遙感光學和空間地基目標探測與識別等領(lǐng)域都有越來越廣泛的應用。大口徑光學系統(tǒng)在設(shè)計過程中，為了滿足其高剛度，高強度，輕量化的要求，一般采用特殊的材料、結(jié)構(gòu)來減小鏡子自身應力變形，以及采用合理的支撐、配合結(jié)構(gòu)減小鏡組系統(tǒng)的應力變形，提高光軸一致性。同時，應用于空間光學的大口徑光學系統(tǒng)對光學裝檢亦有著嚴格的要求，微小的光軸一致性誤差和鏡子的應力變形都將嚴重影響光學產(chǎn)品最終質(zhì)量。
[0003]目前，普遍采用臥式裝檢方法，如圖1所示為常用臥式檢測光路圖，裝檢的重點是保證檢測光路的光軸一致性。如果鏡組的實際使用狀態(tài)并非水平，或者應用在無重力環(huán)境中時，這種裝檢方法的缺陷顯而易見，即由于鏡子自身重力引起軸孔配合間隙以及應力、變形沿鏡面徑向的不均勻，從而影響光學系統(tǒng)的光軸一致性和鏡面面形，導致光學產(chǎn)品的成像缺陷，尤其對大口徑光學系統(tǒng)影響更為明顯。
[0004]如圖2中(a)，(b)，(C)所示為主鏡常用支撐方式示意圖，這三種支撐方式均由于主鏡重力引起面形缺陷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了避免或減小由于主鏡重力引起的面形缺陷，本發(fā)明提供一種光學系統(tǒng)立式裝檢裝置及裝檢方法。
[0006]為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明給出以下技術(shù)方案:
[0007]—種光學系統(tǒng)立式裝檢裝置，其特殊之處在于:包括調(diào)整轉(zhuǎn)臺及在調(diào)整轉(zhuǎn)臺上自下至上依次設(shè)置的3個調(diào)整支架;調(diào)整轉(zhuǎn)臺用于放置被裝檢零件，3個調(diào)整支架安裝在一固定安裝架上，自下至上分別為補償鏡調(diào)整支架、干涉儀調(diào)整支架和自準平面鏡調(diào)整支架；
[0008]3個調(diào)整支架均包括豎向?qū)к壓蜋M向?qū)к?，所述豎向?qū)к壟c固定安裝架固連，橫向?qū)к壞軌蜓刎Q向?qū)к壣舷禄瑒樱?br>[0009]所述補償鏡調(diào)整支架還包括補償鏡;所述補償鏡設(shè)置在相應的橫向?qū)к壣?，能夠沿橫向?qū)к壸笥一瑒樱?br>[0010]所述干涉儀調(diào)整支架還包括激光干涉儀;所述激光干涉儀設(shè)置在相應的橫向?qū)к壣希軌蜓貦M向?qū)к壸笥一瑒樱?br>[0011 ]所述自準平面鏡調(diào)整支架還包括自準平面鏡;所述自準平面鏡設(shè)置在相應的橫向?qū)к壣?，能夠沿橫向?qū)к壸笥一瑒印?br>[0012]上述豎向?qū)к壊捎脻L珠絲杠，橫向?qū)к壨ㄟ^管型連接部套接在滾珠絲杠上，3個調(diào)整支架的豎向?qū)к壏謩e由3個電機驅(qū)動。
[0013]上述滾珠絲杠有兩個，橫向?qū)к壍膬啥朔謩e通過管型連接部套接在滾珠絲杠上。
[0014]上述橫向?qū)к壊捎脻L珠絲杠，3個調(diào)整支架的橫向?qū)к壏謩e由3個電機驅(qū)動。
[0015]上述電機是伺服電機。
[0016]上述調(diào)整轉(zhuǎn)臺和固定安裝架均設(shè)置在緩沖墊上。
[0017]上述緩沖墊是隔振墊鐵。
[0018]上述調(diào)整轉(zhuǎn)臺是五維轉(zhuǎn)臺。
[0019]利用上述光學系統(tǒng)立式裝檢裝置進行裝檢的方法，其特殊之處在于:包括以下步驟，
[0020]I)將調(diào)整轉(zhuǎn)臺的垂直軸系調(diào)節(jié)豎直，作為裝檢光軸中心線；
[0021]2)將被裝檢零件固定在調(diào)整轉(zhuǎn)臺的載物臺上，使被裝檢零件的光軸與裝檢光軸中心線重合；
[0022]3)調(diào)整補償鏡和激光干涉儀位置，查看被裝檢零件面形，若面形滿足要求，則進行下一步;若面形不滿足要求，根據(jù)面形反饋結(jié)果，調(diào)整激光干涉儀的位置和/或被裝檢零件，使面形滿足要求，則進行下一步；
[0023]4)在保證被裝檢零件的光軸與裝檢光軸中心線重合的前提下，對被裝檢零件進行裝配，完成裝檢工作。
[0024]其中，
[0025]步驟2)是通過以下方式實現(xiàn)的:
[0026]旋轉(zhuǎn)調(diào)整轉(zhuǎn)臺，被裝檢零件將隨著調(diào)整轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動，在被裝檢零件轉(zhuǎn)動過程中對被裝檢零件進行成像，觀察成像點的運動軌跡，如果運動軌跡不滿足要求，則繼續(xù)調(diào)節(jié)調(diào)整轉(zhuǎn)臺，直到運動軌跡滿足要求，此時，被裝檢零件的光軸與裝檢光軸中心線重合；
[0027]其中，被裝檢零件是光學系統(tǒng)或光學單鏡。
[0028]本發(fā)明具有以下技術(shù)效果:
[0029]①采用立式裝檢方法，該裝置及方法簡單可行，避免現(xiàn)有裝檢技術(shù)中由于重力原因引起的面形問題，裝檢光路可自由組合調(diào)節(jié)，可滿足不同光學系統(tǒng)的檢測需求；
[0030]②精密五維轉(zhuǎn)臺可實現(xiàn)光學產(chǎn)品的多維度調(diào)整，有利于光軸一致性快速精確調(diào)
-K-
T ；
[0031]③電動LM滾動導軌二維組合伺服控制可實現(xiàn)精確定位及調(diào)整，從而保證裝檢過程的穩(wěn)定性及易用性；
【附圖說明】
[0032]圖1為臥式檢測光路圖；
[0033]圖2為主鏡支撐方式示意圖；
[0034]其中，圖2(a)為主鏡支撐方式示意圖一，圖2(b)為主鏡支撐方式示意圖二，圖2(c)為主鏡支撐方式示意圖三，這三種支撐方式均由于主鏡重力引起面形缺陷；
[0035]圖3為立式檢測光路(一)；
[0036]圖4為五維轉(zhuǎn)臺外形主視圖；
[0037]圖5為五維轉(zhuǎn)臺剖視主視圖；
[0038]圖6為五維轉(zhuǎn)臺俯視圖；
[0039]圖7為圖4中A-A剖視圖；
[0040]圖8為圖4中B-B剖視圖(即微調(diào)組件的結(jié)構(gòu)示意圖)；
[0041 ]圖9為五維轉(zhuǎn)臺俯仰及鎖緊原理方位圖；
[0042]圖10為五維轉(zhuǎn)臺平移及鎖緊原理方位圖；
[0043]圖11為五維轉(zhuǎn)臺三維軸側(cè)視圖；
[0044]圖12為五維轉(zhuǎn)臺三維剖視圖；
[0045]圖中標號:111-調(diào)整轉(zhuǎn)臺；211-固定安裝架;311-補償鏡調(diào)整支架;411-干涉儀調(diào)整支架;511-自準平面鏡調(diào)整支架;611-自準平面鏡;711-激光干涉儀;811-補償鏡;911-被裝檢單鏡;101-被裝檢鏡組；
[0046]丨一妨。平面反射鏡、2一調(diào)平支撐底座、3 一箱體、4 一方為固定軸、5 一推力球軸承、6 —方位旋轉(zhuǎn)軸、7 —第一角接觸球軸承、8 —軸承定距環(huán)、10—力矩電機、11 一軸承壓蓋、13—支撐臺、14 一第一平移導軌安裝盤、15 —軌道、16—第二平移導軌安裝盤、17—軸承座、18—第二軸承、19 一俯仰軸、20—過渡架、21—載物臺、22—螺紋桿、23—調(diào)整螺母、24—第一俯仰調(diào)節(jié)球鉸、25 —第二俯仰調(diào)節(jié)球鉸、26—第一齒輪、27-第二齒輪、28—軸承箱體、29 —蝸輪、30 —蝸桿、31 —偏心軸套、32—連接法蘭、33—蝸桿軸、34—驅(qū)動電機。
【具體實施方式】
[0047]如圖3所示，本發(fā)明包括調(diào)整轉(zhuǎn)臺111，調(diào)整轉(zhuǎn)臺用于放置被裝檢零件;調(diào)整轉(zhuǎn)臺上自下至上依次設(shè)置3個調(diào)整支架;3個調(diào)整支架安裝在一固定安裝架211上，自下至上分別為補償鏡調(diào)整支架311、干涉儀調(diào)整支架411和自準平面鏡調(diào)整支架；固定安裝架是由型鋼焊接而成的具有較高強度及剛度的桁架結(jié)構(gòu)；
[0048]3個調(diào)整支架均包括豎向?qū)к壓蜋M向?qū)к?，豎向?qū)к壟c固定安裝架固連，橫向?qū)к壞軌蜓刎Q向?qū)к壣舷禄瑒樱?br>[0049]補償鏡調(diào)整支架還包括補償鏡811;補償鏡設(shè)置在橫向?qū)к壣?，能夠沿橫向?qū)к壸笥一瑒樱?br>[0050]干涉儀調(diào)整支架還包括激光干涉儀;激光干涉儀711設(shè)置在橫向?qū)к壣?，能夠沿橫向?qū)к壸笥一瑒樱?br>[0051 ]自準平面鏡調(diào)整支架還包括自準平面鏡611;所述自準平面鏡設(shè)置在橫向?qū)к壣希軌蜓貦M向?qū)к壸笥一瑒印?br>[0052]豎向?qū)к壊捎脻L珠絲杠，橫向?qū)к壨ㄟ^管型連接部套接在滾珠絲杠上，3個調(diào)整支架的豎向?qū)к壏謩e由3個電機驅(qū)動;滾珠絲杠可設(shè)置兩個，橫向?qū)к壍膬啥朔謩e通過管型連接部套接在滾珠絲杠上；
[0053]橫向?qū)к壱部刹捎脻L珠絲杠，3個調(diào)整支架的橫向?qū)к壏謩e由3個電機驅(qū)動；電機是伺服電機。
[0054]通過伺服電機驅(qū)動豎向?qū)к壓蜋M向?qū)к?，以實現(xiàn)補償鏡和激光干涉儀沿X，Y兩個方向的調(diào)節(jié)；
[0055]可將調(diào)整轉(zhuǎn)臺和固定安裝架均設(shè)置在緩沖墊上。緩沖墊可采用隔振墊鐵。以調(diào)整轉(zhuǎn)臺采用五維轉(zhuǎn)臺為例說明本發(fā)明，五維轉(zhuǎn)臺包括垂直軸系、平移組件、俯仰組件和微調(diào)組件;垂直軸系包括包括45°平面反射鏡1、調(diào)平支撐底座2、力矩電機10、軸承壓蓋11、支撐臺13、箱體3和設(shè)置在箱體內(nèi)的方位固定軸4、推力球軸承5、方位旋轉(zhuǎn)軸6、第一角接觸球軸承
7、軸承定距環(huán)8;
[0056]所述箱體底部設(shè)有通孔，箱體和45°平面反射鏡均固定在調(diào)平支撐底座上;45°平面反射鏡位于箱體底部的通孔內(nèi)；箱體的側(cè)壁設(shè)有兩個通孔，這兩個通孔相對，這兩個通孔的中心軸線穿過所述45°平面反射鏡；
[0057]所述方位固定軸呈管狀，方位固定軸設(shè)置在箱體底部，方位固定軸的中心軸線與箱體底部通孔的中心軸線重合;方位旋轉(zhuǎn)軸呈管狀，套接在方位固定軸上，第一角接觸球軸承為一對，這一對角接觸球軸承背對背安裝于方位固定軸和方位旋轉(zhuǎn)軸之間，這一對角接觸球軸承的內(nèi)徑與方位固定軸配合連接、外徑與方位旋轉(zhuǎn)軸配合連接，這一對角接觸球軸承之間內(nèi)、外圈分別由軸承定距環(huán)支撐連接;方位固定軸和方位旋轉(zhuǎn)軸上均設(shè)有止口凸臺，五維轉(zhuǎn)臺的一對角接觸球軸承中，位于底部的角接觸球軸承的內(nèi)、外徑沿軸向分別由方位固定軸和方位旋轉(zhuǎn)軸的止口凸臺支撐連接;這一對角接觸球軸承中，位于上面的角接觸球軸承的內(nèi)、外徑由軸承壓蓋壓緊;軸承壓蓋與方位旋轉(zhuǎn)軸和/或方位固定軸通過螺釘固定連接；
[0058]推力球軸承是單向推力球軸承，套接在方位旋轉(zhuǎn)軸上;推力球軸承包括上徑環(huán)和下徑環(huán)，下徑環(huán)的外徑大于上徑環(huán)的外徑，下徑環(huán)與箱體底部接觸；
[0059]力矩電機裝于方位旋轉(zhuǎn)軸與箱體之間，力矩電機用于驅(qū)動方位旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn);支撐臺水平固定于方位旋轉(zhuǎn)軸上，支撐臺的中心設(shè)有通孔，該通孔的中心軸線與箱體底部通孔的中心軸線重合。
[0060]平移組件包括第一平移導軌安裝盤14和第二平移導軌安裝盤16;第一平移導軌安裝盤和第二平移導軌安裝盤自下至上依次安裝在支撐臺上，第一平移導軌安裝盤和第二平移導軌安裝盤上均設(shè)有通孔，這兩個通孔的中心軸線均與箱體底部通孔的中心軸線重合；
[0061]第二平移導軌安裝盤位于第一平移導軌安裝盤上面，第二平移導軌安裝盤能夠在第一平移導軌安裝盤上滑動，滑動的路線為十字形。
[0062]俯仰組件包括過渡架20、載物臺21、軸承座17和固定在軸承座上的第二軸承18;
[0063]所述俯仰軸有4個，4個俯仰軸在過渡架上沿圓周方向均勻布置，俯仰軸包括豎向段和橫向段;豎向段與過渡架固連，所述第二軸承套接在橫向段，所述軸承座有4個，這4個軸承座中，相對的兩個軸承座固定于第二平移導軌安裝盤的上表面，另外相對的兩個軸承座固定于載物臺的下表面;兩組相對的兩個軸承座連線構(gòu)成的十字與第二平移導軌安裝盤在第一平移導軌安裝盤上滑動的路線重合。
[0064]五維轉(zhuǎn)臺還包括微調(diào)組件，微調(diào)組件包括第一齒輪26、第二齒輪27、軸承箱體28、蝸輪29、蝸桿30、偏心軸套31、蝸桿軸33和驅(qū)動電機34;
[0065]第一齒輪、第二齒輪、軸承箱體和蝸輪均位于箱體內(nèi)；第一齒輪與第二齒輪嚙合，第一齒輪通過螺釘與方位旋轉(zhuǎn)軸固定連接，第二齒輪與蝸輪均固定在軸承箱上，軸承箱內(nèi)安裝有定位軸承，軸承箱固定在箱體內(nèi)壁；
[0066]驅(qū)動電機位于所述箱體外部，驅(qū)動電機輸出軸與蝸桿軸的一端固定連接，蝸桿軸的另一端與蝸桿連接，偏心軸套套接在蝸桿軸的中間段，通過調(diào)節(jié)偏心軸套沿水平方向的偏心量，實現(xiàn)調(diào)整蝸桿蝸輪之間的距離，即微調(diào)功能的使用與禁用;偏心軸套上設(shè)有連接法蘭，連接法蘭通過螺釘固定安裝于箱體外壁;通過偏心套筒實現(xiàn)蝸輪與蝸桿的嚙合與分離，在蝸輪與蝸桿嚙合的情況下，驅(qū)動電機帶動蝸桿旋轉(zhuǎn)，蝸桿旋轉(zhuǎn)帶動蝸輪旋轉(zhuǎn)，進而帶動第二齒輪旋轉(zhuǎn)，第二齒輪帶動第一齒輪旋轉(zhuǎn)，進而帶動方位旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)了五維轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動。
[0067]俯仰組件還包括螺紋桿22、調(diào)整螺母23、第一俯仰調(diào)節(jié)球鉸24和第二俯仰調(diào)節(jié)球鉸25，過渡架上設(shè)有4個沿圓周均布的通孔，通孔靠近所述軸承座，所述螺紋桿有4個，每個螺紋桿穿過一個通孔;所述調(diào)整螺母設(shè)置在螺紋桿的上下兩端；
[0068]通孔上下兩端的過渡架上均設(shè)有凹槽，兩個凹槽內(nèi)分別對稱裝入第一俯仰調(diào)節(jié)球鉸和第二俯仰調(diào)節(jié)球鉸，第一俯仰調(diào)節(jié)球鉸的凹面和第二俯仰調(diào)節(jié)球鉸的凸面配合裝配；
[0069]固定于第二平移導軌安裝盤上表面的軸承座為第一軸承座，固定于載物臺下表面的軸承座為第二軸承座；
[0070]靠近第一軸承座的螺紋桿固定于載物臺的下表面，靠近第二軸承座的螺紋桿固定于第二平移導軌安裝盤的上表面。通過調(diào)節(jié)螺母位置實現(xiàn)載物臺的俯仰調(diào)節(jié)。
[0071]所述第一平移導軌安裝盤固定于支撐臺上，第一平移導軌安裝盤上表面安裝有第一軌道，第一軌道呈十字形，第一軌道的中心位于第一平移導軌安裝盤的中心處，第二平移導軌安裝盤下表面安裝有第二軌道，第二軌道呈十字形，第二軌道的中心位于第二平移導軌安裝盤的中心處，第一軌道和第二軌道通過滾動導軌滑塊連接，第一軌道和第二軌道的端頭處均設(shè)置有定位鎖緊裝置。
[0072]第二軸承可采用角接觸球軸承、條心球軸承或滾球軸承;方位固定軸、方位旋轉(zhuǎn)軸、支撐臺、過渡架和/或載物臺設(shè)置有減重孔。
[0073]所述箱體內(nèi)壁設(shè)有第一凸臺法蘭，方位旋轉(zhuǎn)軸外壁設(shè)有第二凸臺法蘭，力矩電機包括定環(huán)和動環(huán)，所述定環(huán)與第一凸臺法蘭通過螺釘固定連接，動環(huán)與第二凸臺法蘭通過螺釘固定連接。
[0074]五維轉(zhuǎn)臺臺面可實現(xiàn)沿Y軸旋轉(zhuǎn)，同時可沿X，Z軸平移，以及繞X，Z軸俯仰的調(diào)節(jié)。
[0075]利用本發(fā)明的光學系統(tǒng)立式裝檢裝置進行裝檢的方法(如圖3):圖3中的被裝檢零件為單鏡;具體裝檢步驟為:
[0076]1.調(diào)整隔振墊鐵，將五維轉(zhuǎn)臺垂直軸系調(diào)節(jié)豎直，作為裝檢光軸中心線；
[0077]2.將被裝檢單鏡用螺栓固定在調(diào)整轉(zhuǎn)臺的載物臺上，使被裝檢單鏡的光軸與裝檢光軸中心線重合，具體如下:旋轉(zhuǎn)調(diào)整轉(zhuǎn)臺，被裝檢單鏡將隨著調(diào)整轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動，在被裝檢單鏡轉(zhuǎn)動過程中對被裝檢零件進行成像，觀察成像點的運動軌跡，如果運動軌跡不滿足要求，則繼續(xù)調(diào)節(jié)五維轉(zhuǎn)臺，通過五維轉(zhuǎn)臺沿Χ，γ方向的平移調(diào)節(jié)和俯仰調(diào)節(jié)，直到運動軌跡滿足要求，此時，被裝檢單鏡的光軸與裝檢光軸中心線重合；
[0078]3.根據(jù)光學檢測光路調(diào)整補償鏡和激光干涉儀位置，完成裝檢光路，查看被裝檢單鏡面形，若面形滿足要求，則進行下一步;若面形不滿足要求，根據(jù)面形反饋結(jié)果，調(diào)整激光干涉儀的位置和/或被裝檢零件，使面形滿足要求，則進行下一步；
[0079]4.在保證光軸一致性的前提下，即被裝檢零件的光軸與裝檢光軸中心線重合的前提下，對被裝檢零件進行裝配完成裝檢工作。
【主權(quán)項】
1.一種光學系統(tǒng)立式裝檢裝置，其特征在于:包括調(diào)整轉(zhuǎn)臺及在調(diào)整轉(zhuǎn)臺上自下至上依次設(shè)置的3個調(diào)整支架；調(diào)整轉(zhuǎn)臺用于放置被裝檢零件，3個調(diào)整支架安裝在一固定安裝架上，自下至上分別為補償鏡調(diào)整支架、干涉儀調(diào)整支架和自準平面鏡調(diào)整支架； 3個調(diào)整支架均包括豎向?qū)к壓蜋M向?qū)к墸鲐Q向?qū)к壟c固定安裝架固連，橫向?qū)к壞軌蜓刎Q向?qū)к壣舷禄瑒樱?所述補償鏡調(diào)整支架還包括補償鏡;所述補償鏡設(shè)置在橫向?qū)к壣希軌蜓貦M向?qū)к壸笥一瑒樱?所述干涉儀調(diào)整支架還包括激光干涉儀;所述激光干涉儀設(shè)置在橫向?qū)к壣?，能夠沿橫向?qū)к壸笥一瑒樱?所述自準平面鏡調(diào)整支架還包括自準平面鏡;所述自準平面鏡設(shè)置在橫向?qū)к壣?，能夠沿橫向?qū)к壸笥一瑒印?.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學系統(tǒng)立式裝檢裝置，其特征在于:所述豎向?qū)к壊捎脻L珠絲杠，橫向?qū)к壨ㄟ^管型連接部套接在滾珠絲杠上，3個調(diào)整支架的豎向?qū)к壏謩e由3個電機驅(qū)動。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學系統(tǒng)立式裝檢裝置，其特征在于:所述滾珠絲杠有兩個，橫向?qū)к壍膬啥朔謩e通過管型連接部套接在滾珠絲杠上。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學系統(tǒng)立式裝檢裝置，其特征在于:所述橫向?qū)к壊捎脻L珠絲杠，3個調(diào)整支架的橫向?qū)к壏謩e由3個電機驅(qū)動。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學系統(tǒng)立式裝檢裝置，其特征在于:所述電機是伺服電機。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學系統(tǒng)立式裝檢裝置，其特征在于:所述調(diào)整轉(zhuǎn)臺和固定安裝架均設(shè)置在緩沖墊上。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學系統(tǒng)立式裝檢裝置，其特征在于:所述緩沖墊是隔振墊鐵。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學系統(tǒng)立式裝檢裝置，其特征在于:所述調(diào)整轉(zhuǎn)臺是五維轉(zhuǎn)臺。9.利用權(quán)利要求1至8任一光學系統(tǒng)立式裝檢裝置進行裝檢的方法，其特征在于:包括以下步驟， 1)將調(diào)整轉(zhuǎn)臺的垂直軸系調(diào)節(jié)豎直，作為裝檢光軸中心線； 2)將被裝檢零件固定在調(diào)整轉(zhuǎn)臺的載物臺上，使被裝檢零件的光軸與裝檢光軸中心線重合； 3)調(diào)整補償鏡和激光干涉儀位置，查看被裝檢零件面形，若面形滿足要求，則進行下一步;若面形不滿足要求，根據(jù)面形反饋結(jié)果，調(diào)整激光干涉儀的位置和/或被裝檢零件，使面形滿足要求，則進行下一步； 4)在保證被裝檢零件的光軸與裝檢光軸中心線重合的前提下，對被裝檢零件進行裝配，完成裝檢工作。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于: 步驟2)是通過以下方式實現(xiàn)的: 旋轉(zhuǎn)調(diào)整轉(zhuǎn)臺，被裝檢零件將隨著調(diào)整轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動，在被裝檢零件轉(zhuǎn)動過程中對被裝檢零件進行成像，觀察成像點的運動軌跡，如果運動軌跡不滿足要求，則繼續(xù)調(diào)節(jié)調(diào)整轉(zhuǎn)臺，直到運動軌跡滿足要求，此時，被裝檢零件的光軸與裝檢光軸中心線重合； 其中，被裝檢零件是光學系統(tǒng)或光學單鏡。
【文檔編號】G01B11/24GK105910552SQ201610322142
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年5月16日
【發(fā)明人】康曉鵬, 付興, 李華, 王鵬, 劉軍鵬
【申請人】中國科學院西安光學精密機械研究所