用于平板表面質(zhì)量的檢測(cè)方法與系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及應(yīng)用于光學(xué)表面形貌測(cè)量領(lǐng)域與光學(xué)表面檢測(cè)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]平板表面質(zhì)量問題主要包括平板表面的劃痕、瑕疵等，劃痕或瑕疵小、位置不固定等情況，是檢測(cè)上的難題。目前的檢測(cè)手段主要依靠人工，效率低下；亦有自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備，但大都是通用設(shè)備，對(duì)平板表面質(zhì)量檢測(cè)的針對(duì)性不強(qiáng)。
[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)平板表面質(zhì)量檢測(cè)的技術(shù)難題，申請(qǐng)人進(jìn)行深入的研究，遂有本案產(chǎn)生。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種用于平板表面質(zhì)量的檢測(cè)方法與系統(tǒng)，其專門針對(duì)平板表面質(zhì)量檢測(cè)，極大地提高了針對(duì)平板表面質(zhì)量問題的檢測(cè)效率。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
[0006]用于平板表面質(zhì)量的檢測(cè)系統(tǒng)，包括沿光源發(fā)出光束的光路上依次設(shè)置的準(zhǔn)直透鏡、反射鏡、分光鏡和微透鏡陣列；待測(cè)平板對(duì)應(yīng)于微透鏡陣列的出射側(cè)設(shè)置，且待測(cè)平板在垂直于光軸的方向上做橫向往復(fù)移動(dòng)。
[0007]所述微透鏡陣列是一個(gè)由直徑幾百微米、焦距十幾至幾十微米的小透鏡構(gòu)成的陣列。
[0008]用于平板表面質(zhì)量的檢測(cè)方法，將光源發(fā)出的光束經(jīng)過準(zhǔn)直透鏡后照射在反射鏡表面，被反射后經(jīng)過分光鏡照射在微透鏡陣列表面，被微透鏡陣列色散、聚焦后形成色散光點(diǎn)陣列，并照射在待測(cè)平板表面；待測(cè)平板在垂直于光軸的方向上做橫向往復(fù)移動(dòng)，從而使色散光點(diǎn)陣列對(duì)待測(cè)平板表面進(jìn)行橫向掃描，在不對(duì)待測(cè)平板在光軸方向上做縱向掃描的前提下，獲得待測(cè)平板表面的幾何量信息以及檢測(cè)其表面的質(zhì)量情況。
[0009]采用上述方案后，與已有技術(shù)相比，本發(fā)明有益效果體現(xiàn)在:
[0010]將微透鏡陣列作為并行光色散器件，所產(chǎn)生的色散光點(diǎn)陣列可同時(shí)對(duì)待測(cè)平板表面上的多點(diǎn)進(jìn)行垂直于光軸方向的橫向掃描，在無需沿光軸方向做縱向掃描的前提下利用垂直于光軸方向上的運(yùn)動(dòng)獲得待測(cè)平板表面的三維信息，以及其表面的瑕疵、劃痕等質(zhì)量信息，極大地提高了針對(duì)平板表面質(zhì)量問題的檢測(cè)效率。
【附圖說明】
[0011]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]本發(fā)明用于平板表面形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，如圖1所示，包括沿光源I發(fā)出光束的光路上依次設(shè)置準(zhǔn)直透鏡2、反射鏡3、分光鏡4和微透鏡陣列5。
[0013]待測(cè)平板6對(duì)應(yīng)于微透鏡陣列5的出射側(cè)設(shè)置，且待測(cè)平板6在垂直于光軸的方向上做橫向往復(fù)移動(dòng)。
[0014]分光鏡4分出的光路上依次設(shè)置有光闌7和CCD攝像機(jī)8，光闌7起著阻擋雜散光的作用，CCD攝像機(jī)8用于收集來自于待測(cè)平板6表面的反射光，并轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行后續(xù)處理。
[0015]本發(fā)明用于平板表面形貌的檢測(cè)方法，通過如下方案實(shí)現(xiàn):
[0016]光源I發(fā)出的光束經(jīng)過準(zhǔn)直透鏡2后形成平行光，此平行光照射在反射鏡3的表面，被反射鏡3反射后經(jīng)過分光鏡4照射在微透鏡陣列5的表面，被微透鏡陣列5色散、聚焦后形成色散光點(diǎn)陣列51，并照射在待測(cè)平板6的待測(cè)表面；待測(cè)平板6的待測(cè)表面在垂直于光軸的方向上做橫向往復(fù)移動(dòng)，從而使色散光點(diǎn)陣列51對(duì)待測(cè)平板6的待測(cè)表面進(jìn)行橫向掃描，在不對(duì)待測(cè)平板6在光軸方向上做縱向掃描的前提下，獲得待測(cè)平板6表面的幾何量信息以及檢測(cè)其表面的質(zhì)量情況。
[0017]微透鏡陣列5采用公知的微透鏡陣列，其是一個(gè)由直徑幾百微米、焦距十幾至幾十微米的小透鏡構(gòu)成的陣列，這些小透鏡可對(duì)光束進(jìn)行沿光軸方向上的色散及聚焦；所述色散是光束通過透鏡后，不同波長(zhǎng)的光被聚焦在沿光軸方向的不同高度上。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.用于平板表面質(zhì)量的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于:包括沿光源發(fā)出光束的光路上依次設(shè)置的準(zhǔn)直透鏡、反射鏡、分光鏡和微透鏡陣列；待測(cè)平板對(duì)應(yīng)于微透鏡陣列的出射側(cè)設(shè)置，且待測(cè)平板在垂直于光軸的方向上做橫向往復(fù)移動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于平板表面質(zhì)量的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于:所述微透鏡陣列是一個(gè)由直徑幾百微米、焦距十幾至幾十微米的小透鏡構(gòu)成的陣列。3.用于平板表面質(zhì)量的檢測(cè)方法，其特征在于:將光源發(fā)出的光束經(jīng)過準(zhǔn)直透鏡后照射在反射鏡表面，被反射后經(jīng)過分光鏡照射在微透鏡陣列表面，被微透鏡陣列色散、聚焦后形成色散光點(diǎn)陣列，并照射在待測(cè)平板表面；待測(cè)平板在垂直于光軸的方向上做橫向往復(fù)移動(dòng)，從而使色散光點(diǎn)陣列對(duì)待測(cè)平板表面進(jìn)行橫向掃描，在不對(duì)待測(cè)平板在光軸方向上做縱向掃描的前提下，獲得待測(cè)平板表面的幾何量信息以及檢測(cè)其表面的質(zhì)量情況。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于平板表面質(zhì)量的檢測(cè)方法與系統(tǒng)，其系統(tǒng)包括沿光源發(fā)出光束的光路上依次設(shè)置的準(zhǔn)直透鏡、反射鏡、分光鏡和微透鏡陣列；待測(cè)平板對(duì)應(yīng)于微透鏡陣列的出射側(cè)設(shè)置，且待測(cè)平板在垂直于光軸的方向上做橫向往復(fù)移動(dòng)。本發(fā)明將微透鏡陣列作為并行光色散器件，所產(chǎn)生的色散光點(diǎn)陣列可同時(shí)對(duì)待測(cè)平板表面上的多點(diǎn)進(jìn)行垂直于光軸方向的橫向掃描，在無需沿光軸方向做縱向掃描的前提下利用垂直于光軸方向上的運(yùn)動(dòng)獲得待測(cè)平板表面的三維信息，以及其表面的瑕疵、劃痕等質(zhì)量信息，極大地提高了針對(duì)平板表面質(zhì)量問題的檢測(cè)效率。
【IPC分類】G01N21/88, G01B11/24
【公開號(hào)】CN105044117
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510500067
【發(fā)明人】余卿, 崔長(zhǎng)彩, 易定容, 章明, 孔令華, 葉瑞芳, 范偉, 王寅, 李煌, 張勇貞
【申請(qǐng)人】華僑大學(xué)
【公開日】2015年11月11日
【申請(qǐng)日】2015年8月14日