專利名稱：擴展式鑒相型容柵傳感器的制作方法
技術領域：
本實用新型屬鑒相型容柵傳感器(以下簡稱傳感器)。特別是直線位移的傳感器。
鑒相型容柵傳感器廣泛運用在電子數(shù)顯量具，諸如電子數(shù)顯卡尺、電子數(shù)顯表及電子數(shù)顯千分尺等產(chǎn)品上。其工作原理是通過主、副柵間的相對運動來采集位移信號，經(jīng)大規(guī)模集成電路進行數(shù)據(jù)處理后輸出數(shù)字信號，從而獲得主、副柵之間的相對運動距離。
傳統(tǒng)的反射式傳感器其副柵(2)的發(fā)射柵極板(1)均是連續(xù)排列的(附

圖1)，八路驅動信號從副柵(2)的背面通過金屬化孔傳到發(fā)射柵極板(1)上，這種導電方式極適用于大節(jié)距的傳感器，但對于小節(jié)距的傳感器，由于難于排列眾多的導電孔，只能用跳線方式或多層布線方式等較為復雜的工藝方法來導電。
本實用新型的目的是要提供一種擴展式的傳感器，它可以在小節(jié)距的傳感器上采用較簡單的金屬化孔的方式導電，從而提高工效，降低生產(chǎn)成本，并解決了由于跳線凸塊而無法在電子數(shù)顯卡尺上應用小節(jié)距傳感器的難題。
下面借助附圖2對本實用新型的實施方案作進一步的詳述。
圖2是擴展式傳感器工作狀態(tài)的示意圖。本實用新型的實質是將連續(xù)排列的發(fā)射極板擴展為按組分列，其特點在于1)各組發(fā)射極板(3)之間的組間間距等于主柵的一個節(jié)距或是主柵節(jié)距的整數(shù)倍。
2)各發(fā)射極板(3)在偶合區(qū)域外按一定規(guī)律擴散并與相應的導電孔相連。
3)各組發(fā)射極板(3)之間采取屏蔽措施，屏蔽極板(4)與發(fā)射極板(3)之間的間距a等于相鄰發(fā)射極板(3)之間的間距b。
4)本實用新型的主要運動方式是直線運動方式，但也可以擴展應用于回轉運動方式。
5)本實用新型主要適用于各類電子數(shù)顯量具和量儀，也可以用于一些需要測量或控制相對直線位移或相對角位移的裝置或產(chǎn)品。
本實用新型的優(yōu)點在于1)可以將制作成本較低的金屬化孔導電方式代替成本較高的跳線導電方式或多層布線導電方式用于節(jié)距較小的傳感器上。
2)因為取代了跳線凸塊，因而可以在電子數(shù)顯卡尺上采用小節(jié)距傳感器，從而提高電子數(shù)顯卡尺的示值準確度。
權利要求1.擴展式容柵傳感器(以下簡稱傳感器)，特別是直線運動型式的傳感器，其副柵(5)上的發(fā)射極板(3)按組分列，組間間距等于主柵的一個節(jié)距或是主柵節(jié)距的整數(shù)倍。
2.根據(jù)權利要求1所述的傳感器，其發(fā)射極板(3)在偶合區(qū)域外按一定規(guī)律擴散，并與相應的導電孔相連。
3.根據(jù)權利要求1所述的傳感器，其發(fā)射極板(3)與屏蔽極板(4)之間的間距(a)等于相鄰發(fā)射極板(3)之間的間距(b)。
專利摘要一種擴展式鑒相型容柵傳感器,特別是直線運動型式的傳感器,其副柵(5)上的發(fā)射極板(3)由傳統(tǒng)的連續(xù)排列擴展為按組分列,組間間距等于主柵的一個節(jié)距或是節(jié)距的整數(shù)倍,各發(fā)射極板(3)在偶合區(qū)域外按一定規(guī)律擴散并與相應的導電孔相連。各組發(fā)射極板(3)之間采取屏蔽措施,屏蔽極板(4)與發(fā)射極板(3)之間的間距a等于相鄰發(fā)射極板(3)之間的間距b。本實用新型可以在小節(jié)距的傳感器上采用金屬化孔的方式導電,它特別適用于直線運動方式,也適用于回轉運動方式。
文檔編號G01R27/26GK2378714SQ9824513
公開日2000年5月17日 申請日期1998年10月13日 優(yōu)先權日1998年10月13日
發(fā)明者周鐵 申請人:桂林市精達數(shù)字產(chǎn)品有限責任公司