本發(fā)明涉及一種傳感器組件，并且更具體地，涉及一種包括具有膜片(diaphragm)的傳感器的傳感器組件。

背景技術(shù)：

1、壓力傳感器通常具有殼體和附接到殼體的膜片。油設(shè)置在殼體的通道內(nèi)，并且感測管芯在殼體中設(shè)置在油內(nèi)。當(dāng)外部壓力施加到膜片時(shí)，膜片偏轉(zhuǎn)，將外部壓力傳遞到管芯周圍的油，這將相同的外部壓力賦予管芯。管芯根據(jù)外部壓力偏轉(zhuǎn)以產(chǎn)生表示外部壓力的電信號。

2、隨著膜片的尺寸增加，膜片變得剛性較小，并且可以吸收由于溫度變化引起的油體積的增加，而內(nèi)部壓力的變化較小；大膜片用于在低壓范圍應(yīng)用中需要更好性能的傳感器中。然而，這些壓力傳感器的現(xiàn)代應(yīng)用，例如在質(zhì)量流量控制器中，需要薄的傳感器厚度，以便減小分組在一起的一個(gè)或多個(gè)傳感器的總體占用面積。因此，在低壓范圍應(yīng)用中的具有膜片的壓力傳感器由于對由傳感器的最大允許厚度決定的最大膜片尺寸的限制而遭受降低的性能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、傳感器組件包括傳感器和連接到傳感器的適配器。該傳感器包括具有端口和腔的殼體、設(shè)置在端口中并封閉腔的膜片、以及設(shè)置在腔中的管芯。膜片在第一平面中延伸。適配器具有連接到殼體的基部部段和從基部部段延伸的端部部段。端部部段具有在垂直于第一平面的第二平面中延伸的配合面。適配器具有延伸穿過適配器的適配器通道，該適配器通道將配合面連接到殼體的端口。

技術(shù)特征：

1.一種傳感器組件(1)，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器組件(1)，其中，所述殼體(100)具有主體(110)，所述主體(110)具有第一面(112)和與所述第一面(112)相反的第二面(114)，所述端口(150)從所述第一面(112)延伸。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器組件(1)，其中，所述基部部段(32)具有連接到所述殼體(100)的所述端口(150)的內(nèi)表面(34)和背離所述殼體(100)的外表面(36)，所述適配器通道(40)延伸到所述內(nèi)表面(34)中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳感器組件(1)，其中，所述適配器通道(40)具有從所述內(nèi)表面(34)平行于所述第二平面(p2)沿第一方向延伸的第一部分(42)和從所述第一部分(42)延伸到所述配合面(52)的第二部分(44)，所述第二部分(44)垂直于所述第一部分(42)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳感器組件(1)，其中，所述基部部段(32)具有室(37)，所述室(37)延伸到所述內(nèi)表面(34)中并面向所述膜片(200)，所述適配器通道(40)終止于所述室(37)中。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器組件(1)，其中，所述配合面(52)具有延伸到所述配合面(52)中的凹部(54)，所述適配器通道(40)終止于所述配合面(52)的所述凹部(54)中。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器組件(1)，還包括設(shè)置在所述凹部(54)中的適配器密封件(60)，所述適配器密封件(60)是彈性體材料或金屬材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器組件(1)，還包括設(shè)置在所述傳感器(10)和所述適配器(30)之間的主體密封件(20)，所述主體密封件(20)在所述膜片(200)的與所述腔(160)相反的一側(cè)上設(shè)置在所述端口(150)中。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳感器組件(1)，其中，所述主體密封件(20)通過焊接部(29)連接到所述殼體(100)和所述適配器(30)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳感器組件(1)，其中，所述主體密封件(20)具有中央通道(28)，所述中央通道(28)延伸穿過所述主體密封件(20)并將所述適配器通道(40)與所述端口(150)連接。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器組件(1)，其中，所述傳感器組件(1)在平行于所述第二平面(p2)的方向上的組件厚度(t)小于在平行于所述第一平面(p1)的方向上的組件高度(h)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器組件(1)，其中，所述管芯(300)具有膜(302)，所述膜(302)能夠根據(jù)所述腔(160)中的壓力而偏轉(zhuǎn)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的傳感器組件(1)，其中，所述端口(150)是第一端口(152)，所述腔(160)是第一腔(162)，并且所述膜片(200)是所述傳感器(10)的第一膜片(202)，所述傳感器(10)包括第二端口(154)、第二腔(164)和設(shè)置在所述第二端口(154)中并封閉所述第二腔(164)的第二膜片(204)，所述膜(302)能夠根據(jù)所述第一腔(162)中的第一壓力(p1)與所述第二腔(164)中的第二壓力(p2)之間的壓差而偏轉(zhuǎn)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的傳感器組件(1)，其中，所述殼體(100)具有連接所述第一端口(152)和所述第二端口(154)的層流通道(146)，并且還包括設(shè)置在所述層流通道(146)中的層流元件(62)。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器組件(1)，還包括加熱元件(90)和溫度傳感器(80)，所述加熱元件(90)設(shè)置在所述適配器(30)的端部部段(50)與所述殼體(100)之間，所述溫度傳感器(80)測量所述端口(150)中的流體介質(zhì)的溫度。

技術(shù)總結(jié)
一種傳感器組件(1)，包括傳感器(10)和適配器(30)。傳感器(10)包括具有端口(150)和腔(160)的殼體(100)、設(shè)置在端口(150)中并封閉腔(160)的膜片(200)和設(shè)置在腔(160)中的管芯(300)。膜片(200)在第一平面(P1)中延伸。適配器(30)具有連接到殼體(100)的基部(32)和從基部(32)延伸的端部部段(50)。端部部段(50)具有配合面(52)，配合面(52)在垂直于第一平面(P1)的第二平面(P2)中延伸。適配器(30)具有延伸穿過適配器(30)的適配器通道(40)，適配器通道(40)將配合面(52)連接到殼體(100)的端口(150)。

技術(shù)研發(fā)人員：D·E·瓦格納,V·王,C·阮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：泰科電子連接解決方案有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/17