一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開的一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，包括：反應(yīng)室的進(jìn)液口和出液口通過一第一循環(huán)管道相連通，且第一循環(huán)管道上按反應(yīng)室溶液流出到流入的順序依次設(shè)置有第一水泵、三通閥、第一過濾器；該系統(tǒng)還包括，單向管道、氣動(dòng)閥、樣品容器、開關(guān)控制器以及一溶液監(jiān)測(cè)器；單向管道一端通過三通閥與第一循環(huán)管道相連通，另一端與樣品容器相連通；氣動(dòng)閥設(shè)置于單向管道上，樣品容器通過開關(guān)控制器控制氣動(dòng)閥的開啟與關(guān)閉狀態(tài)，以調(diào)節(jié)樣品容器中溶液的液位；通過該系統(tǒng)可以快速地發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體制備工藝出現(xiàn)的銅陽極反應(yīng)室溶液中滲漏進(jìn)有機(jī)添加劑的問題，進(jìn)而能夠及時(shí)地解決問題，節(jié)約了生產(chǎn)成本。
【專利說明】一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】中對(duì)器件的精度以及純度都有嚴(yán)格的要求，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，越來越多的設(shè)備的都應(yīng)用到大規(guī)模的半導(dǎo)體器件的制備工藝中，因此維持半導(dǎo)體器件的精度、純度成為現(xiàn)在技術(shù)中一個(gè)非常重要的環(huán)節(jié)。
[0003]在半導(dǎo)體的電鍍工藝中，如圖1所示，獨(dú)立的銅陽極反應(yīng)室2里所包含各種化學(xué)離子成分，比如，H+、Cu2+、S042-、Cl-，并不含有任何的有機(jī)添加劑，但是電鍍室I中除銅陽極反應(yīng)室2中的溶液之外的其它電鍍室內(nèi)的溶液是含有機(jī)添加劑的，并且銅陽極反應(yīng)室2對(duì)有機(jī)添加劑僅的隔離是通過一層單透膜3來完成。此外，在半導(dǎo)體器件的制備過程中，由于存在某種原因使電鍍室內(nèi)的溶液滲漏到銅陽極反應(yīng)室內(nèi)，會(huì)使生產(chǎn)出來的晶圓因達(dá)不到生產(chǎn)的要求而報(bào)廢，從而造成了資源和能源的浪費(fèi)。因銅陽極反應(yīng)室的溶液在循環(huán)回路中會(huì)與電鍍室內(nèi)的溶液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生某些化學(xué)物質(zhì)，該化學(xué)物質(zhì)將不能逃脫過濾器的的過濾，這樣會(huì)導(dǎo)致過濾器的顏色由原來的藍(lán)色變成黑色，并且測(cè)機(jī)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)制圖將會(huì)顯示出RS與TH有非常明顯的偏離基準(zhǔn)線的現(xiàn)象。因此工程師可以根據(jù)上述的兩種現(xiàn)象來判斷有機(jī)添加劑是否滲漏到銅陽極反應(yīng)室中，進(jìn)而判斷是否繼續(xù)進(jìn)行后續(xù)的晶圓生產(chǎn)工藝，以保持晶圓達(dá)到生產(chǎn)的要求。但是由于循環(huán)回路中的過濾器變黑是一個(gè)漸變過程，并非短時(shí)間內(nèi)能夠顯現(xiàn)出來，而且測(cè)機(jī)系統(tǒng)每24小時(shí)進(jìn)行一個(gè)實(shí)驗(yàn)，所以若發(fā)生滲漏現(xiàn)象，我們并不能從上述兩個(gè)現(xiàn)象中實(shí)現(xiàn)快速地發(fā)現(xiàn)問題，可能會(huì)導(dǎo)致大批晶圓產(chǎn)品在制備工藝中出現(xiàn)異常。
[0004]中國(guó)專利(CN101663736A)公開了一化學(xué)制劑流體處理系統(tǒng)，限定為提供若干化學(xué)制劑至混合歧管的若干流體輸入；該化學(xué)制劑流體處理系統(tǒng)包括若干流體再循環(huán)回路，用于獨(dú)立預(yù)處理和控制該多個(gè)化學(xué)制劑每個(gè)的供應(yīng)；該流體再循環(huán)回路每個(gè)限定為除氣、加熱和過濾該多個(gè)化學(xué)制劑成分的具體一個(gè)；該混合歧管限定為混合該多個(gè)化學(xué)制劑以形成該無電鍍?nèi)芤?；該混合歧管包括連接到供應(yīng)管線的流體輸出；該供應(yīng)管線連接以將該無電鍍?nèi)芤汗?yīng)至無電鍍室內(nèi)的溶槽。
[0005]上述專利公開的一化學(xué)制劑流體處理系統(tǒng)，通過一無電鍍工藝來完成對(duì)半導(dǎo)體器件的制作，從而避免了因電鍍室內(nèi)溶液中的有機(jī)離子滲漏到銅電極反應(yīng)室而造成后續(xù)工藝中晶圓質(zhì)量下降的問題，但是現(xiàn)有技術(shù)中，電鍍室內(nèi)溶液中有機(jī)離子的電鍍生產(chǎn)出來的晶圓要遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于無電鍍工藝，因此需要設(shè)計(jì)可以測(cè)量有機(jī)離子的系統(tǒng)后才可以提高晶圓的質(zhì)量。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]針對(duì)上述存在的問題，本實(shí)用新型公開了一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中由于單透膜損壞等原因造成電鍍室內(nèi)的溶液滲漏到銅陽極反應(yīng)室內(nèi)，導(dǎo)致生產(chǎn)出來的晶圓因達(dá)不到工藝需求而報(bào)廢，進(jìn)而造成資源和能源的浪費(fèi)等問題。
[0007]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采取如下具體技術(shù)方案:
[0008]一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，所述反應(yīng)室的進(jìn)液口和出液口通過一第一循環(huán)管道相連通，且該第一循環(huán)管道上按所述反應(yīng)室溶液流出到流入的順序依次設(shè)置有第一水泵、三通閥、第一過濾器；所述系統(tǒng)還包括，單向管道、氣動(dòng)閥、樣品容器、開關(guān)控制器以及一溶液監(jiān)測(cè)器；
[0009]所述單向管道一端通過所述三通閥與所述第一循環(huán)管道相連通，另一端與所述樣品容器相連通；
[0010]所述氣動(dòng)閥設(shè)置于所述單向管道上，所述樣品容器通過所述開關(guān)控制器控制所述氣動(dòng)閥的開啟與關(guān)閉狀態(tài)，以調(diào)節(jié)所述樣品容器中溶液的液位；
[0011]所述溶液監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)所述樣品容器中溶液的成分。
[0012]上述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其中，所述反應(yīng)室為銅陽極反應(yīng)室，所述銅陽極反應(yīng)室中的溶液為硫酸銅溶液。
[0013]上述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)還包括一溶液注入裝置，所述溶液注入裝置向所述第一循環(huán)管道注入與所述銅陽極反應(yīng)室中相同濃度的硫酸銅溶液。
[0014]上述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其中，所述第一循環(huán)管道上還設(shè)有一第一流量計(jì)，用于監(jiān)測(cè)所述第一循環(huán)管道中溶液的流量。
[0015]上述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其中，所述單向管道為一長(zhǎng)6m的1/8’孔徑的聚乙烯管。
[0016]上述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其中，所述樣品容器的容積為10mlo
[0017]上述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其中，所述樣品容器的側(cè)壁上還設(shè)置有一液面位置傳感器，通過所述液面位置傳感器偵測(cè)到的樣品容器中溶液的液位來調(diào)節(jié)氣動(dòng)閥的開啟和關(guān)閉狀態(tài)，以使得所述樣品容器中的溶液的液位處于預(yù)定的范圍。
[0018]上述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其中，所述銅陽極反應(yīng)室位于一電鍍室內(nèi)，且所述電鍍室的進(jìn)液口和出液口通過一第二循環(huán)管道連通，且所述第二循環(huán)管道按照所述電鍍室溶液流出到流入的順序依次設(shè)置有第二水泵、第二流量計(jì)、第二過濾器。
[0019]上述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其中，所述銅陽極反應(yīng)室中的溶液與所述電鍍室中的溶液之間通過單透膜隔離。
[0020]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:
[0021]本實(shí)用新型公開的一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，通過在銅陽極反應(yīng)室的循環(huán)回路中設(shè)置一與該循環(huán)回路連通的單向管道，并在該單向管道上設(shè)置氣動(dòng)閥、開關(guān)控制器、樣品容器以及監(jiān)測(cè)該樣品容器內(nèi)溶液成分的溶液監(jiān)測(cè)器，使得該溶液監(jiān)測(cè)器可以隨時(shí)監(jiān)測(cè)銅陽極反應(yīng)室中溶液的成分，從而可以及時(shí)地發(fā)現(xiàn)并解決反應(yīng)室中的漏液情況，進(jìn)而使后續(xù)工藝中生產(chǎn)出來的晶圓能夠達(dá)到生產(chǎn)的要求，從而節(jié)約了資源和能源，并降低了工藝制造的成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]參考所附附圖，以更加充分的描述本實(shí)用新型的實(shí)施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型范圍的限制。
[0023]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中銅陽極反應(yīng)室與電鍍室的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例中的樣品容器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例中的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例中對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)監(jiān)測(cè)到的溶液濃度參數(shù)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明，但是不作為本實(shí)用新型的限定。
[0028]一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其中該反應(yīng)室的進(jìn)液口和出液口通過一第一循環(huán)管道相連通，且該第一循環(huán)管道上按該反應(yīng)室溶液流出到流入的順序依次設(shè)置有第一水泵(cell pump)、三通閥、第一過濾器；該系統(tǒng)還包括，單向管道、氣動(dòng)閥、樣品容器、開關(guān)控制器以及一溶液監(jiān)測(cè)器；
[0029]該單向管道一端通過該三通閥與該第一循環(huán)管道相連通，另一端與該樣品容器相連通；
[0030]該氣動(dòng)閥設(shè)置于該單向管道上，該樣品容器通過開關(guān)控制器控制該氣動(dòng)閥的開啟與關(guān)閉狀態(tài)，以調(diào)節(jié)樣品容器中溶液的液位；
[0031]該溶液監(jiān)測(cè)器可以監(jiān)測(cè)樣品容器中溶液的成分。
[0032]在半導(dǎo)體器件的制備工藝中，為了實(shí)現(xiàn)制備的過程中快速地發(fā)現(xiàn)制備工藝問題，防止大批晶圓產(chǎn)品在制備工藝中出現(xiàn)異常，需要設(shè)計(jì)一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)來解決這類問題。
[0033]如圖3所示:本實(shí)施例涉及一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一設(shè)置于電鍍室I內(nèi)的銅陽極反應(yīng)室2，該銅陽極反應(yīng)室2的進(jìn)液口和出液口通過一第一循環(huán)管道6相連通，在該第一循環(huán)管道6上按該反應(yīng)室溶液流出到流入的順序依次設(shè)有第一水泵(即水泵I)、一三通閥、一第一過濾器(Fiter)，即圖3中的過濾器I和一第一流量計(jì)(cell flow sensor),即圖3中的流量計(jì)I, 一單向管道8—端通過上述三通閥與第一循環(huán)管道6相連通，另一端與樣品容器相連通；一氣動(dòng)閥設(shè)置于單向管道8上，此外，該樣品容器的側(cè)壁上設(shè)置的液面位置傳感器(圖中未示出)與一開關(guān)控制器電連接，上述開關(guān)控制器分別與該氣動(dòng)閥和一用于檢測(cè)樣品容器中的溶液成分的溶液監(jiān)測(cè)器電連接，上述樣品容器通過開關(guān)控制器控制上述氣動(dòng)閥的開啟與關(guān)閉狀態(tài)，以調(diào)節(jié)樣品容器中溶液的液位。
[0034]在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，上述電鍍室I中的溶液與銅陽極反應(yīng)室2中的溶液通過單透膜3隔離。上述第一水泵(即水泵I)為銅陽極反應(yīng)室2內(nèi)的溶液在該第一循環(huán)管道6中的循環(huán)流動(dòng)提供動(dòng)力，且銅陽極反應(yīng)室2的溶液經(jīng)第一循環(huán)管道6后由第一過濾器(即過濾器I)過濾，從而起到過濾銅陽極反應(yīng)室2的溶液雜質(zhì)的效果，另外，該第一流量計(jì)(流量計(jì)I)可以隨時(shí)監(jiān)測(cè)所述第一循環(huán)管道中溶液的流量。
[0035]上述銅陽極反應(yīng)室2中的溶液為硫酸銅溶液。
[0036]如圖2所示，通過設(shè)置在該樣品容器的側(cè)壁上的液面位置傳感器偵測(cè)到的樣品容器中溶液的液位來調(diào)節(jié)氣動(dòng)閥的開啟和關(guān)閉狀態(tài)，以使得樣品容器中的溶液的液位處于低位4和高位5之間的位置，便于溶液監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)該溶液的成分。
[0037]優(yōu)選的，上述的樣品容器的容積為100ml。
[0038]優(yōu)選的，上述單向管道8的長(zhǎng)度可以根據(jù)溶液監(jiān)測(cè)器與三通閥之間的距離具體設(shè)定，在本實(shí)施例中，該單向管道8為一 6m長(zhǎng)的1/8’孔徑的聚乙烯管。
[0039]此外，上述系統(tǒng)的工作原理為:銅陽極反應(yīng)室2內(nèi)的溶液通過第一循環(huán)管道6輸送至樣品容器中，當(dāng)樣品容器中的液面到達(dá)高位時(shí)，液面位置傳感器就會(huì)發(fā)出反饋信號(hào)通過信號(hào)電路輸送到開關(guān)控制器，此時(shí)開關(guān)控制器發(fā)出指令關(guān)閉氣動(dòng)閥，避免銅陽極反應(yīng)室2中的溶液繼續(xù)輸送，并同時(shí)傳遞信號(hào)給溶液監(jiān)測(cè)器開始量測(cè)或者繼續(xù)當(dāng)前量測(cè)樣品容器中的溶液成分；當(dāng)樣品容器中的液面到達(dá)低位時(shí)，液面位置傳感器會(huì)發(fā)出反饋信號(hào)通過信號(hào)電路輸送到開關(guān)控制器，此時(shí)開關(guān)控制器發(fā)出指令打開氣動(dòng)閥，在樣品容器中繼續(xù)注入銅陽極反應(yīng)室2內(nèi)的溶液，直到樣品容器中的溶液液面到達(dá)高位時(shí)停止注入，以達(dá)到自動(dòng)控制、檢測(cè)的效果。
[0040]在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，該第一水泵(即水泵I)與銅陽極反應(yīng)室2的出液口之間的第一循環(huán)管道6上還連通有注入管道9，一溶液注入裝置通過該注入管道9向第一循環(huán)管道6注入新鮮硫酸銅溶液溶液，即該注入管道9可根據(jù)具體需求通過第一循環(huán)管道6向銅陽極反應(yīng)室內(nèi)注入新鮮硫酸銅溶液溶液，且該溶液注入裝置注入的溶液為與銅陽極反應(yīng)室2中的硫酸銅溶液濃度相同的硫酸銅溶液。
[0041]優(yōu)選的，上述的溶液監(jiān)測(cè)器可以同時(shí)對(duì)多個(gè)樣品容器中的溶液進(jìn)行量測(cè)，即該溶液監(jiān)測(cè)器一個(gè)獨(dú)立的量測(cè)系統(tǒng)。該溶液監(jiān)測(cè)器可顯示出當(dāng)前銅陽極反應(yīng)室2內(nèi)的溶液濃度，正常情況下(電鍍室有機(jī)溶液沒有滲漏到下面的銅陽極反應(yīng)室的情況)溶液監(jiān)測(cè)器檢測(cè)到有機(jī)三項(xiàng)(SUPP/ACEL/LEV)的相關(guān)參數(shù)(有機(jī)量測(cè)值)均為零，如圖4所示。若發(fā)生電鍍室I中的有機(jī)溶劑向銅陽極反應(yīng)室2中滲漏的現(xiàn)象，該溶液監(jiān)測(cè)器檢測(cè)到有機(jī)三項(xiàng)的相關(guān)參數(shù)不為零。因此工程師可以根據(jù)上述的參數(shù)的變化來判斷電鍍室I中的有機(jī)添加劑是否滲漏到銅陽極反應(yīng)室2中。
[0042]此外，該電鍍室I的出液口與進(jìn)液口還通過一第二循環(huán)管道7相連通，在該第二循環(huán)管道7上按照溶液流動(dòng)的方向還依次設(shè)有一第二水泵(即水泵2)、一第二流量計(jì)(即流量計(jì)2)、第二過濾器(即過濾器2)。
[0043]上述的第二水泵為電鍍室I內(nèi)的溶液經(jīng)過一緩沖器(bath)后在第二循環(huán)管道7中的循環(huán)流動(dòng)提供動(dòng)力，并且上述的第二過濾器(即過濾器2)用于過濾電鍍室I內(nèi)的溶液中的電鍍雜質(zhì)，其中，該第二第二流量計(jì)(即流量計(jì)2)可以監(jiān)測(cè)所述該第二循環(huán)管道7中溶液的流量，由于本實(shí)用新型的改進(jìn)并不涉及該第二循環(huán)管道，在此便不予贅述。
[0044]綜上所述，本實(shí)用新型公開的一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，使半導(dǎo)體器件在制備過程中，即使存在某種原因使電鍍室內(nèi)的有機(jī)溶劑滲漏到陽極反應(yīng)室內(nèi)，但是由于該系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)的監(jiān)測(cè)銅陽極反應(yīng)室內(nèi)有機(jī)三項(xiàng)的濃度，根據(jù)該三項(xiàng)濃度的變化可以快速的發(fā)現(xiàn)的半導(dǎo)體制備工藝出現(xiàn)的問題，進(jìn)而使后續(xù)工藝中生產(chǎn)出來的晶圓達(dá)到生產(chǎn)的要求，從而節(jié)約了資源和能源，降低了工藝制造的成本。
[0045]以上所述僅為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的實(shí)施方式及保護(hù)范圍，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識(shí)到凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及圖示內(nèi)容所做出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應(yīng)當(dāng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其特征在于，所述反應(yīng)室的進(jìn)液口和出液口通過一第一循環(huán)管道相連通，且該第一循環(huán)管道上按所述反應(yīng)室溶液流出到流入的順序依次設(shè)置有第一水泵、三通閥、第一過濾器；所述系統(tǒng)還包括，單向管道、氣動(dòng)閥、樣品容器、開關(guān)控制器以及一溶液監(jiān)測(cè)器； 所述單向管道一端通過所述三通閥與所述第一循環(huán)管道相連通，另一端與所述樣品容器相連通； 所述氣動(dòng)閥設(shè)置于所述單向管道上，所述樣品容器通過所述開關(guān)控制器控制所述氣動(dòng)閥的開啟與關(guān)閉狀態(tài)，以調(diào)節(jié)所述樣品容器中溶液的液位； 所述溶液監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)所述樣品容器中溶液的成分。
2.如權(quán)利要求1所述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其特征在于，所述反應(yīng)室為銅陽極反應(yīng)室，所述銅陽極反應(yīng)室中的溶液為硫酸銅溶液。
3.如權(quán)利要求2所述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括一溶液注入裝置，所述溶液注入裝置向所述第一循環(huán)管道注入與所述銅陽極反應(yīng)室中相同濃度的硫酸銅溶液。
4.如權(quán)利要求1所述的對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一循環(huán)管道上還設(shè)有一第一流量計(jì)，用于監(jiān)測(cè)所述第一循環(huán)管道中溶液的流量。
5.如權(quán)利要求1所述的一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其特征在于，所述樣品容器的容積為100ml。
6.如權(quán)利要求1所述的一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其特征在于，所述樣品容器的側(cè)壁上還設(shè)置有一液面位置傳感器，通過所述液面位置傳感器偵測(cè)到的樣品容器中溶液的液位來調(diào)節(jié)氣動(dòng)閥的開啟和關(guān)閉狀態(tài)，以使得所述樣品容器中的溶液的液位處于預(yù)定的范圍。
7.如權(quán)利要求2所述的一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其特征在于，所述銅陽極反應(yīng)室位于一電鍍室內(nèi)，且所述電鍍室的進(jìn)液口和出液口通過一第二循環(huán)管道連通，且所述第二循環(huán)管道按照所述電鍍室溶液流出到流入的順序依次設(shè)置有第二水泵、第二流量計(jì)、第二過濾器。
8.如權(quán)利要求7所述的一種對(duì)反應(yīng)室中的溶液成分進(jìn)行監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)，其特征在于，所述銅陽極反應(yīng)室中的溶液與所述電鍍室中的溶液之間通過單透膜隔離。
【文檔編號(hào)】G01N33/00GK204008596SQ201420283149
【公開日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年5月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月29日
【發(fā)明者】王宇 申請(qǐng)人:武漢新芯集成電路制造有限公司