透明平板平面度的快速檢測方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種透明平板平面度的快速檢測裝置，兩個夾持機(jī)構(gòu)分別安裝在支撐框架上，第一伺服電機(jī)安裝在左滑軌上，激光發(fā)生器固定在第一伺服電機(jī)上，第二伺服電機(jī)安裝在右滑軌上，激光探測器固定在第二伺服電機(jī)上，左滑軌安裝在支撐框架上，右滑軌安裝在支撐框架上。透明平板平面度的快速檢測方法，包括如下步驟：將透明平板固定；用激光照射透明平板的一面，并計算折射率；用激光再次照射透明平板的一面，在透明平板的另一面檢測激光通過平板后的匯聚和擴(kuò)散程度；計算出透明平板的平面度和突出的方向；重復(fù)第三步到第四步，直到最終得出透明平板的整塊平面度結(jié)果。本發(fā)明以高精度、高效率適應(yīng)了包括在線檢驗等相關(guān)透明平板平面度檢驗的需求。
【專利說明】透明平板平面度的快速檢測方法及裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明光學(xué)檢測領(lǐng)域，特別是一種透明平板平面度的快速檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]平板顯示行業(yè)和玻璃制造行業(yè)作為中國重要的工業(yè)領(lǐng)域，其中大量使用透明平板材料，且對透明平板均有較高的平面要求(比如OLED用玻璃蓋板、玻璃基板、LCD用白玻璃、工業(yè)建筑用玻璃等)；不論是下游廠商的過程檢驗、出貨檢驗、還是上游廠商的進(jìn)料檢驗等都需要對平面度進(jìn)行檢測控制，必要時還要對產(chǎn)品進(jìn)行全數(shù)檢驗；按傳統(tǒng)方法用3D測量儀、平板加塞尺等方法來檢驗，具有檢測效率非常低下、檢驗誤差大、人員要求高、檢測成本聞、無法實現(xiàn)在線檢測等諸多缺點。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是解決上述問題，提供一種通過激光照射，然后計算折射角來快速檢測平面度一種透明平板平面度的快速檢測方法。
[0004]本發(fā)明的透明平板平面度的快速檢測方法，其特征在于，包括如下步驟:
[0005]第一步，將透明平板固定；
[0006]第二步，用激光照射透明平板的一面，并計算折射率；
[0007]第三步，用激光再次照射透明平板的一面，在透明平板的另一面檢測激光通過平板后的匯聚和擴(kuò)散程度；
[0008]第四步，計算出透明平板的平面度和突出的方向；
[0009]第五步，重復(fù)第三步到第四步至少一次，最終得出透明平板的整塊平面度結(jié)果。
[0010]所述第四步計算用公式為sin Θ i/sin Θ t=n21,其中Θ i為入射角角度，Θ t為折射角角度，n21為折射率。
[0011]所述第二步需要檢測入射激光的入射角。
[0012]所述第二步所用的激光為點射激光。
[0013]所述第三步所用的激光為平面激光。
[0014]一種透明平板平面度的快速檢測裝置，包括支撐框架、第一伺服電機(jī)、激光發(fā)生器、夾持機(jī)構(gòu)、激光探測器、第二伺服電機(jī)、左滑軌和右滑軌；兩個夾持機(jī)構(gòu)分別安裝在支撐框架頂部和底部，第一伺服電機(jī)安裝在左滑軌上，激光發(fā)生器固定在第一伺服電機(jī)上，第二伺服電機(jī)安裝在右滑軌上，激光探測器固定在第二伺服電機(jī)上，左滑軌安裝在左側(cè)的支撐框架上，右滑軌安裝在右側(cè)的支撐框架上。
[0015]所述激光探測器還與計算機(jī)相連。
[0016]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明的快速檢測方法和快速檢測裝置以高精度、高效率適應(yīng)了包括在線檢驗等相關(guān)透明平板平面度檢驗的需求。
【專利附圖】

【附圖說明】[0017]圖1為透明平板平面度的快速檢測裝置的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和具體的實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步的闡述。
[0019]本發(fā)明的透明平板平面度的快速檢測方法，其特征在于，包括如下步驟:第一步，將透明平板固定；第二步，用激光照射透明平板的一面，并計算折射率；第三步，用激光再次照射透明平板的一面，在透明平板的另一面檢測激光通過平板后的匯聚和擴(kuò)散程度；第四步，計算出透明平板的平面度和突出的方向；第五步，重復(fù)第三步到第四步至少一次，最終得出透明平板的整塊平面度結(jié)果。所述第四步計算用公式為sin Θ i/sin Θ t=n21，其中Θ i為入射角角度，Θ t為折射角角度，n21為折射率。所述第二步需要檢測入射激光的入射角。所述第二步所用的激光為點射激光。所述第三步所用的激光為平面激光。
[0020]一種透明平板平面度的快速檢測裝置，包括支撐框架1、第一伺服電機(jī)2、激光發(fā)生器3、夾持機(jī)構(gòu)4、激光探測器5、第二伺服電機(jī)6、左滑軌7和右滑軌8 ;兩個夾持機(jī)構(gòu)4分別安裝在支撐框架I頂部和底部，第一伺服電機(jī)2安裝在左滑軌7上，激光發(fā)生器3固定在第一伺服電機(jī)2上,第二伺服電機(jī)6安裝在右滑軌8上,激光探測器5固定在第二伺服電機(jī)6上，左滑軌7安裝在左側(cè)的支撐框架I上，右滑軌8安裝在右側(cè)的支撐框架I上。所述激光探測器5還與計算機(jī)相連。
[0021]檢測時，將透明平板放置在夾持機(jī)構(gòu)4中，通過兩個夾持機(jī)構(gòu)4固定，然后啟動激光發(fā)生器3和激光探測器5，然后將激光探測器5探測的數(shù)據(jù)上交給計算機(jī)進(jìn)行運(yùn)算，公式為sin Θ i/sin Θ t=n21，其中Θ i為入射角角度，Θ t為折射角角度，n21為折射率。得出局部的平面度。然后啟動第一伺服電機(jī)2和第二伺服電機(jī)5，讓激光發(fā)生器3和激光探測器5沿著導(dǎo)軌滑動，進(jìn)行下一次的照射、探測和計算，一直到最后平板的所有區(qū)域被照射、探測和計算完畢，得出平板的全部平面度。
[0022]本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將會意識到，這里所述的實施例是為了幫助讀者理解本發(fā)明的原理，應(yīng)被理解為本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于這樣的特別陳述和實施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以根據(jù)本發(fā)明公開的這些技術(shù)啟示做出各種不脫離本發(fā)明實質(zhì)的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種透明平板平面度的快速檢測方法，其特征在于，包括如下步驟: 第一步，將透明平板固定； 第二步，用激光照射透明平板的一面，并計算折射率； 第三步，用激光再次照射透明平板的一面，在透明平板的另一面檢測激光通過平板后的匯聚和擴(kuò)散程度； 第四步，計算出透明平板的平面度和突出的方向； 第五步，重復(fù)第三步到第四步至少一次，最終得出透明平板的整塊平面度結(jié)果。
2.如權(quán)利要求1所述的透明平板平面度的快速檢測方法，其特征在于:所述第四步計算用公式為sin0 i/sin 0t=n21，其中Θ i為入射角角度，Θ t為折射角角度，n21為折射率。
3.如權(quán)利要求1所述的透明平板平面度的快速檢測方法，其特征在于:所述第二步需要檢測入射激光的入射角。
4.如權(quán)利要求1所述的透明平板平面度的快速檢測方法，其特征在于:所述第二步所用的激光為點射激光。
5.如權(quán)利要求1所述的透明平板平面度的快速檢測方法，其特征在于:所述第三步所用的激光為平面激光。
6.一種透明平板平面度的快速檢測裝置，其特征在于:包括支撐框架(I)、第一伺服電機(jī)(2)、激光發(fā)生器(3)、夾持機(jī)構(gòu)(4)、激光探測器(5)、第二伺服電機(jī)(6)、左滑軌(7)和右滑軌(8);兩個夾持機(jī)構(gòu)(4)分別安裝在支撐框架(I)頂部和底部，第一伺服電機(jī)(2)安裝在左滑軌(7)上，激光發(fā)生器(3)固定在第一伺服電機(jī)(2)上，第二伺服電機(jī)(6)安裝在右滑軌(8)上，激光探測器(5)固定在第二伺服電機(jī)(6)上，左滑軌(7)安裝在左側(cè)的支撐框架(I)上，右滑軌(8 )安裝在右側(cè)的支撐框架(I)上。
7.如權(quán)利要求6所述的透明平板平面度的快速檢測裝置，其特征在于:所述激光探測器(5)還與計算機(jī)相連。
【文檔編號】G01B11/30GK103868478SQ201410128856
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年4月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月1日
【發(fā)明者】潘劍白 申請人:四川虹視顯示技術(shù)有限公司