具有加速度傳感器的紅外傳感器以及用于運(yùn)行紅外傳感器的方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種傳感器裝置(1),其具有:紅外傳感器(2),所述紅外傳感器被設(shè)計(jì)用于檢測紅外輻射并且輸出紅外圖像數(shù)據(jù)(4a);以及至少一個(gè)加速度傳感器(3),所述加速度傳感器被設(shè)計(jì)用于檢測所述傳感器裝置(1)的瞬時(shí)加速度并且輸出加速度數(shù)據(jù)(4b),其中如果所述傳感器裝置(1)的瞬時(shí)加速度超過可預(yù)先給定的閾值,那么所述紅外圖像數(shù)據(jù)(4a)從所述紅外傳感器(2)的輸出被阻止。
【專利說明】具有加速度傳感器的紅外傳感器以及用于運(yùn)行紅外傳感器 的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種具有集成的紅外傳感器和加速度傳感器的系統(tǒng)以及一種用于特 別是針對民用應(yīng)用來運(yùn)行具有加速度傳感器的紅外傳感器的方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 特別是在遠(yuǎn)紅外范圍(FIR, "far infrared"(遠(yuǎn)紅外))中的紅外傳感器被用于不 同的成像方法、例如在基于陸地的運(yùn)輸工具中用于行人識別或用于熱像相機(jī)。紅外傳感器 可以以由微機(jī)電結(jié)構(gòu)(MEMS,"micro electromechanical structures"(微機(jī)電結(jié)構(gòu)))構(gòu) 成的陣列來制造。出版物DE 10 2008 041 587 A1和W0 2007/147663 A1例如公開了基于 MEMS的紅外傳感器。
[0003] 紅外傳感器和紅外傳感器陣列除了在民用應(yīng)用中之外還可以在軍事應(yīng)用中被使 用,例如在用于導(dǎo)彈或其它軍事飛行體的控制的成像中被使用。出版物US 6, 279, 478 B1 例如公開了紅外傳感器在爆炸飛行體中的使用。因此紅外傳感器和紅外傳感器陣列被劃分 為所謂的"雙用"產(chǎn)品并且可能遭受使用或出口限制,即使所述紅外傳感器和紅外傳感器陣 列本來僅僅被設(shè)置用于民用應(yīng)用。
[0004] 因此存在對由于其受限的功能性而不適用于軍事應(yīng)用的紅外傳感器和紅外傳感 器陣列以及用于運(yùn)行紅外傳感器和紅外傳感器陣列的方法的需求,所述方法不準(zhǔn)許在軍事 應(yīng)用中使用紅外傳感器和紅外傳感器陣列或者使紅外傳感器和紅外傳感器陣列在軍事應(yīng) 用中的使用不感興趣。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005] 本發(fā)明根據(jù)一個(gè)方面提出一種傳感器裝置,該傳感器裝置具有紅外傳感器和至少 一個(gè)加速度傳感器,該紅外傳感器被構(gòu)造用于檢測紅外輻射并且輸出紅外圖像數(shù)據(jù),該至 少一個(gè)加速度傳感器被構(gòu)造用于檢測傳感器裝置的瞬時(shí)加速度并且輸出加速度數(shù)據(jù),其中 如果傳感器裝置的瞬時(shí)加速度超過預(yù)先編程的閾值,那么紅外圖像數(shù)據(jù)從紅外傳感器的輸 出被阻止(blockiert)。
[0006] 本發(fā)明根據(jù)另一方面提出一種傳感器系統(tǒng),該傳感器系統(tǒng)具有根據(jù)本發(fā)明的傳感 器裝置和分析電路,該分析電路被構(gòu)造用于接收加速度傳感器的加速度數(shù)據(jù)并且將傳感器 裝置的瞬時(shí)加速度與預(yù)先編程的閾值進(jìn)行比較,并且根據(jù)該比較在預(yù)先確定的持續(xù)時(shí)間內(nèi) 阻止紅外圖像數(shù)據(jù)從紅外傳感器的輸出。
[0007] 本發(fā)明根據(jù)另一方面提出一種用于運(yùn)行傳感器系統(tǒng)的方法,該方法具有以下步 驟:檢測傳感器系統(tǒng)的瞬時(shí)加速度的值;將所檢測的瞬時(shí)加速度的值與可預(yù)先給定的閾值 進(jìn)行比較;如果所檢測的值沒有超過或沒有足夠長時(shí)間地超過閾值,那么釋放紅外傳感器 的紅外圖像數(shù)據(jù);以及如果所檢測的值在足夠長的時(shí)間段內(nèi)超過了閾值,那么阻止紅外傳 感器的紅外圖像數(shù)據(jù)或去激活紅外傳感器。
[0008] 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn) 本發(fā)明的構(gòu)思是,將加速度傳感器與紅外傳感器或紅外傳感器陣列集成在傳感器裝置 中,使得在傳感器裝置的、超過預(yù)先給定的閾值的加速度值情況下去激活紅外傳感器或紅 外傳感器陣列或在確定的時(shí)間段內(nèi)中斷其傳感器數(shù)據(jù)輸出。為此例如可以設(shè)置分析電路, 該分析電路根據(jù)通過加速度傳感器所確定的加速度值阻止或允許紅外傳感器或紅外傳感 器陣列的數(shù)據(jù)輸出。
[0009] 該傳感器裝置的一個(gè)顯著的優(yōu)點(diǎn)在于,可以通過該行為方式顯著地限制針對軍事 應(yīng)用的可使用性,因?yàn)槌霈F(xiàn)在典型的民用應(yīng)用中的加速度值顯著地小于出現(xiàn)在典型的軍事 應(yīng)用中的加速度值。
[0010] 特別有利的是,將一個(gè)或多個(gè)紅外傳感器和加速度傳感器整體地集成在襯底中。 由此可以一方面節(jié)省結(jié)構(gòu)空間,另一方面由此使在太高的加速度值情況下通過修改或分離 紅外傳感器而回避受限的傳感器數(shù)據(jù)輸出變得困難。通過不同的傳感器在襯底中的集成, 可以遵循垂直的集成方式,由此可以降低制造成本并且簡化制造過程。
[0011] 有利地,加速度傳感器可以附加地被用于確定通過紅外傳感器所檢測的對象的運(yùn) 動方向。例如所檢測的對象的橫向加速度或速度可以通過對紅外傳感器的傳感器數(shù)據(jù)以及 加速度傳感器的加速度數(shù)據(jù)同時(shí)進(jìn)行分析來確定。如果在運(yùn)輸工具前運(yùn)動的生物如行人或 野生動物被檢測到,那么這在實(shí)施夜視儀器的情況下對于基于陸地的運(yùn)輸工具、例如汽車 是特別有利的。通過確定行人或動物的運(yùn)動方向,可以自動地采取躲避措施。
[0012] 按照根據(jù)本發(fā)明的傳感器裝置的一種實(shí)施方式,紅外傳感器和至少一個(gè)加速度傳 感器可以具有微機(jī)電結(jié)構(gòu)。
[0013] 按照根據(jù)本發(fā)明的傳感器裝置的另一種實(shí)施方式,紅外傳感器和至少一個(gè)加速度 傳感器可以整體地被集成在半導(dǎo)體襯底中。
[0014] 按照根據(jù)本發(fā)明的傳感器裝置的另一種實(shí)施方式,至少一個(gè)加速度傳感器可以具 有壓阻式或電容式檢測元件。
[0015] 按照根據(jù)本發(fā)明的傳感器裝置的另一種實(shí)施方式,至少一個(gè)加速度傳感器可以被 構(gòu)造用于檢測指向紅外傳感器的檢測方向上的加速度。軍事應(yīng)用經(jīng)常對準(zhǔn)紅外傳感器的運(yùn) 動方向上的成像方法。該使用在確定傳感器系統(tǒng)在紅外傳感器的視向上的加速度的情況下 例如在導(dǎo)彈發(fā)射(Raketenstart)時(shí)極為有效地被禁止。
[0016] 按照根據(jù)本發(fā)明的傳感器系統(tǒng)的一種實(shí)施方式,分析電路此外可以被設(shè)計(jì)用于, 如果傳感器裝置的瞬時(shí)加速度比預(yù)先確定的時(shí)間段更長地超過預(yù)先編程的閾值,那么在預(yù) 先確定的持續(xù)時(shí)間內(nèi)阻止通過紅外傳感器對紅外圖像數(shù)據(jù)的輸出。這提供以下優(yōu)點(diǎn),即在 釋放紅外圖像數(shù)據(jù)時(shí)例如在使用傳感器系統(tǒng)的設(shè)備落下的情況下不考慮對閾值的短期超 過。
[0017] 按照根據(jù)本發(fā)明的傳感器系統(tǒng)的另一種實(shí)施方式,可預(yù)先給定的閾值可以是10g。 這提供以下優(yōu)點(diǎn),即該傳感器系統(tǒng)針對民用應(yīng)用保持幾乎不受限制地可投入使用。
[0018] 按照根據(jù)本發(fā)明的方法的一種實(shí)施方式,該方法此外可以具有步驟:將紅外圖像 數(shù)據(jù)與所檢測的瞬時(shí)加速度的值組合,用以確定在紅外圖像數(shù)據(jù)中所檢測的運(yùn)動的對象的 運(yùn)動參數(shù)。
[0019] 本發(fā)明的實(shí)施方式的其它特征和優(yōu)點(diǎn)由參考附圖的隨后描述得出。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0020] 圖1不出根據(jù)一種實(shí)施方式的具有紅外傳感器和加速度傳感器的傳感器系統(tǒng)的 示意圖; 圖2示出根據(jù)另一種實(shí)施方式的具有紅外傳感器和加速度傳感器的傳感器系統(tǒng)的示 意圖; 圖3示出根據(jù)另一種實(shí)施方式的具有一個(gè)紅外傳感器像素和三個(gè)加速度傳感器的 MEMS傳感器裝置的示意圖; 圖4示出圖1中的傳感器裝置的橫截面的示意圖;以及 圖5示出根據(jù)另一種實(shí)施方式的用于運(yùn)行傳感器系統(tǒng)的方法的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021] 圖1示出具有傳感器裝置1和分析電路4的傳感器系統(tǒng)10的示意圖。傳感器裝置 1例如可以具有紅外傳感器2或紅外傳感器陣列2和至少一個(gè)加速度傳感器3。傳感器裝 置1例如可以具有基于微機(jī)電的傳感器(MEMS傳感器)并且例如以SOI技術(shù)("silicon on insulator"(絕緣體上娃))來構(gòu)造。紅外傳感器2或紅外傳感器陣列2的像素(Pixel)的 數(shù)量以及加速度傳感器3的數(shù)量在圖1中僅僅示例性地被示出并且原則上不受限制。
[0022] 紅外傳感器2例如可以被設(shè)計(jì)用于檢測要映射(abzubildenden)的對象的遠(yuǎn)紅外 范圍(FIR, "far infrared (遠(yuǎn)紅外)")中的福射,并且輸出紅外圖像數(shù)據(jù)4a。在此紅外傳 感器2或紅外傳感器陣列2可以具有主檢測方向,該主檢測方向基本上垂直于傳感器裝置 1的有效表面。該主檢測方向在下文中被稱為紅外傳感器2或紅外傳感器陣列2的視向。
[0023] 加速度傳感器3可以被設(shè)計(jì)用于檢測傳感器裝置1的加速度并且將所檢測的加速 度的值作為加速度數(shù)據(jù)4b輸出。在此加速度傳感器3例如可以檢測加速度,所述加速度基 本上在相對于傳感器裝置1的有效表面的垂直方向上、也就是說在紅外傳感器2或紅外傳 感器陣列2的視向上出現(xiàn)。也可以使用其它的、在圖1中未被明確示出的加速度傳感器,所 述加速度傳感器在另外的空間方向上檢測傳感器裝置1的加速度。
[0024] 紅外圖像數(shù)據(jù)4a和加速度數(shù)據(jù)4b可以被轉(zhuǎn)交給分析電路4c,該分析電路可以組 合所述數(shù)據(jù),以便輸出運(yùn)動參數(shù)4c,所述運(yùn)動參數(shù)表征運(yùn)動的對象,該對象通過紅外傳感器 2或紅外傳感器陣列2以成像的方式被檢測。
[0025] 如果傳感器裝置1的瞬時(shí)加速度超過可預(yù)先給定的閾值、例如10g,那么通過紅外 傳感器2對紅外圖像數(shù)據(jù)4a的輸出可以被阻止。為此,分析電路4可以被設(shè)計(jì)用于,接收 加速度傳感器3的加速度數(shù)據(jù)4b并且將傳感器裝置1的瞬時(shí)加速度與預(yù)先編程的閾值進(jìn) 行比較,并且根據(jù)該比較在預(yù)先確定的持續(xù)時(shí)間內(nèi)阻止通過紅外傳感器2對紅外圖像數(shù)據(jù) 4a的輸出或相應(yīng)地暫時(shí)去激活紅外傳感器2。預(yù)先確定的持續(xù)時(shí)間例如可以是幾秒。
[0026] 圖2示出根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例的具有傳感器裝置1和分析電路4的傳感器系統(tǒng)10 的示意圖。傳感器裝置1例如可以具有紅外傳感器2或紅外傳感器陣列2和至少一個(gè)加速 度傳感器3。在圖1中的傳感器裝置1和在圖2中的傳感器裝置1之間的區(qū)別基本上在于, 分析邏輯電路2c被集成到紅外傳感器2或紅外傳感器陣列2中,該分析邏輯電路被設(shè)計(jì)用 于,分析加速度傳感器3的加速度數(shù)據(jù)4b并且根據(jù)該比較在預(yù)先確定的持續(xù)時(shí)間內(nèi)阻止通 過紅外傳感器2對紅外圖像數(shù)據(jù)4a的輸出。
[0027] 圖3示出具有一個(gè)紅外傳感器像素2和三個(gè)加速度傳感器3、5和6的MEMS傳感 器裝置1的示意圖。紅外傳感器像素2例如可以擁有兩個(gè)串聯(lián)的二極管2a、2b作為微機(jī)電 結(jié)構(gòu)(MEMS)。然而,在此二極管2a、2b的數(shù)量原則上不受限制。加速度傳感器3示例性作 為z加速度傳感器被示出,該z加速度傳感器具有MEMS檢測元件3a,該MEMS檢測元件例如 可以以壓電的方式被耦合到傳感器裝置1的襯底上。以類似的方式,加速度傳感器5和6 作為橫向加速度傳感器被不出,所述橫向加速度傳感器具有相應(yīng)的MEMS檢測兀件5a或6a, 所述MEMS檢測元件例如可以以壓電的方式或以壓阻的方式被耦合到傳感器裝置1的襯底 上。該紅外傳感器像素2和三個(gè)加速度傳感器3、5和6在此整體地被集成在MEMS襯底中, 也就是說紅外傳感器像素2和三個(gè)加速度傳感器3、5和6的MEMS功能性被集成在MEMS襯 底的相同的有效表面上。紅外傳感器像素2和加速度傳感器3、5和6的整體集成提供以下 優(yōu)點(diǎn),即工作方式的重新編程、也就是說在超過閾值加速度的情況下紅外圖像數(shù)據(jù)4a的輸 出的阻止的取消不能容易地被執(zhí)行。
[0028] 圖4示出傳感器裝置1,特別是紅外傳感器像素2和加速度傳感器3的橫截面視 圖的示意圖。傳感器裝置1可以被構(gòu)造在襯底13、例如半導(dǎo)體襯底如硅上。在襯底13上 可以施加有外延層12或器件層12 (在SOI技術(shù)的情況下)。在外延層或器件層12之上可 以施加有例如由氧化硅構(gòu)成的絕緣層11。紅外傳感器像素2可以具有摻雜的二極管島2a、 2b,所述二極管島包含用于電接觸的金屬化結(jié)構(gòu)18。此外,接觸層17可以被設(shè)置作為通向 二極管島2a、2b的電引線。通過自由蝕刻步驟(Freijitzschritt),二極管島2a、2b可以通 過在襯底13或外延層或器件層12中的島之下的空洞結(jié)構(gòu)14與襯底相間隔,以便將紅外傳 感器像素2與周圍環(huán)境溫度去耦。為此,蝕刻通道可以被引入到絕緣層11中,通過所述蝕 刻通道可以實(shí)現(xiàn)外延層或器件層12以及襯底13的自由蝕刻。
[0029] 在同一自由蝕刻步驟中,也可以實(shí)現(xiàn)加速度傳感器3的檢測元件3a之下的空洞結(jié) 構(gòu)15的自由蝕亥lj。檢測元件3a可以是加速度傳感器3的慣性質(zhì)量(tdge Masse)并且具 有另外的金屬化結(jié)構(gòu)19。加速度傳感器3例如可以相對于襯底13以電容的方式分離,或基 于壓阻效應(yīng)。在此應(yīng)該清楚的是,存在以MEMS結(jié)構(gòu)來成形加速度傳感器3的很多可能性, 并且基本上可以自由選擇加速度傳感器3、5和6的類型。
[0030] 傳感器裝置1可以包括真空在內(nèi)被封裝,使得紅外傳感器像素2和加速度傳感器 3、5和6相應(yīng)地被隔離并且被保護(hù)免受外部的影響。
[0031] 圖5示出用于運(yùn)行傳感器系統(tǒng)、特別是如結(jié)合圖1至4所描述的傳感器系統(tǒng)10的 方法20的示意圖。該方法20例如可以被用于將傳感器系統(tǒng)10的可用性限制到民用應(yīng)用 如熱像相機(jī)、夜視儀器或類似的領(lǐng)域上。
[0032] 在第一步驟21中,首先可以檢測傳感器系統(tǒng)10或傳感器裝置1的瞬時(shí)加速度的 值。為此例如可以分析傳感器裝置1的加速度傳感器3、5和6中的至少一個(gè)的輸出數(shù)據(jù) 4b。該分析在此可以通過分析電路4來實(shí)現(xiàn)。在第二步驟22中,可以將所檢測的瞬時(shí)加速 度的值與預(yù)先編程的閾值進(jìn)行比較。可預(yù)先給定的閾值在此可以根據(jù)應(yīng)用情況被定義。例 如該閾值可以是l〇g。但是也可能可以將更高或更低的閾值作為程序輸入。
[0033] 在步驟23中可以確定,所檢測的瞬時(shí)加速度的值是否超過閾值。在此例如可以僅 僅進(jìn)行簡單的瞬時(shí)值比較。然而也可以規(guī)定,只有當(dāng)所檢測的值在至少一個(gè)可預(yù)先給定的 時(shí)間段內(nèi)位于該閾值之上,才確定出超過閾值。該時(shí)間段例如可以是一秒。然而,也可以根 據(jù)應(yīng)用情況更高或更低地選擇該時(shí)間段。如果在步驟23中已經(jīng)確定出所檢測的值沒有超 過或沒有足夠長時(shí)間地超過閾值,那么在步驟24中促使釋放紅外傳感器2或紅外傳感器陣 列2的傳感器數(shù)據(jù)或紅外圖像數(shù)據(jù)4a。此后在步驟21處開始可以重新檢查或監(jiān)控傳感器 系統(tǒng)10的加速度值。
[0034] 如果在步驟23中已經(jīng)確定出所檢測的值在足夠長的時(shí)間段內(nèi)超過了閾值,那么 在步驟25中促使阻止紅外傳感器2或紅外傳感器陣列2的傳感器數(shù)據(jù)或紅外圖像數(shù)據(jù)4a 或去激活紅外傳感器2或紅外傳感器陣列2。該阻止或去激活可以在預(yù)先確定的持續(xù)時(shí)間 內(nèi)、例如幾秒內(nèi)被維持。在該持續(xù)時(shí)間到期之后才可以在步驟21處開始重新檢查或監(jiān)控傳 感器系統(tǒng)10的加速度值。由此使得該傳感器系統(tǒng)10對于軍事應(yīng)用是不可用的,因?yàn)樵谀?里高的加速度值經(jīng)常并且在較長的時(shí)間間隔上出現(xiàn)并且需要高的圖像重復(fù)率,以便可以跟 蹤快速飛行的對象。通過合適地預(yù)先給定閾值,可以排除傳感器系統(tǒng)10的軍事使用,而民 用使用沒有實(shí)質(zhì)上的限制地繼續(xù)保持可能。
[0035] 如果使用合適的加速度傳感器3、5或6,也可以可選地將加速度數(shù)據(jù)4b與紅外圖 像數(shù)據(jù)4a組合,以便映射在紅外圖像數(shù)據(jù)4a中所檢測的運(yùn)動的對象的運(yùn)動。如果橫向加 速度傳感器5和/或6的橫向加速度值存在,那么這例如可以在分析電路4中實(shí)現(xiàn)。分析 電路4于是可以輸出運(yùn)輸工具或設(shè)備的運(yùn)動參數(shù)4c,使得如果紅外傳感器2已經(jīng)檢測到行 人、動物或其它的運(yùn)動的對象,那么例如在運(yùn)輸工具的夜視儀器中使用傳感器系統(tǒng)10的情 況下可以基于運(yùn)動軌跡采取躲避措施。
【權(quán)利要求】
1. 傳感器裝置(1),具有: 紅外傳感器(2),所述紅外傳感器被設(shè)計(jì)用于檢測紅外輻射并且輸出紅外圖像數(shù)據(jù) (4a);以及 至少一個(gè)加速度傳感器(3),所述加速度傳感器被設(shè)計(jì)用于檢測所述傳感器裝置(1) 的瞬時(shí)加速度并且輸出加速度數(shù)據(jù)(4b), 其中如果所述傳感器裝置(1)的瞬時(shí)加速度超過預(yù)先編程的閾值,那么所述紅外圖像 數(shù)據(jù)(4a)從所述紅外傳感器(2)的輸出被阻止。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器裝置(1 ),其中所述紅外傳感器(2)和所述至少一個(gè)加 速度傳感器(3)具有微機(jī)電結(jié)構(gòu)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器裝置(1 ),其中所述紅外傳感器(2)和所述至少一個(gè)加 速度傳感器(3)整體地被集成在半導(dǎo)體襯底(13)中。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2和3之一所述的傳感器裝置(1 ),其中所述至少一個(gè)加速度傳感器 (3)具有壓阻式或電容式檢測元件(19)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的傳感器裝置(1 ),其中所述至少一個(gè)加速度傳感器 (3)被構(gòu)造用于檢測指向紅外傳感器(2)的檢測方向上的加速度。
6. 傳感器系統(tǒng)(10),具有: 根據(jù)權(quán)利要求1至5之一的傳感器裝置(1);以及 分析電路(4),所述分析電路被設(shè)計(jì)用于接收所述加速度傳感器(3)的加速度數(shù)據(jù) (4b)并且將所述傳感器裝置(1)的瞬時(shí)加速度與可預(yù)先給定的閾值進(jìn)行比較,并且根據(jù)所 述比較在預(yù)先確定的持續(xù)時(shí)間內(nèi)阻止紅外圖像數(shù)據(jù)(4a)從所述紅外傳感器(2)的輸出。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器系統(tǒng)(10),其中所述分析電路(4)此外被構(gòu)造用于,如 果所述傳感器裝置(1)的瞬時(shí)加速度比預(yù)先確定的時(shí)間段長地超過可預(yù)先給定的閾值,那 樣在預(yù)先確定的持續(xù)時(shí)間內(nèi)阻止通過所述紅外傳感器(2)對所述紅外圖像數(shù)據(jù)(4a)的輸 出。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6和7之一所述的傳感器系統(tǒng)(10),其中所述可預(yù)先給定的閾值是 10g。
9. 用于運(yùn)行根據(jù)權(quán)利要求6至8之一的傳感器系統(tǒng)(10)的方法(20),具有以下步驟: 檢測(21)所述傳感器系統(tǒng)(10)的瞬時(shí)加速度的值; 將所檢測的瞬時(shí)加速度的值與可預(yù)先給定的閾值進(jìn)行比較(22); 如果所檢測的值沒有超過或沒有足夠長時(shí)間地超過所述閾值,那么釋放(24)所述紅外 傳感器(2)的紅外圖像數(shù)據(jù)(4a);以及 如果所檢測的值在大于所確定的時(shí)間段的時(shí)間段內(nèi)超過了所述閾值,那么阻止(25)所 述紅外傳感器(2 )的紅外圖像數(shù)據(jù)(4a)或去激活所述紅外傳感器(2 )。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法(20),此外具有以下步驟: 將所述紅外圖像數(shù)據(jù)(4a)與所檢測的瞬時(shí)加速度的值組合,以便確定在所述紅外圖像 數(shù)據(jù)(4a)中所檢測的運(yùn)動的對象的運(yùn)動參數(shù)(4c )。
【文檔編號】G01J3/51GK104145476SQ201380012466
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2013年1月24日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月5日
【發(fā)明者】I.赫爾曼, C.舍林 申請人:羅伯特·博世有限公司