專利名稱：飛針測(cè)試機(jī)的制作方法
飛針測(cè)試機(jī)技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種印制電路板測(cè)試裝置，特別是涉及一種飛針測(cè)試機(jī)。背景技術(shù)：
飛針測(cè)試機(jī)是在X軸與Y軸上安裝由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的可獨(dú)立快速移動(dòng)的探針，利用探針在Z軸方向的可控移動(dòng)和PCB板的焊點(diǎn)進(jìn)行接觸，并進(jìn)行電氣測(cè)量的設(shè)備。由于飛針測(cè)試機(jī)的功能要求，其Y軸的兩端一般分別架設(shè)在兩個(gè)X軸上，其跨距比較大，由兩個(gè)X軸上的電機(jī)驅(qū)動(dòng)(雙驅(qū))或者由單個(gè)X軸的電機(jī)驅(qū)動(dòng)(單驅(qū))。為了提高測(cè)試效率，飛針測(cè)試機(jī)一般都有多個(gè)探針，X-Y軸也隨之增多。正是飛針測(cè)試機(jī)的軸數(shù)較多，Y軸采用雙驅(qū)的成本很高，再加上安裝空間的限制，多個(gè)Y軸一般需要共用X軸(即一個(gè)X軸上安裝有多個(gè)Y軸)，Y軸采用雙驅(qū)的可行性受到很大的制約。隨著PCB板的線寬及線距越來越小，對(duì)飛針測(cè)試機(jī)的運(yùn)動(dòng)精度要求越來越高，而傳統(tǒng)飛針測(cè)試機(jī)的運(yùn)動(dòng)精度越來越不能滿足要求。對(duì)飛針測(cè)試機(jī)運(yùn)動(dòng)精度影響最大的是其采用單驅(qū)的X-Y軸結(jié)構(gòu)，因此，采用單驅(qū)的X-Y軸的運(yùn)動(dòng)精度變得越來越重要。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述狀況，有必要提供一種成本較低、運(yùn)動(dòng)精度較高的飛針測(cè)試機(jī)。
一種飛針測(cè)試機(jī)，其包括:
基體；
兩個(gè)X軸，設(shè)于所述基體上，并且平行相對(duì)設(shè)置，每個(gè)所述X軸包括第一導(dǎo)軌、第一電機(jī)及第一絲桿，所述第一絲桿與所述第一導(dǎo)軌平行相對(duì)設(shè)置，所述兩個(gè)第一電機(jī)分別位于所述兩個(gè)第一絲桿相對(duì)遠(yuǎn)離的一端，使所述兩個(gè)第一電機(jī)交叉相對(duì)設(shè)置，并且每個(gè)第一電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸與所述第一絲桿共軸連接；
兩個(gè)Y軸，與所述X軸連接，每個(gè)所述Y軸的兩端分別設(shè)于所述兩個(gè)X軸上，并且每個(gè)所述Y軸包括第二導(dǎo)軌、兩個(gè)連接板及兩個(gè)第一滑塊，所述第二導(dǎo)軌的兩端分別與所述兩個(gè)連接板固定連接，所述兩個(gè)第一滑塊分別固定于所述兩個(gè)連接板與所述第二導(dǎo)軌相對(duì)的表面上，并且所述第一滑塊沿所述第一導(dǎo)軌可滑動(dòng)，所述第一絲桿穿過所述第一滑塊；及
兩個(gè)Z軸，分別設(shè)于所述兩個(gè)Y軸上，并且所述Z軸沿所述第二導(dǎo)軌可滑動(dòng)；
其中，每個(gè)所 述Y軸靠近所述第一電機(jī)的一個(gè)所述第一滑塊設(shè)有與第一絲桿相螺合的螺孔，另外一個(gè)所述第一滑塊設(shè)有供所述第一絲桿穿過的導(dǎo)向孔；所述第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述第一絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，使靠近所述第一電機(jī)的所述第一滑塊沿所述第一導(dǎo)軌滑動(dòng)。
上述飛針測(cè)試機(jī)采用的X軸采用一個(gè)第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)單個(gè)Y軸，形成單驅(qū)結(jié)構(gòu)，從而避免采用成本較高的雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，進(jìn)而降低成本；同時(shí)，每個(gè)Y軸靠近X軸的第一電機(jī)的第一滑塊設(shè)有與第一絲桿相螺合的螺孔，另外一個(gè)第一滑塊設(shè)有供所述第一絲桿穿過的導(dǎo)向孔，使得每個(gè)Y軸一端起驅(qū)動(dòng)及導(dǎo)向作用，另一端起導(dǎo)向作用，從而提高Y軸的驅(qū)動(dòng)精度，進(jìn)而提高飛針測(cè)試機(jī)的運(yùn)動(dòng)精度。因此，上述飛針測(cè)試機(jī)成本較低、并且運(yùn)動(dòng)精度較高。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述Y軸還包括第二絲桿及第二電機(jī)，所述第二絲桿與所述第二導(dǎo)軌平行相對(duì)設(shè)置，所述第二電機(jī)安裝于其中一個(gè)所述連接板上，并且所述第二電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸與所述第二絲桿共軸連接，所述第二絲桿帶動(dòng)所述Z軸沿所述第二導(dǎo)軌滑動(dòng)。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)所述第一滑塊由一對(duì)滑塊組成，所述第一絲桿穿過所述一對(duì)滑塊，并且所述一對(duì)滑塊固定在所述連接板上。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述Y軸靠近所述第一電機(jī)的一端為主動(dòng)端，遠(yuǎn)離所述第一電機(jī)的一端為從動(dòng)端，所述Y軸的質(zhì)心靠近所述主動(dòng)端。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述Y軸的質(zhì)心與所述主動(dòng)端的距離為8(Γ100毫米。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述Y軸的兩端相對(duì)所述X軸的摩擦系數(shù)小于0.01，并且所述Y軸的兩端相對(duì)所述X軸的摩擦系數(shù)相等。
在其中一個(gè)實(shí)施例 中，所述Y軸兩端的連接剛度為I千萬牛頓每平方米以上。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述連接板由復(fù)合材料制成。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述基體為天然花崗石。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述X軸與所述Y軸垂直相交,所述Z軸垂直于所述Y軸與所述X軸。

圖1為本發(fā)明實(shí)施方式的飛針測(cè)試機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖2為圖1所示的飛針測(cè)試機(jī)的左側(cè)Y軸的結(jié)構(gòu)示意圖3為圖1所示的飛針測(cè)試機(jī)的右側(cè)Y軸的結(jié)構(gòu)示意圖4為圖1所示的飛針測(cè)試機(jī)的Y軸的仿真流程圖。
具體實(shí)施方式
為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本發(fā)明的較佳的實(shí)施例。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對(duì)本發(fā)明的公開內(nèi)容的理解更加透徹全面。
需要說明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。本文所使用的術(shù)語“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的。
除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。
請(qǐng)參閱圖1至圖3，本發(fā)明實(shí)施方式的飛針測(cè)試機(jī)100，包括基體110、兩個(gè)X軸120、兩個(gè)Y軸130及兩個(gè)Z軸140?；w110作為飛針測(cè)試機(jī)100的運(yùn)動(dòng)軸的載體，兩個(gè)X軸120、兩個(gè)Y軸130及兩個(gè)Z軸140構(gòu)成飛針測(cè)試機(jī)100的三維運(yùn)動(dòng)軸。其中，兩個(gè)X軸120、兩個(gè)Y軸130及兩個(gè)Z軸140可以構(gòu)成三維直角坐標(biāo)系或三維斜角坐標(biāo)系，例如，當(dāng)構(gòu)成三維直角坐標(biāo)系時(shí)，X軸120與Y軸130垂直相交，Z軸140垂直于Y軸130與X軸120。
兩個(gè)X軸120設(shè)于基體110上，并且平行相對(duì)設(shè)置。基體110可以為天然花崗石。
每個(gè)X軸120包括第一導(dǎo)軌121、第一電機(jī)123及第一絲桿125，第一絲桿125與第一導(dǎo)軌123平行相對(duì)設(shè)置，兩個(gè)第一電機(jī)123分別位于兩個(gè)第一絲桿125相對(duì)遠(yuǎn)離的一端，使兩個(gè)第一電機(jī)123交叉相對(duì)設(shè)置。并且，每個(gè)第一電機(jī)123的驅(qū)動(dòng)軸與第一絲桿125共軸連接。例如，第一電機(jī)123的驅(qū)動(dòng)軸可以通過第一聯(lián)軸器127與第一絲桿125連接。
兩個(gè)Y軸130與X軸120連接。每個(gè)Y軸130的兩端分別設(shè)于兩個(gè)X軸120上，并且每個(gè)Y軸130包括第二導(dǎo)軌131、兩個(gè)連接板133及兩個(gè)第一滑塊135。第二導(dǎo)軌131的兩端分別與兩個(gè)連接板133固定連接。兩個(gè)第一滑塊135分別固定于兩個(gè)連接板133與第二導(dǎo)軌131相對(duì)的表面上，并且第一滑塊135沿第一導(dǎo)軌121可滑動(dòng)，第一絲桿125穿過第一滑塊135。
兩個(gè)Z軸140分別設(shè)于兩個(gè)Y軸130上，并且Z軸140沿第二導(dǎo)軌131可滑動(dòng)。其中，每個(gè)Y軸130靠近第一電機(jī)123的一個(gè)第一滑塊135設(shè)有與第一絲桿125相螺合的螺孔，另外一個(gè)第一滑塊135設(shè)有供第一絲桿125穿過的導(dǎo)向孔；第一電機(jī)123驅(qū)動(dòng)第一絲桿125轉(zhuǎn)動(dòng),使靠近第一電機(jī)123的第一滑塊135沿第一導(dǎo)軌121滑動(dòng)。
進(jìn)一步地，Y軸130還包括第二絲桿137及第二電機(jī)138，第二絲桿137與第二導(dǎo)軌131平行相對(duì)設(shè)置，第二電機(jī)138安裝于其中一個(gè)連接板133上，并且第二電機(jī)138的驅(qū)動(dòng)軸與第二絲桿137共軸連接，第二絲桿137帶動(dòng)Z軸140沿第二導(dǎo)軌131滑動(dòng)。例如，第二電機(jī)138的驅(qū)動(dòng)軸可以通過第二聯(lián)軸器139與第二絲桿137連接。連接板133可以由復(fù)合材料制成。
進(jìn)一步地，每個(gè)第一滑塊135由一對(duì)滑塊組成，第一絲桿125穿過一對(duì)滑塊，并且一對(duì)滑塊固定在連接板133上。
進(jìn)一步地,Y軸130靠近第一電機(jī)123的一端為主動(dòng)端，遠(yuǎn)離第一電機(jī)123的一端為從動(dòng)端，Y軸130的質(zhì)心靠近主動(dòng)端，優(yōu)選地，Y軸130的質(zhì)心與主動(dòng)端的距離為8(Tl00毫米。Y軸130兩端相對(duì)X軸120的摩擦系數(shù)小于0.01，并且Y軸130兩端相對(duì)X軸120的摩擦系數(shù)相等。Y軸130兩端的連接剛度為I千萬牛頓每平方米以上。
上述飛針測(cè)試機(jī)100采用的X軸120采用一個(gè)第一電機(jī)123驅(qū)動(dòng)單個(gè)Y軸130，形成單驅(qū)結(jié)構(gòu)，從而避免采用成本較高的雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，進(jìn)而降低成本；同時(shí)，每個(gè)Y軸130靠近X軸120的第一電機(jī)123的第一滑塊135設(shè)有與第一絲桿125相螺合的螺孔，另外一個(gè)第一滑塊135設(shè)有供所述第一絲桿125穿過的導(dǎo)向孔，使得每個(gè)Y軸130 —端起驅(qū)動(dòng)及導(dǎo)向作用，另一端起導(dǎo)向作用，從而提聞Y軸130的驅(qū)動(dòng)精度，進(jìn)而提聞飛針測(cè)試機(jī)100的運(yùn)動(dòng)精度。因此,上述飛針測(cè)試機(jī)100成本較低、并且運(yùn)動(dòng)精度較高。
下面結(jié)合具體實(shí)施例說明上述飛針測(cè)試機(jī)100。
本實(shí)施例中，飛針測(cè)試機(jī)100為六軸飛針測(cè)試機(jī)上，該飛針測(cè)試機(jī)100 —共有六個(gè)軸，X軸120、Y軸130、Z軸140分別有兩個(gè)，用于承載運(yùn)動(dòng)軸的基體110為天然花崗石結(jié)構(gòu)，用于X軸120與Y軸130傳動(dòng)及導(dǎo)向的結(jié)構(gòu)選用精密級(jí)別的絲桿導(dǎo)軌組合體，絲桿導(dǎo)軌組合體即為“絲桿與滑塊中部相連，組合體的內(nèi)側(cè)面為導(dǎo)軌，與滑塊外部相連”。Y軸130兩端分別架設(shè)在兩個(gè)X軸120上，每個(gè)X軸120上都架設(shè)有兩個(gè)Y軸130的一端。因?yàn)槊總€(gè)X軸120上都有兩個(gè)滑塊,多軸稱合,靠近第一電機(jī)123 —端的第一滑塊135才與第一絲桿125相連，起傳動(dòng)及導(dǎo)向作用，Y軸130此端稱為主動(dòng)端，另外一個(gè)第一滑塊135與第一絲桿125不相連，即第一滑塊135中部的導(dǎo)向孔比絲桿直徑大，只起導(dǎo)向作用，Y軸130此端稱為從動(dòng)端。也就是說，每個(gè)X軸120上的第一電機(jī)123只能驅(qū)動(dòng)靠近其一端的Y軸130，此X軸120上對(duì)于另外一個(gè)Y軸130來說只是起到導(dǎo)向的作用，每個(gè)Y軸130都是采用單驅(qū)的形式在X軸120上水平運(yùn)動(dòng)。Z軸140安裝在Y軸130上，通過精密級(jí)別的絲桿導(dǎo)軌組合體的傳動(dòng)和導(dǎo)向上下運(yùn)動(dòng)。
本實(shí)施例的飛針測(cè)試機(jī)100在保持功能的前提下盡量壓縮Y軸130的跨距。為了降低Y軸130的質(zhì)量，考慮到導(dǎo)軌絲桿組合體本身的剛度較大，將與組合體相連接的Y軸130底板分成三截，去掉中間一截，只保留兩端的一截，即形成兩個(gè)連接板133，保證了 Y軸130的整體剛度，又降低了 Y軸130質(zhì)量。在此基礎(chǔ)上建立初步的Y軸130仿真模型，并對(duì)此模型進(jìn)行詳細(xì)仿真，以便進(jìn)一步設(shè)計(jì)，仿真流程如圖4所示。
根據(jù)上述仿真結(jié)果，獲取質(zhì)心分布、摩擦分布及剛度大小對(duì)Y軸130的整體運(yùn)動(dòng)精度影響情況:
(I) Y軸130質(zhì)心靠近主動(dòng)端時(shí)比質(zhì)量遠(yuǎn)離主動(dòng)端時(shí)的運(yùn)動(dòng)精度要好很多；
(2) Y軸130運(yùn)動(dòng)方向的摩擦小時(shí)其運(yùn)動(dòng)精度更佳；
(3)Y軸130兩端連接剛度一致并且比較大時(shí)對(duì)運(yùn)動(dòng)精度影響最大，其中與其運(yùn)動(dòng)方向相切的扭轉(zhuǎn)剛度起決定性的作用。
在本實(shí)施例中，動(dòng)態(tài)特性滿足條件為Y軸130 —階模態(tài)為200Hz以上，其振型為沿著運(yùn)動(dòng)方向左右擺動(dòng)；運(yùn)動(dòng)精度滿足條件為Y軸130在Imm行程時(shí)整定時(shí)兩端運(yùn)動(dòng)誤差能在20ms內(nèi)進(jìn)入IOum誤差帶。Y軸130質(zhì)心靠近主動(dòng)端80_100mm時(shí)運(yùn)動(dòng)精度比較好；Y軸130兩端摩擦系數(shù)小于0.01且兩端摩擦一致時(shí)運(yùn)動(dòng)精度比較好；Υ軸130連接剛度在I千萬牛頓每平方米以上且與其運(yùn)動(dòng)方向相切的扭轉(zhuǎn)剛度越大時(shí)運(yùn)動(dòng)精度越好。
根據(jù)仿真結(jié)果，Y軸130的連接板133尺寸及安裝空間受到嚴(yán)格限制，為了進(jìn)一步減低其質(zhì)量，并令整個(gè)Y軸130的質(zhì)心分布達(dá)到要求，還要保證整個(gè)Y軸130剛度，Y軸130的上下兩個(gè)連接板133均采用復(fù)合材料來制造，質(zhì)量、質(zhì)心及剛度情況都滿足了要求。為了滿足Y軸130兩端的連接剛度的要求，本實(shí)施例所選取的傳動(dòng)及導(dǎo)向單元為高精密級(jí)別、預(yù)緊程度滿足要求的絲桿導(dǎo)軌組合單元，以來可以保證Y軸130的連接剛度，并且其摩擦均為滾動(dòng)摩擦，摩擦阻力小，滿足摩擦大小分布的要求。由于與Y軸130運(yùn)動(dòng)方向相切的扭轉(zhuǎn)剛度對(duì)其運(yùn)動(dòng)精度起決定性的作用，本實(shí)施例中Y軸130兩端的第一滑塊135選用了兩個(gè)滑塊，大大提高其扭轉(zhuǎn)剛度，滿足扭轉(zhuǎn)剛度的要求。
本實(shí)施例中，在盡量壓縮Y軸130跨距、降低Y軸130質(zhì)量基礎(chǔ)上建立初步仿真模型，通過仿真流程方法獲取質(zhì)心分布、摩擦分布及剛度大小對(duì)Y軸130的整體運(yùn)動(dòng)精度影響情況，并采用復(fù)合材料來制造Y軸130連接底板、選用高精密級(jí)別和預(yù)緊程度滿足要求的絲桿導(dǎo)軌組合單元及Y軸130兩端采用兩個(gè)滑塊連接以提高其扭轉(zhuǎn)剛度，令X-Y軸130運(yùn)動(dòng)精度大大提高，進(jìn)一步地提高飛針測(cè)試機(jī)100的運(yùn)動(dòng)精度，并解決若采用雙驅(qū)而帶來的成本問題。同時(shí)，改變了人們一直以來認(rèn)為采用單側(cè)驅(qū)動(dòng)的長(zhǎng)跨距結(jié)構(gòu)難以應(yīng)用到對(duì)于運(yùn)動(dòng)精度要求很高的機(jī)器上的看法。
以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種飛針測(cè)試機(jī)，其特征在于，包括: 基體； 兩個(gè)X軸，設(shè)于所述基體上，并且平行相對(duì)設(shè)置，每個(gè)所述X軸包括第一導(dǎo)軌、第一電機(jī)及第一絲桿，所述第一絲桿與所述第一導(dǎo)軌平行相對(duì)設(shè)置，所述兩個(gè)第一電機(jī)分別位于所述兩個(gè)第一絲桿相對(duì)遠(yuǎn)離的一端，使所述兩個(gè)第一電機(jī)交叉相對(duì)設(shè)置，并且每個(gè)第一電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸與所述第一絲桿共軸連接； 兩個(gè)Y軸，與所述X軸連接，每個(gè)所述Y軸的兩端分別設(shè)于所述兩個(gè)X軸上，并且每個(gè)所述Y軸包括第二導(dǎo)軌、兩個(gè)連接板及兩個(gè)第一滑塊，所述第二導(dǎo)軌的兩端分別與所述兩個(gè)連接板固定連接，所述兩個(gè)第一滑塊分別固定于所述兩個(gè)連接板與所述第二導(dǎo)軌相對(duì)的表面上，并且所述第一滑塊沿所述第一導(dǎo)軌可滑動(dòng)，所述第一絲桿穿過所述第一滑塊；及 兩個(gè)Z軸，分別設(shè)于所述兩個(gè)Y軸上，并且所述Z軸沿所述第二導(dǎo)軌可滑動(dòng)； 其中，每個(gè)所述Y軸靠近所述第一電機(jī)的一個(gè)所述第一滑塊設(shè)有與第一絲桿相螺合的螺孔，另外一個(gè)所述第一滑塊設(shè)有供所述第一絲桿穿過的導(dǎo)向孔；所述第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述第一絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，使靠近所述第一電機(jī)的所述第一滑塊沿所述第一導(dǎo)軌滑動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的飛針測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述Y軸還包括第二絲桿及第二電機(jī)，所述第二絲桿與所述第二導(dǎo)軌平行相對(duì)設(shè)置，所述第二電機(jī)安裝于其中一個(gè)所述連接板上，并且所述第二電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸與所述第二絲桿共軸連接，所述第二絲桿帶動(dòng)所述Z軸沿所述第二導(dǎo)軌滑動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的飛針測(cè)試機(jī)，其特征在于，每個(gè)所述第一滑塊由一對(duì)滑塊組成，所述第一絲桿穿過所述一對(duì)滑塊，并且所述一對(duì)滑塊固定在所述連接板上。
4.如權(quán)利要求1所述的飛針測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述Y軸靠近所述第一電機(jī)的一端為主動(dòng)端,遠(yuǎn)離所述第一電機(jī)的一端為從動(dòng)端,所述Y軸的質(zhì)心靠近所述主動(dòng)端。
5.如權(quán)利要求4所述的飛針測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述Y軸的質(zhì)心與所述主動(dòng)端的距離為80 100毫米。
6.如權(quán)利要求1所述的飛針測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述Y軸的兩端相對(duì)所述X軸的摩擦系數(shù)小于0.01，并且所述Y軸的兩端相對(duì)所述X軸的摩擦系數(shù)相等。
7.如權(quán)利要求1所述的飛針測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述Y軸兩端的連接剛度為I千萬牛頓每平方米以上。
8.如權(quán)利要求1所述的飛針測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述連接板由復(fù)合材料制成。
9.如權(quán)利要求1所述的飛針測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述基體為天然花崗石。
10.如權(quán)利要求1所述的飛針測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述X軸與所述Y軸垂直相交，所述Z軸垂直于所述Y軸與所述X軸。
全文摘要
一種飛針測(cè)試機(jī)，其包括基體；兩個(gè)X軸，平行相對(duì)設(shè)置，每個(gè)X軸包括第一導(dǎo)軌、第一電機(jī)及第一絲桿，第一絲桿與第一導(dǎo)軌平行相對(duì)設(shè)置，兩個(gè)第一電機(jī)分別位于兩個(gè)第一絲桿相對(duì)遠(yuǎn)離的一端，每個(gè)第一電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸與第一絲桿共軸連接；兩個(gè)Y軸，每個(gè)Y軸包括第二導(dǎo)軌、兩個(gè)連接板及兩個(gè)第一滑塊，第二導(dǎo)軌的兩端分別與兩個(gè)連接板固定連接，兩個(gè)第一滑塊分別固定于兩個(gè)連接板與第二導(dǎo)軌相對(duì)的表面上，第一滑塊沿第一導(dǎo)軌可滑動(dòng)，第一絲桿穿過第一滑塊；兩個(gè)Z軸，分別設(shè)于兩個(gè)Y軸上；其中，每個(gè)Y軸靠近第一電機(jī)的一個(gè)第一滑塊設(shè)有與第一絲桿相螺合的螺孔，另外一個(gè)第一滑塊設(shè)有供第一絲桿穿過的導(dǎo)向孔。上述飛針測(cè)試機(jī)成本較低、并且運(yùn)動(dòng)精度較高。
文檔編號(hào)G01R31/28GK103176121SQ20131005879
公開日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2013年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月25日
發(fā)明者譚艷萍, 宋福民, 王星, 陳楚技, 高云峰 申請(qǐng)人:深圳市大族激光科技股份有限公司, 深圳市大族數(shù)控科技有限公司