專利名稱：Cis器件電氣故障分析測試方法及測試系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種CIS器件電氣故障分析測試方法及測試系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
CIS (CMOS Image Sensor, CMOS圖像傳感器)器件在我們的日常生活中扮演著越來越重要的角色，其已成為移動電話、筆記本電腦、數(shù)碼相機、數(shù)碼攝像機等多種數(shù)碼產(chǎn)品中的必備部件。而隨著技術(shù)的發(fā)展，人們對數(shù)碼產(chǎn)品中顯示畫面的質(zhì)量要求也越來越高。為了得到高質(zhì)量的顯示畫面，CIS器件中的像素數(shù)量變得越來越多，與此同時，每個像素的尺寸變得越來越小。由此，對于Cis器件的電氣故障分析提出了越來越高的要求?，F(xiàn)有技術(shù)中，采用如下測試方法實現(xiàn)對CIS器件的電氣故障分析，包括:將CIS器件置于測試機臺上，此時，打開測試機臺，使得測試機臺能夠向CIS器件提供光照；接著，獲取光照之下的CIS器件的黑白照片。所述黑白照片顯示了 CIS器件中各像素的情況，例如，有的像素顯示正常(合格)，有的像素由于缺陷而顯示為一個暗點或者一個亮點(不合格)，通過CIS器件中各像素的情況，便可進行CIS器件的電氣故障分析。但是，該黑白照片是一張像素非常緊密且非常小的照片，通過裸眼(即只依靠人體的眼睛，而不通過任何輔助工具)是很難發(fā)現(xiàn)照片中各像素的缺陷的，即難以獲取CIS器件中各像素的情況。為此，現(xiàn)有技術(shù)中通常采用窗口畫圖工具(windows paint tool),對該黑白照片進行多次切割，然后將每次切割后的部分予以放大，觀測放大后的部分中包含的像素的情況。請參考圖1a lb，其中，圖1a為光照之下的CIS器件的黑白照片的示意圖；圖1b為圖1a中選中的部分(方框框起來的部分)的放大示意圖。觀測圖1a中的黑白照片將難以發(fā)現(xiàn)CIS器件中存在缺陷的像素，而`觀測圖1b中被放大的部分之后，將發(fā)現(xiàn)在該被放大的部分中具有三個有缺陷的像素，其中，一個為亮點缺陷，兩個為暗點缺陷。但是，通過該方法進行CIS器件的電氣故障分析需要對CIS器件的黑白照片進行上百次切割，并將每一個切割后的部分予以放大、觀測，這對于人力的消耗非常大。同時，如此操作所產(chǎn)生的誤差也非常大，一來由于正常像素均顯示在該黑白照片上，對于觀測缺陷像素是一種干擾；二來操作人員在進行大量的切割及觀測之后，往往發(fā)生切割誤差或者錯過對一些缺陷像素的捕捉。由此，降低了 CIS器件電氣故障分析的可靠性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種CIS器件電氣故障分析測試方法及測試系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有的CIS器件電氣故障分析測試方法可靠性不高的問題。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種CIS器件電氣故障分析測試方法，包括:將CIS器件置于測試機臺，此時，測試機臺向CIS器件提供光照；獲取CIS器件中每個像素的亮度；
根據(jù)CIS器件中每個像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素；輸出CIS器件中不合格像素的信息?？蛇x的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，所述不合格像素包括:亮度大于第一標(biāo)準量或者亮度小于第二標(biāo)準量的像素，其中，第一標(biāo)準量大于第二標(biāo)準量?？蛇x的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，輸出CIS器件中不合格像素的信息包括:輸出Cis器件中不合格像素的數(shù)量。可選的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，輸出CIS器件中不合格像素的信息包括:輸出Cis器件中不合格像素的亮度?？蛇x的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，輸出CIS器件中不合格像素的信息包括:輸出Cis器件中不合格像素的不合格類別?？蛇x的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，所述不合格類別包括:不合格類別“I”及不合格類別“0”，其中，不合格類別“I”為像素的亮度大于第一標(biāo)準量；不合格類別“O”為像素的亮度小于第二標(biāo)準量?？蛇x的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，輸出CIS器件中不合格像素的信息還包括:輸出CIS器件中不合格像素所在的坐標(biāo)位置。可選的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試方法中，在CIS器件中，以最左端最下方的像素所在的位置作為坐標(biāo)原點。本發(fā)明還提供一種CIS器件電氣故障分析測試系統(tǒng)，包括:測試機臺，用以 向CIS器件提供光照；獲取裝置，用以獲取CIS器件中每個像素的亮度；判斷裝置，用以根據(jù)CIS器件中每個像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素；輸出裝置，用以輸出CIS器件中不合格像素的信息?？蛇x的，在所述的CIS器件電氣故障分析測試系統(tǒng)中，還包括:坐標(biāo)獲取裝置，用以獲取CIS器件中像素所在的坐標(biāo)位置。在本發(fā)明提供的CIS器件電氣故障分析測試方法及測試系統(tǒng)中，通過直接輸出CIS器件中不合格像素的信息，避免了現(xiàn)有技術(shù)中輸出一包含合格像素與不合格像素信息的黑白照片，需要通過人力捕捉Cis器件中的不合格像素的問題，從而提高了 CIS器件電氣故障分析的可靠性。


圖1a是光照之下的CIS器件的黑白照片的示意圖；圖1b是圖1a中選中的部分(方框框起來的部分)的放大示意圖；圖2是本發(fā)明實施例的CIS器件電氣故障分析測試方法的流程示意圖；圖3是本發(fā)明實施例的CIS器件電氣故障分析測試系統(tǒng)的框結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明實施例的CIS器件中像素排布的示例示意圖。
具體實施例方式以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明提出的CIS器件電氣故障分析測試方法及測試系統(tǒng)作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。請參考圖2，其為本發(fā)明實施例的CIS器件電氣故障分析測試方法的流程示意圖。如圖2所示，所述CIS器件電氣故障分析測試方法包括如下步驟:SlO:將CIS器件置于測試機臺，此時，測試機臺向CIS器件提供光照；S20:獲取CIS器件中每個像素的亮度；S30:根據(jù)CIS器件中每個像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素；S40:輸出CIS器件中不合格像素的信息。相應(yīng)的，本實施例還提供了一種CIS器件電氣故障分析測試系統(tǒng)。請參考圖3，其為本發(fā)明實施例的CIS器件電氣故障分析測試系統(tǒng)的框結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，所述CIS器件電氣故障分析測試系統(tǒng)包括:測試機臺10，用以向CIS器件提供光照；獲取裝置20，用以獲取CIS器件中每個像素的亮度；判斷裝置30，用以根據(jù)CIS器件中每個像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格
像素；輸出裝 置50，用以輸出CIS器件中不合格像素的信息。具體的，首先，利用測試機臺10執(zhí)行步驟SlO:將待做電氣故障分析的CIS器件置于測試機臺10之上，所述測試機臺10為現(xiàn)有的做電氣故障分析的通用測試機臺，將CIS器件置于測試機臺10上之后，打開測試機臺10，使得測試機臺10能夠向CIS器件提供光照。此為現(xiàn)有技術(shù)，本申請對此不再贅述，需說明的是，通過該測試機臺10以向CIS器件提供光照，而該測試機臺10的開啟時間并不限定，即在將CIS器件置于測試機臺10上之前，該測試機臺10可以已經(jīng)打開。接著，本實施例不同于背景技術(shù)中所提供的技術(shù)方案的是:利用獲取裝置20獲取CIS器件中每個像素的亮度，而并不是如背景技術(shù)中那樣，直接獲取光照之下的CIS器件的
黑白照片。在此，可利用現(xiàn)有技術(shù)中任--種方式獲取Cis器件中每個像素的亮度，例如:
輝度計等各種亮度測量設(shè)備，即所述獲取裝置20可以包括輝度計。在獲取CIS器件中每個像素的亮度之后，可利用判斷裝置30根據(jù)該每個像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素。例如，合格像素為亮度值位于第二標(biāo)準量及第一標(biāo)準量之間(即位于區(qū)間第二標(biāo)準量，第一標(biāo)準量內(nèi))的值，則亮度大于第一標(biāo)準量或者亮度小于第二標(biāo)準量的像素，便可認為其為不合格像素，其中，第一標(biāo)準量大于第二標(biāo)準量。假設(shè)，第二標(biāo)準量為100流明，第一標(biāo)準量為140流明，則亮度小于100流明或者亮度大于140流明的像素即判定為不合格像素。當(dāng)然，根據(jù)對CIS器件的不同要求，該第一標(biāo)準量及第二標(biāo)準量可以為其他數(shù)值。此外，還可以進一步引入其他參考量，例如，還有第三標(biāo)準量及第四標(biāo)準量，其中，第四標(biāo)準量小于第三標(biāo)準量，第三標(biāo)準量小于第二標(biāo)準量，第二標(biāo)準量小于第一標(biāo)準量，而只有亮度值位于第四標(biāo)準量及第三標(biāo)準量之間的，以及亮度值位于第二標(biāo)準量及第一標(biāo)準量之間的像素是合格像素。關(guān)于合格像素與不合格像素的判定要求，可具體根據(jù)實際設(shè)定，本申請對比不做限定。
在此，所述判斷裝置30可包括一比較器，通過每個像素的亮度與判斷裝置30中預(yù)設(shè)的參考量進行比較，便可得到CIS器件中的不合格像素。當(dāng)然，還可通過其他方式實現(xiàn)對于CIS器件中的不合格像素的判定，本申請對此不再贅述。在獲取CIS器件中的不合格像素之后，便可利用輸出裝置50直接輸出CIS器件中不合格像素的信息。所述不合格像素的信息可包括:不合格像素的數(shù)量，例如，測試得知，一共有三個像素為不合格像素，則可直接輸出不合格像素數(shù)量為三。進一步的，通過該信息(不合格像素數(shù)量為三)，分析人員便可進行電氣故障分析，此為現(xiàn)有技術(shù)，且不是本申請的重點，本申請的重點在于得到不合格像素的信息，使得分析人員能夠根據(jù)這些合格像素的信息方便的進行電氣故障分析。因此，對于分析人員如何利用不合格像素的信息進行電氣故障分析的內(nèi)容，本申請不多介紹。此外，所述不合格像素的信息還可以包括:每個不合格像素的亮度。例如，以前述的亮度小于100流明或者亮度大于140流明的像素即判定為不合格像素的判定標(biāo)準，設(shè)有三個不合格像素，則所述輸出裝置50還可輸出該三個像素的亮度，例如:該三個像素的亮度分別為75流明，85流明，155流明，則輸出75流明，85流明，155流明。輸出每個不合格像·素的具體亮度，可便于分析人員具體分析電氣故障的產(chǎn)生原因，但是，若有大量不合格像素存在的情況下，往往也會顯得不夠清楚。因此，在本實施例中，也可按照判定標(biāo)準對于不合格像素予以分類，輸出不合格像素的信息包括其所在的不合格類別。在此，將不合格像素分成不合格類別“I”及不合格類別“O”，其中，不合格類別“I”為像素的亮度大于第一標(biāo)準量；不合格類別“O”為像素的亮度小于第二標(biāo)準量。由此，在輸出不合格像素的信息時，直接輸出“I”和“0”，從而可便于分析人員觀察。進一步的，可輸出“I”和“O”的數(shù)量，以前述三個不合格像素為例，可輸出兩個“I”及一個“0”，以進一步便于分析人員觀察。在本實施例中，輸出CIS器件中不合格像素的信息還可進一步包括:輸出CIS器件中不合格像素所在的坐標(biāo)位置。具體的，所述Cis器件電氣故障分析測試系統(tǒng)還可包括坐標(biāo)獲取裝置40，利用該坐標(biāo)獲取裝置40獲取CIS器件中像素所在的坐標(biāo)位置，在此，只獲取不合格像素所在的坐標(biāo)位置即可。在CIS器件中，以最左端最下方的像素所在的位置作為坐標(biāo)原點。具體的，請參考圖4，其為本發(fā)明實施例的CIS器件中像素排布的示例示意圖。如圖4所示，在此，示出了 5*5 (即25)個像素，包括:A1-A5、B1-B5、C1-C5、D1-D5、E1-E5，在實際器件中，可包括更多個像素，例如VGA (Video Graphics Array,視頻圖形陣列)產(chǎn)品中,包括480*640個像素。在此，以像素Al所在的位置為坐標(biāo)原點，即像素Al的坐標(biāo)為(O,O),易知，像素A2的坐標(biāo)為(1，0)，像素BI的坐標(biāo)為(1，0)，即像素A2 像素E5的坐標(biāo)都可根據(jù)像素Al的坐標(biāo)確定下來。假設(shè)，得到像素C2的亮度為85流明，則可輸出(1，2) “0”，根據(jù)該輸出信息，分析人員便可得知像素C2的亮度小于第二標(biāo)準量，由此，可方便的據(jù)此進行電氣故障分析。通過上述CIS器件電氣故障分析測試方法及測試系統(tǒng)，可直接輸出CIS器件中不合格像素的信息，避免了現(xiàn)有技術(shù)中輸出一包含合格像素與不合格像素信息的黑白照片，需要通過人力捕捉CIS器件中的不合格像素的問題。從而便于電氣故障分析人員獲取不合格像素的信息，進一步的提高了 Cis器件電氣故障分析的可靠性。
上述描述僅是對本發(fā)明較佳實施例的描述，并非對本發(fā)明范圍的任何限定，本發(fā)明領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種CIS器件電氣故障分析測試方法,其特征在于,包括: 將CIS器件置于測試機臺，此時，測試機臺向CIS器件提供光照； 獲取CIS器件中每個像素的亮度； 根據(jù)Cis器件中每個像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素； 輸出CIS器件中不合格像素的信息。
2.如權(quán)利要求1所述的CIS器件電氣故障分析測試方法，其特征在于，所述不合格像素包括:亮度大于第一標(biāo)準量或者亮度小于第二標(biāo)準量的像素，其中，第一標(biāo)準量大于第二標(biāo)準量。
3.如權(quán)利要求2所述的CIS器件電氣故障分析測試方法，其特征在于，輸出CIS器件中不合格像素的信息包括: 輸出CIS器件中不合格像素的數(shù)量。
4.如權(quán)利要求2所述的CIS器件電氣故障分析測試方法，其特征在于，輸出CIS器件中不合格像素的信息包括: 輸出CIS器件中不合格像素的亮度。
5.如權(quán)利要求2所述的CIS器件電氣故障分析測試方法,其特征在于,輸出CIS器件中不合格像素的信息包括: 輸出CIS器件中不合格像素的不合格類別。
6.如權(quán)利要求5所述的CIS器件電器故障分析測試方法，其特征在于，所述不合格類別包括:不合格類別“ I ”及不合格類別“O”，其中， 不合格類別“I”為像素的亮度大于第一標(biāo)準量； 不合格類別“O”為像素的亮度小于第二標(biāo)準量。
7.如權(quán)利要求1至6中的任一項所述的CIS器件電氣故障分析測試方法，其特征在于，輸出CIS器件中不合格像素的信息還包括: 輸出CIS器件中不合格像素所在的坐標(biāo)位置。
8.如權(quán)利要求7所述的CIS器件電氣故障分析測試方法，其特征在于，在CIS器件中，以最左端最下方的像素所在的位置作為坐標(biāo)原點。
9.一種CIS器件電氣故障分析測試系統(tǒng),其特征在于,包括: 測試機臺，用以向CIS器件提供光照； 獲取裝置，用以獲取CIS器件中每個像素的亮度； 判斷裝置，用以根據(jù)CIS器件中每個像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素； 輸出裝置，用以輸出Cis器件中不合格像素的信息。
10.如權(quán)利要求9所述的CIS器件電氣故障分析測試系統(tǒng)，其特征在于，還包括: 坐標(biāo)獲取裝置，用以獲取Cis器件中像素所在的坐標(biāo)位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種CIS器件電氣故障分析測試方法及測試系統(tǒng)，其中，所述方法包括將CIS器件置于測試機臺，此時，測試機臺向CIS器件提供光照；獲取CIS器件中每個像素的亮度；根據(jù)CIS器件中每個像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素；輸出CIS器件中不合格像素的信息。通過直接輸出CIS器件中不合格像素的信息，避免了現(xiàn)有技術(shù)中輸出一包含合格像素與不合格像素信息的黑白照片，需要通過人力捕捉CIS器件中的不合格像素的問題。從而提高了CIS器件電氣故障分析的可靠性。
文檔編號G01J1/10GK103245844SQ20121002459
公開日2013年8月14日 申請日期2012年2月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月3日
發(fā)明者潘建峰, 徐明潔, 張曉東, 潘國華 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司