專利名稱：缺陷檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種缺陷檢查方法，其攝像例如形成有圖案的半導(dǎo)體晶片等晶片零件的被檢查體，并比較所取得的被檢查圖像數(shù)據(jù)與參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)，進(jìn)行缺陷檢查。
背景技術(shù)：
伴隨信息機(jī)的小型化，于基板上直接安裝半導(dǎo)體晶片等晶片零件型的封裝不斷普及。該等封裝中，附著于圖案的灰塵等為引起致命的連接不良或特性不良的原因。因此，安裝晶片零件時(shí)，有必要檢查是否存在于圖案附著有灰塵等缺陷。
然而，于半導(dǎo)體晶片等晶片零件形成有微細(xì)的電路圖案。該圖案的密度在晶片上各區(qū)域中各不相同。
作為檢查此種圖案的缺陷的檢查方法，眾所周知有以下方法預(yù)先攝像合格品的圖案，存儲(chǔ)所取得的圖像(以下，稱為參照?qǐng)D像數(shù)據(jù))，并且攝像檢查的圖案并取得其圖像(以下，稱為被檢查圖像數(shù)據(jù))，從而求得該被檢查圖像數(shù)據(jù)與參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)的差分。
自差分的圖像數(shù)據(jù)抽出差分值較大的部分，求得該抽出的部分連續(xù)的區(qū)域的尺寸。繼而，比較抽出的部分的尺寸與預(yù)先設(shè)定的缺陷尺寸判定用的臨限值，進(jìn)行抽出部分的缺陷判定。
于該圖案檢查方法中，缺陷尺寸判定用的臨限值由圖案的各區(qū)域指定。并且，缺陷判定通過各區(qū)域所指定的各臨限值而進(jìn)行的情形為一般情形(例如，參照專利文獻(xiàn)1日本專利特開2001-84379號(hào)公報(bào))。
形成于晶片零件的圖案的密度于各區(qū)域中不同，故而在各區(qū)域中其形狀較為復(fù)雜，或區(qū)域的形成數(shù)量較多。因此，必須于該等每一區(qū)域中分別進(jìn)行指定缺陷尺寸判定用的臨限值的操作，但該操作會(huì)花費(fèi)較長的時(shí)間，臨限值的指定操作效率會(huì)降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情形開發(fā)而成的，其目的在于提供一種缺陷檢查方法，該方法可相應(yīng)于圖案的密度自動(dòng)地設(shè)定具有相應(yīng)于缺陷部分的尺寸的缺陷檢測(cè)靈敏度的尺寸判定區(qū)域，進(jìn)行缺陷檢查。
為解決上述課題，達(dá)成目的，本發(fā)明的缺陷檢查方法由以下方式構(gòu)成。
(1)一種缺陷檢查方法，其為攝像描繪有圖案的被檢查體，基于所取得的被檢查圖像數(shù)據(jù)與參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)進(jìn)行上述被檢查體的缺陷檢查，其特征在于包含第1步驟，其基于上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)，于復(fù)數(shù)個(gè)方向計(jì)測(cè)上述圖案的寬度，并將上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為相應(yīng)于上述圖案于上述各方向的寬度的亮度，制作對(duì)應(yīng)于上述各方向的復(fù)數(shù)個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)；第2步驟，其比較上述復(fù)數(shù)個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)，并自該等掃描圖像數(shù)據(jù)選出最小的亮度的最小亮度，制作寬度圖像數(shù)據(jù)；第3步驟，其基于上述被檢查圖像數(shù)據(jù)與上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)抽出缺陷部分，并將于上述圖案的寬度成為最小亮度的方向測(cè)定上述缺陷部分的尺寸變換為亮度，制作缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)；以及第4步驟，其基于上述缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與上述寬度圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行對(duì)于上述缺陷部分的缺陷判定。
(2)如(1)所揭示的缺陷檢查方法，其中于上述第1步驟中，至少于縱方向、橫方向以及斜方向計(jì)測(cè)上述圖案的寬度，制作縱掃描圖像數(shù)據(jù)、橫掃描圖像數(shù)據(jù)以及斜掃描圖像數(shù)據(jù)。
(3)如(2)所揭示的缺陷檢查方法，其中于上述第1步驟中，將上述斜掃描圖像數(shù)據(jù)中亮度連續(xù)變化的部分的亮度設(shè)為0。
(4)如(2)所揭示的缺陷檢查方法，其中于上述第1步驟中，將復(fù)數(shù)個(gè)圖案交叉的交叉部分的亮度設(shè)為0，于上述第2步驟中，僅基于上述縱掃描圖像數(shù)據(jù)與上述橫掃描圖像數(shù)據(jù)對(duì)于上述交叉部分制作上述寬度圖像數(shù)據(jù)。
(5)如上述(2)所揭示的缺陷檢查方法，其中于上述第1步驟中，基于上述縱掃描圖像數(shù)據(jù)以及橫掃描圖像數(shù)據(jù)的至少一個(gè)求得上述圖案的理想的最小亮度，當(dāng)實(shí)際的最小亮度與上述理想的最小亮度的差超過特定值時(shí)，將對(duì)應(yīng)部分的亮度設(shè)為0。
(6)一種缺陷檢查方法，其是攝像描繪有圖案的被檢查體，基于所取得的被檢查圖像數(shù)據(jù)與參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)進(jìn)行上述被檢查體的缺陷檢查，其特征在于包含第1步驟，其將上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為亮度，制作方向圖像數(shù)據(jù)，上述亮度相應(yīng)于于復(fù)數(shù)個(gè)方向所測(cè)定的上述圖案的寬度中成為最小寬度的方向；第2步驟，其將上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為相應(yīng)于上述圖案的上述最小寬度的亮度，制作具有相應(yīng)于該亮度的各缺陷檢測(cè)靈敏度的各尺寸判定區(qū)域的靈敏度圖像數(shù)據(jù)；第3步驟，其基于上述被檢查圖像數(shù)據(jù)與上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)抽出缺陷部分，將于成為上述圖案的最小寬度的方向所測(cè)定的上述缺陷部分的尺寸變換為亮度，制作缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)；以及第4步驟，其比較上述缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與上述靈敏度圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行對(duì)于上述缺陷部分的缺陷判定。
根據(jù)本發(fā)明，可相應(yīng)于圖案的密度自動(dòng)地設(shè)定具有相應(yīng)于缺陷部分的尺寸的缺陷檢測(cè)靈敏度的尺寸判定區(qū)域，進(jìn)行缺陷檢查。


圖1為適用本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的缺陷檢查方法的缺陷檢查裝置的構(gòu)成圖。
圖2為該實(shí)施形態(tài)的經(jīng)二值化的參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)的模式圖。
圖3為表示該實(shí)施形態(tài)的0度掃描圖像數(shù)據(jù)的圖。
圖4為表示該實(shí)施形態(tài)的45度掃描圖像數(shù)據(jù)的圖。
圖5為表示該實(shí)施形態(tài)的90度掃描圖像數(shù)據(jù)的圖。
圖6為表示該實(shí)施形態(tài)的135度掃描圖像數(shù)據(jù)的圖。
圖7為表示該實(shí)施形態(tài)的方向圖像數(shù)據(jù)的圖。
圖8為表示該實(shí)施形態(tài)的寬度圖像數(shù)據(jù)的圖。
圖9為表示該實(shí)施形態(tài)的靈敏度圖像數(shù)據(jù)的圖。
圖10為本發(fā)明的第2實(shí)施形態(tài)的經(jīng)二值化的參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)的模式圖。
圖11為表示該實(shí)施形態(tài)的進(jìn)行層次補(bǔ)正前的45度掃描圖像數(shù)據(jù)的圖。
圖12為表示該實(shí)施形態(tài)的進(jìn)行層次補(bǔ)正后的45度掃描圖像數(shù)據(jù)的圖。
圖13為表示該實(shí)施形態(tài)的斜方向的圖案的概要圖。
具體實(shí)施例方式
以下，就本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)參照?qǐng)D式加以說明。
圖1為適用本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的缺陷檢查方法的缺陷檢查裝置的構(gòu)成圖。
于臺(tái)板3上載置有晶片零件1。于該晶片零件1形成有電路圖案2。準(zhǔn)備用以取得參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)的合格品與進(jìn)行圖案缺陷檢查的未檢查的未檢查品作為晶片零件1。
于晶片零件1的上方設(shè)置有CCD照相機(jī)4。該CCD照相機(jī)4攝像晶片零件1的電路圖案2，并輸出其圖像信號(hào)。另外，將自CCD照相機(jī)4輸出的圖像信號(hào)考慮為通過復(fù)數(shù)個(gè)像素所構(gòu)成的矩陣時(shí)，定義為沿行的方向?yàn)闄M方向、沿列的方向?yàn)榭v方向、傾斜于行以及列的方向?yàn)樾狈较颉?br> 圖像處理部5輸入自CCD照相機(jī)4輸出的圖像信號(hào)，將合格品的晶片零件1的圖像數(shù)據(jù)作為參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于參照?qǐng)D像存儲(chǔ)器6，且依次輸入未檢查的晶片零件1的圖像數(shù)據(jù)，將該等圖像數(shù)據(jù)作為被檢查圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于被檢查圖像存儲(chǔ)器7。另外，如果欲檢查的晶片零件1的參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)于參照?qǐng)D像存儲(chǔ)器6，那么無需取得合格品的晶片零件1的參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)。
差分演算部8讀出存儲(chǔ)于參照?qǐng)D像存儲(chǔ)器6的參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)與存儲(chǔ)于被檢查圖像存儲(chǔ)器7的被檢查圖像數(shù)據(jù)，求得該等參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)與被檢查圖像數(shù)據(jù)的差分，即濃淡電平的差，取得該差分圖像數(shù)據(jù)。
靈敏度制作部9讀出存儲(chǔ)于參照?qǐng)D像存儲(chǔ)器6的參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)，并將該參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為相應(yīng)于圖案的寬度的亮度，制作具有相應(yīng)于該亮度的各缺陷檢測(cè)靈敏度的各尺寸判定區(qū)域的靈敏度圖像數(shù)據(jù)。
具體為，靈敏度制作部9最初以特定的臨限值將參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)2值化，對(duì)于該經(jīng)2值化的參照數(shù)據(jù)，于復(fù)數(shù)個(gè)方向直線狀地掃描，計(jì)測(cè)白色電平或黑色電平中表示電路圖案2的連續(xù)的像素?cái)?shù)，將連續(xù)的像素?cái)?shù)變?yōu)樽钚〉姆较蜃儞Q為程序代碼(亮度)，制作方向圖像數(shù)據(jù)。
例如，圖2為該實(shí)施形態(tài)的經(jīng)2值化的參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)的模式圖，金屬制成的電路圖案2成為黑色電平。
靈敏度制作部9例如于0度方向掃描參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)上，計(jì)測(cè)黑色電平連續(xù)的像素?cái)?shù)，并求得對(duì)于該方向的圖案寬度，變換為相應(yīng)于該圖案寬度的亮度，制作圖3所示的0度掃描圖像數(shù)據(jù)。
另外，該靈敏度制作部9，與0度方向同樣地于45度方向、90度方向以及135度方向掃描參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)上，制作如圖4～圖6所示的45度掃描圖像數(shù)據(jù)、90度掃描圖像數(shù)據(jù)以及135度掃描圖像數(shù)據(jù)。
另外，圖2中箭頭0、箭頭45、箭頭90以及箭頭135所示的方向分別表示0度方向、45度方向、90度方向以及135度方向。此外，0度方向與[權(quán)利要求2]的「縱方向」一致，90度方向與[權(quán)利要求2]的「橫方向」一致。但是，45度方向與135度方向僅為[權(quán)利要求2]的斜方向的一例。該斜方向包含所有傾斜于上述縱方向與橫方向的方向。即，掃描的方向并非限定于45度方向或135度方向，如果傾斜于0度方向與90度方向，那么任一方向均可。
繼而，該靈敏度制作部9基于0度掃描圖像數(shù)據(jù)、45度掃描圖像數(shù)據(jù)、90度掃描圖像數(shù)據(jù)以及135度掃描圖像數(shù)據(jù)，自0度方向、45度方向、90度方向以及135度方向求得黑色電平連續(xù)的像素?cái)?shù)最小的方向，該方向?yàn)?度方向時(shí)設(shè)為程序代碼1，為45度方向時(shí)設(shè)為程序代碼2，為90度方向時(shí)設(shè)為程序代碼3，為135度方向時(shí)設(shè)為程序代碼4，設(shè)定該程序代碼于對(duì)象像素。另外，于白色電平的像素設(shè)定程序代碼0。進(jìn)而，可生成如圖7所示的方向圖像數(shù)據(jù)。
觀察圖7中的像素A時(shí)，于0度方向連續(xù)的黑色電平為4個(gè)，于45度方向連續(xù)的黑色電平為12個(gè)，于90度方向連續(xù)的黑色電平為4個(gè)，于135度方向連續(xù)的黑色電平為2個(gè)，因此可確認(rèn)于像素A設(shè)定有表示135度方向的程序代碼4。同樣，可確認(rèn)像素B設(shè)定有表示0度方向的程序代碼1。
繼而，靈敏度制作部9基于方向圖像數(shù)據(jù)，將于設(shè)定于各像素的程序代碼所示的方向(以下，稱為圖案寬度方向)連續(xù)的黑色電平的像素?cái)?shù)看作電路圖案2的最小的圖案寬度(以下，稱為最小圖案寬度)，并將該最小圖案寬度變換為亮度生成寬度圖像數(shù)據(jù)。
即，靈敏度制作部9將于上述圖案寬度方向連續(xù)的黑色電平的像素?cái)?shù)變換為亮度并設(shè)定于對(duì)應(yīng)像素。另外，于方向圖像數(shù)據(jù)上設(shè)定為程序代碼0的像素設(shè)定亮度0。進(jìn)而，可生成如圖8所示的寬度圖像數(shù)據(jù)。
觀察圖8時(shí)，可確認(rèn)于像素A將于以程序代碼4所表示的135度方向連續(xù)的黑色電平的像素?cái)?shù)設(shè)定為3。同樣，可確認(rèn)于像素B將于以程序代碼1所表示的0度方向連續(xù)的黑色電平的像素?cái)?shù)設(shè)定為4。
繼而，靈敏度制作部9將圖8所示的寬度圖像數(shù)據(jù)的各亮度調(diào)整為相應(yīng)于檢測(cè)缺陷部分所需的尺寸的亮度，制作靈敏度圖像數(shù)據(jù)。
例如，欲以最小圖案寬度的1/2以上的尺寸檢測(cè)缺陷部分時(shí)，將缺陷檢測(cè)靈敏度設(shè)定為各亮度的1/2。另外，亮度為奇數(shù)的情形時(shí)，舍棄小數(shù)點(diǎn)以下。進(jìn)而，可生成如圖9所示的靈敏度圖像數(shù)據(jù)。
觀察圖9時(shí)，可確認(rèn)于寬度圖像數(shù)據(jù)中亮度為3的像素A中設(shè)定有自其1/2舍棄小數(shù)點(diǎn)的1。同樣，可確認(rèn)于寬度圖像數(shù)據(jù)中亮度為4的像素B中設(shè)定有作為其1/2的2。
另外，關(guān)于缺陷檢測(cè)靈敏度欲以最小圖案寬度的1/2以上的尺寸檢測(cè)缺陷部分的情形加以說明，但并非限定于此，也可相應(yīng)于缺陷部分的檢測(cè)所需的尺寸調(diào)節(jié)亮度。
缺陷尺寸制作部10接受通過差分演算部8所取得的差分圖像數(shù)據(jù)，并基于該差分圖像數(shù)據(jù)抽出缺陷部分，將缺陷部分的圖案寬度方向的尺寸變換為亮度，制作缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)。
該情形下，缺陷尺寸制作部10僅抽出存在于將被檢查圖像數(shù)據(jù)以預(yù)先設(shè)定的臨限值二值化時(shí)的黑色電平上的缺陷部分，基于通過靈敏度制作部9所取得的方向圖像數(shù)據(jù)，將于圖案寬度方向測(cè)定的缺陷部分的尺寸作為亮度設(shè)定于對(duì)應(yīng)像素。
判定部11分別接受通過缺陷尺寸制作部10所制作的缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與通過靈敏度制作部9所制作的靈敏度圖像數(shù)據(jù)，比較該等缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與靈敏度圖像數(shù)據(jù)，抽出缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)亮于靈敏度圖像數(shù)據(jù)的部分，進(jìn)而進(jìn)行對(duì)于缺陷部分的缺陷判定。
如此，于上述第1實(shí)施形態(tài)中，于0度方向、45度方向、90度方向以及135度方向掃描參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)上，并計(jì)測(cè)于各掃描方向連續(xù)的黑色電平的像素?cái)?shù)，進(jìn)而求得對(duì)于該像素?cái)?shù)為最少的方向的圖案寬度，即最小圖案寬度。并且，將參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為相應(yīng)于上述最小圖案寬度的亮度，制作具有相應(yīng)于該亮度的各缺陷檢測(cè)靈敏度的各尺寸判定區(qū)域的靈敏度圖像數(shù)據(jù)。
此外，另一方面，基于被檢查圖像數(shù)據(jù)與參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)的差分抽出缺陷部分，將該缺陷部分于圖案寬度方向的尺寸變換為亮度，制作缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)。
并且，比較該等缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與靈敏度圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行對(duì)于缺陷部分的缺陷判定。
因此，對(duì)于形成于未檢查品的晶片零件1上的各圖案，自動(dòng)地制作相應(yīng)于各自的最小圖案寬度的靈敏度圖像數(shù)據(jù)，故而即使電路圖案2于每一區(qū)域密度相異，或于各區(qū)域其區(qū)域的形狀較為復(fù)雜，或具有形成于斜方向的圖案，區(qū)域的形成較多，也可確實(shí)地判定電路圖案2上的缺陷部分。因此，可飛躍性地縮短電路圖案2的缺陷檢查所需的時(shí)間，從而可飛躍性地提高其操作效率。
另外，本發(fā)明并非限定于上述實(shí)施形態(tài)內(nèi)容，在實(shí)施階段中不脫離其要旨的范圍內(nèi)可作各種變形。
再者，上述實(shí)施形態(tài)中包含各種階段的發(fā)明，可通過所揭示的復(fù)數(shù)個(gè)構(gòu)成要件的適宜組合抽出各種發(fā)明。例如，即使自實(shí)施形態(tài)所示的全部構(gòu)成要件刪除幾個(gè)構(gòu)成要件，也可解決發(fā)明所欲解決的問題欄中闡述的問題，于可獲得發(fā)明的效果欄中所闡述的效果的情形時(shí)，可抽出該構(gòu)成要件經(jīng)刪除的構(gòu)成作為發(fā)明。
例如，于上述實(shí)施形態(tài)中，分別將參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)以及被檢查圖像數(shù)據(jù)二值化，但并非限定于此，也可變換為三值、四值等多值的圖像數(shù)據(jù)。
此外，基于參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)與被檢查圖像數(shù)據(jù)的差分抽出缺陷部分，但并非限定于此，也可使用差分的絕對(duì)值或最小min-最大max法。
繼而，就本發(fā)明的第2實(shí)施形態(tài)參照?qǐng)D式加以說明。
于本實(shí)施形態(tài)中靈敏度制作部9除上述實(shí)施形態(tài)的功能以外，也具有補(bǔ)正45度掃描圖像數(shù)據(jù)與135度掃描圖像數(shù)據(jù)時(shí)產(chǎn)生的不需要的層次的功能。
該層次是指在45度方向或135度方向即斜方向掃描參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)時(shí)，在電路圖案2的頂點(diǎn)部亮度階梯性地變化。在產(chǎn)生層次的區(qū)域中，方向圖像數(shù)據(jù)上無法正確表示圖案寬度方向，此為導(dǎo)致降低缺陷檢測(cè)可靠性的原因。
例如，圖10是本發(fā)明第2實(shí)施形態(tài)的經(jīng)二值化的參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)的模式圖，金屬制成的電路圖案2成為黑色電平。
靈敏度制作部9于例如45度方向掃描該參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)上，計(jì)測(cè)黑色電平連續(xù)的像素?cái)?shù)，求得對(duì)于該方向的圖案寬度，并將其變換為相應(yīng)于該圖案寬度的亮度時(shí)，可制作如圖11所示的45度掃描圖像數(shù)據(jù)。觀察該45度掃描圖像數(shù)據(jù)時(shí)，可確認(rèn)電路圖案2的頂點(diǎn)部C的亮度階梯性地變化。
作為補(bǔ)正該層次的方法，于本實(shí)施形態(tài)中使用自各掃描圖像數(shù)據(jù)去除層次部分的方法。于該方法中，關(guān)于所關(guān)注像素及其周圍8個(gè)像素評(píng)估相鄰的像素的亮度的平均變化Dave。該評(píng)估使用下述[數(shù)1]表示的評(píng)估函數(shù)。
Dave={Σj=0,1,k=-1,0,1D(I(x+j,y+k),I(x+j-1,y+k))+Σj=-1,0,1,k=0,1D(I(x+j,y+k),I(x+j,y+k-1))}/12]]>D(a-b)＝|a-b-1|另外，僅計(jì)算a≠0且b≠0時(shí)的值。
可確認(rèn)平均變化Dave的值在相鄰的像素的亮度變化均為+1時(shí)，即具有圖11所示的頂點(diǎn)部C般的層次時(shí)成為0。因此，關(guān)于平均變化Dave成為某一臨限值以下的像素，修正其亮度為0時(shí)，如圖12所示可去除層次。
如此，自例如45度掃描圖像數(shù)據(jù)或135度掃描圖像數(shù)據(jù)去除產(chǎn)生于電路圖案2的頂點(diǎn)部的層次部分，故而可獲得正確的方向圖像數(shù)據(jù)，從而可提高缺陷檢測(cè)的可靠性。
另外，作為補(bǔ)正層次的方法，取代使用評(píng)估函數(shù)[數(shù)1]的方法，也可使用于自電路圖案2的縱方向的寬度與橫方向的寬度求得的理想的斜方向的寬度與實(shí)際的斜方向的寬度較接近的情形時(shí)，判斷該圖案為斜方向的圖案的方法。
例如，如圖13所示，將于0度方向掃描通過斜方向圖案內(nèi)P點(diǎn)(x、y)的圖案時(shí)的圖案寬度設(shè)為W，將于90度方向掃描時(shí)的圖案寬度設(shè)為H時(shí)，對(duì)于自該等寬度求得理想的斜方向的寬度Iw、Ih分別如下述[數(shù)2]所示。
Iw=W2,]]>Ih=H2]]>此處，實(shí)際的斜寬度R對(duì)于Iw或Ih具有公差δ以上的差時(shí)，判斷并非為斜線，并將斜線寬度圖像的P(x、y)設(shè)為0。
可通過對(duì)所有的線圖案內(nèi)的點(diǎn)進(jìn)行該判斷，降低于頂點(diǎn)部出現(xiàn)的層次部分，從而可獲得正確的方向圖像，提高缺陷檢測(cè)的可靠性。
此外，比較上述4個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)制作上述方向圖像數(shù)據(jù)時(shí)，也可使用自比較對(duì)照去除頂點(diǎn)部的方法。該方法當(dāng)然也可降低層次。
權(quán)利要求
1.一種缺陷檢查方法，其為攝像描繪有圖案的被檢查體，基于所取得的被檢查圖像數(shù)據(jù)與參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)進(jìn)行上述被檢查體的缺陷檢查，其特征在于包含第1步驟，其基于上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)，于復(fù)數(shù)個(gè)方向計(jì)測(cè)上述圖案的寬度，并將上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為相應(yīng)于上述圖案于上述各方向的寬度的亮度，制作對(duì)應(yīng)于上述各方向的復(fù)數(shù)個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)；第2步驟，其比較上述復(fù)數(shù)個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)，并自該等掃描圖像數(shù)據(jù)選出最小的亮度的最小亮度，制作寬度圖像數(shù)據(jù)；第3步驟，其基于上述被檢查圖像數(shù)據(jù)與上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)抽出缺陷部分，并將于上述圖案的寬度成為最小亮度的方向測(cè)定上述缺陷部分的尺寸變換為亮度，制作缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)；以及第4步驟，其基于上述缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與上述寬度圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行對(duì)于上述缺陷部分的缺陷判定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查方法，其中于上述第1步驟中，至少于縱方向、橫方向以及斜方向計(jì)測(cè)上述圖案的寬度，制作縱掃描圖像數(shù)據(jù)、橫掃描圖像數(shù)據(jù)以及斜掃描圖像數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的缺陷檢查方法，其中于上述第1步驟中，將上述斜掃描圖像數(shù)據(jù)中亮度連續(xù)變化的部分的亮度設(shè)為0。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的缺陷檢查方法，其中于上述第1步驟中，將復(fù)數(shù)個(gè)圖案交叉的交叉部分的亮度設(shè)為0，于上述第2步驟中，僅基于上述縱掃描圖像數(shù)據(jù)與上述橫掃描圖像數(shù)據(jù)對(duì)于上述交叉部分制作上述寬度圖像數(shù)據(jù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的缺陷檢查方法，其中于上述第1步驟中，基于上述縱掃描圖像數(shù)據(jù)以及橫掃描圖像數(shù)據(jù)的至少一個(gè)求得上述圖案的理想的最小亮度，當(dāng)實(shí)際的最小亮度與上述理想的最小亮度的差超過特定值時(shí)，將對(duì)應(yīng)部分的亮度設(shè)為0。
6.一種缺陷檢查方法，其為攝像描繪有圖案的被檢查體，基于所取得的被檢查圖像數(shù)據(jù)與參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)進(jìn)行上述被檢查體的缺陷檢查，其特征在于包含第1步驟，其將上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為亮度，制作方向圖像數(shù)據(jù)，上述亮度相應(yīng)于于復(fù)數(shù)個(gè)方向所測(cè)定的上述圖案的寬度中成為最小寬度的方向；第2步驟，其將上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為相應(yīng)于上述圖案的上述最小寬度的亮度，制作具有相應(yīng)于該亮度的各缺陷檢測(cè)靈敏度的各尺寸判定區(qū)域的靈敏度圖像數(shù)據(jù)；第3步驟，其基于上述被檢查圖像數(shù)據(jù)與上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)抽出缺陷部分，將于成為上述圖案的最小寬度的方向所測(cè)定的上述缺陷部分的尺寸變換為亮度，制作缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)；以及第4步驟，其比較上述缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與上述靈敏度圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行對(duì)于上述缺陷部分的缺陷判定。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種缺陷檢查方法，其可相應(yīng)于圖案的密度自動(dòng)地設(shè)定具有相應(yīng)于缺陷部分的尺寸的缺陷檢測(cè)靈敏度的尺寸判定區(qū)域，進(jìn)行缺陷檢查。該缺陷檢查方法包含其基于參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)，于復(fù)數(shù)個(gè)方向計(jì)測(cè)圖案的寬度，并將上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)變換為相應(yīng)于上述圖案于上述各方向的寬度的亮度，制作對(duì)應(yīng)于上述各方向的復(fù)數(shù)個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)；其比較上述復(fù)數(shù)個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)，并自該等掃描圖像數(shù)據(jù)選出最小的亮度的最小亮度，制作寬度圖像數(shù)據(jù)；其基于被檢查圖像數(shù)據(jù)與上述參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)抽出缺陷部分，并將于上述圖案的寬度成為最小亮度的方向測(cè)定的尺寸變換為亮度，制作缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)；以及，其基于上述缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與上述寬度圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行對(duì)于上述缺陷部分的缺陷判定。
文檔編號(hào)G01N21/956GK1619790SQ20041008396
公開日2005年5月25日 申請(qǐng)日期2004年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月17日
發(fā)明者伊美哲志 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝