專利名稱：氣體調(diào)壓器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及氣體調(diào)壓器領(lǐng)域，尤其涉及調(diào)壓閥桿呈螺旋軌跡運(yùn)動(dòng)的氣 體調(diào)壓器。
背景技術(shù)：
氣體運(yùn)輸管路是工業(yè)制造領(lǐng)域常見的工業(yè)設(shè)備，用于將工業(yè)氣體運(yùn)輸?shù)礁?個(gè)制作部門。目前，大多數(shù)工業(yè)制造領(lǐng)域?qū)に嚉怏w的壓力及流量均存在工藝 要求，因此就需要使用氣體調(diào)壓器實(shí)現(xiàn)氣體管路內(nèi)或氣體管路到制作設(shè)備的工 藝氣體壓力的調(diào)節(jié)。在半導(dǎo)體工業(yè)，利用氣體調(diào)壓器調(diào)節(jié)氣體管路內(nèi)工藝氣體 壓力更為常見。隨著半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展，其工藝制造的特征尺寸不斷減小， 對(duì)制造工業(yè)中工藝氣體壓力的要求更為嚴(yán)格，壓力過大或過小均會(huì)對(duì)制作半導(dǎo) 體產(chǎn)品的質(zhì)量造成影響。
目前，半導(dǎo)體使用的生產(chǎn)工藝氣體的調(diào)壓器多數(shù)仍是人為操作控制的氣體 調(diào)壓器，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中經(jīng)常遇到制造部門向氣體運(yùn)輸管路提出要求，例
如要求氣體管路進(jìn)行循環(huán)凈化(cycle purge)。循環(huán)凈化是消除供應(yīng)氣體的運(yùn)輸 管路內(nèi)氣體微粒超標(biāo)的措施之一，它包括利用高純度的惰性氣體，例如氮?dú)猓?對(duì)氣體管路進(jìn)行吹掃，再進(jìn)行抽真空的過程。在執(zhí)行循環(huán)凈化時(shí)，是將氣體管 路上的氣體調(diào)壓器的調(diào)壓閥桿旋轉(zhuǎn)到最大，使得進(jìn)入氣體運(yùn)輸管路內(nèi)進(jìn)行吹掃 的氣體壓力最大，然后對(duì)該氣體運(yùn)輸管路進(jìn)行抽真空。這樣反復(fù)吹掃和抽真空 后，需旋轉(zhuǎn)氣體調(diào)壓器的調(diào)壓閥桿將其逐漸恢復(fù)到氣體調(diào)壓器原來用于控制運(yùn) 輸管內(nèi)工藝氣體壓力時(shí)調(diào)壓閥桿所在的位置，以保證氣體運(yùn)輸管路內(nèi)供應(yīng)的工 藝氣體壓力不變。
然而目前所有的氣體調(diào)壓器上都無法顯示調(diào)壓閥桿旋轉(zhuǎn)的幅度，且氣體調(diào) 壓器的調(diào)壓閥桿的運(yùn)動(dòng)軌跡多為螺旋式的運(yùn)動(dòng)軌跡。調(diào)壓閥桿兩端分別為操作 端和控制端，調(diào)壓閥桿操作端及閥桿部分通常位于調(diào)壓閥本體內(nèi)，而調(diào)壓閥桿的控制端則外露于調(diào)壓閥本體，或者通過與調(diào)壓閥桿控制端連接的調(diào)壓錄 組實(shí) 現(xiàn)調(diào)壓閥桿控制端的操作。
目前的氣體調(diào)壓器不具備顯示調(diào)壓閥桿控制端變化幅度的裝置，即無法定 位調(diào)壓閥桿整體所在位置。因此，每次氣體運(yùn)輸管路中需要重新供應(yīng)工藝氣體 時(shí)都需要花費(fèi)大量的時(shí)間試著旋轉(zhuǎn)調(diào)壓閥桿控制端，邊調(diào)節(jié)邊觀察氣體壓力的 變化。氣體運(yùn)輸管路中的氣體壓力變化常常滯后于調(diào)壓閥桿控制端調(diào)節(jié)幅度的 變化，因此依據(jù)氣體壓力設(shè)定氣體調(diào)壓器調(diào)壓閥桿控制端的位置會(huì)存在很大的 誤差。若調(diào)節(jié)調(diào)壓閥桿控制端后，氣體運(yùn)輸管路內(nèi)氣體壓力大于供應(yīng)工藝氣體 壓力要求則不允許回調(diào)調(diào)壓閥桿控制端。因?yàn)榛卣{(diào)調(diào)壓閥桿控制端而降低氣體
運(yùn)輸管路內(nèi)工藝氣體壓力會(huì)導(dǎo)致氣體管路內(nèi)產(chǎn)生微粒(Particle),造成工藝氣體 污染。
綜上所述，傳統(tǒng)氣體調(diào)壓器調(diào)壓閥桿控制端的定位方式不僅效率低下，且 由于調(diào)壓閥桿整體運(yùn)動(dòng)軌跡呈螺旋式，很難準(zhǔn)確把握原供應(yīng)工藝氣體時(shí)調(diào)壓閥 桿控制端所在位置，即調(diào)壓閥桿所在的準(zhǔn)確位置，從而導(dǎo)致氣體運(yùn)輸管路中重 新供應(yīng)的工藝氣體壓力不符合要求。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種氣體調(diào)壓器，以解決傳統(tǒng)氣體調(diào) 壓器存在的調(diào)壓閥桿難于準(zhǔn)確定位的問題。
為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的氣體調(diào)壓器，它包括調(diào)壓閥桿和 調(diào)壓閥本體，所述調(diào)壓閥桿兩端分別為操作端和控制端，所述調(diào)壓閥桿操作端 位于所述調(diào)壓閥本體內(nèi)。所述氣體調(diào)壓器還包括用于讀取所述調(diào)壓閥桿控制端 旋轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺，以及用于讀取調(diào)壓閥桿控制端相對(duì)所述調(diào)壓閥本體 位移的位移標(biāo)尺。
與傳統(tǒng)氣體調(diào)壓器相比，本實(shí)用新型的氣體調(diào)壓器通過增設(shè)旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺 和位移標(biāo)尺來測(cè)量螺旋式運(yùn)動(dòng)軌跡的調(diào)壓閥桿控制端始末狀態(tài)對(duì)應(yīng)的角度和位 移。這樣在循環(huán)凈化之后可以方便準(zhǔn)確地將調(diào)壓閥桿控制端定位至原先供應(yīng)工 藝氣體時(shí)所在的位置。因此，本實(shí)用新型的氣體調(diào)壓器可有效解決背景技術(shù)所 揭露的調(diào)壓閥桿控制端，即調(diào)壓閥桿難于準(zhǔn)確定位的問題。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型的氣體調(diào)壓器作進(jìn)一步的詳細(xì) 說明。
圖l是本實(shí)用新型氣體調(diào)壓器的主視圖。
圖2是


圖1所示氣體調(diào)壓器的俯視圖。 圖3是
圖1所示氣體調(diào)壓器的側(cè)視圖。 圖4是本實(shí)用新型氣體調(diào)壓器的使用示意圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱
圖1所示的主^f見圖，本實(shí)施例的氣體調(diào)壓器包括調(diào)壓閥桿1和調(diào)壓 閥本體2。調(diào)壓閥桿1操作端及閥桿部分位于調(diào)壓閥本體2內(nèi)。調(diào)壓閥桿1控制 端可設(shè)于調(diào)壓閥本體2內(nèi)或外露于調(diào)壓閥本體2。該氣體調(diào)壓器還包旋轉(zhuǎn)角度標(biāo) 尺4和位移標(biāo)尺5。旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺4圍繞調(diào)壓閥桿2 —端，讀取調(diào)壓閥桿2旋轉(zhuǎn) 的角度，位移標(biāo)尺5用于讀取調(diào)壓閥桿1相對(duì)于調(diào)壓閥本體2的位移。
如
圖1所示的氣體調(diào)壓器的調(diào)壓閥桿1控制端，其幾乎完全位于調(diào)壓閥本 體2的內(nèi)部。在通常狀態(tài)下，調(diào)壓閥桿1的控制端及靠近控制端的閥桿部分是 外露于調(diào)壓閥本體2的。為保護(hù)調(diào)壓閥桿1和避免外界污染源由外露的調(diào)壓閥 桿1的控制端或閥桿部分進(jìn)入調(diào)壓閥本體2，調(diào)壓閥桿1控制端連接有調(diào)壓旋鈕 3。調(diào)壓旋鈕3為一底面開口的柱帽，蓋于調(diào)壓閥桿l控制端所在的調(diào)壓閥本體 2的端部。這樣調(diào)壓旋鈕3使得外露于調(diào)壓岡體2的閥桿部分及調(diào)壓閥桿控制端 與調(diào)壓閥本體2之間形成密閉的空間，可有效阻擋外界的污染源進(jìn)入調(diào)壓閥本 體2或損害外露的閥桿。同時(shí)，與調(diào)壓閥桿1控制端連接的調(diào)壓旋鈕3，便于操 作人員通過調(diào)壓旋鈕3對(duì)調(diào)壓閥桿控制端施力，對(duì)其進(jìn)行控制。
如
圖1所示的旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺4為環(huán)形標(biāo)尺，位于調(diào)壓閥本體2靠近調(diào)壓旋 鈕3的一端面，環(huán)繞調(diào)壓閥桿l的控制端。調(diào)壓旋鈕3為非透明材料，為便于 看到調(diào)壓閥桿1控制端相對(duì)調(diào)壓閥本體2旋轉(zhuǎn)的角度，調(diào)壓旋鈕3與調(diào)壓閥桿1 控制端連接的底面開有一扇形孔31,曝露調(diào)壓閥桿控制端所在環(huán)形標(biāo)尺4的讀 數(shù)。請(qǐng)參閱圖2所示的氣體調(diào)壓器的俯視圖，為更準(zhǔn)確讀取調(diào)壓閥桿1所對(duì)應(yīng) 的環(huán)形標(biāo)尺4上的讀數(shù)，調(diào)壓閥桿1控制端可具有一與其固定連接的讀數(shù)指針11,位于調(diào)壓旋鈕3扇形孔31和旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺4之間。這樣讀數(shù)指針?biāo)甘镜?環(huán)形標(biāo)尺上的讀數(shù)可精確地表明此時(shí)調(diào)壓閥桿控制端所在的旋轉(zhuǎn)角度數(shù)。
當(dāng)然若調(diào)壓旋鈕3為透明材料制作，可直接顯示其下方調(diào)壓閥本體2端面 上的環(huán)形標(biāo)尺的讀數(shù)。對(duì)應(yīng)地，只要在調(diào)壓閥桿控制端上作上標(biāo)記，就可4艮據(jù) 控制端上標(biāo)記所在位置讀取控制端此時(shí)所在的角度。
所述旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺并非局限于環(huán)形標(biāo)尺，該旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺也可采用其他旋 轉(zhuǎn)角度測(cè)量工具進(jìn)行測(cè)量。本實(shí)施例提供的環(huán)形標(biāo)尺相對(duì)其他旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量工 具而言，其制作簡(jiǎn)單、成本低廉，且可達(dá)到準(zhǔn)確測(cè)量調(diào)壓閥桿控制端旋轉(zhuǎn)角度 的目的。
由于旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺僅可用于測(cè)量調(diào)壓閥桿控制端的旋轉(zhuǎn)角度，而不能確定 調(diào)壓閥桿控制端的豎直位置。因此為測(cè)量調(diào)壓閥桿控制端相對(duì)調(diào)壓閥本體2的 位移，還需要采用位移標(biāo)尺5進(jìn)行測(cè)量。
請(qǐng)參閱圖3所示的側(cè)視圖。本實(shí)施例的位移標(biāo)尺5為兩個(gè)方形標(biāo)尺。兩個(gè) 方形標(biāo)尺5位于調(diào)壓閥本體2的兩側(cè)；調(diào)壓銷 組3底面的邊沿位于兩個(gè)方形標(biāo) 尺5上。優(yōu)選地，調(diào)壓旋鈕3的內(nèi)側(cè)面與方形標(biāo)尺5表面之間留有空隙，避免 與方形標(biāo)尺5表面接觸。這樣可避免方形標(biāo)尺表面因長(zhǎng)期摩擦導(dǎo)致其讀數(shù)模糊 的問題。
當(dāng)然也可采用四個(gè)或更多的位移標(biāo)尺5來測(cè)量調(diào)壓閥桿控制端或調(diào)壓閥桿1 整體垂直移動(dòng)的距離，這樣能方便用戶從各個(gè)不同角度讀出調(diào)壓旋鈕3底面在 位移標(biāo)尺5上所對(duì)應(yīng)的讀數(shù)。為保持各個(gè)位移標(biāo)尺5上的讀數(shù)相同，位移標(biāo)尺5 所放置的位置應(yīng)是對(duì)稱的，其上讀數(shù)范圍和刻度也應(yīng)保持一致。讀取調(diào)壓閥桿 控制端的位移，并非只有本實(shí)施例的兩個(gè)位于調(diào)壓閥本體2兩側(cè)的方形標(biāo)尺5 可實(shí)現(xiàn)，也可采用本技術(shù)領(lǐng)域人員所熟悉的其他位移測(cè)量方法進(jìn)行測(cè)量。因此， 本實(shí)用新型的位移標(biāo)尺并非局限于兩個(gè)方形標(biāo)尺或若干方形標(biāo)尺。本實(shí)施例兩 個(gè)方形標(biāo)尺作為位移標(biāo)尺相對(duì)其他測(cè)量裝置來說更為簡(jiǎn)單和易于制作。
請(qǐng)參閱圖4，氣體調(diào)壓器在輸送工藝氣體時(shí)對(duì)應(yīng)的調(diào)壓旋鈕3的初始位置為 圖4所示的AB位置，在循環(huán)凈化之前由操作人員記錄下AB位置所對(duì)應(yīng)的一組 角度讀數(shù)和位移讀數(shù)。當(dāng)完成循環(huán)凈化后，調(diào)壓旋鈕3被調(diào)至A'B'位置，此時(shí) 調(diào)壓旋鈕3對(duì)應(yīng)的角度讀數(shù)和位移讀數(shù)可分別從旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺4和位移標(biāo)尺5上讀出，操作人員只要根據(jù)預(yù)先記錄下來的調(diào)壓旋鈕的初始位置，即調(diào)壓閥桿 控制端所在位置的角度讀數(shù)和位移讀數(shù)，就可快速準(zhǔn)確地將調(diào)壓閥桿的位置準(zhǔn) 確調(diào)至原先用于輸送工藝氣體時(shí)的位置或任何其他指定的位置。
本實(shí)用新型的氣體調(diào)壓器通過增設(shè)旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺和位移標(biāo)尺來測(cè)量螺旋式 運(yùn)動(dòng)軌跡的調(diào)壓閥桿控制端始末狀態(tài)對(duì)應(yīng)的角度和位移。這樣在循環(huán)凈化之后 可以方便準(zhǔn)確地將調(diào)壓閥桿控制端定位至原先供應(yīng)工藝氣體時(shí)所在的位置。因 此，本實(shí)用新型的氣體調(diào)壓器可有效解決背景技術(shù)所揭露的調(diào)壓閥桿控制端難 于準(zhǔn)確定位的問題。需要注意的是，本實(shí)用新型提供的氣體調(diào)壓器并不局限用 于半導(dǎo)體制造業(yè)的管路控制系統(tǒng)中，還可以運(yùn)用于其他對(duì)管路輸送氣壓具有嚴(yán) 格要求的氣體輸送管路系統(tǒng)中，實(shí)現(xiàn)氣體調(diào)壓器調(diào)壓閥桿控制端的準(zhǔn)確定位。 本實(shí)施例的氣體調(diào)壓器不作為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限定，保護(hù)范圍仍以權(quán) 力要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1、一種氣體調(diào)壓器，它包括調(diào)壓閥桿和調(diào)壓閥本體，所述調(diào)壓閥桿兩端分別為操作端和控制端，所述調(diào)壓閥桿操作端位于所述調(diào)壓閥本體內(nèi)，其特征在于，所述氣體調(diào)壓器還包括用于讀取所述調(diào)壓閥桿控制端旋轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺，以及用于讀取調(diào)壓閥桿控制端相對(duì)所述調(diào)壓閥本體位移的位移標(biāo)尺。
2、 如權(quán)利要求1所述的氣體調(diào)壓器，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺為環(huán)形標(biāo) 尺，位于調(diào)壓閥本體的端面，環(huán)繞所述調(diào)壓閥桿的控制端"i殳置。
3、 如權(quán)利要求1所述的氣體調(diào)壓器，其特征在于，所述調(diào)壓閥桿控制端上固定 有一讀數(shù)指針。
4、 如權(quán)利要求1所述的氣體調(diào)壓器，其特征在于，所述調(diào)壓閥桿控制端與一調(diào) 壓旋鈕相連，所述調(diào)壓旋鈕罩設(shè)在所述調(diào)壓閥本體上。
5、 如權(quán)利要求4所述的氣體調(diào)壓器，其特征在于，所述調(diào)壓旋鈕上開有一通孔， 用于讀取所述調(diào)壓閥桿控制端在旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺上所對(duì)應(yīng)的讀數(shù)。
6、 如權(quán)利要求1所述的氣體調(diào)壓器，其特征在于，所述位移標(biāo)尺為兩個(gè)方形標(biāo) 尺，所述兩個(gè)方形標(biāo)尺位于所述調(diào)壓閥本體的兩側(cè)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種氣體調(diào)壓器，它包括調(diào)壓閥桿和調(diào)壓閥本體，調(diào)壓閥桿兩端分別為操作端和控制端，調(diào)壓閥桿操作端位于調(diào)壓閥本體內(nèi)。所述氣體調(diào)壓器還包旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺和位移標(biāo)尺，旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺圍繞所述調(diào)壓閥桿的控制端，讀取所述調(diào)壓閥桿控制端旋轉(zhuǎn)的角度；位移標(biāo)尺用于讀取調(diào)壓閥桿控制端相對(duì)于調(diào)壓閥本體的位移。本實(shí)用新型的氣體調(diào)壓器通過增設(shè)旋轉(zhuǎn)角度標(biāo)尺和位移標(biāo)尺來測(cè)量螺旋式運(yùn)動(dòng)軌跡的調(diào)壓閥桿控制端始末狀態(tài)對(duì)應(yīng)的角度和位移，有效解決了氣體調(diào)壓器的調(diào)壓閥桿難于準(zhǔn)確定位的問題。
文檔編號(hào)F16K17/36GK201297441SQ20082015430
公開日2009年8月26日 申請(qǐng)日期2008年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月21日
發(fā)明者王東海 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司