一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及液滴微噴領(lǐng)域，更具體的說(shuō)涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著微電子封裝技術(shù)的發(fā)展，微電子產(chǎn)業(yè)中需要使用流體材料的工藝越來(lái)越多，促使流體微噴技術(shù)也迅速發(fā)展。流體微噴技術(shù)是微電子封裝中的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，它可以構(gòu)造形成點(diǎn)、線、面及各種圖形，大量地應(yīng)用于芯片固定、封裝倒扣和芯片涂覆。
[0003]目前實(shí)現(xiàn)流體微噴主要是利用安培力來(lái)實(shí)現(xiàn)，即先在噴射閥體所處的空間處加載一個(gè)恒定磁場(chǎng)，然后再選擇可以導(dǎo)電的流體并往流體中通電，如此導(dǎo)電流體將會(huì)在安培力的作用下從噴嘴向外噴出，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)液體微滴的噴射，此種微滴噴射方法雖然能產(chǎn)生液體微滴，但是其至少需要液體導(dǎo)電金屬方能實(shí)現(xiàn)，在材料選擇上較為受限，實(shí)際可推廣性較差，仍然存在進(jìn)一步的改進(jìn)空間。
[0004]有鑒于此，本發(fā)明人針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷深入研究，遂有本案產(chǎn)生。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，其創(chuàng)新地提出了新的微噴驅(qū)動(dòng)思路，豐富了微噴領(lǐng)域的實(shí)現(xiàn)手段。
[0006]為了達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型的解決方案是:
[0007]—種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，其中，包括噴射閥體、噴頭、電加熱片、記憶金屬片以及供料機(jī)構(gòu)，該噴射閥體具有腔室，該腔室與供料機(jī)構(gòu)連通以隨時(shí)補(bǔ)充微噴液體，該腔室與噴頭相連通，該腔室至少有一個(gè)壁面由記憶金屬片構(gòu)成，該電加熱片設(shè)置在記憶金屬片外側(cè)對(duì)記憶金屬片加熱以讓記憶金屬片產(chǎn)生朝向噴射閥體腔室一側(cè)的形變。
[0008]進(jìn)一步，該電加熱片與記憶金屬片通過(guò)膜片蓋板固定貼合相連。
[0009]進(jìn)一步，該腔室兩側(cè)壁都設(shè)置有電加熱片、膜片蓋板和記憶金屬片。
[0010]進(jìn)一步，該腔室兩側(cè)壁中的一側(cè)壁設(shè)置有電加熱片、膜片蓋板和記憶金屬片。
[0011 ] 進(jìn)一步，該腔室頂部設(shè)置有電加熱片、膜片蓋板和記憶金屬片。
[0012]進(jìn)一步，該供料機(jī)構(gòu)具有供料桶、L形轉(zhuǎn)接頭、單向閥以及閥體轉(zhuǎn)接頭，該噴射閥體依次通過(guò)閥體轉(zhuǎn)接頭、單向閥和L形轉(zhuǎn)接頭而與供料桶相連通。
[0013]進(jìn)一步，該電加熱片采用柔性材質(zhì)制成。
[0014]采用上述結(jié)構(gòu)后，本實(shí)用新型涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，當(dāng)往電加熱片施加正電壓時(shí)，該電加熱片會(huì)迅速發(fā)熱并快速給記憶金屬片加熱，使其瞬間往腔室內(nèi)側(cè)變形，由于腔室體積減少，壓力增大，流體通過(guò)噴嘴形成射流。當(dāng)電加熱片上正電壓消失時(shí)，電加熱片不再加熱，記憶金屬片停止正向變形并開(kāi)始恢復(fù)引起噴嘴出射流開(kāi)始頸縮分離，從而使液體噴射出去。
[0015]通過(guò)對(duì)施加電壓頻率的改變可以改變噴射的頻率，通過(guò)改變記憶金屬變形量則可以改變噴射顆粒的大小。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置第一實(shí)施例的立體分解圖。
[0017]圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中記憶金屬片處于常規(guī)狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0018]圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中記憶金屬片處于變形狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0019]圖4為本實(shí)用新型涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置第二實(shí)施例的立體分解圖。
[0020]圖5為本實(shí)用新型第二實(shí)施例中記憶金屬片處于常規(guī)狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0021]圖6為本實(shí)用新型第二實(shí)施例中記憶金屬片處于變形狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0022]圖7為本實(shí)用新型涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置第三實(shí)施例的立體分解圖。
[0023]圖8為本實(shí)用新型第三實(shí)施例中記憶金屬片處于常規(guī)狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0024]圖9為本實(shí)用新型第三實(shí)施例中記憶金屬片處于變形狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0025]圖中:
[0026]噴射閥體-1 ;腔室-11 ;噴頭-2 ;
[0027]電加熱片-3 ;記憶金屬片-4 ;膜片蓋板-5 ；
[0028]供料機(jī)構(gòu)-6 ;供料桶-61 ;L形轉(zhuǎn)接頭-62 ;
[0029]單向閥-63 ；閥體轉(zhuǎn)接頭-64。
【具體實(shí)施方式】
[0030]為了進(jìn)一步解釋本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面通過(guò)具體實(shí)施例來(lái)對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)闡述。
[0031]如圖1至圖9所示，本實(shí)用新型涉及的一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴方法，包括如下步驟:
[0032]①往噴射閥體I的腔室11中充滿(mǎn)待微噴液體，該噴射閥體I的腔室11與噴頭2相連，該噴射閥體I的腔室11至少有一個(gè)壁面采用記憶金屬片4制成；
[0033]②給電加熱片3施加正電壓，該電加熱片3與記憶金屬片4熱傳導(dǎo)相連，該記憶金屬片4產(chǎn)生朝向噴射閥體I腔室11 一側(cè)的形變，使待微噴液體從噴頭2向外噴出，形成液體微滴；
[0034]③停止給電加熱片3施加正電壓，該電加熱片3停止工作，該記憶金屬片4復(fù)位；
[0035]④重復(fù)步驟②和③，實(shí)現(xiàn)連續(xù)不斷地噴射液體微滴。具體地，步驟④可以采用施加具有一定占空比的方波來(lái)實(shí)現(xiàn)重復(fù)步驟②和步驟③。在步驟④中通過(guò)控制方波的頻率來(lái)控制液體微滴的噴射頻率，通過(guò)控制方波的占空比來(lái)控制液體微滴的噴射量。
[0036]如圖1至圖9所示，本實(shí)用新型還提供一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，包括噴射閥體1、噴頭2、電加熱片3、記憶金屬片4以及供料機(jī)構(gòu)6，該噴射閥體I具有腔室11，該腔室11與供料機(jī)構(gòu)6連通以隨時(shí)補(bǔ)充微噴液體，該腔室11與噴頭2相連通，該腔室11至少有一個(gè)壁面由記憶金屬片4構(gòu)成，該電加熱片3設(shè)置在記憶金屬片4外側(cè)對(duì)記憶金屬片4加熱以讓記憶金屬片4產(chǎn)生朝向噴射閥體I腔室11 一側(cè)的形變。
[0037]具體地，該電加熱片3與記憶金屬片4通過(guò)膜片蓋板5固定貼合相連。
[0038]如圖1至圖3所示，在第一實(shí)施例中，該電加熱片3、記憶金屬片4和膜片蓋板5為設(shè)置在腔室11兩側(cè)壁的兩組，如圖2和圖3對(duì)比可知，在記憶金屬片4工作時(shí)，其將會(huì)在中部區(qū)域發(fā)生向腔室11內(nèi)側(cè)的形變，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)液體噴射。
[0039]如圖4至圖6所示，在第二實(shí)施例中，該電加熱片3、記憶金屬片4和膜片蓋板5為設(shè)置在腔室11 一側(cè)壁的一組，另一組則為永久性固定不動(dòng)的側(cè)壁，如圖5和圖6對(duì)比可知，在記憶金屬片4工作時(shí)，將會(huì)在中部區(qū)域發(fā)生向腔室11內(nèi)側(cè)的形變，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)液體噴射。
[0040]如圖7至圖9所示，在第三實(shí)施例中，該電加熱片3、記憶金屬片4和膜片蓋板5為設(shè)置在腔室11的頂部位置，如圖8和圖9對(duì)比可知，在記憶金屬片4工作時(shí)，將會(huì)在中部區(qū)域發(fā)生向腔室11內(nèi)側(cè)的形變，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)液體噴射。
[0041]在第一至第三實(shí)施例中，該供料機(jī)構(gòu)6都具有供料桶61、L形轉(zhuǎn)接頭62、單向閥63以及閥體轉(zhuǎn)接頭64，該噴射閥體I依次通過(guò)閥體轉(zhuǎn)接頭64、單向閥63和L形轉(zhuǎn)接頭62而與供料桶61相連通，利用此單向閥63確保了記憶金屬片4形變時(shí)僅從噴頭2處噴射而出。優(yōu)選地，該電加熱片3采用柔性材質(zhì)制成。
[0042]這樣，本實(shí)用新型涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴方法，當(dāng)往電加熱片3施加正電壓時(shí)，該電加熱片3會(huì)迅速發(fā)熱并快速給記憶金屬片4加熱，使其瞬間往腔室11內(nèi)側(cè)變形，由于腔室11體積減少，壓力增大，流體通過(guò)噴嘴形成射流。當(dāng)電加熱片3上正電壓消失時(shí)，電加熱片3不再加熱，記憶金屬片4停止正向變形并開(kāi)始恢復(fù)引起噴嘴出射流開(kāi)始頸縮分離，從而使液體噴射出去。通過(guò)對(duì)施加電壓頻率的改變可以改變噴射的頻率，通過(guò)改變記憶金屬變形量則可以改變噴射顆粒的大小。
[0043]上述實(shí)施例和圖式并非限定本實(shí)用新型的產(chǎn)品形態(tài)和式樣，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員對(duì)其所做的適當(dāng)變化或修飾，皆應(yīng)視為不脫離本實(shí)用新型的專(zhuān)利范疇。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，其特征在于，包括噴射閥體、噴頭、電加熱片、記憶金屬片以及供料機(jī)構(gòu)，該噴射閥體具有腔室，該腔室與供料機(jī)構(gòu)連通以隨時(shí)補(bǔ)充微噴液體，該腔室與噴頭相連通，該腔室至少有一個(gè)壁面由記憶金屬片構(gòu)成，該電加熱片設(shè)置在記憶金屬片外側(cè)對(duì)記憶金屬片加熱以讓記憶金屬片產(chǎn)生朝向噴射閥體腔室一側(cè)的形變。2.如權(quán)利要求1所述的一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，其特征在于，該電加熱片與記憶金屬片通過(guò)膜片蓋板固定貼合相連。3.如權(quán)利要求2所述的一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，其特征在于，該腔室兩側(cè)壁都設(shè)置有電加熱片、膜片蓋板和記憶金屬片。4.如權(quán)利要求2所述的一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，其特征在于，該腔室兩側(cè)壁中的一側(cè)壁設(shè)置有電加熱片、膜片蓋板和記憶金屬片。5.如權(quán)利要求2所述的一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，其特征在于，該腔室頂部設(shè)置有電加熱片、膜片蓋板和記憶金屬片。6.如權(quán)利要求1所述的一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，其特征在于，該供料機(jī)構(gòu)具有供料桶、L形轉(zhuǎn)接頭、單向閥以及閥體轉(zhuǎn)接頭，該噴射閥體依次通過(guò)閥體轉(zhuǎn)接頭、單向閥和L形轉(zhuǎn)接頭而與供料桶相連通。7.如權(quán)利要求1所述的一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，其特征在于，該電加熱片采用柔性材質(zhì)制成。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，包括噴射閥體、噴頭、電加熱片、記憶金屬片以及供料機(jī)構(gòu)，該噴射閥體具有腔室，該腔室與供料機(jī)構(gòu)連通以隨時(shí)補(bǔ)充微噴液體，該腔室與噴頭相連通，該腔室至少有一個(gè)壁面由記憶金屬片構(gòu)成，該電加熱片設(shè)置在記憶金屬片外側(cè)對(duì)記憶金屬片加熱以讓記憶金屬片產(chǎn)生朝向噴射閥體腔室一側(cè)的形變。本實(shí)用新型創(chuàng)新地提出了新的微噴驅(qū)動(dòng)思路，豐富了微噴領(lǐng)域的實(shí)現(xiàn)手段。
【IPC分類(lèi)】B05B17/04
【公開(kāi)號(hào)】CN204911939
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520717341
【發(fā)明人】羅志偉
【申請(qǐng)人】廈門(mén)理工學(xué)院
【公開(kāi)日】2015年12月30日
【申請(qǐng)日】2015年9月17日