專利名稱：工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于工業(yè)廢氣的處理技術(shù)，是一種利用等離子體技術(shù)來處理工業(yè)廢氣的裝置，具 體涉及一種工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置。
背景技術(shù)：
近十年來，隨著工業(yè)化的發(fā)展，我國(guó)的環(huán)境污染越來越嚴(yán)重，各種環(huán)境問題日益突出， 己開始制約到我國(guó)經(jīng)濟(jì)的有序發(fā)展。大氣污染主要是由人類活動(dòng)造成的。工業(yè)生產(chǎn)對(duì)大氣的 影響最大，除了排放顆粒物外還排放氣態(tài)污染物，后者在全世界每年排入大氣的污染物中占
75%以上。氣態(tài)污染物又可分為無機(jī)污染物和有機(jī)污染物。隨著近代有機(jī)合成工業(yè)以及石油 工業(yè)的不斷發(fā)展，能源的不斷消耗，大氣中的有機(jī)污染物越來越多，主要是低沸點(diǎn)易揮發(fā)的 有機(jī)物，即V0Cs。它的毒性、刺激性、致癌性和特殊的氣味性，會(huì)影響皮膚和黏膜，對(duì)人 體產(chǎn)生急性損害。
VOCs控制技術(shù)基本分為兩大類第一類是以改進(jìn)工藝技術(shù)、更換設(shè)備和防止泄漏為主 的預(yù)防性措施，第二類是以末端治理為主的控制性措施。末端控制技術(shù)基本又分為兩類，一 是采用物理方法將VOCs回收，二是通過生化反應(yīng)將VOCs氧化分解為無毒或低毒物質(zhì)。回 收方法主要有吸附法、吸收法、冷凝法、膜分離法。VOCs氧化分解方法主要包括燃燒法、 生物法，還有新興的等離子體處理技術(shù)以及紫外線輻射氧化法等。
等離子體被稱為物質(zhì)的第4種形態(tài)，是空氣凈化領(lǐng)域近幾年興起的一種的新技術(shù)。它 是由電子、離子、自由基和中性粒子組成的導(dǎo)電性流體。等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，高能電 子通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，同時(shí)部分分子被電離成為活性基團(tuán)，然后 這些活性基團(tuán)與原子或分子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。研究 表明，等離子體是一種效率高、能耗低、使用范圍廣的污染物凈化手段。這一技術(shù)包括下邊 幾種主要類型 1)電子束輻照法
電子束輻照法煙氣治理技術(shù)的研究工作始于20實(shí)際70年代初期。目前該工藝較多運(yùn)用
于脫硫脫硝工藝，其反應(yīng)機(jī)理是利用電子加速器產(chǎn)生的高能電子束，產(chǎn)生大量的活性離子與 硫氮化合物反應(yīng)，從而氧化去除。電子束發(fā)生裝置是電子束脫硫脫氮工藝的核心技術(shù)，由發(fā) 生電子束的直流高壓電源，電子加速器及窗靶冷卻裝置組成。
雖然電子束法具有很好的發(fā)展前景，但它也存在著一些缺陷a產(chǎn)生X射線，工業(yè)應(yīng)用 中必須有混凝土防輻射工程b冷卻窗用壓縮空氣冷卻，電子線照射產(chǎn)生臭氧，對(duì)裝置有腐 蝕，對(duì)周圍環(huán)境也有害；c由于電子束法產(chǎn)生的高能電子對(duì)于煙氣中任何氣體分子均可破壞 其化學(xué)鍵，使煙氣分子電離產(chǎn)生離子，因而煙氣中含量最高的氮?dú)夂投趸嫉葰怏w分子將 被分解和電離，浪費(fèi)了能量，造成工藝的能耗過大；d采用的電子槍價(jià)格昂貴，電子槍及靶 窗的壽命短，設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜。
2) 脈沖電暈放電法
電暈放電是使用曲率半徑很小的電極，如針狀電極或細(xì)線狀電極，并在電極上加高電 壓，由于電極的曲率半徑很小，而靠近電極區(qū)域的電場(chǎng)特別強(qiáng)，電子逸出陽極，發(fā)生非均勻 放電，稱為電暈放電。在大氣污染物的治理上，電暈放電法多用于煙道氣脫硫和脫硝，也有 用電暈放電法去除空氣中揮發(fā)行有機(jī)氣體，硫化氫，鹵代烷徑以及對(duì)印刷廢水脫色等。
脈沖電暈法是在直流高電壓上接一脈沖電壓形成超高壓脈沖放電。由于這種脈沖前后 沿陡峭、峰值高，使電暈極附近發(fā)生激烈、高頻率的脈沖電暈放電，但放電區(qū)域有限，只有 在電極附近才有較好的處理效果。并且這種尖端放電容易發(fā)生擊穿，影響廢氣處理的正常進(jìn) 行。另外，脈沖放電電極容易損壞，需要經(jīng)常更換。
3) 介質(zhì)擋阻放電法(DBD)
介質(zhì)阻擋放電是有絕緣介質(zhì)插入放電空間的一種氣體放電。介質(zhì)可以覆蓋在電極上或 者懸掛在放電空間里，這樣，當(dāng)在放電電極上施加足夠高的交流電壓時(shí)，電極間的氣體，即 使在很高氣壓下也會(huì)被擊穿而形成所謂的介質(zhì)阻擋放電。這種放電表現(xiàn)為很均勻、漫散和穩(wěn) 定、貌似低氣壓下的輝光放電，但實(shí)際上它是由大量細(xì)微的快脈沖放電通道構(gòu)成的。通常放 電空間的氣體壓強(qiáng)可達(dá)105Pa或更高，所以這種放電屬于高氣壓下的非熱平衡放電。
該法雖然在臭氧產(chǎn)生領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，同時(shí)在脫硫、脫硝方面也有一定的效果，
但是該法能耗高，對(duì)VOCs的降解缺乏有效性。
本發(fā)明采用的是容性耦合等離子體，既克服了上述方法中反應(yīng)器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、易損壞、處 理氣體量有限等缺點(diǎn)，該項(xiàng)技術(shù)處理有機(jī)廢氣還具有以下優(yōu)點(diǎn)①能耗低，可在室溫下與催
化劑反應(yīng)，無需加熱，極大地節(jié)約了能源；②使用便利，設(shè)計(jì)時(shí)可以根據(jù)風(fēng)量變化以及現(xiàn)場(chǎng)條 件進(jìn)行調(diào)節(jié)；③副產(chǎn)物少,催化劑可選擇性地降解等離子體反應(yīng)中所產(chǎn)生的副產(chǎn)物； 不產(chǎn) 生放射物；⑤尤其適于處理有氣味及低濃度大風(fēng)量的氣體。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，以解決已有等離子體處 理廢氣方法中相對(duì)能耗高、效率低、處理氣體不完全的缺點(diǎn)，同時(shí)又能克服原有反應(yīng)器結(jié)構(gòu) 復(fù)雜、易損壞、處理氣體量有限等缺點(diǎn)。
本發(fā)明的流程圖如附圖1所示，其核心部分是容性耦合等離子體發(fā)生器3，它有一個(gè)相 匹配的高頻電源6;整個(gè)裝置包括集氣罩l、除塵過濾器2、等離子體發(fā)生器3、高頻電源6， 旋片式真空泵4、主煙道5六個(gè)部分；上述集氣罩1與除塵過濾器2相通，除塵過濾器2的 另一端通過管道18與等離子體發(fā)生器3的進(jìn)氣口 8連通，高頻電源6與等離子體發(fā)生器3 并聯(lián)，等離子體發(fā)生器3的出氣口 13與旋片式真空泵4相連，真空泵4的另一端連接主煙 道5，主煙道5與大氣相通。
該裝置的核心為容性耦合等離子體發(fā)生器3，其結(jié)構(gòu)示意圖如附圖2所示，它的組件包 括進(jìn)氣口 8、鋼蓋板9、放電電極10、石英管12、出氣口 13、墊圈14 、 O形密封圈15、支 柱16、固定螺母17。
上述進(jìn)氣口 8與鋼蓋板9相連，采用焊接方式，進(jìn)氣口為圓管。如附圖3所示，鋼蓋板 外形為矩形鋼板，中間有圓柱形凹凸，貌似壺蓋狀。
上述兩鋼蓋板9套裝在石英管12上，密封采用三條0形密封圈15鑲嵌在鋼蓋板9內(nèi)側(cè) 的矩形密封槽內(nèi)，Q形密封圈15鑲嵌在鋼蓋板9內(nèi)側(cè)的剖面圖如附圖8所示。0形密封圈 15上下布置，最大可能的減小漏氣的可能性，其壓縮前及壓縮后的圖如附圖4和附圖5所示， 0形密封圈15的壓縮量為22.5%
上述石英管12端口與鋼蓋板9接觸處設(shè)有墊圈14，利于石英管12和鋼蓋板9的吻合， 進(jìn)-一步保證密封。
上述等離子反應(yīng)器3主體是圓柱狀石英管12，釆用外極式反應(yīng)器，環(huán)狀電極10以適當(dāng) 的位置間隔配置在石英管外側(cè)，加在電極上的高頻電源能透過石英管壁使管內(nèi)的氣體放電形 成等離子體。
上述兩個(gè)放電電極10之間放置催化劑11，催化劑11放置在石英管12內(nèi)，用以加速廢 氣的處理速度，提高處理效率。催化劑采用BaTi03和Al203的混合物，混合比例為重量比3: 1,或單獨(dú)使用BaTiCb或Ab03作為催化劑。
上述出氣口 13與鋼蓋板9之間同樣采用焊接方式連接。
上述鋼蓋板9的俯視圖如附圖6所示，外邊緣為矩形鋼板。進(jìn)氣出氣兩個(gè)鋼蓋板9之間 由四個(gè)支柱16相連，支柱16與鋼蓋板9之間由四個(gè)角上的四個(gè)固定螺母17固定，螺母的 放大圖如附圖7所示。反應(yīng)過程中，四個(gè)螺母螺緊，保證反應(yīng)器的壓力保持穩(wěn)定。
上述裝置將其中的高頻電源6、等離子體反應(yīng)器3，真空泵4放置在自行設(shè)計(jì)的長(zhǎng)方體 鋼制設(shè)備箱7內(nèi)。工作箱7的具體布置正視圖、側(cè)視圖、俯視圖如附圖9、附圖IO、附圖]l 所示。工作箱7分為上下兩層，上層放置真空泵4和等離子反應(yīng)器3，反應(yīng)器由支撐臺(tái)19支 撐。下層放置電源6，兩層之間用鋼板隔開，下層留有足夠的空間，這樣布置主要是為了防 止真空泵4在工作狀態(tài)下放出的熱量對(duì)高頻電源6造成影響。下層留有足夠的空間，以利于 電源散熱。進(jìn)氣口8與集氣罩1之間設(shè)有止回閥20。工作箱設(shè)置一扇門，所有儀器，包括電 源功率表，電壓表，電流表，壓力表等都布置在門上， 一方面是便于工作時(shí)操作，另一方面 是便于里邊幾個(gè)設(shè)備的修理和維護(hù)。
本發(fā)明的有益效果在于利用了容性耦合等離子體，容性耦合等離子體具有放電效率高， 可在空間上產(chǎn)生大體積的、純凈的、均勻發(fā)光的低溫等離子體、等離子體點(diǎn)燃、維持比較容 易的特點(diǎn)。等離子體反應(yīng)器3具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、密封性好、可處理大流量的有機(jī)廢 氣、廢氣的處理效率高、加入催化劑進(jìn)一歩提高效率、減少副產(chǎn)物的產(chǎn)生等特點(diǎn)。另外，工 藝布置緊湊合理，既節(jié)約了空間又方便操作。本發(fā)明適用于大流量有機(jī)廢氣的處理。


下面結(jié)合

本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)
圖1為本發(fā)明的工藝流程圖。
圖2為本發(fā)明等離子發(fā)生器的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本發(fā)明等離子發(fā)生器的鋼蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為本發(fā)明等離子發(fā)生器密封結(jié)構(gòu)示意圖(壓縮前)。 圖5為本發(fā)明等離子發(fā)生器密封結(jié)構(gòu)示意圖(壓縮后)。 圖6為本發(fā)明等離子發(fā)生器鋼蓋板示意圖。 圖7為本發(fā)明的圖6中C的放大圖，即固定螺母示意圖, 圖8為本發(fā)明等離子發(fā)生器圖2中的A-A剖面圖。 圖9為本發(fā)明的系統(tǒng)布置正視圖。 圖10為本發(fā)明的系統(tǒng)布置側(cè)視圖。 圖11為本發(fā)明的系統(tǒng)布置俯視圖。 其中
2—除塵過濾器 6—高頻電源 IO —放電電極 14一墊圈 18 —管道
3—等離子發(fā)生器 7 —設(shè)備箱 ll一催化劑 15—0形密封圈 19一反應(yīng)器支撐臺(tái)
4一旋片式真空泵 8--進(jìn)氣口 12 —石英管 16—支柱 20—截止閥
l一集氣罩 5 —主煙道 9一鋼蓋板 13—出氣口 17 —螺母
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的如附圖1所示，整個(gè)裝置包括集氣罩1、除塵過濾器2、容性耦合等離子體發(fā) 生器3、高頻電源6、等離子體反應(yīng)器3、真空泵4、主煙道5六個(gè)部分。上述集氣罩l與除 塵過濾器2相通，除塵過濾器2的另一端通過管道18與等離子體發(fā)生器3的進(jìn)氣口 8連通， 高頻電源6與等離子體發(fā)生器3并聯(lián)，等離子體發(fā)生器3的出氣口 13與旋片式真空泵4相 連，真空泵4的另一端連接主煙道5，主煙道5與大氣相通。
本裝置采用無邊圓形平口側(cè)吸式集氣罩1,喇叭口罩長(zhǎng)度宜取風(fēng)管直徑的三倍。 由于車間空氣中含有灰塵，若隨有害氣體直接進(jìn)入等離子體反應(yīng)器，將會(huì)降低催化劑的
催化效果，甚至?xí)斐纱呋瘎┲卸尽Ｒ虼?，本裝置采用一套簡(jiǎn)單的除塵過濾器2進(jìn)行預(yù)處理， 這一裝置主要是根據(jù)布袋式除塵器的工作原理，通過過濾纖維除去氣流中的灰塵。除塵箱的 尺寸為500,X 150mmX150國(guó)(長(zhǎng)X寬X高)，纖維尺寸為140mmX 150mm (長(zhǎng)X高)。
高頻電源6是產(chǎn)生等離子體的電場(chǎng)能量來源，本裝置采用的是JG-500W-B型晶控高頻電
源。主要技術(shù)指標(biāo)為a輸出功率0 — 500W連續(xù)可調(diào)，b輸出阻抗50 Q ， C輸出頻率
13560KHz等幅波，d頻率穩(wěn)定度》1.0》1.0X1(T, e供電方式220V兩相三線制。
該裝置的核心為容性耦合等離子體發(fā)生器3，其結(jié)構(gòu)示意圖如附圖2所示，它的組件包 括進(jìn)氣口8、鋼蓋板9、放電電極IO、石英管12、出氣口13、墊圈14 、 0形密封圈15、支 柱16、固定螺母17。進(jìn)氣口 8與鋼蓋板9相連，采用焊接方式，進(jìn)氣口為圓管。如附圖3 所示，鋼蓋板外邊緣為矩形鋼板，中間有圓柱形凹凸，貌似壺蓋狀。鋼蓋板9與石英管12 相連，密封采用三條O形密封圈15鑲嵌在鋼蓋板9內(nèi)側(cè)的矩形密封槽內(nèi)，0形密封圈]5鑲 嵌在鋼蓋板9內(nèi)側(cè)的剖面圖如附圖8所示。0形密封圈15上下布置，最大可能的減小漏氣 的可能性，其壓縮前及壓縮后的圖如附圖四和附圖5所示，0形密封圈15的壓縮量為22.5 %。石英管12端口與鋼蓋板9接觸處設(shè)有墊圈14，利于石英管12和鋼蓋板9的吻合，進(jìn)一 步保證密封。等離子反應(yīng)器3主體是圓柱狀石英管12，采用外極式反應(yīng)器，環(huán)狀電極10以 適當(dāng)?shù)奈恢瞄g隔配置在石英管外側(cè)，加在電極上的高頻電源能透過石英管壁使管內(nèi)的氣體放 電形成等離子體。出氣口 13與鋼蓋板9之間同樣采用焊接方式連接。鋼蓋板9的俯視圖如 附圖六所示，外邊緣為矩形鋼板。進(jìn)氣出氣兩個(gè)鋼蓋板9之間由四個(gè)支柱16相連，支柱16 與鋼蓋板9之間由四個(gè)角上的四個(gè)固定螺母17固定，螺母的放大圖如附圖7所示。反應(yīng)過 程中，四個(gè)螺母螺緊，保證反應(yīng)器的壓力保持穩(wěn)定。本工藝選取的石英玻璃管12，長(zhǎng)為500mm, 內(nèi)徑為900mm，外徑100mm，放電電極10為30mm寬的銅片，兩電極距離為3cm。兩個(gè)放 電電極10之間放置催化劑U，催化劑11放置在石英管12內(nèi)，用以加速廢氣的處理速度， 提高處理效率，催化劑采用BaTiCb和Al203的混合物，混合比例為重量比3: 1，或單獨(dú)使
用BaTi03或A1203作為催化劑。
整個(gè)裝置的壓力是由一臺(tái)ZX-15型旋片式真空泵4調(diào)節(jié)的，系統(tǒng)壓力的測(cè)量采用北京新 華真空儀表廠生產(chǎn)的DJ—3AK型低真空計(jì)測(cè)量。真空管釆用涂金鎢絲、陶瓷金屬封結(jié)、不銹 鋼外殼，具有良好的穩(wěn)定性、結(jié)果牢固、抗污染能力強(qiáng)。
考慮到管道的耐用性和成本問題，本裝置采用普通鋼板制作的管道18，其優(yōu)點(diǎn)是堅(jiān)固、 耐用、造價(jià)低、易于制作安裝等,，管道的厚度為0.5mm， 一般管道系統(tǒng)的異形部件，其所用 鋼板厚度應(yīng)比直管段加厚lmm,因此本裝置各異形部件的厚度為1.5mm。
在布置上本裝置將其中的高頻電源6、等離子體反應(yīng)器3，真空泵4放置在自行設(shè)計(jì)的 長(zhǎng)方體鋼制設(shè)備箱7內(nèi)，其尺寸規(guī)格為1200X2000X 1200 (長(zhǎng)X寬X高rnm)。工作箱7的 具體布置正視圖、側(cè)視圖、俯視圖如附圖9、附圖10、附圖11所示。工作箱7分為上下兩 層，上層放置真空泵4和等離子反應(yīng)器3，反應(yīng)器由支撐臺(tái)19支撐。下層放置電源6，兩層 之間用一鋼板隔開，進(jìn)氣口 8與集氣罩1之間設(shè)有止回閥20。工作箱設(shè)置一扇門，所有儀器， 包括電源功率表，電壓表，電流表，壓力表等都布置在門上。
工藝的流程為車間的有害氣體通過集氣罩1收集后首先進(jìn)入的是除塵過濾2，除去大 顆粒的污染物質(zhì)，然后由管道18,近氣口 13進(jìn)入等離子反應(yīng)器3進(jìn)行催化反應(yīng)；與此同時(shí) 和等離子反應(yīng)器3相匹配的高頻電源6與繞在等離子反應(yīng)器3外的放電電極10相連，使等 離子反應(yīng)器內(nèi)持續(xù)產(chǎn)生容性耦合等離子體；另外石英管12與鋼蓋板9之間的0形密封圈15、 石英管12與鋼蓋板9之間的墊圈14、兩個(gè)鋼蓋板9之間的支柱16固定螺母17共同作用， 保證了等離子反應(yīng)器3的內(nèi)部壓力保持穩(wěn)定；反應(yīng)后的氣體通過真空泵4進(jìn)入主煙道5，最 后排入大氣。
使用本發(fā)明裝置處理甲烷氣體當(dāng)輸入甲烷體積濃度為500ppm的干空氣，若我們定義 能量密度(kJ/L)=輸入功率(kW) /氣體流量(L/s)，則當(dāng)能量密度為0.8 kJ7L時(shí)，去除率 已經(jīng)達(dá)到了83%，當(dāng)能量密度為0.8kJ/L4kJ/L時(shí)，甲烷分解率達(dá)到96%。使用本發(fā)明裝置 處理甲苯氣體當(dāng)輸入甲苯的體積濃度為3000ppm的干空氣，能量密度為8kJ/L時(shí)，甲苯的 分解率可以達(dá)到55%以上。
權(quán)利要求
1、一種工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，其特征在于包括集氣罩(1)、除塵過濾器(2)、等離子體發(fā)生器(3)、高頻電源(6)、旋片式真空泵(4)、主煙道(5)六個(gè)部分；上述集氣罩(1)與除塵過濾器(2)相通，除塵過濾器(2)的另一端通過管道(18)與等離子體發(fā)生器(3)的進(jìn)氣口(8)連通，高頻電源(6)與等離子體發(fā)生器(3)并聯(lián)，等離子體發(fā)生器(3)的出氣口(13)與旋片式真空泵(4)相連，真空泵(4)的另一端連接主煙道(5)，主煙道(5)與大氣相通。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，其特征在于上述等離子 體發(fā)生器(3)、高頻電源(6)、旋片式真空泵(4)安裝放置在長(zhǎng)方體鋼制設(shè)備箱(7)內(nèi)； 設(shè)備箱(7)分為上下兩層，上層放置旋片式真空泵(4)和等離子反應(yīng)器(3)，等離子反應(yīng) 器(3)由支撐臺(tái)(19)支撐；下層放置高頻電源(6)，兩層之間用鋼板隔開。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，其特征在于上述離子體 發(fā)生器(3)的組件有進(jìn)氣口 (8)、鋼蓋板(9)、放電電極(10)、石英管(12)、出氣口 (13)、 墊圈(14)、 0形密封圈(15)、支柱(16)、固定螺母(17);其中進(jìn)氣口 (8)、出氣口 (13)分 別安裝在鋼蓋板(9)端頭，兩鋼蓋板(9)套裝在石英管(12)上，密封采用三條O形密封 圈(15)鑲嵌在鋼蓋板(9)內(nèi)側(cè)的矩形密封槽內(nèi)，石英管(12)端口與鋼蓋板(9)接觸處 設(shè)有墊圈(14);環(huán)狀放電電極(10)環(huán)繞在石英管(12)外側(cè)，兩個(gè)放電電極(10)之間 在石英管(12)內(nèi)放置催化劑(11);鋼蓋板(9)的外邊緣為矩形鋼板，中間凹進(jìn)貌似茶壺 蓋，進(jìn)氣出氣兩個(gè)鋼蓋板(9)之間由四個(gè)支柱(16)相連，支柱(16)與鋼蓋板(9)之間 由四個(gè)固定螺母(17)固定。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，其特征在于上述催化劑 (11)采用BaTi03和A1203的混合物，混合比例為重量比3:1，或單獨(dú)使用BaTi03或A1203作為催化劑。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，其特征在于上述進(jìn) 氣口 (8)與集氣罩(1)之間設(shè)有截止閥(20):設(shè)備箱(7)設(shè)置一扇門，電源功率表、電 壓表、電流表、壓力表分別安裝在門上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種工業(yè)廢氣的容性耦合放電處理裝置，包括集氣罩、除塵過濾器、等離子體發(fā)生器、高頻電源、旋片式真空泵、主煙道六個(gè)部分；上述集氣罩與除塵過濾器相通，除塵過濾器的另一端通過管道與等離子體發(fā)生器的進(jìn)氣口連通，高頻電源與等離子體發(fā)生器并聯(lián)，等離子體發(fā)生器的出氣口與旋片式真空泵相連，真空泵的另一端連接主煙道，主煙道與大氣相通；本裝置利用了容性耦合等離子體，容性耦合等離子體具有放電效率高，可在空間上產(chǎn)生大體積的、純凈的、均勻發(fā)光的低溫等離子體、等離子體點(diǎn)燃、維持比較容易的特點(diǎn)；本裝置布置緊湊合理，既節(jié)約了空間又方便操作，適用于大流量有機(jī)廢氣的處理。
文檔編號(hào)B01D50/00GK101104129SQ20061003644
公開日2008年1月16日 申請(qǐng)日期2006年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月11日
發(fā)明者芳 劉, 劉少衛(wèi), 蘭 唐, 林美強(qiáng), 黃海濤 申請(qǐng)人:廣東工業(yè)大學(xué)