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超純水機(jī)的制作方法

文檔序號(hào):4826969閱讀:388來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:超純水機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種超純水制取裝置。
背景技術(shù)
超純水廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室分析化學(xué)試驗(yàn)、基因組學(xué)、蛋白質(zhì)組學(xué)及細(xì)胞培養(yǎng)等生命科學(xué)研究中;在集成電路工業(yè)中,用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。超純水的純度極高,故對(duì)其制造設(shè)備和制造方法都有嚴(yán)格的要求。傳統(tǒng)的超純水制造方法為在循環(huán)管路中采用樹(shù)脂對(duì)水進(jìn)行不斷過(guò)濾,直至得到的水滿足超純水的技術(shù)要求。傳統(tǒng)方法的缺點(diǎn)在于,對(duì)樹(shù)脂的要求極高,所用的樹(shù)脂要能濾除水中含有的有機(jī)碳,其價(jià)格十分昂貴。而且在傳統(tǒng)方法的使用條件下,樹(shù)脂的使用周期短,需要頻繁更換,其使用·成本高昂。采用傳統(tǒng)方法制取超純水的設(shè)備,需要一直開(kāi)機(jī)才能實(shí)現(xiàn)水的循環(huán)過(guò)濾,能耗聞。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的即在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種成本低廉、能耗低的超純水機(jī)。本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)超純水機(jī),它包括殼體,殼體中設(shè)置有預(yù)純化柱、超純化柱、精密過(guò)濾器、紫外消解器、反滲透膜柱、供水泵和增壓泵,供水泵通過(guò)進(jìn)水電磁閥與預(yù)純化柱連接,預(yù)純化柱與精密過(guò)濾器連接,精密過(guò)濾器與紫外消解器連接,紫外消解器與超純化柱連接,超純化柱與增壓泵連接,增壓泵與反滲透膜柱連接,反滲透膜柱與三通電磁閥連接。殼體上設(shè)置有濃水排水接頭、原水進(jìn)水接頭和純水接頭,濃水排水接頭通過(guò)濃水電磁閥與反滲透膜柱連接,原水進(jìn)水接頭與供水泵連接,原水進(jìn)水接頭與供水泵之間設(shè)置有進(jìn)水流量計(jì)和電導(dǎo)率探頭,純水接頭與三通電磁閥連接,三通電磁閥還與供水泵的進(jìn)口連接,純水接頭與三通電磁閥之間設(shè)置有取水流量計(jì),反滲透膜柱與三通電磁閥之間設(shè)置有電阻率探頭。電導(dǎo)率探頭與電導(dǎo)率變送器電連接,電阻率探頭與電阻率變送器電連接。紫外消解器與紫外消解器鎮(zhèn)流器電連接,在殼體上靠近純水接頭的位置設(shè)置有照明燈。它還包括控制電路板,控制電路板與進(jìn)水流量計(jì)、紫外消解器鎮(zhèn)流器、照明燈、取水流量計(jì)、電阻率變送器、電導(dǎo)率變送器、進(jìn)水電磁閥、濃水電磁閥、供水泵和增壓泵電連接。它還包括觸摸屏,觸摸屏設(shè)置于殼體上,觸摸屏與控制電路板電連接。殼體的底部設(shè)置有橡膠機(jī)腳。[0013]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于采用反滲透膜柱制取超純水,降低了對(duì)樹(shù)脂的要求,增加了樹(shù)脂的使用壽命,降低了成本;無(wú)需循環(huán)過(guò)濾,超純水機(jī)無(wú)需一直開(kāi)機(jī),降低了能耗。

圖I為超純水機(jī)的主視圖圖2為超純水機(jī)的左視圖圖3為圖I的A-A向剖視圖圖4為圖I的B-B向剖視圖圖5為圖2的C-C向剖視圖
圖6為圖2的D-D向剖視圖圖中,I-預(yù)純化柱,2-濃水排水接頭,3-原水進(jìn)水接頭,4-進(jìn)水流量計(jì),5-超純化柱,6-紫外消解器鎮(zhèn)流器,7-橡膠機(jī)腳,8-純水接頭,9-照明燈,10-觸摸屏,11-殼體,12-電阻率探頭,13-精密過(guò)濾器,14-紫外消解器,15-取水流量計(jì),16-反滲透膜柱,17-電阻率變送器,18-電導(dǎo)率變送器,19-控制電路板,20-進(jìn)水電磁閥,21-濃水電磁閥,22-電導(dǎo)率探頭,23-供水泵,24-增壓泵,25-三通電磁閥。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明,本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于以下所述。如圖f圖6所示,超純水機(jī),它包括殼體11,殼體11中設(shè)置有預(yù)純化柱I、超純化柱5、精密過(guò)濾器13、紫外消解器14、反滲透膜柱16、供水泵23和增壓泵24,預(yù)純化柱I中設(shè)置有樹(shù)脂,超純化柱5中設(shè)置有精混樹(shù)脂,精密過(guò)濾器13中設(shè)置有KDF濾料。供水泵23通過(guò)進(jìn)水電磁閥20與預(yù)純化柱I連接,預(yù)純化柱I與精密過(guò)濾器13連接,精密過(guò)濾器13與紫外消解器14連接,紫外消解器14與超純化柱5連接,超純化柱5與增壓泵24連接,增壓泵24與反滲透膜柱16連接,反滲透膜柱16與三通電磁閥25連接。殼體11上設(shè)置有濃水排水接頭2、原水進(jìn)水接頭3和純水接頭8,濃水排水接頭2通過(guò)濃水電磁閥21與反滲透膜柱16連接,原水進(jìn)水接頭3與供水泵23連接,原水進(jìn)水接頭3與供水泵23之間設(shè)置有進(jìn)水流量計(jì)4和電導(dǎo)率探頭22,純水接頭8與三通電磁閥25連接,三通電磁閥25還與供水泵23的進(jìn)口連接,純水接頭8與三通電磁閥25之間設(shè)置有取水流量計(jì)15,反滲透膜柱16與三通電磁閥25之間設(shè)置有電阻率探頭12。電導(dǎo)率探頭22與電導(dǎo)率變送器18電連接,電阻率探頭12與電阻率變送器17電連接。紫外消解器14與紫外消解器鎮(zhèn)流器6電連接,在殼體11上靠近純水接頭8的位置設(shè)置有照明燈9。殼體11的底部設(shè)置有橡膠機(jī)腳7。如圖I和圖4所示,它還包括控制電路板19,控制電路板19與進(jìn)水流量計(jì)4、紫外消解器鎮(zhèn)流器6、照明燈9、取水流量計(jì)15、電阻率變送器17、電導(dǎo)率變送器18、進(jìn)水電磁閥20、濃水電磁閥21、供水泵23、增壓泵24和三通電磁閥25電連接。它還包括觸摸屏10,觸摸屏10設(shè)置于殼體11上,觸摸屏10與控制電路板19電連接。
權(quán)利要求1.超純水機(jī),其特征在于它包括殼體(11),殼體(11)中設(shè)置有預(yù)純化柱(I)、超純化柱(5)、精密過(guò)濾器(13)、紫外消解器(14)、反滲透膜柱(16)、供水泵(23)和增壓泵(24),供水泵(23)通過(guò)進(jìn)水電磁閥(20)與預(yù)純化柱(I)連接,預(yù)純化柱(I)與精密過(guò)濾器(13)連接,精密過(guò)濾器(13)與紫外消解器(14)連接,紫外消解器(14)與超純化柱(5)連接,超純化柱(5)與增壓泵(24)連接,增壓泵(24)與反滲透膜柱(16)連接,反滲透膜柱(16)與三通電磁閥(25)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超純水機(jī),其特征在于所述的殼體(11)上設(shè)置有濃水排水接頭(2 )、原水進(jìn)水接頭(3 )和純水接頭(8 ),濃水排水接頭(2 )通過(guò)濃水電磁閥(21)與反滲透膜柱(16 )連接,原水進(jìn)水接頭(3 )與供水泵(23 )連接,原水進(jìn)水接頭(3 )與供水泵(23 )之間設(shè)置有進(jìn)水流量計(jì)(4)和電導(dǎo)率探頭(22),純水接頭(8)與三通電磁閥(25)連接,三通電磁閥(25 )還與供水泵(23 )的進(jìn)口連接,純水接頭(8 )與三通電磁閥(25 )之間設(shè)置有取水流量計(jì)(15),反滲透膜柱(16)與三通電磁閥(25)之間設(shè)置有電阻率探頭(12)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超純水機(jī),其特征在于所述的電導(dǎo)率探頭(22)與電導(dǎo)率變送器(18)電連接,電阻率探頭(12)與電阻率變送器(17)電連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超純水機(jī),其特征在于所述的紫外消解器(14)與紫外消解器 鎮(zhèn)流器(6)電連接,在殼體(11)上靠近純水接頭(8)的位置設(shè)置有照明燈(9)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超純水機(jī),其特征在于它還包括控制電路板(19),控制電路板(19)與進(jìn)水流量計(jì)(4)、紫外消解器鎮(zhèn)流器(6)、照明燈(9)、取水流量計(jì)(15)、電阻率變送器(17)、電導(dǎo)率變送器(18)、進(jìn)水電磁閥(20)、濃水電磁閥(21)、供水泵(23)和增壓泵(24)電連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超純水機(jī),其特征在于它還包括觸摸屏(10),觸摸屏(10)設(shè)置于殼體(11)上,觸摸屏(10 )與控制電路板(19 )電連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1飛中任意一個(gè)權(quán)利要求所述的超純水機(jī),其特征在于所述的殼體(11)的底部設(shè)置有橡膠機(jī)腳(7)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種超純水機(jī),它包括殼體,殼體中設(shè)置有預(yù)純化柱、超純化柱、精密過(guò)濾器(13)、紫外消解器(14)、反滲透膜柱(16)、供水泵和增壓泵,供水泵通過(guò)進(jìn)水電磁閥與預(yù)純化柱連接,預(yù)純化柱與精密過(guò)濾器(13)連接,精密過(guò)濾器(13)與紫外消解器(14)連接,紫外消解器(14)與超純化柱連接,超純化柱與增壓泵連接,增壓泵與反滲透膜柱(16)連接,反滲透膜柱(16)與三通電磁閥(25)連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于,成本低,能耗低。
文檔編號(hào)C02F1/44GK202658037SQ201220208760
公開(kāi)日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月10日
發(fā)明者姚建兵, 梁康鵬, 凌彤強(qiáng) 申請(qǐng)人:成都超純科技有限公司
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