用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑及其制備和應(yīng)用
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于封裝膠清洗去除技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于去除CMOS攝像頭晶圓玻 璃掩膜版封裝膠的清洗劑及其制備方法和應(yīng)用。
【背景技術(shù)】
[0002] 攝像頭已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各類電子產(chǎn)品中，尤其是手機、平板等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，帶 動了攝像頭產(chǎn)業(yè)的高速增長。當前，攝像頭性能已經(jīng)成為智能手機的一個重要賣點，各廠商 在新機型中紛紛不斷升級攝像頭的性能，以提升產(chǎn)品的競爭力。2012年全球CMOS傳感器的 市場需求為25億只，預(yù)計到2017年全球CMOS傳感器的需求為45億只。
[0003] 然而，在CMOS傳感器封裝過程中，晶圓玻璃掩膜版會出現(xiàn)封裝膠等臟污。現(xiàn)有清洗 方法主要是通過酸堿腐蝕將掩膜版上的封裝膠去除，不但很難清除干凈，而且這類化學(xué)試 劑在去除封裝膠的同時也將掩膜版上的圖形損壞，因此長期使用會導(dǎo)致掩膜版的圖形發(fā)生 變形而報廢。
[0004] 因此，研發(fā)一種中性配方的清洗劑，并能保證封裝膠的快速去除尤為重要。而到目 前為止，尚未見關(guān)于此類清洗劑的相關(guān)文獻報道。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于去除CMOS攝像頭晶圓玻璃 掩膜版封裝膠的清洗劑及其制備方法和應(yīng)用。本發(fā)明的清洗劑為中性有機溶劑配方，該清 洗劑在溫和的溫度條件下進行短時間清洗即可完全去除CMOS攝像頭晶圓玻璃掩膜版表面 的封裝膠。
[0006] 本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：
[0007] 本發(fā)明的第一目的在于提供一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑，以重 量份計，包括如下組分： 丙酮 10-30份
[0008] 乙二醇乙醚 3-15份 十二碳烯 5-30份 乙二胺 5-30份
[0009] 十二讜基苯磺酸 0.1-5份 純凈水 10-30份
[0010] 進一步的，所述清洗劑，以重量份計，包括如下組分： 丙酮 20-25份 乙二醇乙醚 10-15份 十二碳烯 15-25份
[0011] 乙二胺 15-25份 十二烷基苯磺酸 0.1 -0.5份 純凈水 15..30份
[0012] 進一步的，所述清洗劑，以重量份計，包括如下組分： 丙酮 25份 乙二醇乙醚 10份 十二碳烯 20份
[0013] 乙二胺 20份 十二烷基苯磺酸 0.1份 純:凈水 245份
[0014] 進一步的，所述清洗劑，以重量份計，包括如下組分： 丙酮 20份 乙二醇乙醚 15份 十二碳烯 15份
[0015] 乙二胺 25份 十二烷基苯磺酸 0.1份 純凈水 24.9:份
[0016] 進一步的，所述清洗劑，以重量份計，包括如下組分： 丙酮 20份 乙二醇乙醚 10份
[0017] 十二碳烯 25:份 乙二胺 25份 十二烷基苯磺酸 0.1份
[0018] 純凈水 19,9份
[0019]進一步的，所述清洗劑，以重量份計，包括如下組分： 丙酮 25份 乙二醇乙醚 15份 十二碳烯 15份
[0020] 厶二胺 15份 十二驚基苯磺酸 0,1份 純:凈水 29.9份
[0021] 本發(fā)明的第二目的在于提供一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑的制 備方法，包括：
[0022] 按上述重量份，將丙酮、乙二醇乙醚1、十二碳烯、乙二胺、十二烷基苯磺酸、純凈 水，于常溫攪拌30min，制得晶圓玻璃掩膜版封裝膠清洗劑。
[0023] 本發(fā)明的第三目的在于提供一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑的應(yīng) 用，包括:在溫度50~80°C的條件下，將封裝后的晶圓玻璃掩膜版在所述清洗劑中浸泡2~ 5h，去除晶圓玻璃掩膜版表面的殘膠。
[0024]進一步的，所述溫度為60°C。
[0025]進一步的，所述浸泡時間為4h。
[0026] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的積極效果如下：
[0027] 本發(fā)明的清洗劑為中性有機溶劑配方，利用有機溶劑對晶圓玻璃掩膜版殘膠部位 進行浸泡，使得殘膠在有機溶劑成分的協(xié)助下快速脫離掩膜版表面，加速了去膠的速度，對 掩膜版的腐蝕小，使用成本低，反應(yīng)條件溫和。
【具體實施方式】
[0028] 下面結(jié)合具體實施例，進一步闡述本發(fā)明。應(yīng)理解，這些實施例僅用于說明本發(fā)明 而不用于限制本發(fā)明的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本發(fā)明講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人 員可以對本發(fā)明作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定 的范圍。
[0029] 以下實施例所使用的原理來源說明如下：
[0030] 1、丙酮：由東莞市宏川化工有限公司提供；
[0031 ] 2、乙二醇乙醚：由常州天運化工有限公司提供；
[0032] 3、十二碳?。河珊郎昊瘜W(xué)試劑有限公司提供；
[0033] 4、乙二胺：由鶴壁市中原助劑有限公司提供；
[0034] 5、十二烷基苯磺酸：由濟南海華洗滌制品有限公司提供
[0035] 實施例1
[0036] 取丙酮25kg、乙二醇乙醚10kg、十二碳稀20kg、乙二胺20kg、十二烷基苯磺酸 0.1 kg、純凈水24.9kg，常溫攪拌30min，混合成IOOkg晶圓玻璃掩膜版封裝膠清洗劑。
[0037]在60°C條件下，使用上述成分的封裝膠清洗劑對晶圓玻璃掩膜版進行4h浸泡，使 得殘膠在有機溶劑成分的協(xié)助下溶解。
[0038] 實施例2
[0039] 取丙酮20kg、乙二醇乙醚15kg、十二碳稀15kg、乙二胺25kg、十二烷基苯磺酸 0.1 kg、純凈水24.9kg，常溫攪拌30min，混合成IOOkg晶圓玻璃掩膜版封裝膠清洗劑。
[0040]在70°C條件下，使用上述成分的封裝膠清洗劑對晶圓玻璃掩膜版進行4h浸泡，使 得殘膠在有機溶劑成分的協(xié)助下溶解。
[0041 ] 實施例3
[0042] 取丙酮20kg、乙二醇乙醚10kg、十二碳稀25kg、乙二胺25kg、十二烷基苯磺酸 0. lkg、純凈水19.9kg，常溫攪拌30min，混合成IOOkg晶圓玻璃掩膜版封裝膠清洗劑。
[0043]在60°C條件下，使用上述成分的封裝膠清洗劑對晶圓玻璃掩膜進版行4h浸泡，使 得殘膠在有機溶劑成分的協(xié)助下溶解。
[0044] 實施例4
[0045] 取丙酮25kg、乙二醇乙醚15kg、十二碳稀15kg、乙二胺15kg、十二烷基苯磺酸 0.1 kg、純凈水29.9kg，常溫攪拌30min，混合成IOOkg晶圓玻璃掩膜版封裝膠清洗劑。
[0046]在70°C條件下，使用上述成分的封裝膠清洗劑對晶圓玻璃掩膜版進行5h浸泡，使 得殘膠在有機溶劑成分的協(xié)助下溶解。
[0047]對比實施例
[0048]使用同聲AD-I解膠劑，深圳市泰順膠粘劑有限公司提供，在40°C條件下，將晶圓玻 璃掩膜版浸泡于該封裝膠清洗劑3h，對比其去膠性能。
[0049]表1清洗劑去除封裝膠效果評價表
[0051]通過實施例1-4與對比例進行比較，2類清洗劑均能完成去除殘膠，但實施例1-4的 清洗劑對基版完全沒有腐蝕作用，而對比例的清洗劑對基版有腐蝕點。
[0052]以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù) 人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本 發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下本發(fā)明還會有各種變化和改進，這些變 化和改進都落入要求保護的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其 等同物界定。
【主權(quán)項】
1. 一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑，W重量份計，包括如下組分： 丙麗 10-30份 乙二醇乙離 3-15份 十二碳婦 5-30份 己二胺 5-30份 十二統(tǒng)基苯橫酸 0.1-5份 純凈水 10-撕份。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑，其特征在于： 所述清洗劑，W重量份計，包括如下組分： 丙麗 20-25化 互二醇立離 10-15傲 十二碳鱗 15-25份 乙二胺 15-25份 十二烷基苯磯酸 0.1-0.5份 純凈水 15-30化。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑，其特征在于： 所述清洗劑，W重量份計，包括如下組分： 兩禍 25份 乙二醇乙離 10份 千二碳巧 20份 己二腺 20份 十二繞基苯藏磯： 0.]份 純凈水 24.9份。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑，其特征在于： 所述清洗劑，W重量份計，包括如下組分： 巧釀 20份 己二醇乙雕 15份 千_碳稀 15份 乙二胺 25份 十二烷基眾猜酸 0.1粉 純凈水 24.9份。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑，其特征在于： 所述清洗劑，w重量份計，包括如下組分： 兩麗 20份 乙二醉己礎(chǔ) 10份 十二磯婦 25:歡 己二胺 25份 十二烷基苯橫酸 0.1份 純凈氷 19.9份。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑，其特征在于： 所述清洗劑，W重量份計，包括如下組分： 巧麗 25份 立二醇乙離 15份 十二碳婦 15份 玄二滕 15份 十二烷基苯橫酸 0.1份 純綠化 29.9份。7. 根據(jù)權(quán)利要求1-6所述的一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑的制備方 法，包括： 按上述重量份，將丙酬、乙二醇乙酸1、十二碳締、乙二胺、十二烷基苯橫酸、純凈水，于 常溫攬拌30min，制得晶圓玻璃掩膜版封裝膠清洗劑。8. 根據(jù)權(quán)利要求1-6所述的一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑的應(yīng)用，包 括:在溫度50~80°C的條件下，將封裝后的晶圓玻璃掩膜版在所述清洗劑中浸泡2~化，去 除晶圓玻璃掩膜版表面的殘膠。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑的應(yīng)用，其特 征在于:所述溫度為60°C。10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑的應(yīng)用，其特 征在于:所述浸泡時間為地。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑，以重量份計，包括如下組分：丙酮10-30份、乙二醇乙醚3-15份、十二碳烯5-30份、乙二胺5-30份、十二烷基苯磺酸0.1-5份，和純凈水10-30份。其制備包括：按上述重量份，將丙酮、乙二醇乙醚1、十二碳烯、乙二胺、十二烷基苯磺酸、純凈水，于常溫攪拌30min，制得晶圓玻璃掩膜版封裝膠清洗劑。本發(fā)明的清洗劑為中性有機溶劑配方，利用有機溶劑對晶圓玻璃掩膜版殘膠部位進行浸泡，使得殘膠在有機溶劑成分的協(xié)助下快速脫離掩膜版表面，加速了去膠的速度，對掩膜版的腐蝕小，使用成本低，反應(yīng)條件溫和。
【IPC分類】C11D3/60, B08B3/08, C11D3/44, C11D1/24
【公開號】CN105542979
【申請?zhí)枴緾N201510976924
【發(fā)明人】何橋, 賀賢漢
【申請人】上海申和熱磁電子有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年12月22日