一種管式pecvd防呆舟漿的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種管式PECVD防呆舟漿，所述防呆舟漿包括：石墨舟推拉桿、定位螺絲和托舉裝置；所述托舉裝置安裝于所述防呆舟漿的漿頭內(nèi)側(cè)，位于石墨舟腳支撐位置；兩根所述石墨舟推拉桿通過(guò)所述定位螺絲進(jìn)行連接定位；所述托舉裝置包括：固定裝置、連接裝置和托舉塊；所述連接裝置置于兩個(gè)所述托舉塊之間，用于連接所述托舉塊；所述固定裝置置于所述托舉塊的外側(cè)，用于將所述托舉塊與所述石墨舟推拉桿進(jìn)行固定。本實(shí)用新型提供的防呆舟漿可有效避免在生產(chǎn)過(guò)程中抬放石墨舟時(shí)左右放歪，杜絕了安全隱患，提高設(shè)備生產(chǎn)穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說(shuō)明】—種管式PECVD防呆舟漿

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能電池片加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說(shuō)涉及一種管式PECVD防呆舟漿。

【背景技術(shù)】
[0002]人們對(duì)太陽(yáng)能電池需求的不斷增長(zhǎng)，驅(qū)動(dòng)著太陽(yáng)能電池制造工藝的不斷進(jìn)步。為了獲得高品質(zhì)的太陽(yáng)能電池，研究人員對(duì)其生產(chǎn)過(guò)程的各個(gè)步驟和使用材料都進(jìn)行了大力的研發(fā)。由于減反膜的優(yōu)劣對(duì)太陽(yáng)能電池的性能的好壞會(huì)產(chǎn)生很大的影響，因此技術(shù)人員在不斷地改進(jìn)減反膜的制備方法以及相關(guān)的設(shè)備和材料。
[0003]在硅太陽(yáng)能電池的制備工藝過(guò)程之中，通常需要采用薄膜沉積工藝進(jìn)行硅片的鍍膜，例如可米用 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)工藝對(duì)硅片進(jìn)行氮化硅的鍍膜，以便在硅片表面形成減反膜。
[0004]在進(jìn)行娃片表面鍍膜時(shí)，首先將未鍍膜的娃片插入石墨舟中，再將載有娃片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備腔體中，采用合適的PECVD工藝對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜。鍍膜結(jié)束后，從真空鍍膜設(shè)備腔體中取出石墨舟然后再將經(jīng)過(guò)鍍膜的硅片從石墨舟上取下來(lái)。而現(xiàn)有的石墨舟在抬放時(shí)左右容易放歪且沒(méi)有預(yù)防措施。
[0005]在生產(chǎn)過(guò)程中，工作人員會(huì)抬放石墨舟進(jìn)行操作，由于是手工操作，因此容易出現(xiàn)石墨舟放歪能現(xiàn)象，現(xiàn)有技術(shù)中的推拉舟漿并沒(méi)有專門(mén)的防護(hù)或者感應(yīng)裝置來(lái)應(yīng)對(duì)對(duì)石墨舟左右放歪現(xiàn)象的發(fā)生。而如果石墨舟放歪并不能被及時(shí)發(fā)現(xiàn)，將會(huì)導(dǎo)致石墨舟損壞、爐管損壞,進(jìn)而產(chǎn)生大量碎片,造成浪費(fèi),并加大生成成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中，在進(jìn)行PECVD時(shí)，由于石墨舟放歪而導(dǎo)致的碎片率高的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種管式PECVD防呆舟漿。
[0007]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供一種管式PECVD防呆舟漿，其特征在于，所述防呆舟漿包括:石墨舟推拉桿、定位螺絲和托舉裝置；
[0008]所述托舉裝置安裝于所述防呆舟漿的漿頭內(nèi)側(cè)，位于石墨舟腳支撐位置；
[0009]兩根所述石墨舟推拉桿通過(guò)所述定位螺絲進(jìn)行連接定位；
[0010]所述托舉裝置包括:固定裝置、連接裝置和托舉塊；
[0011]所述連接裝置置于兩個(gè)所述托舉塊之間，用于連接所述托舉塊；
[0012]所述固定裝置置于所述托舉塊的外側(cè)，用于將所述托舉塊與所述石墨舟推拉桿進(jìn)行固定。
[0013]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)【具體實(shí)施方式】，所述連接裝置為長(zhǎng)度可調(diào)的螺絲絲桿，所述連接裝置通過(guò)螺絲與所述托舉塊進(jìn)行連接。
[0014]根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)【具體實(shí)施方式】，在所述螺絲與所述托舉塊的連接部設(shè)置有墊片。
[0015]根據(jù)本實(shí)用新型的又一個(gè)【具體實(shí)施方式】，所述固定裝置為開(kāi)口朝向所述石墨舟推拉桿的圓弧形鐵片。
[0016]根據(jù)本實(shí)用新型的又一個(gè)【具體實(shí)施方式】，所述托舉塊為中空的長(zhǎng)方體鐵盒。
[0017]根據(jù)本實(shí)用新型的又一個(gè)【具體實(shí)施方式】，所述托舉塊沿所述連接裝置的方向長(zhǎng)3.7cm0
[0018]本實(shí)用新型提供的防呆舟漿在漿頭內(nèi)側(cè)增加了托舉裝置，有效解決了在生產(chǎn)過(guò)程中抬放石墨舟左右放歪的問(wèn)題，避免了石墨舟左右放歪所導(dǎo)致的石墨舟損壞、爐管損壞以及碎片率高等問(wèn)題，起到了防呆效果，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性和生產(chǎn)效率，杜絕了生產(chǎn)過(guò)程中的安全隱患，降低了生產(chǎn)成本。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]通過(guò)閱讀參照以下附圖所作的對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯:
[0020]圖1所示為本實(shí)用新型的一種管式PECVD防呆舟漿的一個(gè)【具體實(shí)施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2所示為本實(shí)用新型提供的防呆舟漿內(nèi)部的托舉裝置的一個(gè)【具體實(shí)施方式】的正視圖；
[0022]圖3所示為圖2所示的托舉裝置的俯視圖；
[0023]圖4所示為圖2所示的托舉裝置的側(cè)視圖。
[0024]附圖中相同或相似的附圖標(biāo)記代表相同或相似的部件。

【具體實(shí)施方式】
[0025]下文的公開(kāi)提供了許多不同的實(shí)施例或例子用來(lái)實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的不同結(jié)構(gòu)。為了簡(jiǎn)化本實(shí)用新型的公開(kāi)，下文中對(duì)特定例子的部件和設(shè)置進(jìn)行描述。此外，本實(shí)用新型可以在不同例子中重復(fù)參考數(shù)字和/或字母。這種重復(fù)是為了簡(jiǎn)化和清楚的目的，其本身不指示所討論各種實(shí)施例和/或設(shè)置之間的關(guān)系。應(yīng)當(dāng)注意，在附圖中所圖示的部件不一定按比例繪制。本實(shí)用新型省略了對(duì)公知組件和處理技術(shù)及工藝的描述以避免不必要地限制本實(shí)用新型。
[0026]參考圖1，圖1 一種管式PECVD防呆舟漿，其特征在于，所述防呆舟漿包括:石墨舟推拉桿1、定位螺絲2和托舉裝置3 ;所述托舉裝置3安裝于所述防呆舟漿的漿頭內(nèi)側(cè)，位于石墨舟腳支撐位置；兩根所述石墨舟推拉桿3通過(guò)所述定位螺絲2進(jìn)行連接定位。
[0027]參考圖2?圖4，所述托舉裝置3包括:固定裝置33、連接裝置32和托舉塊31。其中，所述連接裝置32置于兩個(gè)所述托舉塊31之間，用于連接所述托舉塊31。優(yōu)選的，所述連接裝置32為長(zhǎng)度可調(diào)的螺絲絲桿，所述連接裝置32通過(guò)螺絲與所述托舉塊31進(jìn)行連接。為了防滑以及防止螺絲脫落，更優(yōu)選的，在所述螺絲與所述托舉塊31的連接部設(shè)置有墊片。
[0028]所述固定裝置33置于所述托舉塊31的外側(cè)，用于將所述托舉塊31與所述石墨舟推拉桿I進(jìn)行固定。優(yōu)選的，所述固定裝置33為開(kāi)口朝向所述石墨舟推拉桿的圓弧形鐵片。圓弧形的弧度與所述石墨舟推拉桿I的弧度相匹配，在進(jìn)行固定安裝時(shí)，圓弧形的固定裝置33固定卡接在石墨舟推拉桿I上，能夠更穩(wěn)定地將托舉塊31與石墨舟推拉桿I進(jìn)行連接固定。
[0029]優(yōu)選的，所述托舉塊31為中空的長(zhǎng)方體鐵盒，其表面平整，在托舉石墨舟時(shí)，不會(huì)出現(xiàn)左右歪的情況，有效避免了由于石墨舟傾斜不平而造成的生產(chǎn)效率低下的問(wèn)題。
[0030]為了匹配現(xiàn)有的PECVD石墨舟，優(yōu)選的，所述托舉塊31沿所述連接裝置32的方向長(zhǎng)3.7cm時(shí)托舉效果最佳。
[0031]為了配合不同的PECVD石墨舟，本實(shí)用新型提供的防呆舟漿尺寸以適應(yīng)于石墨舟為宜?，F(xiàn)舉例說(shuō)明，當(dāng)本實(shí)用性所提供的防呆舟漿應(yīng)用于賽瑞達(dá)軟著陸管式PECVD爐管(SRD)設(shè)備時(shí)的設(shè)計(jì)尺寸。其中連接裝置32的長(zhǎng)為2.4cm，直徑為Φ0.5;固定裝置33的高為2.4cm ;所述托舉塊31的高為1.65cm,寬為4.0cm,長(zhǎng)為3.0cm ;所述固定裝置33為圓弧形鐵片，弧腳至與該圓弧形鐵片相連接的托舉塊31的遠(yuǎn)端垂直距離為3.7cm。采用上述尺寸設(shè)計(jì)制造的防呆舟漿即可以節(jié)省材料，又可以獲得較好的托舉效果，避免由于石墨舟傾斜導(dǎo)致的碎片增多問(wèn)題。
[0032]本實(shí)用新型提供的防呆舟漿制作簡(jiǎn)單，便于應(yīng)用；最大限度地杜絕了 PECVD過(guò)程中的生產(chǎn)安全隱患，提高了設(shè)備的生產(chǎn)穩(wěn)定性和生產(chǎn)效率，極大的降低了生產(chǎn)成本。
[0033]雖然關(guān)于示例實(shí)施例及其優(yōu)點(diǎn)已經(jīng)詳細(xì)說(shuō)明，應(yīng)當(dāng)理解在不脫離本實(shí)用新型的精神和所附權(quán)利要求限定的保護(hù)范圍的情況下，可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行各種變化、替換和修改。對(duì)于其他例子，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)容易理解在保持本實(shí)用新型保護(hù)范圍內(nèi)的同時(shí)，工藝步驟的次序可以變化。
【權(quán)利要求】
1.一種管式PECVD防呆舟漿，其特征在于，所述防呆舟漿包括:石墨舟推拉桿、定位螺絲和托舉裝置； 所述托舉裝置安裝于所述防呆舟漿的漿頭內(nèi)側(cè)，位于石墨舟腳支撐位置； 兩根所述石墨舟推拉桿通過(guò)所述定位螺絲進(jìn)行連接定位； 所述托舉裝置包括:固定裝置、連接裝置和托舉塊； 所述連接裝置置于兩個(gè)所述托舉塊之間，用于連接所述托舉塊； 所述固定裝置置于所述托舉塊的外側(cè)，用于將所述托舉塊與所述石墨舟推拉桿進(jìn)行固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防呆舟漿，其特征在于，所述連接裝置為長(zhǎng)度可調(diào)的螺絲絲桿，所述連接裝置通過(guò)螺絲與所述托舉塊進(jìn)行連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防呆舟漿，其特征在于，在所述螺絲與所述托舉塊的連接部設(shè)置有墊片。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防呆舟漿，其特征在于，所述固定裝置為開(kāi)口朝向所述石墨舟推拉桿的圓弧形鐵片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防呆舟漿，其特征在于，所述托舉塊為中空的長(zhǎng)方體鐵盒。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的防呆舟漿，其特征在于，所述托舉塊沿所述連接裝置的方向長(zhǎng) 3.7cm。
【文檔編號(hào)】C23C16/458GK204162786SQ201420653461
【公開(kāi)日】2015年2月18日 申請(qǐng)日期:2014年11月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月4日
【發(fā)明者】蔣興祝, 張廣松, 安亮, 韓鳴, 韓瑋智, 金建波, 王仕鵬, 黃海燕, 陸川 申請(qǐng)人:浙江正泰太陽(yáng)能科技有限公司