工件的切割方法及線鋸的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明是一種工件的切割方法，使卷繞于多個帶槽滾筒的鋼線在軸方向做往復行進，一邊向上述鋼線供給漿液一邊將工件相對地下壓，并壓抵至做往復行進的上述鋼線而切入進給，而將上述工件切割成晶片狀，上述工件的切割方法其特征在于，包括：準備上述帶槽滾筒的工序，上述帶槽滾筒以上述帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成；以及切割上述工件的工序，以上述鋼線供給側的鋼線比上述鋼線回收側的鋼線更早地壓抵至上述工件的方式切割上述工件。由此，能夠抑制在利用線鋸切割工件時尤其是在使槽間距較窄的鋼線回收側因工件的開始切割部位局部變薄而導致的TTV變差。
【專利說明】工件的切割方法及線鋸
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及使用線鋸將工件切割成晶片狀的方法及線鋸。
【背景技術】
[0002]一直以來，作為從硅晶棒或化合物半導體晶棒等工件切出晶片的設備已知有線鋸。在該線鋸中，通過在多個滾筒的周圍卷繞多匝鋼線(wire)而形成鋼線列，該鋼線被朝向軸高速驅動，且一邊適當?shù)毓┙o漿液一邊將工件向鋼線列切入進給，由此在各鋼線位置同時切割工件。
[0003]這里，圖8表示現(xiàn)有一般鋼鋸的一例的概要。
[0004]如圖8所示，線鋸101主要是由用以切割工件的鋼線102、卷繞有鋼線102的帶槽滾筒103、用以對鋼線102賦予張力的機構104、104丨、將工件朝向下方進給的單元105、以及在切割時供給漿液的單元106構成。
[0005]鋼線102從一側卷線盤107送出，經(jīng)由移車臺，并經(jīng)過由磁粉離合器(定轉矩馬達)和松緊調(diào)節(jié)輥(固定載荷)(未圖示)等構成的張力賦予機構104，進入帶槽滾筒103。鋼線102在該帶槽滾筒103卷繞300?400匝左右而形成鋼線列。鋼線102經(jīng)過另一側的張力賦予機構104丨而卷取于卷線盤107丨。
[0006]而且，帶槽滾筒103是在鋼鐵制圓筒的周圍壓入聚氨酯樹脂，并在其表面切出多個槽而成的滾筒，所卷繞的鋼線102通過驅動用馬達110能夠以預定的行進距離在往復方向驅動。此時，往復行進的鋼線的朝向各自方向的行進距離并不相同，一個方向的行進距離相對較長。由此，鋼線一邊繼續(xù)進行往復行進，一邊向較長地行進的方向側供給新鋼線。
[0007]切割工件時，通過工件進給單元105能夠將工件一邊保持一邊下壓，以使工件向卷繞于帶槽滾筒103的鋼線102的方向進給。
[0008]而且，在帶槽滾筒103、被卷繞的鋼線102的附近設有噴嘴111，而能夠從漿液供給單元106向鋼線102供給調(diào)整了溫度的漿液。
[0009]使用這種線鋸101，并使用鋼線張力賦予機構104向鋼線102施加適當?shù)膹埩?，一邊通過驅動用馬達Iio使鋼線102在往復方向上行進，一邊將通過工件進給單元105所保持的工件壓抵至做往復行進的鋼線而切入進給，而切割工件。
[0010]此時，如上所述，鋼線做一邊往復行進一邊供給其新線。因此，卷繞在帶槽滾筒103上的鋼線中，與供給新線側即鋼線供給側相比，回收鋼線側即鋼線回收側的鋼線的磨損量變大從而鋼線直徑變小。因此，在鋼線回收側被切割后的晶片具有其厚度比在鋼線供給側被切割后的晶片厚的傾向。這樣，就存在從一個工件得到的晶片的厚度產(chǎn)生偏差的問題。
[0011]對于這個問題，過去所使用的方法是將帶槽滾筒的多個槽之間的間距設成鋼線回收側間距比鋼線供給側間距窄，由此抑制上述的晶片厚度的偏差(例如，參照專利文獻I)。
[0012]現(xiàn)有技術文獻
[0013]專利文獻
[0014]專利文獻1:日本特開平第10-249701號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]發(fā)明所要解決的問題
[0016]然而，若以上述做法來切割工件，則尤其是在使槽間距變窄的鋼線回收側導致工件的開始切割部位變得比中心部薄，從而產(chǎn)生所切割的晶片的TTV(總厚度變化，TotalThickness Variation)變差之類的問題。
[0017]本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種能夠抑制在利用線鋸切割工件時尤其是在使槽間距較窄的鋼線回收側因工件的開始切割部位局部變薄而導致的TTV變差的工件的切割方法及線鋸。
[0018]用于解決問題的方案
[0019]為了達到上述目的，根據(jù)本發(fā)明提供一種工件的切割方法，使卷繞于多個帶槽滾筒的鋼線在軸方向做往復行進，一邊向上述鋼線供給漿液一邊將工件相對地下壓，并壓抵至做往復行進的上述鋼線而切入進給，而將上述工件切割成晶片狀，上述工件的切割方法其特征在于，包括:準備上述帶槽滾筒的工序，上述帶槽滾筒以上述帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成；以及切割上述工件的工序，以上述鋼線供給側的鋼線比上述鋼線回收側的鋼線更早地壓抵至上述工件的方式切割上述工件。
[0020]若是這種工件的切割方法，能夠避免使槽間距變窄的鋼線回收側的工件由未磨損的鋼線所切割，尤其能夠抑制在鋼線回收側發(fā)生工件的開始切割部位局部變薄，從而能夠改進TTV (總厚度變化)。
[0021]此時，上述帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離的最大差值，理想的是設定在Imm以上且5mm以下的范圍內(nèi)。
[0022]這樣，由于該最大差值設定在1_以上，因而能夠可靠地抑制尤其在鋼線回收側發(fā)生工件的開始切割部位局部變薄。另外，由于該最大差值設定在5mm以下，因而能夠在帶槽滾筒的周圍所形成的聚氨酯等樹脂外殼的厚度范圍內(nèi)形成槽，進而還能夠保留可再加工槽的厚度，因此，能夠以低成本容易地進行槽加工。
[0023]而且此時，在準備上述帶槽滾筒的工序中，能夠準備以上述多個槽的深度從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變深的方式形成的上述帶槽滾筒，且上述帶槽滾筒的直徑為一定。
[0024]這樣一來，僅僅形成深度不同的槽就能夠容易地準備一種帶槽滾筒,該帶槽滾筒以帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成。
[0025]而且此時，在準備上述帶槽滾筒的工序中，還能夠準備以上述帶槽滾筒的直徑從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變小的方式形成的上述帶槽滾筒，且上述多個槽的深度相同。
[0026]這樣一來，在準備帶槽滾筒時，能夠容易地進行槽的加工。而且，將槽做成V字形從而能夠使槽加工更為容易。
[0027]而且，根據(jù)本發(fā)明提供一種線鋸，該線鋸具備卷繞于多個帶槽滾筒且在軸方向做往復行進的鋼線、向該鋼線供給漿液的噴嘴、以及一邊保持工件一邊將該工件相對地下壓而向上述鋼線進給的工件進給單元，且一邊從上述噴嘴向上述鋼線供給漿液一邊將利用上述工件進給單元保持的上述工件壓抵至做往復行進的上述鋼線而切入進給，而將上述工件切割成晶片狀，上述線鋸的特征在于，上述帶槽滾筒以該帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成，能夠以上述鋼線供給側的鋼線比上述鋼線回收側的鋼線更早地壓抵至上述工件的方式切割上述工件。
[0028]若是這種線鋸，能夠避免使槽間距變窄的鋼線回收側的工件由未磨損的鋼線所切害I]，尤其能夠抑制在鋼線回收側發(fā)生工件的開始切割部位局部變薄，從而能夠改進ττν(總厚度變化)。
[0029]而且此時，上述帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離的最大差值，理想的是在Imm以上且5mm以下的范圍內(nèi)。
[0030]這樣，若該最大差值是Imm以上，則能夠可靠地避免鋼線回收側的工件由未磨損的鋼線所切割，從而能夠可靠地改進TTV。另外，若該最大差值是5_以下，則能夠在帶槽滾筒的周圍所形成的聚氨酯等樹脂外殼的厚度范圍內(nèi)形成槽，進而還能夠保留可再加工槽的厚度，因此，能夠以低成本容易地進行槽加工。
[0031]而且此時，上述帶槽滾筒的直徑為一定，且上述帶槽滾筒能夠以上述帶槽滾筒的多個槽的深度從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變深的方式形成。
[0032]若是這種帶槽滾筒，僅僅形成深度不同的槽就能夠容易地構成帶槽滾筒，該帶槽滾筒以帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成。
[0033]而且此時，上述帶槽滾筒的多個槽的深度相同，上述帶槽滾筒還能夠以上述帶槽滾筒的直徑從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變小的方式形成。
[0034]若是這種帶槽滾筒，使得帶槽滾筒的槽的加工容易。而且，將槽做成V字形從而能夠使槽加工更為容易。
[0035]發(fā)明效果
[0036]本發(fā)明在利用線鋸的工件的切割中，準備以帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成的帶槽滾筒，并以鋼線供給側的鋼線比上述鋼線回收側的鋼線更早地壓抵至上述工件的方式切割工件，因而能夠避免使槽間距變窄的鋼線回收側的工件由未磨損的鋼線所切割，尤其能夠抑制在鋼線回收側發(fā)生工件的開始切割部位局部變薄，因此，能夠改進TTV。由此，能夠使后續(xù)工序中的例如拋光加工、研磨加工中的加工余量較小。因此，能夠將所切割的晶片的厚度設定為較薄而進行切割，能夠減少切損，并且還能夠提高后續(xù)工序的拋光工序、研磨工序的生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0037]圖1是表示本發(fā)明的線鋸的一例的概略圖。
[0038]圖2是表示本發(fā)明的線鋸的帶槽滾筒的概略圖，(A)是帶槽滾筒的俯視概略圖，(B)是帶槽滾筒的槽的一例。
[0039]圖3是表示本發(fā)明的線鋸的帶槽滾筒的一例的概略圖。[0040]圖4是表示本發(fā)明的線鋸的帶槽滾筒的一例的概略圖。
[0041]圖5是表示實施例中的晶片的厚度分布的圖。
[0042]圖6是表示比較例中的晶片的厚度分布的圖。
[0043]圖7是表示實施例、比較例中的TTV的結果的圖。
[0044]圖8是表不現(xiàn)有線銀的一例的概略圖。
【具體實施方式】[0045]以下，說明本發(fā)明的實施方式，但本發(fā)明并不限定于此。
[0046]如上所述，為了使被切割的晶片的厚度一致，若考慮鋼線的磨損而使用具有使槽間距變化的帶槽滾筒而切割例如硅晶棒等的工件，則在鋼線尚未開始磨損的開始切割部位會產(chǎn)生晶片的厚度局部變薄的現(xiàn)象，且產(chǎn)生該現(xiàn)象在使槽間距變窄的工件回收側尤其明顯之類的問題。
[0047]于是，本發(fā)明人等為了解決這種問題而重復進行了深入研究。其結果，想到了以下的方案并完成了本發(fā)明。該方案如下:使切割開始時的工件與鋼線的接觸時機在鋼線供給側與鋼線回收側有變化，使在槽間距變窄的鋼線回收側的鋼線滯后接觸，由此能夠抑制鋼線尚未開始磨損的開始切割部位的晶片厚度局部變薄。
[0048]圖1是表示本發(fā)明的線鋸的一例的概略圖。
[0049]如圖1所示，本發(fā)明的線鋸I主要由用以切割工件W的鋼線2、帶槽滾筒3、用以向鋼線2賦予張力的鋼線張力賦予機構4、4丨、將所要切割成晶片狀的工件W—邊保持一邊相對地下壓而切入進給的工件進給單元5、以及用以切割時向鋼線2供給漿液的漿液供給單元14等構成。
[0050]鋼線2從一側卷線盤7送出，經(jīng)由移車臺，并經(jīng)過由磁粉離合器(定轉矩馬達)和松緊調(diào)節(jié)輥(固定載荷)等構成的鋼線張力賦予機構4，進入帶槽滾筒3。鋼線2在多個帶槽滾筒3卷繞300~400匝左右而形成鋼線列。鋼線2經(jīng)過另一側的鋼線張力賦予機構4 ’而卷取于卷線盤?丨。
[0051]漿液供給單元14由漿液槽11、漿液冷卻器12、以及噴嘴13等構成。噴嘴13配置在卷繞于帶槽滾筒3的鋼線2的上方。該噴嘴13與漿液槽11連接，所供給的漿液能夠由漿液冷卻器12而控制供給溫度并從噴嘴13向鋼線2供給。
[0052]這里，切割中所使用的漿液的種類沒有特別的限定，能夠使用與過去相同的漿液，例如可以是使碳化硅的磨粒分散在液體中而成的漿液。
[0053]而且，帶槽滾筒3是在鋼鐵制圓筒的周圍壓入聚氨酯樹脂，并在其表面以規(guī)定的間距切出槽而成的滾筒，所卷繞的鋼線2通過驅動用馬達10能夠在軸方向上做往復行進。這里，在使鋼線2做往復行進時，為了供給新鋼線，使鋼線2的一個方向的行進距離較長而不是使朝向兩個方向的行進距離相同。這樣，一邊進行鋼線的往復行進一邊向行進距離較長的方向供給新線。
[0054]例如，如圖2(A)所示，在向A方向供給新線的情況下，圖2(A)中所示的B成為鋼線供給側，C成為鋼線回收側。
[0055]而且，如圖2 (A)所示，帶槽滾筒3的多個槽6以鋼線回收側C比鋼線供給側B更窄的方式形成槽間距(tl > t2)。[0056]而且，在本發(fā)明的線鋸中，以帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成。即、卷繞在該帶槽滾筒上的鋼線的與工件側相對的高度位置從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變低。這里，如圖2(B)所示，帶槽滾筒的多個槽，為了防止鋼線的橫向偏移，理想的是做成具有與鋼線的直徑相同的半圓形和槽寬的U字形。
[0057]在進行工件W的切割時，工件W通過工件進給單元5而朝向位于相對靠下方的位置的鋼線2進給。該工件進給單元5向相對靠下方的位置下壓工件W，由此將工件W壓抵至做往復行進的鋼線2而切入進給。此時，在本發(fā)明中，鋼線供給側的鋼線會比鋼線回收側的鋼線更早地壓抵至工件。這里，該工件進給單元5能夠利用計算機控制以預先編程的進給速度進給所保持的工件W。而且，完成工件W的切割后逆轉工件W的進給方向，從而能夠從鋼線列拔出切割完畢的工件W。
[0058]若是這種本發(fā)明的線鋸，則對于切割開始時的工件與鋼線的接觸時機，通過使槽間距較窄的鋼線回收側的鋼線滯后于鋼線供給側的鋼線而接觸，從而能夠避免鋼線回收側的工件由未磨損的鋼線所切割。由此，能夠抑制尤其是在工件回收側發(fā)生工件的開始切割部位變得比中心部薄，從而能夠改進TTV。
[0059]這里，將本發(fā)明的線鋸的帶槽滾筒的一例表示在圖3中。
[0060]如圖3所示，帶槽滾筒31的直徑為一定，帶槽滾筒31的多個槽6的深度(圖3中的h)以從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變深的方式形成(圖3中的斜線)。另外，圖3僅表示了帶槽滾筒的兩端起的各兩個槽，并且省略了其它的槽。該帶槽滾筒31的多個槽6的底部9的位置與帶槽滾筒31的旋轉軸8之間的距離(圖3中的d)從鋼線供給側B朝向鋼線回收側C逐漸變短。僅僅使用現(xiàn)有的設備形成深度不同的槽即可容易地構成該帶槽滾筒31。在該情況下，理想的是將槽做成U字形，這樣一來，尤其是在槽更深的鋼線回收側能夠避免與相鄰的槽之間的干擾。
[0061]或者，如圖4所示，還能夠以帶槽滾筒32的直徑從鋼線供給側B朝向鋼線回收側C逐漸變小的方式形成帶槽滾筒32，且?guī)Р蹪L筒32的多個槽6的深度相同。
[0062]同樣地、在該帶槽滾筒32中也是多個槽6的底部9的位置與帶槽滾筒32的旋轉軸8之間的距離d從鋼線供給側B朝向鋼線回收側C逐漸變短。在該帶槽滾筒32能夠容易地進行槽的加工。而且，在該情況下也最好將槽做成U字形，但由于槽的深度h相同，因而還能夠將槽做成V字形，以使槽加工更為容易。
[0063]此時，帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離的最大差值，能夠根據(jù)帶槽滾筒的直徑、卷繞于帶槽滾筒的鋼線的匝數(shù)、以及所切割的晶片的厚度等而適當設定，但理想的是在Imm以上且5mm以下的范圍內(nèi)。
[0064]若該最大差值是Imm以上，則能夠可靠地避免鋼線回收側的工件由未磨損的鋼線所切割，從而能夠可靠地改進TTV。而且，若該最大差值是5_以下，則能夠在帶槽滾筒的周圍所形成的聚氨酯等通常使用的樹脂外殼的厚度范圍內(nèi)形成槽。進而，在再形成槽的情況下，還能夠在僅除去樹脂外殼的形成有槽的區(qū)域之后再形成槽而無需再形成樹脂外殼。即、在通常使用的樹脂外殼的厚度范圍內(nèi)能夠進行兩次槽形成，因而能夠減少成本。
[0065]下面說明本發(fā)明的工件的切割方法。這里，針對使用如圖1所示的線鋸I的場合進行說明。[0066]首先，準備一種帶槽滾筒3，該帶槽滾筒3以帶槽滾筒3的多個槽的底部的位置與帶槽滾筒3的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成。
[0067]此時，能夠準備如圖3所示的、以多個槽6的深度從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變深的方式形成的帶槽滾筒31，該帶槽滾筒31的直徑為一定。
[0068]這樣一來，僅僅使用現(xiàn)有的設備形成深度不同的槽就能夠容易地準備帶槽滾筒，該帶槽滾筒以帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成。在該情況下，理想的是將槽做成U字形，這樣一來，尤其是在槽更深的鋼線回收側能夠避免與相鄰的槽之間的干擾。
[0069]而且此時，還能夠準備如圖4所示的、以帶槽滾筒的直徑從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變小的方式形成的帶槽滾筒32，且多個槽6的深度相同。
[0070]這樣一來，在準備帶槽滾筒時能夠容易地進行槽的加工。而且，在該情況下也最好將槽做成U字形，但還能夠將槽做成V字形，以使槽加工更為容易。
[0071]接著,通過工件進給單元5保持工件W。
[0072]而且，在向鋼線2賦予張力而使鋼線2在軸方向上做往復行進，并通過漿液供給單元14進行了對鋼線2的漿液供給的狀態(tài)下，通過工件進給單元5將工件W相對地下壓，以使工件W對于鋼線列切入進給而切割工件W。此時，使鋼線供給側的鋼線比鋼線回收側的鋼線更早地壓抵至工件。
[0073]若是這種切割方法，對于切割開始時的工件與鋼線的接觸時機，通過使槽間距較窄的鋼線回收側的鋼線滯后于鋼線供給側的鋼線而接觸，從而能夠避免鋼線回收側的工件由未磨損的鋼線所切割。由此，尤其能夠抑制在工件回收側發(fā)生工件的開始切割部位變得比中心部薄，從而能夠改進TTV。
[0074]此時，帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離的最大差值，能夠根據(jù)帶槽滾筒的直徑、卷繞于帶槽滾筒的鋼線的匝數(shù)、以及所切割的晶片的厚度等而適當設定，但理想的是在Imm以上且5mm以下的范圍內(nèi)。
[0075]若該最大差值是Imm以上，則能夠可靠地避免鋼線回收側的工件由未磨損的鋼線所切割，從而能夠可靠地改進TTV。而且，若該最大差值是5_以下，則能夠在帶槽滾筒的周圍所形成的聚氨酯等通常使用的樹脂外殼的厚度范圍內(nèi)形成槽。進而，在再形成槽的情況下，還能夠在僅除去樹脂外殼的形成有槽的區(qū)域之后再形成槽而無需再形成樹脂外殼。即、在通常使用的樹脂外殼的厚度范圍內(nèi)能夠進行兩次槽形成，因而能夠減少成本。
[0076]另外，這里使用如圖1所示的線鋸的工件進給單元，并以向下方進給的方式切入進給工件，但本發(fā)明的工件的切割方法及線鋸并不限定于此，工件的進給只要通過相對地下壓而進行即可。即、并非向下方進給工件W，而是通過將鋼線列向上方推上去而進行工件W的進給亦可。
[0077]這里，能夠適當?shù)卦O定向鋼線2賦予的張力大小和鋼線2的行進速度等。例如，能夠將鋼線的行進速度設定為400?800m/min。而且，能夠將對于鋼線列切入進給時的切入進給速度，例如設定為0.2?0.4mm/min。這些條件并不限定于此。
[0078]而且這里，雖然不是特別限定，但作為在切割時向鋼線2供給的漿液，例如能夠使用# 2000磨粒與冷卻劑混合而成的漿液，其重量比例如能夠設定成50:50的比例。而且，漿液的溫度例如能夠設定為15°C?30°C。[0079]如以上所說明，在本發(fā)明中，能夠抑制尤其是在使槽間距較窄的鋼線回收側發(fā)生工件的開始切割部位局部變薄，從而能夠改進TTV，因此，能夠使后續(xù)工序中的例如拋光加工、研磨加工中的加工余量較小。因此，能夠將所切割的晶片的厚度設定為較薄而進行切害I]，能夠減少切損，并且還能夠期待后續(xù)工序的拋光工序、研磨工序的生廣效率的提聞。
[0080]實施例
[0081]以下示出本發(fā)明的實施例和比較例來更具體地說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不限定于這些例。
[0082](實施例)
[0083]使用具有如圖3所示的帶槽滾筒的如圖1所示的本發(fā)明的線鋸，按照本發(fā)明的工件的切割方法進行工件的切割并評價了被切割的晶片的TTV。這里，作為工件使用了直徑為300mm、長度為400mm的娃晶棒。而且，槽的最小深度設定為0.25mm、最大深度設定為2mm,并將帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離的最大差值設定為1.75mm。如圖2(A)所示，就槽間距而言，設定tl=l.08mm，并分10步設置了間距每一步變窄Iym的槽，使得t2=1.07mm。而且，槽的形狀設定成如圖2 (B)所示的、具有與鋼線的直徑0.14mm相同的半圓形和槽寬的U字形。
[0084]圖5表示被切割的晶片的切割方向的厚度分布。如圖5所示，鋼線供給側和回收側的切割開始部位的厚度幾乎沒有差異，與圖6所示的下述比較例的結果相比，可知厚度的偏差有了改進。
[0085]圖7表示TTV的結果。如圖7所示，TTV的平均值是8.0 μ m、方差是0.3 μ m，與平均值為8.7 μ m、方差為2.0 μ m的下述比較例相比，可知有了大幅度改進。另外，測定器使用了 日本神戶制鋼科研所(K0BELC0 RESEARCH INSTITUTE, INC.)制的 SBW-330。
[0086]而且，在使用了如圖4所示的帶槽滾筒的情況下，也得到了相同的結果。
[0087]這樣，本發(fā)明的線鋸及工件的切割方法，已確認出能夠抑制在利用線鋸切割工件時尤其是在使槽間距較窄的鋼線回收側因工件的開始切割部位局部變薄而導致的TTV變差。
[0088](比較例)
[0089]如圖8所示，除了使用帶槽滾筒的直徑為一定且多個槽的深度也為一定的現(xiàn)有的線鋸，并使鋼線供給側和回收側的鋼線同時壓抵工件以外，以與實施例相同的條件切割硅晶棒，并與實施例相同地進行了評價。
[0090]圖6表示被切割的晶片的切割方向的厚度分布。如圖6所示，可知鋼線供給側與回收側的切割開始部位的厚度差異較大，回收側的切割開始部位的厚度較薄。
[0091]圖7表示TTV的結果。如圖7所示，TTV的平均值是8.7 μ m、方差是2.0 μ m，與實施例的結果相比，可知大幅度變差。
[0092]另外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式。上述實施方式是例示，具有實質上與本發(fā)明的權利要求書中所記載的技術思想相同的構成并帶來相同的作用效果的技術無論怎樣均包括在本發(fā)明的技術范圍。
【權利要求】
1.一種工件的切割方法，使卷繞于多個帶槽滾筒的鋼線在軸方向做往復行進，一邊向上述鋼線供給漿液一邊將工件相對地下壓，并壓抵至做往復行進的上述鋼線而切入進給，而將上述工件切割成晶片狀，上述工件的切割方法其特征在于，包括: 準備上述帶槽滾筒的工序，上述帶槽滾筒以上述帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成；以及 切割上述工件的工序，以上述鋼線供給側的鋼線比上述鋼線回收側的鋼線更早地壓抵至上述工件的方式切割上述工件。
2.根據(jù)權利要求1所述的工件的切割方法，其特征在于， 上述帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離的最大差值設定在Imm以上且5mm以下的范圍內(nèi)。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的工件的切割方法，其特征在于， 在準備上述帶槽滾筒的工序中，準備以上述多個槽的深度從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變深的方式形成的上述帶槽滾筒，且上述帶槽滾筒的直徑為一定。
4.根據(jù)權利要求1或2所述的工件的切割方法，其特征在于， 在準備上述帶槽滾筒的工序中，準備以上述帶槽滾筒的直徑從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變小的方式形成的上述帶槽滾筒，且上述多個槽的深度相同。
5.一種線鋸，具備卷繞于多個帶槽滾筒且在軸方向做往復行進的鋼線、向該鋼線供給漿液的噴嘴、以及一邊保持工件一邊將該工件相對地下壓而向上述鋼線進給的工件進給單元，且一邊從上述噴嘴向上述鋼線供給漿液一邊將利用上述工件進給單元保持的上述工件壓抵至做往復行進的上述鋼線而切入進給，而將上述工件切割成晶片狀，上述線鋸的特征在于， 上述帶槽滾筒以該帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變短的方式形成， 能夠以上述鋼線供給側的鋼線比上述鋼線回收側的鋼線更早地壓抵至上述工件的方式切割上述工件。
6.根據(jù)權利要求5所述的線鋸，其特征在于， 上述帶槽滾筒的多個槽的底部的位置與該帶槽滾筒的旋轉軸之間的距離的最大差值在Imm以上且5mm以下的范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權利要求5或6所述的線鋸，其特征在于， 上述帶槽滾筒的直徑為一定，且上述帶槽滾筒以上述帶槽滾筒的多個槽的深度從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變深的方式形成。
8.根據(jù)權利要求5或6所述的線鋸，其特征在于， 上述帶槽滾筒的多個槽的深度相同，上述帶槽滾筒以上述帶槽滾筒的直徑從鋼線供給側朝向鋼線回收側逐漸變小的方式形成。
【文檔編號】B24B27/06GK103842129SQ201280045340
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2012年8月29日 優(yōu)先權日:2011年10月4日
【發(fā)明者】糸井征夫 申請人:信越半導體株式會社