專利名稱：晶片單面拋光機(jī)防撞減壓裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型為拋光機(jī)的緩沖裝置，特別是晶片單面拋光機(jī)的防撞緩沖裝置，屬于拋光機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域。氣缸運(yùn)動(dòng)終止時(shí)的緩沖裝置，讓快速運(yùn)動(dòng)的氣缸以逐步減速停下，以求得運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)無沖擊。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的拋光機(jī)都是以氣缸運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)上拋光頭的提升及下降，并保持壓力前行拋光，這類傳統(tǒng)拋光機(jī)對(duì)于常見的金屬零件或光學(xué)零件的加工是正常的。但是，在半導(dǎo)體晶片的拋光過程中，沒有緩沖的情況下，當(dāng)氣缸運(yùn)動(dòng)到行程的上下二個(gè)端頭時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生沖擊， 這樣就會(huì)造成摔壞拋光盤和破壞拋光晶片的后果，長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行還會(huì)損壞機(jī)器設(shè)備，使拋光機(jī)不能正常的工作，因此傳統(tǒng)拋光機(jī)不能適用于半導(dǎo)體晶片的拋光。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型緩沖裝置所要解決的問題是提供一種晶片單面拋光機(jī)防撞減壓裝置， 其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單但卻可以緩沖氣缸在上下行程止點(diǎn)產(chǎn)生的沖擊，有利于保證半導(dǎo)體晶片的拋光質(zhì)量，并延長(zhǎng)拋光機(jī)的使用壽命。本實(shí)用新型技術(shù)解決此問題的方法是在與氣缸活塞桿成一體的上磨盤轉(zhuǎn)軸上連接有減振傳動(dòng)桿，在傳動(dòng)桿的行程上、下止點(diǎn)分別安裝有阻尼油缸，阻尼油缸內(nèi)裝有復(fù)位的壓力彈簧，阻尼油缸的液壓油接口接于儲(chǔ)油器上。所述的傳動(dòng)桿通過一連接板與轉(zhuǎn)軸的上端連接，并且采用二根傳動(dòng)桿對(duì)稱安裝在連接板上。所述的阻尼油缸的下缸體與氣缸的支座成一體，缸內(nèi)安裝的壓力彈簧采用圓柱螺
旋彈簧。本實(shí)用新型的工作原理是當(dāng)氣缸中的轉(zhuǎn)軸運(yùn)動(dòng)到終點(diǎn)時(shí)，撞上阻尼油缸的活塞， 由于阻尼油缸的液壓油接口只能讓設(shè)定量的液壓油通過，迫使氣缸中轉(zhuǎn)軸下移速度降低， 直至終點(diǎn)。當(dāng)氣缸中轉(zhuǎn)軸向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，阻尼油缸中的活塞在彈簧的作用下回位，液壓油重新被吸回到油缸中。本實(shí)用新型的有益效果是采用了活塞式液壓壓力油循環(huán)方式的阻尼油缸，可以承受很大的氣缸壓力和較長(zhǎng)的行程，緩沖拋光頭的沖擊力量，保證半導(dǎo)體晶片的拋光質(zhì)量， 并延長(zhǎng)拋光機(jī)的使用壽命。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的阻尼油缸結(jié)構(gòu)示意圖圖中各標(biāo)號(hào)為氣缸上蓋01、氣管接口 02、氣缸套03、上氣室04、支座05、下蓋06、
3轉(zhuǎn)軸07、上磨盤連接法蘭08、軸承09、液壓油接口 10、壓力彈簧11、活塞12、密封圈13、密封圈14、傳動(dòng)桿15、軸承16、連接板17。
具體實(shí)施方式
參見圖1、2，上磨盤的轉(zhuǎn)軸07與氣缸活塞桿成一體，裝入氣缸套03中，轉(zhuǎn)軸07的上端連接一連接板17，連接板17兩側(cè)對(duì)稱安裝二根傳動(dòng)桿15，在傳動(dòng)，15的行程上、下止點(diǎn)分別安裝阻尼油缸，阻尼油缸的下缸體直接設(shè)置在氣缸的支座05上，阻尼油缸內(nèi)裝有復(fù)位的壓力彈簧11，阻尼油缸的液壓油接口 10接于儲(chǔ)油器(圖中未畫)上。阻尼油缸的缸內(nèi)安裝的壓力彈簧11采用圓柱螺旋彈簧，一端觸壓在缸底，另一端觸壓在活塞12的內(nèi)孔中。氣缸中轉(zhuǎn)軸07向下運(yùn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)連接板17 —起運(yùn)動(dòng)，通過穿過氣缸體外面的導(dǎo)孔，減振作用的傳動(dòng)桿15向下運(yùn)動(dòng)。當(dāng)碰上阻尼油缸的活塞12時(shí)，活塞12繼續(xù)向下運(yùn)動(dòng)， 將油缸里的油通過液壓油接口的限流孔推回儲(chǔ)油器，調(diào)節(jié)流量，控制油缸活塞的運(yùn)動(dòng)速度。 當(dāng)轉(zhuǎn)軸07提起后，油缸活塞12在壓力彈簧11作用下彈起，將儲(chǔ)油器里的油重新吸入阻尼油缸，完成復(fù)位。
權(quán)利要求1.一種晶片單面拋光機(jī)防撞減壓裝置，其特征是在與氣缸活塞桿成一體的上磨盤轉(zhuǎn)軸上連接有減振傳動(dòng)桿，在傳動(dòng)桿的行程上、下止點(diǎn)分別安裝有阻尼油缸，阻尼油缸內(nèi)裝有復(fù)位的壓力彈簧，阻尼油缸的液壓油接口接于儲(chǔ)油器上。
2.按權(quán)利要求1所述的晶片單面拋光機(jī)防撞減壓裝置，其特征是傳動(dòng)桿通過一連接板與轉(zhuǎn)軸的上端連接，并且采用二根傳動(dòng)桿對(duì)稱安裝在連接板上。
3.按權(quán)利要求2所述的晶片單面拋光機(jī)防撞減壓裝置，其特征是阻尼油缸的下缸體與氣缸的支座成一體，缸內(nèi)安裝的壓力彈簧采用圓柱螺旋彈簧。
專利摘要本實(shí)用新型拋光機(jī)的緩沖裝置，特別是晶片單面拋光機(jī)的防撞緩沖裝置，屬于拋光機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域。本緩沖裝置的特征是，在與氣缸活塞桿成一體的上磨盤轉(zhuǎn)軸上連接有減振傳動(dòng)桿，在傳動(dòng)桿的行程上、下止點(diǎn)分別安裝有阻尼油缸，阻尼油缸內(nèi)裝有復(fù)位的壓力彈簧，阻尼油缸的液壓油接口接于儲(chǔ)油器上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以承受很大的氣缸壓力和較長(zhǎng)的行程，緩沖氣缸在上下行程止點(diǎn)產(chǎn)生的沖擊，減輕拋光頭的沖擊力量，保證半導(dǎo)體晶片的拋光質(zhì)量，并延長(zhǎng)拋光機(jī)的使用壽命。
文檔編號(hào)B24B55/00GK201940890SQ201020653218
公開日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2010年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月11日
發(fā)明者李明, 楊理, 陳明壽 申請(qǐng)人:昆明臺(tái)興精密機(jī)械有限責(zé)任公司