專利名稱：百葉窗系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種百葉窗系統(tǒng)，其能夠在打開位置與關(guān)閉位置之間操作，在關(guān)閉位 置避免表面不期望地暴露于輻射通量。
背景技術(shù)：
當(dāng)今在工業(yè)中使用多種百葉窗系統(tǒng)來避免表面不期望地暴露于例如沉積工藝期 間的材料或者諸如紫外(UV)光或紅外(IR)光的電磁輻射的輻射通量。在關(guān)閉位置中，百 葉窗的屏蔽件位于必須要屏蔽的區(qū)域前面，并且在打開位置中，該屏蔽件移動(dòng)到位于遮蔽 區(qū)域外的位置。當(dāng)不是同時(shí)使用所有沉積源時(shí)，百葉窗有時(shí)在物理氣相沉積(PVD)工藝中使用。 例如，TiAl和Ti源在TiAlN層，然后TiN層的沉積期間依次使用。在TiAlN沉積期間，優(yōu) 選通過百葉窗遮蔽Ti源以避免TiAlN層形成在Ti源上，而在TiN沉積期間，位于Ti源前 面的百葉窗打開，但TiAl源前面的另一百葉窗關(guān)閉。另一示例是位于儀器(例如，光譜儀)的檢測(cè)器與所研究過程，例如光源(UV光、 可見光或IR光)之間的百葉窗。百葉窗避免在檢測(cè)器不進(jìn)行測(cè)量的時(shí)間期間內(nèi)的不合需
要的暴露。百葉窗的最通常設(shè)計(jì)在圖1-2中示意性顯示。在圖1中，示意性顯示了具有一個(gè) 軸102和百葉窗屏蔽件104的百葉窗100的兩個(gè)不同側(cè)視圖，其中軸102安裝在屏蔽件的 周緣附近或周緣上。百葉窗100通過轉(zhuǎn)動(dòng)(箭頭106)百葉窗100的軸102打開(位置A) 和關(guān)閉(位置B)。優(yōu)點(diǎn)是牢靠的設(shè)計(jì)并且在沉積源108前面不需要額外的空間，但當(dāng)屏蔽 件104處于打開位置(位置A)時(shí)，需要百葉窗100旁邊的許多空間。這限制了百葉窗100 旁邊的其它部件的數(shù)量，因?yàn)槔缭赑VD設(shè)備中，源108、加熱器和視口都置于PVD容器的壁 110 中。在圖2中，顯示了具有兩個(gè)軸122p 1222和兩個(gè)屏蔽件12+、1242的百葉窗120的兩 個(gè)不同側(cè)視圖，所述屏蔽件通常是矩形的，如圖2中所示。百葉窗120通過轉(zhuǎn)動(dòng)百葉窗120 的兩個(gè)軸122pl222打開(位置A)和關(guān)閉(位置B)。優(yōu)點(diǎn)是牢靠的設(shè)計(jì)，并且與圖1中顯 示的百葉窗相比，在打開位置(位置A)中，百葉窗120旁邊的空間僅被屏蔽件121、1242的 區(qū)域占據(jù)。因此，能在較少的額外空間需求的情況下遮蔽大的矩形區(qū)域。在圖2中，還顯示 了沉積源126。缺點(diǎn)是當(dāng)從關(guān)閉(位置B)轉(zhuǎn)向打開位置(位置A)時(shí)的百葉窗120前面所 需的空間，以及在打開位置(位置A)所需的空間，盡管該空間小于圖1中顯示的百葉窗的 空間。百葉窗120前面所需的空間在某些工藝，例如某些PVD工藝中是關(guān)鍵的。此空間設(shè) 定了源126與PVD設(shè)備中的基底之間的距離的下限，而沉積速度隨源126與基底之間的距 離增大而下降。如圖2中明顯的，這里遮蔽寬度表示為w，每個(gè)屏蔽件12的打開寬度為ο = w/2，而百葉窗120前面的關(guān)鍵距離是a = w/2。類似的百葉窗由圖2中顯示的百葉窗120的僅一側(cè)，即僅一個(gè)軸和一個(gè)屏蔽件組 成，但是其增加了百葉窗前面所需的空間。
US-B1-6, 315，877描述了一種PVD設(shè)備。該設(shè)備包括沿壁的側(cè)面，即垂直于真空室 的徑向和豎直方向移動(dòng)的百葉窗。在打開位置中，此方案不需要百葉窗前面的額外空間，僅 需要遮蔽區(qū)域旁邊的屏蔽件的空間。因此，適合遮蔽大的矩形區(qū)域。然而，打開位置的占用 面積仍與圖1中所示的百葉窗相同。此外，US-B1-6，315，877中的用以控制百葉窗的設(shè)備 相當(dāng)復(fù)雜，因此系統(tǒng)不如圖1和/或圖2中所示的百葉窗那樣牢靠。

發(fā)明內(nèi)容
上述問題通過根據(jù)權(quán)利要求1的百葉窗系統(tǒng)來解決。該百葉窗系統(tǒng)能夠在打開位 置與關(guān)閉位置之間操作，在關(guān)閉位置避免表面不期望地暴露于輻射通量。該百葉窗系統(tǒng)包 括至少一對(duì)屏蔽件以及用于每個(gè)屏蔽件的軸。第一軸連接到第一屏蔽件的端部，并與該第 一屏蔽件的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線重合。呈有角型臂形狀的第二軸連接到第二屏蔽件的端部，并且第二 屏蔽件的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線平行于所述第一屏蔽件的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線且布置在距第二屏蔽件一定距離處。根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)的主要優(yōu)點(diǎn)在于與上述的已知百葉窗相比，在打開位置 時(shí)占用面積減小。此外，根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)在百葉窗前面具有相當(dāng)適度的關(guān)鍵空間。與例如 圖2中所示的百葉窗相比，此關(guān)鍵空間減小。如果x> = y，則獲得另一優(yōu)點(diǎn)，這里χ表示當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)處于關(guān)閉位置時(shí)，所 述第二屏蔽件的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與所述第二屏蔽件的最靠近所述第一屏蔽件的邊緣之間的垂直 距離，而y表示所述第二屏蔽件的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與所述第一軸連接到所述第一屏蔽件的所述端 部所在的連接點(diǎn)之間的垂直距離。此外，如果當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)處于關(guān)閉位置時(shí)，所述第一屏蔽件和所述第二屏蔽 件彼此部分重疊，并且彼此不在一直線上，則是有利的。根據(jù)另一實(shí)施例，如果當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)處于關(guān)閉位置時(shí)，所述第一屏蔽件和所 述第二屏蔽件彼此部分重疊，并在該重疊區(qū)域中彎曲，且除了在所述重疊區(qū)域中之外彼此 在一直線上，則是有利的。如果當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)處于打開位置時(shí)，所述第一屏蔽件和所述第二屏蔽件彼此
疊置，則獲得另一優(yōu)點(diǎn)。此外，如果所述第二軸連接到所述第二屏蔽件的短側(cè)的中間，并且當(dāng)所述百葉窗 系統(tǒng)處于關(guān)閉位置時(shí)，所述第二屏蔽件的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線大約定位在所述第一屏蔽件的短側(cè)的中 心上方，則是有利的。如果當(dāng)所述第一和第二軸已相對(duì)于所述第一和第二軸在所述百葉窗系統(tǒng)處于關(guān) 閉位置時(shí)的位置轉(zhuǎn)動(dòng)90°時(shí)，所述第一屏蔽件和所述第二屏蔽件彼此平行，則獲得又一優(yōu)
點(diǎn)ο此外，如果所述百葉窗系統(tǒng)還包括第三軸和第四軸，其中所述第三和第四軸以與 所述第一和第二軸相同的方式連接到所述第一和第二屏蔽件，但關(guān)于所述第一和第二屏蔽 件的中心軸線鏡像對(duì)稱，該中心軸線垂直于所述第一到第四軸的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線，則是有利的。如果所述百葉窗系統(tǒng)還包括結(jié)合所述第三和第四軸布置在所述第一和第二屏蔽 件處的支架，則獲得另一優(yōu)點(diǎn)。此外，如果所述百葉窗系統(tǒng)還包括第二對(duì)屏蔽件和用于每個(gè)第二對(duì)屏蔽件的軸，其中所述第二對(duì)屏蔽件和所述軸以與所述第一對(duì)屏蔽件以及所述第一和第二軸相同的方 式布置，但是以這樣的方式布置，即所述軸與所述第一和第二軸關(guān)于中心軸線鏡像對(duì)稱， 該中心軸線與所述軸的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線平行并布置在所述百葉窗系統(tǒng)的中間，則是有利的。如果當(dāng)要打開所述百葉窗系統(tǒng)時(shí)，所述軸和所述第一對(duì)屏蔽件順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，而所 述第二對(duì)屏蔽件逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，則獲得又一優(yōu)點(diǎn)。此外，如果當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)處于關(guān)閉位置時(shí)，所述第二屏蔽件和所述屏蔽件彼 此部分重疊，且彼此不在一直線上，則是有利的。根據(jù)另一實(shí)施例，如果當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)處于關(guān)閉位置時(shí)，所述第一屏蔽件和所 述第二屏蔽件彼此部分重疊，且在重疊區(qū)域中彎曲，并且除了在所述重疊區(qū)域中之外彼此 在一直線上，則是有利的。將注意的是如本申請(qǐng)中使用的術(shù)語“包括”意欲表示指定特征、步驟或部件的存 在，而不排除一個(gè)或多個(gè)其它特性特征、整體、步驟、部件或其組合的存在。


現(xiàn)在將參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行描述，在圖中圖1示意性顯示了現(xiàn)有技術(shù)百葉窗的兩個(gè)不同側(cè)視圖；圖2示意性顯示了另一現(xiàn)有技術(shù)百葉窗的兩個(gè)不同側(cè)視圖；圖3示意性顯示了根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)10的兩個(gè)不同側(cè)視圖；以及圖4示意性顯示了根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)10中的距離χ和y。
具體實(shí)施例方式在圖3中，示意性顯示了根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)10的兩個(gè)不同側(cè)視圖。該百葉 窗系統(tǒng)10可在打開位置A與關(guān)閉位置B之間操作，在關(guān)閉位置避免表面不期望地暴露于輻 射通量。在圖3中所示的實(shí)施例中，百葉窗系統(tǒng)10包括第一對(duì)屏蔽件IO11UO12和用于每 個(gè)屏蔽件IO11UO12的軸12n、1212。第一軸U11連接到所述第一對(duì)屏蔽件的第一屏蔽件IO11 的端部，并與第一屏蔽件IO11的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(在圖3中用箭頭C11示出)重合。呈有角型臂形 狀的第二軸1212連接到所述第一對(duì)屏蔽件的第二屏蔽件IO12的端部，并且第二屏蔽件IO12 的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(在圖3中用箭頭C12示出)平行于第一屏蔽件IO11的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線C11且布置在 距第二屏蔽件IO12 —定距離處。當(dāng)百葉窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉位置時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸線C12適當(dāng)?shù)囟?位在第一屏蔽件IO11上方。在圖3中所示的實(shí)施例中，百葉窗系統(tǒng)10還包括第二對(duì)屏蔽件 16n、1612和用于每個(gè)屏蔽件16n、1612的軸18n、1812。第二對(duì)屏蔽件16n、1612和軸18n、1812 以與第一對(duì)屏蔽件IO11UO12以及第一和第二軸12n、1212相同的方式布置，但是以如下方式 布置，即使得軸18n、1812與第一和第二軸12n、1212關(guān)于中心軸線鏡像對(duì)稱，該中心軸線與 軸12n、1212、18n、1812的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線平行且布置在百葉窗系統(tǒng)10的中間。如圖3中明顯的，當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)10處于用虛線顯示的打開位置A時(shí)，第一屏 蔽件IO11和第二屏蔽件IO12彼此疊置。同樣如圖3中所示，相同的情形也適用于第二對(duì)屏 蔽件16n、1612，即當(dāng)百葉窗系統(tǒng)處于打開位置A時(shí)，它們也彼此疊置。此外如在圖3的下部中明顯的以及如用虛線顯示的，當(dāng)?shù)谝缓偷诙S12n、1212 已相對(duì)于它們?cè)诎偃~窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉位置B時(shí)的位置轉(zhuǎn)動(dòng)90°時(shí)，用附圖標(biāo)記10’ n、
610’ 12指示的第一屏蔽件IO11和第二屏蔽件IO12彼此平行。相同的情形也適用于用附圖標(biāo) 記16，H、16，12指示的第二對(duì)屏蔽件16n、1612。根據(jù)圖3中所示的百葉窗系統(tǒng)10的一個(gè)實(shí)施例，第二軸1212連接到第二屏蔽件 IO12的短側(cè)的中間。當(dāng)百葉窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉位置B時(shí)，第二屏蔽件IO12的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(用 箭頭C12指示)大約定位在第一屏蔽件IO11的短側(cè)的中心上方。相同的情形原則上也適用 于軸1812，即軸IS12連接到屏蔽件1612的短側(cè)的中間。當(dāng)百葉窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉位置B時(shí)， 屏蔽件1612的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(在圖3中用箭頭D12指示)大約定位在屏蔽件Ie11的短側(cè)的中心 上方。軸IS11連接到屏蔽件Ie11的端部，并與屏蔽件Ie11的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(在圖3中用箭頭D11 指示)重合。按照根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)10的一個(gè)實(shí)施例，當(dāng)百葉窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉位置 時(shí)，第一屏蔽件IO11和第二屏蔽件IO12彼此部分重疊，并且彼此不在一直線上。相同的情形 適用于屏蔽件16n、1612。按照根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)10的另一實(shí)施例，當(dāng)百葉窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉位置 時(shí)，第一屏蔽件IO11和第二屏蔽件IO12彼此部分重疊，在該重疊區(qū)域中彎曲，并且除了在該 重疊區(qū)域中之外彼此在一直線上。同樣在此實(shí)施例中，相同的情形適用于屏蔽件16n、1612。如圖3中明顯的，當(dāng)百葉窗系統(tǒng)處于用虛線指示的打開位置時(shí)，第一屏蔽件IO11* 第二屏蔽件IO12彼此疊置。相同的情形也適用于同樣用虛線指示的屏蔽件16n、1612。如圖3中明顯的，當(dāng)要打開百葉窗系統(tǒng)10時(shí)，軸12n、1212和第一對(duì)屏蔽件IO11UO12 逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，而軸18n、IS12和第二對(duì)屏蔽件16n、1612順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，按照根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)10的一個(gè)實(shí)施例，當(dāng)百葉窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉 位置B時(shí)，第二屏蔽件IO12和第二屏蔽件1612彼此部分重疊，并且彼此不在一直線上。按照根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)10的另一實(shí)施例，當(dāng)百葉窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉位置 B時(shí)，第二屏蔽件IO12和屏蔽件1612彼此部分重疊，并在該重疊區(qū)域中彎曲，且除了在該重 疊區(qū)域中之外彼此在一直線上。按照根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)10的另一實(shí)施例，它還包括第三軸H11和第四軸 1412，該第三和第四軸以與第一和第二軸口…口口相同的方式連接到第一和第二屏蔽件 10n、1012，但是關(guān)于第一和第二屏蔽件IO11UO12W中心軸線鏡像對(duì)稱，該中心軸線垂直于第 一到第四軸12n、1212、14n、1412的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線。此外，該百葉窗系統(tǒng)10還能包括結(jié)合第三和第 四軸14n、1412布置在第一和第二屏蔽件IO11UO12處的支架。同樣，第二對(duì)屏蔽件16n、1612 能設(shè)有另外的軸和支架，所述軸和支架以與第三和第四軸14n、1412以及布置在第一和第二 屏蔽件IO11UO12上的支架相同的方式布置。換句話說，通過將軸和支架附接在屏蔽件的另 一短側(cè)處，能將百葉窗系統(tǒng)10制造得更加牢靠。此外如圖3中明顯的，當(dāng)百葉窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉位置B時(shí)，四個(gè)屏蔽件10n、1012、 16n、1612置于沉積源50前面，在此情形中，該沉積源50置于一方面的四個(gè)屏蔽件10n、1012、 16n、1612與另一方面的容器壁52之間。此外如圖3中明顯的，還顯示了一些不同的距離，這些距離對(duì)于說明根據(jù)本發(fā)明 的百葉窗系統(tǒng)10(至少對(duì)于圖3中顯示的實(shí)施例)的某些優(yōu)點(diǎn)是重要的。遮蔽寬度，即當(dāng) 百葉窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉位置B時(shí)，四個(gè)屏蔽件10n、1012、16n、1612覆蓋的寬度表示為W。打 開寬度，即當(dāng)百葉窗系統(tǒng)10處于打開位置A時(shí)沉積源50的每一側(cè)處的寬度表示為ο并且它等于w/4，如圖3中明顯的。此外如圖3中所示，關(guān)鍵距離，即當(dāng)打開和關(guān)閉屏蔽件10n、 1012U6nU612時(shí)百葉窗系統(tǒng)10前面所需的最大距離表示為a并且它等于w/2Χ 3/4。這意味著與圖2中的百葉窗相比，該關(guān)鍵距離a是一個(gè)因子3/4。此外，與圖1和 圖2中的百葉窗相比，打開位置的占用面積減小一半。指出的是當(dāng)每個(gè)屏蔽件的寬度為s，并且第二屏蔽件IO12的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與第一軸12n 連接到屏蔽件IO11的端部所在的連接點(diǎn)之間的垂直距離為s/2時(shí)，這些距離是正確的。更一般的情形在圖4中顯示。圖4例如從頂視圖顯示了第一屏蔽件10n、第二屏 蔽件IO12、第一軸12n和第二軸1212。X表示當(dāng)百葉窗系統(tǒng)10處于關(guān)閉位置時(shí)，第二屏蔽件 IO12的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與第二屏蔽件IO12的最靠近第一屏蔽件IO11的邊緣之間的垂直距離。y表 示第二屏蔽件IO12的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與第一軸12n連接到第一屏蔽件IO11的端部所在的連接點(diǎn)之 間的垂直距離。在此一般情形中，x>=y。此外指出的是盡管未在任何附圖中顯示，但是根據(jù)本發(fā)明的百葉窗系統(tǒng)10的另 一實(shí)施例僅包括兩個(gè)屏蔽件，例如IO11UO12，即只有圖3中顯示的百葉窗系統(tǒng)10的一半。本發(fā)明不限于前文中所描述的實(shí)施例。將明顯的是在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)，許 多不同的修改是可能的。
權(quán)利要求
一種百葉窗系統(tǒng)(10)，所述百葉窗系統(tǒng)(10)能夠在打開位置(A)與關(guān)閉位置(B)之間操作，在關(guān)閉位置避免表面不期望地暴露于輻射通量，其特征在于所述百葉窗系統(tǒng)(10)包括至少一對(duì)屏蔽件(1011，1012)以及用于每個(gè)屏蔽件(1011，1012)的軸(1211，1212)，其中第一軸(1211)連接到第一屏蔽件(1011)的端部，并與所述第一屏蔽件(1211)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(C11)重合，呈有角型臂形狀的第二軸(1212)連接到第二屏蔽件(1012)的端部，并且所述第二屏蔽件(1012)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(C12)平行于所述第一屏蔽件(1011)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(C11)且布置在距所述第二屏蔽件(1012)一定距離處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中1>=7，χ表示當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng) (10)處于所述關(guān)閉位置(B)時(shí)，所述第二屏蔽件(IO12)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(C12)與所述第二 屏蔽件(IO12)的最靠近所述第一屏蔽件(IO11)的邊緣之間的垂直距離，而y表示所述第二 屏蔽件(IO12)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(C12)與所述第一軸(12n)連接到所述第一屏蔽件(IO11)的 所述端部所在的連接點(diǎn)之間的垂直距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中，當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)(10)處于所 述關(guān)閉位置(B)時(shí)，所述第一屏蔽件(IO11)和所述第二屏蔽件(IO12)彼此部分重疊，并且彼 此不在一直線上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中，當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)(10)處于所 述關(guān)閉位置(B)時(shí)，所述第一屏蔽件(IO11)和所述第二屏蔽件(IO12)彼此部分重疊，并且在 重疊區(qū)域中彎曲，并且除了在所述重疊區(qū)域中之外彼此在一直線上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中，當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)(10)處于所述 打開位置(A)時(shí)，所述第一屏蔽件(IO11)和所述第二屏蔽件(IO12)彼此疊置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中，所述第二軸(1212)連接到所述第 二屏蔽件(IO12)的短側(cè)的中間，并且當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)(10)處于所述關(guān)閉位置時(shí)，所述第 二屏蔽件(IO12)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(C12)大約定位在所述第一屏蔽件(IO11)的短側(cè)的中心上 方。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中，當(dāng)所述第一和第二軸(12n，1212) 已相對(duì)于所述第一軸和第二軸(12n，1212)在所述百葉窗系統(tǒng)(10)處于所述關(guān)閉位置時(shí)的 位置轉(zhuǎn)動(dòng)90。時(shí)，所述第一屏蔽件(IO11)和所述第二屏蔽件(IO12)彼此平行。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中所述百葉窗系統(tǒng)(10)還包括第三 軸(H11)和第四軸(1412)，其中所述第三軸和第四軸(14n，1412)以與所述第一軸和第二軸 (12n，1212)相同的方式、但關(guān)于所述第一屏蔽件和第二屏蔽件(10n，1012)的中心軸線鏡像 對(duì)稱地連接到所述第一屏蔽件和第二屏蔽件(10n，IO12)，所述中心軸線垂直于所述第一軸 到第四軸(12n，1212，14n，1412)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中所述百葉窗系統(tǒng)(10)還包括結(jié)合所 述第三和第四軸(14n，1412)布置在所述第一屏蔽件和第二屏蔽件(10n，1012)處的支架。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中所述百葉窗系統(tǒng)(10)還包括第 二對(duì)屏蔽件(16n，1612)和用于每個(gè)第二對(duì)屏蔽件(16n，1612)的軸(18n，1812)，其中所述第 二對(duì)屏蔽件(16n，1612)和所述軸(18n，1812)以與所述第一對(duì)屏蔽件(IOujIO12)以及所述 第一軸和第二軸(12n，1212)相同的方式布置，但是以如下方式布置，即使得所述軸(18n， IS12)與所述第一軸和第二軸(12n，1212)關(guān)于與所述軸(12n，1212，18n，1812)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(C11, C12, D11, D12)平行且布置在所述百葉窗系統(tǒng)(10)的中間的中心軸線鏡像對(duì)稱。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中，當(dāng)要打開所述百葉窗系統(tǒng)(10) 時(shí)，所述軸(12n，1212)和所述第一對(duì)屏蔽件(IOujIO12)逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，而所述軸(18n, IS12) 和所述第二對(duì)屏蔽件(16n，1612)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中，當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)(10)處 于所述關(guān)閉位置(B)時(shí)，所述第二屏蔽件(IO12)和所述屏蔽件(1612)彼此部分重疊，且彼此 不在一直線上。
13.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的百葉窗系統(tǒng)(10)，其中，當(dāng)所述百葉窗系統(tǒng)(10)處 于所述關(guān)閉位置(B)時(shí)，所述第二屏蔽件(IO12)和所述屏蔽件(1612)彼此部分重疊，且在重 疊區(qū)域中彎曲，并且除了在所述重疊區(qū)域中之外彼此在一直線上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種百葉窗系統(tǒng)，其能夠在打開位置與關(guān)閉位置之間操作，在關(guān)閉位置避免表面不期望地暴露于輻射通量，其中所述百葉窗系統(tǒng)包括至少一對(duì)屏蔽件以及用于每個(gè)屏蔽件的軸，其中第一軸連接到第一屏蔽件的端部，并與該第一屏蔽件的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線重合，呈有角型臂形狀的第二軸連接到第二屏蔽件的端部，并且該第二屏蔽件的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線平行于所述第一屏蔽件的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線且布置在距第二屏蔽件一定距離處。
文檔編號(hào)C23C14/00GK101896633SQ200880120504
公開日2010年11月24日 申請(qǐng)日期2008年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月12日
發(fā)明者馬庫斯·羅德馬爾 申請(qǐng)人:山特維克知識(shí)產(chǎn)權(quán)股份有限公司