專利名稱：：導(dǎo)電耐腐蝕材料及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及含有鈦、硼和氮的導(dǎo)電耐腐蝕材料，以及制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法。
背景技術(shù)：
：因為具有優(yōu)良能量轉(zhuǎn)換效率，燃料電池諸如聚合物電解質(zhì)燃料電池(PEFC)已經(jīng)作為下一代能源而受到關(guān)注。例如，如圖1中所示的包括單元電池結(jié)構(gòu)9的聚合物電解質(zhì)燃料電池。如圖1中所示，在單元電池結(jié)構(gòu)9中，正電極92和負(fù)電極93被層疊從而在電極之間插入固體聚合物電解質(zhì)隔膜91，并且一對雙極性板94和95被層疊從而包括正電極92、固體聚合物電解質(zhì)隔膜91和負(fù)電極93的層疊體被插入雙極性板之間。分別在雙極性板94和95上形成用作氧氣(空氣)供應(yīng)通道的凹槽96和用作氫氣供應(yīng)通道的凹槽97。通常通過層疊多個單元電池結(jié)構(gòu)9形成燃料電池。在單元電池結(jié)構(gòu)9中，氧(空氣)被供應(yīng)到面對正電極92的雙極性板94的凹槽96，并且氫被供應(yīng)到面對負(fù)電極93的雙極性板95的凹槽97。此外，在負(fù)電極93中，氫被分解成電子和氫離子(H+)。同時，在正電極92中，氧對氫離子和電子反應(yīng)，并且產(chǎn)生水。能夠通過在正和負(fù)電極92和93之間的反應(yīng)而在電極92和93之間產(chǎn)生電動勢。具有優(yōu)良抗撞擊性的金屬雙極性板被用作燃料電池的雙極性板94和95。因為還具有優(yōu)良的成型性能，如圖1中所示，在雙極性板94和95上形成凹槽96和97時，該金屬雙極性板也是有利的。此外，在防止燃料電池的內(nèi)阻增加方面，要求雙極性板具有小的接觸電阻和優(yōu)良的導(dǎo)電性。而且，燃料電池的雙極性板94和95被暴露給在負(fù)電極93中產(chǎn)生的氫離子或者被供應(yīng)到正電極92的氧。如果雙極性板94和95被氫離子或者溶解的氧腐蝕，則因為雙極性板的導(dǎo)電性降低而存在燃料電池的內(nèi)阻增加的危險。因此，要求雙極性板94和95對于氫離子或者氧具有優(yōu)良的抗腐蝕性。例如，作為用于燃料電池的金屬雙極性板，已經(jīng)開發(fā)出下面的雙極性板。艮P，例如，已經(jīng)存在一種由薄板構(gòu)成的雙極性板，該薄板由鈦、鈦合金或者不銹鋼制成，在該薄板上電鍍貴金屬(見專利文獻(xiàn)l)。此外，已經(jīng)存在一種雙極性板，包括由Ti等制成的金屬材料層，以及覆蓋該金屬層并且由Ti氮化物或者Ti合金氮化物的保護(hù)層(見專利文獻(xiàn)2)。此外，已經(jīng)存在一種用于雙極性板的鈦基材料，通過在制造鈦基片期間添加硼源諸如AIBu并且析出TiB硼化物顆粒來制造該材料(見專利文獻(xiàn)3)。然而，雖然在專利文獻(xiàn)1中披露的雙極性板具有優(yōu)良耐腐蝕性和穩(wěn)定性，但是使用稀有貴金屬。因此，存在以下問題，g卩，雙極性板的制造成本相當(dāng)高。此外，如果降低要使用的貴金屬的量來降低成本，則電鍍粘附性減弱。因此，存在被電鍍的貴金屬膜剝離的危險。進(jìn)而，當(dāng)在由例如A1或者SUS(不銹鋼)制成的薄板(基片)上形成電鍍膜時，在電鍍層的針孔處形成局部電池。因此，存在在基片上產(chǎn)生局部腐蝕諸如點腐蝕的危險。另外，因為具有不充分的耐腐蝕性，在專利文獻(xiàn)2中披露的雙極性板比較易于被氫離子等腐蝕。因此，存在接觸電阻升高的危險。此外，在專利文獻(xiàn)3中披露的用于雙極性板的鈦基材料由TiB基硼化物被分散的基片構(gòu)成，但是該基片在延展性和成形性方面存在問題。因此，難以制造薄板，或者使雙極性板成型。進(jìn)而，在形成或者操作燃料電池期間，TiB基硼化物易于從基片分離，并且存在從被分離的部分發(fā)生腐蝕的危險。另外，硼化物的量可被降低以便于改進(jìn)延展性和成形性。然而，在此情形中，暴露于表面的硼化物減少，并且存在具有導(dǎo)電性的部分和其它部件之間的接觸面積減小的危險。結(jié)果，存在接觸電阻降低的危險。專利文獻(xiàn)l:JP2000-123850專利文獻(xiàn)2:JP2000-353531專利文獻(xiàn)3:JP2004-273370專利特開(Kokai)專利特開(Kokai)專利特開(Kokai)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的問題鑒于傳統(tǒng)問題完成了本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的在于提供以低成本制造的具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的導(dǎo)電耐腐蝕材料，以及制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法。問題解決方法根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供導(dǎo)電耐腐蝕材料，并且其特征在于至少含有鈦、硼和氮，其中以滿足0.05S[Ti]^0.40、0.20S[B]^0.40和0.35^[N]20.55(假設(shè)[Ti]+[B]+[N]-l)的原子比率含有鈦(Ti)、硼(B)和氮(N)。如上所述，該導(dǎo)電耐腐蝕材料以滿足0.05^[Ti]$0.40、O,[B]8和0.35訓(xùn)$0.55(假設(shè)[11]+[B]+[N]=l)的原子比率含有鈦(Ti)、硼(B)和氮(N)。具有這種原子組成比率的優(yōu)良導(dǎo)電耐腐蝕材料能夠具有優(yōu)良的導(dǎo)電性和耐腐蝕性。因此，如果該導(dǎo)電耐腐蝕材料被應(yīng)用于例如用于燃料電池的金屬雙極性板，則能夠形成用于燃料電池穩(wěn)定地提供優(yōu)良特性的金屬雙極性板。尚不清楚為什么如上所述的導(dǎo)電耐腐蝕材料能夠提供優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的原因，但是認(rèn)為含有Ti、B和N的導(dǎo)電耐腐蝕材料的Ti能夠在接近穩(wěn)定四階元素時存在。相反，例如，TiB2或者TiN等也是導(dǎo)電材料，但是Ti的化合價顯然地不是4。因此，TiB2或者TiN等具有導(dǎo)電性但是易于被水和溶解的氧腐蝕。導(dǎo)電耐腐蝕材料至少含有Ti、B和N。相應(yīng)地，如從元素周期表所預(yù)期地，Ti能夠在接近穩(wěn)定四階元素時存在。因此，如上所述，理解導(dǎo)電性得以保持并且耐腐蝕性被提高。此外，導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良導(dǎo)電性的原因被認(rèn)為是至少含有Ti、B和N的導(dǎo)電耐腐蝕材料具有晶體結(jié)構(gòu)，在其中電子存在于導(dǎo)帶中。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，該導(dǎo)電耐腐蝕材料的特征在于至少含有鈦、硼和氮，該方法包括粘附步驟，將氮化硼粉末粘附到基片的表面，至少該基片的表面由鈦或者鈦合金制成；和加熱步驟，通過在500到165(TC的溫度下，在非氧化氣體環(huán)境下或者在真空中，加熱粘附有氮化硼粉末的基片而在基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜。該制造方法包括粘附步驟和加熱步驟。在粘附步驟中，氮化硼粉末粘附到基片的表面。在加熱步驟中，在上述特定條件下加熱粘附有氮化硼粉末的基片。結(jié)果，能夠在基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜。在基片上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良導(dǎo)電性并且還具有優(yōu)良耐腐蝕性。相應(yīng)地，在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片具有小的接觸電阻，并且適用于例如用于燃料電池的金屬雙極性板。因此，能夠降低燃料電池的內(nèi)阻。此外，該導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良耐腐蝕性。相應(yīng)地，如果在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片被用作用于燃料電池的雙極性板，則該雙極性板幾乎不會被供應(yīng)到燃料電池的酸(氫離子)、氧等腐蝕。因此，能夠防止接觸電阻由于腐蝕而升高。以此方式，在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片適用于燃料電池的金屬雙極性板，并且安裝有用于燃料電池的金屬雙極性板的燃料電池長期提供穩(wěn)定性能。同時，通常己知氮化硼在高溫下是穩(wěn)定的。導(dǎo)電耐腐蝕材料由該制造方法形成的原因尚不清楚，但是認(rèn)為非?；钴S并且易于產(chǎn)生硼化物或者氮化物的鈦與氮化硼形成接觸并且相互反應(yīng)，從而產(chǎn)生具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的材料。此外，還可以認(rèn)為由于在通常已知為電絕緣材料的氮化硼和鈦之間的相互作用而在晶體結(jié)構(gòu)中發(fā)生晶格畸變，從而提供導(dǎo)電性。在該制造方法中，能夠通過粘附步驟和加熱步驟而簡單地制造導(dǎo)電耐腐蝕材料?？紤]到作為用于燃料電池的金屬雙極性板的應(yīng)用，不需要使用昂貴的貴金屬，與在相關(guān)技術(shù)中的金屬雙極性板不同。因此，能夠以低成本制造具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的用于燃料電池的金屬雙極性板。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的第二方面，能夠提供制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，它能夠在低成本下制造具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的導(dǎo)電耐腐蝕材料。根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，該導(dǎo)電耐腐蝕材料的特征在于至少含有鈦、硼和氮，該方法包括滲硼步驟，通過對至少表面由鈦或者鈦合金制成的基片的表面滲硼，在基片的表面上形成至少含有Ti和B的Ti硼化物層；和滲氮步驟，通過對Ti硼化物層滲氮而在基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜。該制造方法包括滲硼步驟和滲氮步驟。在滲硼步驟中，對至少表面由鈦或者鈦合金制成的基片的表面滲硼。相應(yīng)地，能夠在基片的表面上形成至少含有Ti和B的Ti硼化物層。此外，在滲氮步驟中，對在基片上形成的Ti硼化物層滲氮。相應(yīng)地，能夠在基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜。導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良導(dǎo)電性并且還具有優(yōu)良耐腐蝕性。相應(yīng)地，在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片具有小的接觸電阻，并且適用于例如用于燃料電池的金屬雙極性板。因此，能夠降低燃料電池的內(nèi)阻。此外，該導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良耐腐蝕性。相應(yīng)地，如果在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片被用作用于燃料電池的雙極性板，則該雙極性板幾乎不受到被供應(yīng)到燃料電池的酸(氫離子)、氧等的腐蝕。因此，能夠防止接觸電阻由于腐蝕而升高。以此方式，在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片適用于燃料電池的金屬雙極性板，并且安裝有甩于燃料電池的金屬雙極性板的燃料電池長期呈現(xiàn)穩(wěn)定性能。如上所述通過該制造方法獲得的導(dǎo)電耐腐蝕材料能夠提供優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的原因尚不清楚，但是認(rèn)為含有Ti、B和N的該導(dǎo)電耐腐蝕材料的Ti能夠在接近穩(wěn)定四階元素時存在。相反，例如，TiB2或者TiN等也是導(dǎo)電材料，但是Ti的化合價顯然地不是4。因此，TiB2或者TiN等具有導(dǎo)電性但是易于被水和溶解的氧腐蝕。導(dǎo)電耐腐蝕材料至少含有Ti、B和N。相應(yīng)地，如從元素周期表所預(yù)期地，Ti能夠在接近穩(wěn)定四階元素時存在。因此，如上所述，理解導(dǎo)電性得以保持并且耐腐蝕性被提高。此外，該導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良導(dǎo)電性的原因被認(rèn)為是至少含有Ti、B和N的導(dǎo)電耐腐蝕材料具有下述晶體結(jié)構(gòu)，在其中電子存在于導(dǎo)帶中。如上所述，通過該制造方法獲得的導(dǎo)電耐腐蝕材料含有不同于TiB2和TiN的新材料，并且認(rèn)為該材料對于導(dǎo)電性和耐腐蝕性有重要作用。進(jìn)而，在該制造方法中，能夠通過滲硼步驟和滲氮步驟簡單地制造導(dǎo)電耐腐蝕材料?？紤]到作為用于燃料電池的金屬雙極性板的應(yīng)用，不需要使用昂貴的貴金屬，與在相關(guān)技術(shù)中的金屬雙極性板不同。因此，能夠以低成本制造具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的用于燃料電池的金屬雙極性板。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的第三方面，能夠提供制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，它能夠以低成本制造具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的導(dǎo)電耐腐蝕材料。根據(jù)本發(fā)明的第四方面，提供制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，該導(dǎo)電耐腐蝕材料的特征在于至少含有鈦、硼和氮，該方法包括-熱噴涂步驟，通過將TiB2粉末噴涂到金屬基片的至少一部分表面而形成由TiB2顆粒形成的TiB2層；和滲氮步驟，通過對TiB2層滲氮而在金屬基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜。該制造方法包括熱噴涂步驟和滲氮步驟。在熱噴涂步驟中，TiB2粉末被噴涂到金屬基片的至少一部分表面上。在滲氮步驟中，對噴涂到金屬基片的表面上的TiB2顆粒滲氮。相應(yīng)地，能夠在金屬基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜。該導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良導(dǎo)電性并且還具有優(yōu)良耐腐蝕性。相應(yīng)地，在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的金屬基片具有小的接觸電阻，并且適用于例如用于燃料電池的金屬雙極性板。因此，能夠降低燃料電池的內(nèi)阻。此外，該導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良耐腐蝕性。相應(yīng)地，如果在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的金屬基片被用作用于燃料電池的雙極性板，則該雙極性板幾乎不被供應(yīng)到燃料電池的酸(氫離子)、氧等腐蝕。因此，能夠防止接觸電阻由于腐蝕而升高。以此方式，在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的金屬基片適用于燃料電池的金屬雙極性板，并且安裝有用于燃料電池的金屬雙極性板的燃料電池長期保持穩(wěn)定的性能。如上所述通過該制造方法獲得的導(dǎo)電耐腐蝕材料能夠提供優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的原因尚不清楚，但是認(rèn)為含有Ti、B和N的該導(dǎo)電耐腐蝕材料的Ti能夠在接近穩(wěn)定四階元素時存在。相反，例如，TiB2或者TiN等也是導(dǎo)電材料，但是Ti的化合價顯然地不是4。因此，TiB2或者TiN等具有導(dǎo)電性但是易于被水和溶解的氧腐蝕。導(dǎo)電耐腐蝕材料至少含有Ti、B和N。相應(yīng)地，如從元素周期表所預(yù)期地，Ti能夠在接近穩(wěn)定四階元素時存在。因此，如上所述，理解導(dǎo)電性得以保持并且耐腐蝕性被提高。此外，該導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良導(dǎo)電性的原因被認(rèn)為是至少含有Ti、B和N的導(dǎo)電耐腐蝕材料具有下述晶體結(jié)構(gòu)，其中電子存在于導(dǎo)帶中。如上所述，通過該制造方法獲得的導(dǎo)電耐腐蝕材料含有新材料，該材料含有Ti、B和N，并且認(rèn)為該材料對于導(dǎo)電性和耐腐蝕性起到重要作用。進(jìn)而，在該制造方法中，能夠通過熱噴涂步驟和滲氮步驟而簡單地制造導(dǎo)電耐腐蝕材料。考慮到作為用于燃料電池的金屬雙極性板的應(yīng)用，不需要使用昂貴的貴金屬，與在相關(guān)技術(shù)中的金屬雙極性板不同。因此，能夠以低成本制造具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的用于燃料電池的金屬雙極性板。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的第四方面，能夠提供制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，它能夠以低成本制造具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的導(dǎo)電耐腐蝕材料。附圖簡要說明圖1是燃料電池的單元電池結(jié)構(gòu)示例的展開視圖；圖2是根據(jù)示例1的基片的截面視圖3是根據(jù)示例1的包括粘附到表面的氮化硼粉末的基片的截面視圖4是根據(jù)示例1的包括在表面上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜的基片的截面視圖5是示出在根據(jù)示例1的五種基片(樣本E1到E4和樣本C1)的表面上的XRD圖的曲線圖6是示出在圖5中對應(yīng)于在26.5°到27。范圍中的衍射角的部分的曲線圖，并且是其中樣本C1的峰值強(qiáng)度由1/100表示的曲線圖7是示出在圖5中對應(yīng)于在54.5°到55.5。范圍中的衍射角的部分的曲線圖，并且是其中樣本C1的峰值強(qiáng)度由1/40表示的曲線圖8是根據(jù)示例1的腐蝕電流測量設(shè)備的截面視圖9是示出根據(jù)示例1當(dāng)從頂部看時在蓋被從其移走的狀態(tài)中腐蝕電流測量設(shè)備的視圖IO是示出根據(jù)示例l在腐蝕時間和在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片(樣本E2)的腐蝕電流密度之間的關(guān)系的視圖ll是示出根據(jù)示例l在腐蝕時間和在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片(樣本E3)的腐蝕電流密度之間的關(guān)系的視圖12是示出根據(jù)示例l在腐蝕時間和在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片(樣本E4)的腐蝕電流密度之間的關(guān)系的視圖；圖13是表示在示例1中測量接觸電阻的狀態(tài)的視圖14是示出在腐蝕時間和根據(jù)示例1的六種基片(樣本E2、E3、E4禾卩C2至lJC4)的接觸電阻之間的關(guān)系的曲線圖15是示出在根據(jù)示例2的基片上形成的三種導(dǎo)電耐腐蝕材料(樣本E5到E7)的XRD圖的曲線圖16是在圖15中對應(yīng)于在25。到33。范圍中的衍射角的部分的放大視圖17是在圖15中對應(yīng)于在40°到50。范圍中的衍射角的部分的放大視圖18是示出根據(jù)示例2在腐蝕時間和在基片上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料(樣本E5)的腐蝕電流密度之間的關(guān)系的視圖19是示出根據(jù)示例2在腐蝕時間和在基片上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料(樣本E6)的腐蝕電流密度之間的關(guān)系的視圖20是示出根據(jù)示例2在腐蝕時間和在基片上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料(樣本E7)的腐蝕電流密度之間的關(guān)系的視圖21是示出在腐蝕時間和根據(jù)示例2的六種樣本(樣本E5到E7和C2到C4)的接觸電阻之間的關(guān)系的曲線圖22是示出根據(jù)示例3的粉末狀導(dǎo)電耐腐蝕材料的XRD圖的曲線圖23是在圖22中對應(yīng)于在25°到33。范圍中的衍射角的部分的放大視圖24是在圖22中對應(yīng)于在40°到50。范圍中的衍射角的部分的放大視圖25a是示出根據(jù)示例4的基片的截面的視圖；圖25b是示出根據(jù)示例4包括在表面上形成的Ti硼化物層的基片的截面的視圖25c是示出根據(jù)示例4包括在表面上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜的基片的截面的視圖26是示出根據(jù)示例4在腐蝕測試之前和之后的基片(樣本E9和C5到C7)的接觸電阻的視15圖27是示出根據(jù)示例4在腐蝕測試之前和之后的基片(樣本E10和C8到C10)的接觸電阻的視圖28是示出根據(jù)示例4在耐腐蝕性測試期間基片(樣本E9、E10和C5到C7)的接觸電阻隨時間變化的視圖29a是示出根據(jù)示例5的基片的截面的視圖2%是示出根據(jù)示例5包括在表面上形成的TiB2層的基片的截面的視圖29c是示出根據(jù)示例5包括在表面上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜的基片的截面的視圖30是表示根據(jù)示例5在耐腐蝕性測試期間基片(樣本E11、E12和C11到C13)的接觸電阻隨時間變化的視圖31是示出在根據(jù)示例6的基片(樣本E13到E18和C14到C16)的表面上Ti-B-N系統(tǒng)的三元相圖的視圖。具體實施例方式下面將描述本發(fā)明的第一方面的優(yōu)選實施例。根據(jù)本發(fā)明的第一方面的導(dǎo)電耐腐蝕材料以滿足0.05S[Ti]$0.40、0.20$[B]S0.40和0.35S[N]^0.55(假設(shè)[11]+[B]+[N]=l)的原子比率含有(Ti)、硼(B)和氮(N)。如果Ti、B和N元素中的每一個的原子比率處于上述范圍以外，則存在導(dǎo)電耐腐蝕材料的導(dǎo)電性或者耐腐蝕性劣化的危險。如果通過Cu-Ka射線使用該導(dǎo)電耐腐蝕材料進(jìn)行X-射線衍射(XRD)測量，則能夠獲得當(dāng)29是29.1±0.1°、41.7±0.1°和42.2±0.1°時示出峰值，并且當(dāng)26是46.4±0.1°和48.9土0.r時沒有示出峰值的XRD圖。同時，在X射線衍射測量期間，峰值指的是通過測量X射線衍射獲得的X射線衍射圖案的峰的最高位置(峰頂)。此外，作為不可避免的元素，該導(dǎo)電耐腐蝕材料可以含有C或者O。認(rèn)為因為在制造導(dǎo)電耐腐蝕材料期間來自大氣、溶劑和粘附到基片表面的材料的水分或者污染物等被吸附到導(dǎo)電耐腐蝕材料，因此所述不可避免的元素被混合到導(dǎo)電耐腐蝕材料，或者由于在分析期間來自大氣的水分或者污染物等被吸附到導(dǎo)電耐腐蝕材料，因此所述不可避免的元素被混合到導(dǎo)電耐腐蝕材料。通過X射線光電子能譜法(XPS)的能譜探測所述不可避免的元素。優(yōu)選的是，導(dǎo)電耐腐蝕材料被形成為覆蓋基片的膜，至少該基片的表面由鈦或者鈦合金制成。在此情形中，例如，根據(jù)本發(fā)明的第二到第四方面，能夠簡單地制造導(dǎo)電耐腐蝕材料。此外，在此情形中，包括在表面上形成的具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片可以用作用于燃料電池等的金屬雙極性板，并且該材料能夠充分地保持優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性。優(yōu)選的是，在基片上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料與該基片一起被用作用于燃料電池的金屬雙極性板。在此情形中，該材料能夠充分地保持優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性。它具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性。下面，將描述本發(fā)明的第二方面的優(yōu)選實施例。在根據(jù)本發(fā)明的第二方面的制造方法中，進(jìn)行粘附步驟和加熱步驟來制造導(dǎo)電耐腐蝕材料。首先，在粘附步驟中，氮化硼粉末粘附到基片的表面。至少基片的表面由鈦或者鈦合金制成。具體地，由例如鈦、鈦合金或者Ti-SUS(不銹鋼)覆層材料制成的基片可以用作基片。此外，其中在由金屬諸如不銹鋼或者鋁制成的板的表面上涂覆鈦或者鈦合金的基片可以用作基片。進(jìn)而，優(yōu)選的是，在基片的表面上形成用作氫、氧和空氣的通道的凹槽。在此情形中，能夠通過進(jìn)行粘附步驟和加熱步驟而在包括凹槽的基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料。在形成有如上所述獲得的導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片在其表面上包括用作氫、氧和空氣的凹槽。因此，該基片適用于燃料電池的金屬雙極性板。此外，還能夠通過在基片上進(jìn)行諸如壓力加工的塑形成形來形成凹槽，其中在所述基片上形成在粘附步驟和加熱步驟之后獲得的導(dǎo)電耐腐蝕材料。優(yōu)選的是，氮化硼粉末的直徑在0.05到100pm的范圍中。如果氮化硼的直徑小于0.05pm，則存在粉末制造成本增加的危險。同時，如果氮化硼的直徑大于100nm，則存在難以使得氮化硼粉末均勻地粘附到基片表面的危險。因此，存在難以在基片上形成具有均勻厚度的導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜的危險。能夠通過使用例如掃描電子顯微鏡觀察來測量氮化硼粉末的直徑。此外，優(yōu)選的是，粘附步驟包括涂覆步驟，即在基片的表面上涂覆氮化硼分散液，該氮化硼分散液由氮化硼粉末分散在溶劑中而成；和干燥步驟，即通過在涂覆步驟之后干燥基片而使得氮化硼粉末粘附到基片。在此情形中，能夠簡單地使得氮化硼粉末粘附到基片。不使氮化硼粉末變質(zhì)并且在干燥步驟中能夠易于氣化的有機(jī)溶劑可以被用作所述溶劑。例如，使用噴霧等的噴涂方法可以被用作涂覆步驟中的涂覆方法。此外，使用刷子等的涂覆方法、印刷方法和在氮化硼分散液中浸泡基片的方法可以被用作涂覆方法。此外，可以通過靜電涂覆進(jìn)行該粘附步驟而不使用溶劑。艮口，用正或者負(fù)靜電對氮化硼粉末充電，并且用電學(xué)極性與氮化硼粉末的極性相反的靜電對基片充電。此外，例如，能夠在空氣流中分散氮化硼粉末，并且利用靜電力使得被分散的氮化硼粉末粘附到基片表面。進(jìn)而，在干燥步驟中，能夠例如通過將基片加熱至使得溶劑被蒸發(fā)的溫度來干燥基片?？梢愿鶕?jù)溶劑的種類而適當(dāng)?shù)卮_定用于干燥的加熱溫度。同時，根據(jù)本發(fā)明的第二方面，可以在涂覆步驟之后進(jìn)行加熱步驟，而不進(jìn)行干燥步驟。接著，在加熱步驟中，在非氧化性氣體氣氛下或者在真空中，在500到165(TC的溫度下加熱已經(jīng)進(jìn)行了粘附步驟的基片。因此，能夠在基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜。如果加熱溫度低于500°C，則存在導(dǎo)電耐腐蝕材料未被充分地形成或者幾乎消失的危險。此外，在此情形中，存在基片和由導(dǎo)電耐腐蝕材料制成的膜之間的粘附性變得不足的危險。同時，如果加熱溫度高于1650。C，則加熱溫度接近鈦的熔點(大約167(TC)。因此，存在基片的表面或者整個基片變形的危險。加熱溫度的上限依賴于用于基片的材料，并且可以被確定為低于其熔點的溫度。另外，優(yōu)選的是，在加熱步驟中，加熱溫度在700到IIOO'C的范圍中。在此情形中，能夠保證在短時間內(nèi)形成足夠量的導(dǎo)電耐腐蝕材料，并且將基片的變形保持為最小。相應(yīng)地，能夠抑制制造成本的增加。如果加熱溫度低于700°C，則存在足夠量的導(dǎo)電耐腐蝕材料所需要的加熱時間增加并且制造成本增加的危險。同時，如果加熱溫度高于IIO(TC，則存在根據(jù)要使用的基片產(chǎn)生液相并且基片變形的危險。加熱溫度的上限依賴于用于基片的材料，并且可以被確定為低于其熔點的溫度。更優(yōu)選的是，在加熱步驟中的在工業(yè)中容易設(shè)定的加熱溫度在800到IOO(TC的范圍中。此外，在根據(jù)本發(fā)明的第二方面的制造方法中，優(yōu)選的是，在包括氮氣或者氨氣的惰性氣體環(huán)境下，對已經(jīng)進(jìn)行了加熱步驟的基片滲氮的滲氮步驟。進(jìn)而，優(yōu)選的是，在氮氣流中加熱通過加熱步驟加熱的基片。在這些情形中，能夠通過在滲氮步驟中滲氮氣體添加更多的N元素。相應(yīng)地，能夠改進(jìn)導(dǎo)電耐腐蝕材料的化學(xué)穩(wěn)定性，并且進(jìn)一步提高其耐腐蝕性。進(jìn)而，如果使用氮氣，則易于處理這種氣體。因此，能夠更加簡單地進(jìn)行滲氮。另外，優(yōu)選的是，在滲氮步驟中的加熱溫度在700到IIO(TC的范圍中。如果加熱溫度低于700°C，則不可能在短時間內(nèi)充分地添加N元素。因此，存在處理時間增加并且因此制造成本增加的危險。同時，如果加熱溫度高于IIO(TC，則存在根據(jù)要使用的基片產(chǎn)生液相并且因此基片高度變形的危險。加熱溫度的上限依賴于用于基片的材料，并且可以被確定為低于其熔點的溫度。更優(yōu)選的是，在滲氮步驟中的加熱溫度在工業(yè)上易于獲得的800到100(TC的范圍中。優(yōu)選的是，在基片上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料與基片一起被用作用于燃料電池的金屬雙極性板。在此情形中，能夠充分地提供包括導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片的特性，該導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性并且形成在基片的表面上。下面，將描述本發(fā)明的第三方面的優(yōu)選實施例。在該制造方法中，進(jìn)行滲硼步驟和滲氮步驟以制造導(dǎo)電耐腐蝕材料。首先，在滲硼步驟中，對至少表面由鈦或者鈦合金制成的基片的表面滲硼。相應(yīng)地，在基片上形成由例如TiB2和/或TiB制成的Ti硼化物層。具體地，由例如鈦、鈦合金或者Ti-SUS(不銹鋼)覆層材料制成的基片可以被用作基片。此外，其中在由金屬諸如不銹鋼或者鈦制成的板的表面上涂覆鈦或者鈦合金的基片可以被用作基片。進(jìn)而，如本發(fā)明的第二方面那樣，在表面上包括用作用于氫、氧和空氣的凹槽的基片可以被用作所述基片。在此情形中，能夠通過進(jìn)行滲硼步驟和滲氮步驟而在包括凹槽的基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料。因為在形成有如上所述獲得導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片在其表面上包括用作氫、氧和空氣的通道的凹槽，該基片適用于燃料電池的金屬雙極性21板。此外，還能夠通過在基片上進(jìn)行塑性成形諸如壓力加工而形成凹槽，其中，在所述基片上形成在滲硼步驟和滲氮步驟之后獲得的導(dǎo)電耐腐蝕材料。在滲硼步驟中，優(yōu)選的是，在滲硼步驟中進(jìn)行使用硼酸基熔鹽的熔鹽電解方法。在此情形中，能夠簡單和快速地對基片的表面滲硼。進(jìn)而，能夠均勻地形成Ti硼化物層。另外，在熔鹽電解方法中，能夠進(jìn)行滲硼而不使用由于揮發(fā)性而不易于處理的硼化合物諸如乙硼垸。因此，能夠安全地進(jìn)行滲硼步驟。在熔鹽電解方法中，具體地，能夠通過例如在硼酸基熔鹽熔池中浸泡基片在將基片用作電極的同時而在該熔池中進(jìn)行電解，來對基片表面滲硼。例如，B203、硼砂、碳化硼等可以被用作硼酸基熔鹽。此外，可以在熔鹽電解方法中使用硼酸基熔鹽和堿金屬氧化物諸如Li20、Na20或者K20相互混合的混合熔鹽。在此情形中，能夠降低硼酸基熔鹽的粘度。進(jìn)而，如果使用堿金屬氧化物，則能夠如上所述降低粘度并且通過控制電解條件而使硼在堿金屬之前對基片反應(yīng)。相應(yīng)地，能夠在滲硼步驟中形成幾乎不含雜質(zhì)的Ti硼化物層。在滲氮步驟中，優(yōu)選的是，在包括氮氣或者氨氣的惰性氣體環(huán)境下加熱在形成有Ti硼化物層的基片。另外，在滲氮步驟中，優(yōu)選的是，在氮氣流中加熱在形成有Ti硼化物層的基片。在這些情形中，能夠?qū)i硼化物層滲氮。進(jìn)而，如果使用氮氣，則該氣體易于被處理。因此，能夠更加簡單地進(jìn)行滲氮。接下來，在滲氮步驟中，優(yōu)選的是，在滲氮步驟中在700到IIO(TC的溫度下加熱在形成有Ti硼化物層的基片。如果加熱溫度低于700°C，則存在難以進(jìn)行滲氮并且導(dǎo)電耐腐蝕材料未被充分地形成的危險。同時，如果加熱溫度高于IIOO'C,則存在根據(jù)要使用的基片的材料產(chǎn)生液相并且基片的表面或者整個基片變形的危險。加熱溫度的上限依賴于用于基片的材料，并且可以被確定為低于熔點的溫度。更加優(yōu)選的是，在滲氮步驟中的加熱溫度在工業(yè)上易于設(shè)定的800到100(TC的范圍中。優(yōu)選的是，至少基片的表面由含有元素周期表的3A或者3B和5A或者5B族元素的鈦合金制成。在此情形中，通過進(jìn)行滲硼步驟和滲氮步驟形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜中的Ti易于接近穩(wěn)定的四階元素。因此，能夠提高耐腐蝕性同時保持導(dǎo)電性。此外，優(yōu)選的是，在基片上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料與基片一起被用作用于燃料電池的金屬雙極性板。在此情形中，能夠充分地呈現(xiàn)具有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片的特性，該導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性并且形成在基片的表面上。接下來，將描述本發(fā)明的第四方面的優(yōu)選實施例。在根據(jù)本發(fā)明第四方面的制造方法中，進(jìn)行熱噴涂步驟和滲氮步驟來制造導(dǎo)電耐腐蝕材料。首先，在熱噴涂步驟中，TiB2粉末被噴涂到金屬基片的表面的至少一部分上。相應(yīng)地，在金屬基片上形成由TiB2顆粒形成的TiB2層。具體地，由例如鈦、鈦合金、Ti-SUS(不銹鋼)覆層材料、不銹鋼、鋁、鋁合金等制成的各種金屬基片可以被用作金屬基片。此外，如本發(fā)明的第二和第三方面那樣，在表面上包括用作氫、氧和空氣的通道的凹槽的基片可以被用作所述金屬基片。在此情形中，能夠通過進(jìn)行熱噴涂步驟和滲氮步驟而在包括凹槽的金屬基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料。因為在形成有如上所述獲得的導(dǎo)電耐腐蝕材料的金屬基片在其表面上包括用作氫、氧和空氣的通道的凹槽，該金屬基片更適用于燃料電池的金屬雙極性板。進(jìn)而，還能夠通過在基片上進(jìn)行塑性成形例如壓力加工而形成凹槽，其中在所述基片上形成在熱噴涂步驟和滲氮步驟之后獲得的導(dǎo)電耐腐蝕材料。在提交本發(fā)明的申請時已知的各種方法可以被采用作為熱噴涂步驟中的噴涂方法。具體地，能夠通過例如等離子體噴涂在金屬基片上噴涂TiB2粉末。在滲氮步驟中，優(yōu)選的是，在滲氮步驟中在包括氮氣或者氨氣的惰性氣體環(huán)境下，加熱在形成有TiB2層的金屬基片。此外，在滲氮步驟中，優(yōu)選的是，在滲氮步驟中在氮氣流中加熱在形成有TiB2層的金屬基片。在這些情形中，能夠簡單地對TiB2層滲氮。進(jìn)而，通過持續(xù)地進(jìn)行滲氮，能夠獲得提高生產(chǎn)率的優(yōu)點。此外，如果使用氮氣，則氣體易于被處理。因此，能夠更加簡單地進(jìn)行滲氮。下面，在滲氮步驟中，優(yōu)選的是，在滲氮步驟中在700到IIOO'C24的溫度下加熱在形成有TiB2層的金屬基片。如果加熱溫度低于700'C，則存在難以進(jìn)行滲氮并且導(dǎo)電耐腐蝕材料未被充分地形成的危險。同時，如果加熱溫度高于IIO(TC,則存在根據(jù)在金屬基片中含有的元素，金屬基片的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成液相并且金屬基片因此高度變形的危險。加熱溫度的上限依賴于用于基片的材料，并且可以被確定為低于其熔點的溫度。更加優(yōu)選的是，在加熱溫度在工業(yè)中易于設(shè)定的800到IOO(TC的范圍中。此外，優(yōu)選的是，在金屬基片上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料與金屬基片一起被用作燃料電池的金屬雙極性板。在此情形中，能夠充分地呈現(xiàn)包括導(dǎo)電耐腐蝕材料的金屬基片的特性，該導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性并且形成在基片的表面上。根據(jù)本發(fā)明的第一方面的導(dǎo)電耐腐蝕材料以及通過根據(jù)第二到第四方面的制造方法獲得的導(dǎo)電耐腐蝕材料不僅可以用作燃料電池的金屬雙極性板，還可用作其它器件。示例示例1將在下面參考圖2到14描述本發(fā)明的示例。這個示例是制造在基片上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料的示例。即，制造在上表面中形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜的基片，并且評價它的耐腐蝕性和導(dǎo)電性。形成有在該示例中制造的導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片被用作燃料電池的金屬雙極性板。通常，在金屬雙極性板的表面上形成用作用于氧氣(空氣)或者氫氣的通道的凹槽(見圖1)。然而，在該示例中，為了方便評價耐腐蝕性和導(dǎo)電性，如圖4中所示，在沒有形成凹槽的板狀基片2上制造導(dǎo)電耐腐蝕材料3。導(dǎo)電耐腐蝕材料3包括鈦、硼和氮。如果通過Cu-Ka射線進(jìn)行X-射線衍射(XRD)測量，則該導(dǎo)電耐腐蝕材料至少在當(dāng)29是29.1±0.1°、41.7±0.1°和42.2±0.1°時示出峰值，并且當(dāng)29是46.4±0.1°和48.9±0.1°時沒有示出峰值。將在下面描述制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法。在該示例中，進(jìn)行粘附步驟和加熱步驟以如圖4中所示在基片2的表面上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料3的膜。在粘附步驟中，氮化硼粉末31粘附到基片2的表面(見圖2和3)。此外，在加熱步驟中，在非氧化氣體環(huán)境下或者在真空中，在500到165(TC的溫度下，加熱粘附有氮化硼粉末31的基片2。因此，能夠在基片2上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料3的膜(見圖4)。進(jìn)而，在該示例的粘附步驟中進(jìn)行涂覆步驟和干燥步驟。在涂覆步驟中，氮化硼粉末被浸泡在溶劑中的氮化硼分散液被涂覆到基片的表面。在干燥步驟中，干燥涂覆有氮化硼分散液的基片，從而氮化硼粉末粘附到基片。將在下面詳細(xì)描述制造該示例的導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法。首先，制備鈦板2(見圖2)。此外，制備混合溶劑，在該混合溶劑中具有l(wèi)Opm的平均顆粒直徑的氮化硼粉末、60wt。/。的正己垸和40wt。/。的異丙醇(IPA)被相互混通過將按重量比例20份的氮化硼粉末添加到按重量比例80份的混合的溶劑來制造氮化硼分散液。通過噴涂(涂覆步驟)將氮化硼分散液涂覆到基片2的表面。此后，通過在具有80'C溫度的恒溫室中干燥基片(干燥步驟)，如圖3中所示氮化硼粉末31粘附到的基片2的表面。粘附有氮化硼粉末31的基片2被稱作樣本C1。隨后，在高純度Ar氣流中在IOO(TC的溫度下將樣本CI加熱兩個小時(加熱步驟)。然后，清洗樣本C1，從而如圖4中所示獲得在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料3的膜的基片2(用于燃料電池的金屬雙極性板)。這被稱作樣本E1。此外，改變加熱步驟的加熱溫度和加熱時間并且將其它條件設(shè)為與這個示例中的樣本E1的條件相同，從而制造在形成有另外三種導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片(樣本E2到E4)。具體地，通過在IOO(TC下在加熱步驟中加熱粘附有氮化硼粉末的基片(樣本C1)20分鐘來制造樣本E2。通過在90(TC下在加熱步驟中加熱粘附有氮化硼粉末的基片(樣本Cl)20分鐘來制造樣本E3。通過在850'C下在加熱步驟中加熱粘附有氮化硼粉末的基片(樣本Cl)20分鐘來制造樣本E4。隨后，將X射線照射到在樣本El到E4的每一個的表面上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料以便于測量X射線衍射圖案。使用由RigakuDenkiCo.,Ltd.制造的Rint-1500作為測量設(shè)備在大氣中進(jìn)行測量。在圖5到7中示出測量的結(jié)果。此外，為了與樣本E1到E4進(jìn)行比較，也對樣本C1進(jìn)行相同的XRD測量。其結(jié)果示于圖5到7中。如圖5中所示，關(guān)于樣本El到E4，理解的是確認(rèn)由h-BN、Ti2N、TiNo.3和Ti引起的峰并且形成由含有h-BN、Ti2N、TiNa3和Ti的導(dǎo)電耐腐蝕材料制成的膜。相反，關(guān)于樣本C1，確認(rèn)由BN引起的峰被但是沒有確認(rèn)由TiB和TiN(u引起的峰。此外，如圖6和7中所示，樣本El到E4的每一個均具有類似樣本Cl的六方晶體氮化硼結(jié)構(gòu)，但是與樣本Cl相比，(002)面的峰移位。進(jìn)而，如圖5中所示，樣本El到E4當(dāng)26是29.1±0.1°、41.7±0.1。和42.2±0.1°時示出峰。這些峰是對于根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電耐腐蝕材料特定的峰。XRD衍射的峰圖案類似于TiB的圖案，但是當(dāng)26是46.4±0.1°和48.9±0.1°時沒有示出峰。因此，認(rèn)為樣本El到E4的材料不同于TiB。隨后，對在形成有在不同加熱溫度下制造的三種導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片(樣本E2、E3和E4)進(jìn)行腐蝕測試，以便于比較這些材料的耐腐蝕性。腐蝕測試通過如圖8和9中所示的腐蝕電流測量設(shè)備4對每一個測量樣本(樣本E2、E3和E4)進(jìn)行腐蝕測試。如圖8和9中所示，腐蝕電流測量設(shè)備4包括第一本體41和第二本體42。每一個測量樣本1均被插入第一和第二本體41和42之間。第一本體41具有大致凸形的截面，并且包括從凸出部分的上端到第一本體的下端穿過第一本體的柱形空腔421(內(nèi)徑34mm,長度30mm)。此外，蓋43被設(shè)在空腔421的上端。首先，在腐蝕測試中，每一個測量樣本1均被插入第一和第二本體41和42之間。相應(yīng)地，通過第一本體41的空腔421的內(nèi)壁和測量樣本1形成杯形測量隔室425。隨后，打開蓋42，將電解質(zhì)供應(yīng)到測量隔室425中，并且桿形鉑參考電極45和盤形鉑對向電極44被置于電解質(zhì)中。測量樣本、鉑參考電極和鉑對向電極被連接到由HokutoDenko公司制造的Potentio/GalvanoStat(HA-151)。同時，通過將10ppm的ci-和5ppm的F-添加到稀硫酸(pH4)來制成電解質(zhì)。然后，通過恒溫裝置(未示出)將電解質(zhì)的溫度調(diào)節(jié)為80°C，并且通過Potentio/GalvanoStat向測量樣本施加電壓從而在參考電極43和測量樣本1之間的電勢差變?yōu)?.26V。此外，直至在開始施加電壓之后已經(jīng)過去100個小時時，測量電流(腐蝕電流)。通過將獲得的腐蝕電流的值除以在測量樣本和電解質(zhì)之間的接觸面積來計算腐蝕電流密度(pAcm'2)。圖10和12中示出在電壓施加時間(腐蝕時間)和腐蝕電流密度之間的關(guān)系。同時，圖10示出樣本E2的結(jié)果，圖ll示出樣本E3的結(jié)果，并且圖12示出樣本E4的結(jié)果。如圖10到12中所示，關(guān)于樣本E2、E3和E4，在腐蝕測試的初始階段中腐蝕電流密度快速地降低并且在大約0.05pAcii^或者更低處變成恒定。相應(yīng)地，可以理解樣本E2、E3和E4具有優(yōu)良的耐腐蝕性。此后，在腐蝕之前和之后對測量樣本(樣本E2、E3和E4)進(jìn)行接觸電阻測量，以便于測量其導(dǎo)電性的變化。接觸電阻測量測試首先，每一個測量樣本1和復(fù)寫紙5均被插入兩個鍍金銅板61和62之間，而復(fù)寫紙5被層疊在測量樣本1上，如圖13中所示。隨后，恒流DC電源7使得1A的靜電流在鍍金銅板61和62之間流動，并且通過測壓元件(未示出)在該兩個鍍金銅板61和62之間施加對應(yīng)于1.47MPa的氣壓的負(fù)荷F。此外，在開始施加負(fù)荷F之后過去60秒時，測量電勢差V。從該電勢差V計算電阻值，并且將其稱為接觸電阻值。關(guān)于樣本E2，測量以下樣本的接觸電阻沒有進(jìn)行腐蝕測試的樣本、進(jìn)行了腐蝕測試50個小時的樣本、進(jìn)行了腐蝕測試100個小時的29樣本以及進(jìn)行了腐蝕測試200個小時的樣本。關(guān)于樣本E3和E4，測量以下樣本的接觸電阻沒有進(jìn)行腐蝕測試的樣本、進(jìn)行了腐蝕測試50個小時的樣本以及進(jìn)行了腐蝕測試100個小時的樣本。在圖14中示出其結(jié)果。此外，為了與樣本E2、E3和E4相比較，制造三種基片(樣本C2到C4)，并且也以如上所述相同的方式測量這些樣本的接觸電阻。通過在80(TC的溫度下在N2氣流中加熱Ti板兩個小時來制造樣本C2。通過在N2氣流中加熱Ti板來在Ti板的表面上形成TiN層。結(jié)果，獲得包括由TiN制成并且在Ti板的表面上形成的TiN層的基片。關(guān)于樣本C2，測量以下樣本的接觸電阻沒有進(jìn)行腐蝕測試的樣本或者進(jìn)行了腐蝕測試IOO個小時的樣本。此外，樣本C3是由沒有進(jìn)行酸洗并且進(jìn)行了滾壓的純Ti板構(gòu)成的基片。關(guān)于樣本C3，測量以下樣本的測量電阻沒有進(jìn)行腐蝕測試的樣本或者進(jìn)行了腐蝕測試25個小時的樣本。進(jìn)而，通過以下步驟制造樣本C4:將90vol。/。的Ti粉末混合到10vol。/。的TiB2粉末，形成板形狀的混合物并且燒結(jié)該混合物。結(jié)果，獲得其中10vol。/。的TiB2在Ti主要成分中分散的基片(樣本C4)。關(guān)于樣本C4，測量以下樣本的接觸電阻沒有進(jìn)行腐蝕測試的樣本或者進(jìn)行了腐蝕測試100個小時的樣本。在圖14中示出上述結(jié)果(樣本C2到C4)。如圖14中所示，由于在25個小時的短時間內(nèi)進(jìn)行的腐蝕測試，由鈦板構(gòu)成的樣本C3的接觸電阻被提高至大約800mQ'ci^的非常高的值。同時，與樣本C3相比，在表面上包括TiN層的樣本C2和分散有TiB2的樣本C4的接觸電阻的增加速率比較平緩，但是在腐蝕測試進(jìn)行IOO個小時之后接近1000mi>cm2。相反，即使在腐蝕測試進(jìn)行100個小時之后，樣本E2、E3和E4也具有100m^cn^或者更低的非常低的接觸電阻。此外，當(dāng)腐蝕測試進(jìn)行大約100個小時時，樣本E2、E3和E4的接觸電阻的增加速率非常小。可以理解樣本E2、E3和E4具有穩(wěn)定并且低的接觸電阻值。如上所述，在由鈦制成的基片的表面上形成由導(dǎo)電耐腐蝕材料制成的膜的樣本E2、E3和E4具有優(yōu)良的導(dǎo)電性和耐腐蝕性，并且適用于燃料電池的金屬雙極性板。示例2類似于示例l，這個示例是在基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜并且測量導(dǎo)電耐腐蝕材料的X射線衍射的示例。首先，類似于示例l中，在基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料。具體地，首先，制備具有0.6mm厚度的Ti板(JIS第一類)作為基片。此后，類似于示例1中，制備正己烷和異丙醇被相互混合的混合溶劑，并且通過按重量比例將20份的氮化硼粉末添加到80份的混合的溶劑來制造氮化硼分散液。由具有六方晶體結(jié)構(gòu)的氮化硼(h-BN)制成的粉末被用作氮化硼粉末。通過噴涂(涂覆步驟)將氮化硼分散液涂覆到基片的表面，然后，在具有80'C溫度的恒溫室中干燥基片幾分鐘(干燥步驟)。此后，在Ar氣流中在IOOO'C的溫度下、加熱粘附有氮化硼粉末的基片兩個小時(加熱步驟)。隨后，通過用水和丙酮清洗基片來移除粘附到基片的表面的雜質(zhì)。以此方式，獲得在表面上包括由導(dǎo)電耐腐蝕材料制成的膜的基片。這被稱作樣本E5。此外，改變在加熱步驟中的加熱溫度并且將其它條件設(shè)為與這個示例中的樣本E5的條件相同，從而制造在形成有兩種導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片(樣本E6到E7)。具體地，通過在加熱步驟中在90(TC的溫度下加熱粘附有氮化硼粉末的基片2個小時來制造樣本E6。通過在加熱步驟中在80(TC下加熱粘附有氮化硼粉末的基片(樣本Cl)2個小時來制造樣本E7。此后，將X射線照射到在樣本E5到E7的每一個的表面上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料以便于測量X射線衍射圖案。在室溫下使用由RigakuDenkiCo.,Ltd.制造的Rint-1500作為測量設(shè)備在大氣中進(jìn)行測量。在圖15到17中示出測量的結(jié)果。如圖15到17中所示，關(guān)于樣本E5到E7，可以理解，確認(rèn)由h-BN、Ti2N、TiNoj和Ti引起的峰并且形成含有h-BN、Ti2N、TiNo.3和Ti的導(dǎo)電耐腐蝕材料。進(jìn)而，樣本E5到E7當(dāng)20是29.1±0.1°、41.7±0.1°和42.2±0.1°時示出峰。認(rèn)為這些峰是導(dǎo)電耐腐蝕材料的特定峰。存在斜方晶系TiB，作為在當(dāng)29是29.1±0.1°、41.7±0.1°和42.2士0.1。時的位置處具有衍射峰的材料。然而，即使當(dāng)20是46.4±0.1°和48.9±0.1°時，TiB也具有衍射峰，其衍射峰并不存在于樣本E5到E7的X射線衍射圖案中。相應(yīng)地，認(rèn)為樣本E5到E7不是由TiB制成的。32接下來，對于樣本E5到E7進(jìn)行與示例l相同的腐蝕測試，以測量腐蝕電阻。在圖18到20中顯示結(jié)果。圖18示出樣本E5的腐蝕測試的結(jié)果。圖19示出樣本E6的腐蝕測試的結(jié)果。圖20示出樣本E7的腐蝕測試的結(jié)果。如圖18到20中所示，關(guān)于樣本E5到E7，在腐蝕測試的初始階段中腐蝕電流密度快速地降低并且在大約0.01pAcm々或者更低處變成恒定。相應(yīng)地，可以理解樣本E5到E7具有優(yōu)良的耐腐蝕性。此后，在腐蝕測試之前和之后對測量樣本(樣本E5到E7)進(jìn)行接觸電阻測量，以便于測量其導(dǎo)電性的變化。測量以下樣本的接觸電阻沒有進(jìn)行腐蝕測試的樣本或者進(jìn)行了腐蝕測試IOO個小時的樣本。在圖21中示出其結(jié)果。此外，為了與樣本E5到E7相比較，以如上所述相同的方式測量通過示例1制造的三種基片(樣本C2到C4)的接觸電阻。其結(jié)果也示于圖21中。如圖21中所示，可以理解與樣本C2到C4的接觸電阻的變化相比，在腐蝕測試之前和之后樣本E5到E7的接觸電阻的變化降低。另外，即使在腐蝕測試進(jìn)行100個小時之后，樣本E5到E7也具有100m^cn^或者更低的非常低的接觸電阻。相應(yīng)地，可以理解樣本E5到E7具有穩(wěn)定并且低的接觸電阻值。示例3這個示例是通過使用Ti粉末和氮化硼粉末制造粉末狀導(dǎo)電耐腐蝕材料的示例。在這個示例中，進(jìn)行混合步驟(粘附步驟)和加熱步驟來制造導(dǎo)電耐腐蝕材料。在混合步驟中，通過將氮化硼粉末混合到至少含有Ti的Ti粉末來制造混合的粉末。在混合步驟中，能夠使氮化硼粉末粘附到基片(Ti粉末)的表面。相應(yīng)地，該混合步驟對應(yīng)于示例1和2的粘附步驟。此外，在加熱步驟中，通過在非氧化氣體環(huán)境中在500到165(TC的溫度下加熱混合的粉末來獲得導(dǎo)電耐腐蝕材料。具體地，首先，以85:15的重量比率，Ti粉末試劑(由WakoPureChemicalIndustries,Ltd.制造的并且具有45pm的平均顆粒直徑和95%或者更高的純度)和BN粉末試劑(由KojundoChemicalLab.Co.，Ltd.制造的并且具有l(wèi)Opm的平均顆粒直徑和99%或者更高的純度)被相互混合，從而制造含有Ti粉末和氮化硼粉末的混合的粉末(混合步驟)。然后，在100(TC的溫度下在Ar氣流中加熱混合的粉末兩個小時(加熱步驟)。以此方式，獲得粉末狀導(dǎo)電耐腐蝕材料。這被稱作樣本E8。此后，以與示例1相同的方式測量樣本E8的X射線衍射圖案。使用由RigakuDenkiCo.,Ltd制造的Rint-1500作為測量設(shè)備在大氣中進(jìn)行測量。在圖22到24中示出測量的結(jié)果。如圖22到24中所示，即使對于樣本E8，也觀察到與示例1的樣本E1到E4和示例2的樣本E5到E7的峰相同的峰。S卩，即使對于樣本E8，可以理解確認(rèn)由h-BN、Ti2N、TiNo.3和Ti引起的峰并且形成含有h-BN、Ti2N、TiN。.3和Ti的導(dǎo)電耐腐蝕材料。此外，關(guān)于樣本E8，可以理解確認(rèn)由TiN和TiB2引起的峰并且包含TiN和TiB2。認(rèn)為Ti粉末和BN粉末在粉末混合步驟中相互接近并且在粉末加熱步驟中B和N對Ti反應(yīng)，從而產(chǎn)生TiN和TiB2。另外，類似于示例1的樣本El到E4和示例2的樣本E5到E7，樣本E8當(dāng)20是29.1±0.1°、41.7±0.1°和42.2±0.1°時示出峰，并且當(dāng)26是46.4±0.1°和48.9±0.1°時沒有示出衍射峰。相應(yīng)地，認(rèn)為樣本E8不是由當(dāng)29是29.1±0.1°、41.7±0.1。、42.2±0.1°、46.4±0,1°禾口48.9±0.1°時具有峰的TiB制成的。將進(jìn)一步描述具有上述特征峰的樣本E8的材料不是TiB的事實。通常，由于晶體的配向，在X射線衍射線上峰強(qiáng)度改變，從而峰有時看起來消失。然而，在該示例中，制造粉末狀導(dǎo)電耐腐蝕材料并且對該粉末樣本(樣本E8)進(jìn)行XRD測量。相應(yīng)地，樣本E8的X射線衍射的峰強(qiáng)度幾乎不受配向的影響。這是根據(jù)以下事實來理解，在樣本E8的X射線衍射圖案(見圖22到24)中由a-Ti引起的峰對應(yīng)于非常接近在ASTM(美國材料試驗協(xié)會AmericanSocietyforTestingandMaterials)中注冊的a-Ti粉末的X射線衍射圖案(未示出)的強(qiáng)度比率。盡管這樣，樣本E8也在當(dāng)20是29.1士0.1。、41.7±0.1°和42.2±0.1°時示出峰，并且當(dāng)26是46.4±0.1°和48.9±0.1°時沒有示出衍射峰。這意味著當(dāng)26是29.1±0.1°、41.7±0.1°和42.2±0.1°時樣本E8的峰是由不同于斜方晶系TiB并且由Ti和/或硼和/或氮構(gòu)成的材料引起的峰。示例4在這個示例中，進(jìn)行滲硼步驟和滲氮步驟來如圖25中所示在基片2上制造導(dǎo)電耐腐蝕材料3。如圖25c中所示，制造由鈦或者鈦合金制成的并且在形成有至少含有鈦、硼和氮的導(dǎo)電耐腐蝕材料3的膜的基片2?；?可以例如用作燃料電池的金屬雙極性板。在滲硼步驟中，如圖25a和25b中所示，通過使用硼酸基熔鹽的熔鹽電解方法對基片2的表面滲硼。相應(yīng)地，在基片2的表面上形成至少含有Ti和B的Ti-硼化物層21。在滲氮步驟中，Ti-硼化物層21被滲氮，如圖25b和25c中所示。相應(yīng)地，在基片2的表面上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料3的膜。將在下面詳細(xì)描述制造這個示例的導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法。首先，如圖25a中所示，制備具有0.6mm厚度的Ti板(JIS第一類)作為基片2。此后，制備由1Owt。/。的K20和90wt。/。的B203構(gòu)成的混合的熔鹽。在950到IOO(TC的范圍中調(diào)節(jié)混合的熔鹽的溫度?；?被浸入混合的熔鹽中，并且在混合熔鹽中被電解IO分鐘，同時基片2被用作負(fù)電極并且具有(D13mm的石墨棒被用作正電極(滲硼步驟)。同時，在電解期間電流密度為大約0.1A/cm2。相應(yīng)地，如圖25b中所示，基片2的表面被滲硼，并且在基片2的表面上形成至少含有Ti和B的Ti硼化物層21。認(rèn)為Ti硼化物層21由TiB2和TiB制成。隨后，用溫水溶解和清洗粘附到基片的熔鹽。然后，在形成有Ti硼化物層的基片被置于加熱爐中，并且在IOO(TC的溫度下在氮氣流中加熱兩個小時(滲氮步驟)。在此情形中，氮氣以0.5L/min的流率流入加熱爐中。相應(yīng)地，如圖25b和25c中所示，在基片2上形成的Ti硼化物層21被滲氮，并且在基片2的表面上形成至少含有鈦、硼和氮的導(dǎo)電耐腐蝕材料3的膜。在形成有如上所述制造的導(dǎo)電耐腐蝕材料3的基片2被稱作樣本E9。此外，在該示例中，使用Ti合金板作為基片制造包括在表面上形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜的基片(樣本EIO)。除了使用Ti合金板代替Ti板之外，以與樣本El相同的方式制造樣本EIO。含有大約90質(zhì)量％的Ti、6質(zhì)量％的Al和4質(zhì)量％的V并且具有0.6mm的厚度的合金板被用作Ti合金板。此后，使用樣本E9和E10進(jìn)行腐蝕測試以在腐蝕測試之前和之后測量樣本的接觸電阻。首先，為了與樣本E9比較，制造三種基片(樣本C5到C7)。樣本C5是具有0.6mm厚度的鈦板(JIS第一類)。這是與用于制造樣本E9相同的鈦板。樣本C6是通過對鈦板(JIS第一類)的表面滲氮獲得的基片。為了制造樣本，首先，制備與樣本E9的鈦板相同的鈦板(JIS第一類)。然后，將鈦板置于加熱爐中，并且如在滲氮步驟中一樣在IOO(TC的溫度下在氮氣流(流率0.5L/min)中加熱兩個小時。以此方式，獲得通過對鈦板的表面滲氮形成的基片(樣本C6)。關(guān)于樣本C6，認(rèn)為通過對鈦板的表面滲氮在鈦板的表面上形成由TiN制成的層。此外，樣本C7是通過對鈦板(JIS第一類)的表面滲硼形成的基片。為了制造樣本，首先，制備與樣本E9的鈦板相同的鈦板(JIS第一類)。然后，如在滲硼步驟中那樣，將鈦板浸入由10wt。/。的K2O和90wt。/。的8203構(gòu)成的混合的熔鹽(溫度950到IOO(TC)中，并且在混合的熔鹽中進(jìn)行電解(電流密度大約0.1A/cm2)IO分鐘，同時鈦板被用作負(fù)電極并且具有013mm的石墨棒被用作正電極。相應(yīng)地，獲得通過對鈦板的表面滲硼形成的基片(樣本C7)。關(guān)于樣本C7，認(rèn)為通過對鈦板的表面滲硼在鈦板的表面上形成由TiB2和/或TiB制成的層。此外，為了與樣本E10比較，制造三種基片(樣本C8到C10)。樣本C8是具有0.6mm厚度的Ti合金板。Ti合金板是與用以制造樣本EIO的相同的合金板，它含有大約90質(zhì)量％的Ti、6質(zhì)量。/。的Al和4質(zhì)量％的V。樣本C9是通過對Ti合金板的表面滲氮形成的基片。為了制造樣本，首先，制備與樣本E10的Ti合金板相同的Ti合金板。然后，將Ti合金板置于加熱爐中，并且如在滲氮步驟中那樣在IOO(TC的溫度下在氮氣流(流率0.5L/min)中加熱兩個小時。以此方式，獲得通過對鈦合金板的表面滲氮形成的基片(樣本C9)。關(guān)于樣本C9，認(rèn)為通過對鈦合金板的表面滲氮而在鈦合金板的表面上形成由TiN制成的層。樣本C10是通過對鈦合金板的表面滲硼而形成的基片。為了制造樣本，首先，制備與樣本E10的相同的鈦合金板。然后，如在滲硼步驟中那樣，將鈦合金板浸入由10wt。/。的K20和90wt。/。的8203構(gòu)成的混合的熔鹽(溫度950到IOO(TC)中，并且在混合的熔鹽中進(jìn)行電解(電流密度大約0.1A/cm2)IO分鐘，同時鈦合金板被用作負(fù)電極并且具有013mm的石墨棒被用作正電極。相應(yīng)地，獲得通過對鈦合金板的表面滲硼形成的基片(樣本CIO)。關(guān)于樣本CIO，認(rèn)為通過對鈦合金板的表面滲硼而在鈦合金板的表面上形成由TiB2和/或38TiB制成的層。此后，對于樣本E9、E10和C5到C10進(jìn)行腐蝕測試。以與示例1相同的方式進(jìn)行腐蝕測試。在該示例中，最多在參考電極43和測量樣本1之間施加0.26V的電壓200個小時。此外，在腐蝕之前和之后對測量樣本(樣本E1、E2和C1到C6)進(jìn)行與在示例1中相同的接觸電阻測量，以便于測量其導(dǎo)電性的變化。關(guān)于樣本E9、E10和C5到C10，測量以下樣本的接觸電阻沒有進(jìn)行腐蝕測試的樣本和進(jìn)行腐蝕測試100個小時(電壓施加時間)的樣本。在圖26和27中示出其結(jié)果。另外，關(guān)于樣本E9、E10禾[1C5至IJC7，測量以下樣本的接觸電阻沒有進(jìn)行腐蝕測試的樣本和進(jìn)行了腐蝕測試50、100和200個小時的樣本，并且測量其隨時間的變化。將其結(jié)果示于圖28中。圖28是半對數(shù)圖，橫軸代表腐蝕時間(電壓施加時間)，并且縱軸代表接觸電阻。如圖26中所示，樣本E9和C7在腐蝕之前具有基本相同的接觸電阻，并且在腐蝕之前樣本C5的接觸電阻稍微高于樣本E9和C7的接觸電阻。這些樣本在腐蝕之前具有足夠的導(dǎo)電性。然而，在進(jìn)行腐蝕測試100個小時之后，樣本C5和C7的接觸電阻顯著地增加。相反，在進(jìn)行腐蝕測試100個小時之后，在表面上包括導(dǎo)電耐腐蝕材料的樣本E9的接觸電阻的增加被抑制。相應(yīng)地，可以理解樣本E9具有優(yōu)良的耐腐蝕性。同時，在進(jìn)行腐蝕測試100個小時之后，樣本C6還具有低的接觸電阻。相應(yīng)地，看起來耐腐蝕性是優(yōu)良的(見圖26)。然而，如圖28中所示，可以理解如果腐蝕測試進(jìn)行100個小時或者更長，則樣本C2的接觸電阻進(jìn)一步地增加。在圖28中，僅僅示出到200個小時之前的數(shù)據(jù)。然而，因為在半對數(shù)圖中，樣本C6的接觸電阻隨著時間線性增加，認(rèn)為即使在200個小時之后，接觸電阻進(jìn)一步地增加。其原因被認(rèn)為是在樣本C6的表面上形成的TiN易于對水反應(yīng)，從而發(fā)生水解。相反，如圖28中所示，在進(jìn)行腐蝕測試100個小時之后，樣本E9的接觸電阻幾乎沒有增加。即，認(rèn)為在進(jìn)行腐蝕測試IOO個小時之后，樣本E9的接觸電阻幾乎變成穩(wěn)定水平。相應(yīng)地，可以理解包括導(dǎo)電耐腐蝕材料的樣本E9的耐腐蝕性比樣本C5到C7的耐腐蝕性更加優(yōu)良。此外，即使將樣本E10與樣本C8到C10相比較，可以理解在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的樣本E10的耐腐蝕性得以改進(jìn)，如圖27中所示。具體地，可以理解使用含有Al和V的Ti合金板制造的樣本E10的接觸電阻在腐蝕測試之前和之后幾乎沒有變化，并且其耐腐蝕性是非常優(yōu)良的。進(jìn)而，如果進(jìn)行腐蝕測試，則如圖28中所示，樣本C5到C7的接觸電阻隨著時間增加。具體地，樣本C5和C7的接觸電阻在少于100個小時的非常早的階段中增加至1000mQ.cn^或者更大。另外，如上所述，樣本C6的接觸電阻也伴隨腐蝕而隨著時間持續(xù)地增加。相反，在進(jìn)行腐蝕測試大約IOO個小時之后，樣本E9和E10的接觸電阻幾乎變成穩(wěn)定水平，并且即使在進(jìn)行腐蝕測試100個小時或者更長時間之后，其接觸電阻幾乎沒有改變。如上所述，可以理解樣本E9和E10具有導(dǎo)電性和優(yōu)良的耐腐蝕性。如上所述在表面上包括導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片(樣本E9和E10)能夠提供優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的原因尚不清楚，但是認(rèn)為其原因如下即，在樣本E9和E10的每一個的表面上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料含有Ti、B和N。此外，如從元素周期表預(yù)期地，導(dǎo)電耐腐蝕材料的Ti能夠在接近穩(wěn)定的四階元素時存在。因此，如上所述，認(rèn)為改善了耐腐蝕性，同時導(dǎo)電性得以保持。具體地，至少樣本E10的基片的表面由含有屬于元素周期表的3B族元素的Al和屬于元素周期表的5A族元素的V的鈦合金板制成。相應(yīng)地，除了Ti、B和N，在樣本EIO的導(dǎo)電耐腐蝕材料中含有A1和V。因此，認(rèn)為導(dǎo)電耐腐蝕材料的Ti易于接近穩(wěn)定的四階元素。因此，如上所述，認(rèn)為樣本E10的耐腐蝕性被進(jìn)一步提高。相反，在樣本C6、C7、C9和C10的每一個的表面上形成由具有導(dǎo)電性的TiB2或者TiN等制成的層。然而，因為TiB2或者TiN的Ti的化合價明顯地不是4，認(rèn)為每一個樣本均具有導(dǎo)電性，但是如上所述易于被腐蝕。此外，樣本E9和E10的每一個的導(dǎo)電耐腐蝕材料具有化學(xué)穩(wěn)定性和優(yōu)良導(dǎo)電性的原因被認(rèn)為是至少由Ti、B和N制成的導(dǎo)電材料具有包括導(dǎo)帶的晶體結(jié)構(gòu)。進(jìn)而，能夠通過滲硼步驟和滲氮步驟而簡單地制造這個示例的樣本E9和EIO。如果樣本E9和E10被用作燃料電池的金屬雙極性板，則與在相關(guān)技術(shù)中不同，不需要使用昂貴的貴金屬。相應(yīng)地，能夠以低成本制造用于燃料電池的金屬雙極性板。如上所述，根據(jù)這個示例，能夠以低成本制造具有優(yōu)良的導(dǎo)電性和耐腐蝕性的導(dǎo)電耐腐蝕材料。示例5在這個示例中，如圖29中所示，進(jìn)行熱噴涂步驟和滲氮步驟來在金屬基片2上制造導(dǎo)電耐腐蝕材料3的膜。在這個示例中，如圖29c中所示制造金屬基片2，該金屬基片由鈦制成并且在形成有至少含有鈦、硼和氮的導(dǎo)電耐腐蝕材料3。該金屬基片2可以被用作例如用于燃料電池的金屬雙極性板。在熱噴涂步驟中，如圖29a和29b中所示，TiB2粉末被噴涂到金屬基片2的至少一部分表面上。相應(yīng)地，在金屬基片2的表面上形成由TiB2顆粒形成的TiB2層21。在滲氮步驟中，如圖29b和29c中所示，TiB2層21被滲氮。相應(yīng)地，在金屬基片2的表面上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料3的膜。將在下面詳細(xì)描述制造這個示例的導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法。此外，如圖29a中所示，制備具有0.6mm的厚度的Ti板(JIS的第一類)作為金屬基片2。然后，在大約6(TC的溫度下加熱金屬基片2，并且通過等離子體噴涂將TiB2粉末噴涂到金屬基片2的兩個表面上(熱噴涂步驟)。相應(yīng)地，如圖29b中所示，在金屬基片2的兩個表面上形成由TiB2顆粒形成的TiB2層21。具有1.0到4.5pm的主要顆粒直徑和10到63|im的顆粒尺寸的成顆粒的粉末被用作TiB2粉末。此外，關(guān)于等離子體噴涂，在以下條件下通過由SulzerMetcoInc.公司制造的等離子體噴涂設(shè)備(9MB)進(jìn)行Ar-N2噴涂，其中噴涂距離為100mm、TiB2粉末的進(jìn)送速率為32.8g/min、Ar:N2的比率為50:50(L/min)，并且電流為500A。隨后，將在形成有TiB2層21的金屬基片2置于加熱爐中，并且將基片2在IOO(TC的溫度下在氮氣流中加熱兩個小時(滲氮步驟)。在此情形中，氮氣以0.5L/min的流率流入加熱爐中。相應(yīng)地，如圖29b和29c中所示，在金屬基片2上形成的TiB2層21被滲氮，并且在基片2的表面上形成至少含有釹、硼和氮的導(dǎo)電耐腐蝕材料3的膜。在形成有如上所述制造的導(dǎo)電耐腐蝕材料3的基片2被稱作樣本Ell。此外，在這個示例中，改變熱噴涂步驟的噴涂條件并且制造在表面上包括導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜的金屬基片(樣本E12)。以與樣本Ell相同的方式制造樣本E12，只是熱噴涂步驟的噴涂條件從Ar-N2噴涂改變?yōu)锳r-H2噴涂。具體地，當(dāng)制造樣本E12時，在噴涂距離為100mm、TiB2粉末的進(jìn)送速率為32.8g/min、Ar:H2的比率為80:20(L/min)，并且電流為600A的條件下，在熱噴涂步驟中進(jìn)行Ar-H2噴涂。相應(yīng)地，在金屬基片的兩個表面上形成TiB2層。此后，如樣本Ell，進(jìn)行滲氮步驟來對TiB2層滲氮，從而在金屬基片上形成由導(dǎo)電耐腐蝕材料形成的層。此后，使用樣本Ell和E12進(jìn)行腐蝕測試以測量樣本在腐蝕測試之前和之后的接觸電阻。首先，為了與樣本E11和E12比較，制造三種基片(樣本C11到C13)。樣本Cll是具有0.6mm厚度的鈦板(JIS第一類)。這是與用于制造樣本Ell和E12的每一個的鈦板相同的鈦板。樣本C12是通過對鈦板(JIS第一類)的表面滲氮獲得的基片。為了制造樣本，首先，制備與樣本Ell的鈦板相同的鈦板(JIS第一類)。然后，將鈦板置于加熱爐中，并且在滲氮步驟中在IOO(TC的溫度下在氮氣流(流率0.5L/min)中加熱兩個小時。以此方式，獲得通過對鈦板的表面滲氮形成的基片(樣本C12)。關(guān)于樣本C12，認(rèn)為通過對鈦板的表面滲氮而在鈦板的表面上形成由TiN制成的層。此外，樣本C13是通過在鈦板(JIS第一類)的表面上形成由TiB2顆粒形成的TiB2層而形成的基片。為了制造樣本，首先，制備與樣本Ell的鈦板相同的鈦板(JIS第一類)。然后，在大約6(TC的溫度下加熱鈦板，在與樣本E11的條件相同的條件下進(jìn)行等離子體噴涂(Ar-N2噴涂)，并且將TiB2粉末噴涂到鈦板的兩個表面上。以此方式，獲得通過在鈦板的表面上形成由TiB2顆粒形成的TiB2層而形成的基片(樣本C13)。此后，對于樣本Ell、E12和Cll到C13進(jìn)行腐蝕測試。以與示例1相同的方式進(jìn)行腐蝕測試。在該示例中，最多在參考電極43和測量樣本1之間施加0.26V的電壓200個小時。此外，在腐蝕之前和之后對樣本(樣本Ell、E12和C11到C13)測量接觸電阻，從而測量其導(dǎo)電性的變化。關(guān)于樣本Ell、E12和Cll到C13，測量以下樣本的接觸電阻沒有進(jìn)行腐蝕測試的樣本和進(jìn)行了腐蝕測試48和96個小時的樣本，并且測量其隨時間的變化。其結(jié)果示于圖30中。同時，因為如下所述在腐蝕測試的相對初始的階段中，樣本C13具有非常高的接觸電阻，為了試驗效率，并不進(jìn)行對應(yīng)于96個小時的測量。同時，圖30是半對數(shù)圖，橫軸代表腐蝕時間(電壓施加時間)，并且縱軸代表接觸電阻。如從圖30可見，可以理解在腐蝕測試開始之前，樣本C11和C13的接觸電阻很大，并且在腐蝕測試之后，其接觸電阻隨著時間進(jìn)一步增加。相反，包括導(dǎo)電耐腐蝕材料的樣本E11和E12具有小的接觸電阻，并且即使腐蝕測試，其接觸電阻幾乎不增加。相應(yīng)地，可以理解樣本Ell和E12的每一個均具有優(yōu)良的導(dǎo)電性并且還具有優(yōu)良的耐腐蝕性。此外，樣本C12的耐腐蝕性低于樣本E11和E12，但是看起來具有比較優(yōu)良的耐腐蝕性(見圖30)。然而，如圖30中所示，在半對數(shù)曲線圖中，樣本C12的接觸電阻隨著時間線性增加。在圖30中，僅僅示出直至96個小時的數(shù)據(jù)，但是認(rèn)為即使在96個小時之后，接觸電阻也進(jìn)一步增加。認(rèn)為其原因是在樣本C12的表面上形成的TiN易于對水反應(yīng)，從而發(fā)生水解。相反，如圖30中所示，在腐蝕測試48個小時之后，樣本E11和E12的接觸電阻幾乎沒有增加。即，認(rèn)為在腐蝕測試48個小時之后，樣本Ell和E12的接觸電阻幾乎變成穩(wěn)定狀態(tài)。相應(yīng)地，可以理解與樣本C11到C13相比，包括導(dǎo)電耐腐蝕材料的樣本Ell和E12的每一個均具有優(yōu)良的導(dǎo)電性并且具有優(yōu)良的耐腐蝕性。如上所述在表面上包括導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片(樣本Ell和E12)能夠呈現(xiàn)優(yōu)良導(dǎo)電性和耐腐蝕性的原因尚不清楚，但是認(rèn)為其原因如下艮P，在樣本Ell和E12的每一個的表面上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料含有Ti、B和N。此外，如從元素周期表預(yù)期地，導(dǎo)電耐腐蝕材料的Ti能夠在接近穩(wěn)定的四階元素時存在。因此，如上所述，導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良的導(dǎo)電性并且即使被暴露給腐蝕條件也能夠保持優(yōu)良的導(dǎo)電性。即，導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良的導(dǎo)電性和耐腐蝕性。相反，在樣本C12和C13的每一個的表面上形成由具有導(dǎo)電性的TiB2或者TiN等制成的層。然而，因為TiB2或者TiN的Ti的化合價明顯地不是4，認(rèn)為每一個樣本均具有導(dǎo)電性，但是如上所述易于被腐蝕。此外，如上所述樣本Ell和E12的每一個的導(dǎo)電耐腐蝕材料具有化學(xué)穩(wěn)定性和優(yōu)良導(dǎo)電性的原因被認(rèn)為是至少由Ti、B和N制成的導(dǎo)電材料具有晶體結(jié)構(gòu)，其中電子存在于導(dǎo)帶中。進(jìn)而，能夠通過熱噴涂步驟和滲氮步驟簡單地制造這個示例的樣本Ell和E12。如果樣本Ell和E12被用作用于燃料電池的金屬雙極性板，則與在相關(guān)技術(shù)中不同，不需要使用昂貴的貴金屬。相應(yīng)地，能夠以低成本制造用于燃料電池的金屬雙極性板。如上所述，根據(jù)這個示例，能夠以低成本制造具有優(yōu)良的導(dǎo)電性和耐腐蝕性的導(dǎo)電耐腐蝕材料。示例6這個示例是通過不同的方法在基片上制造六種導(dǎo)電耐腐蝕材料的示例，測量其組分比率，并且評價其特性。首先，與在示例1中類似，進(jìn)行包括涂覆步驟和干燥步驟的粘附步驟以及加熱步驟來制造導(dǎo)電耐腐蝕材料。具體地，首先，制備由KobeSteel，Ltd,制造的并且具有0.6mm的厚度的Ti板(JIS第一類)作為基片。此后，與在示例1中類似，制備正己烷和異丙醇被相互混合的混合的溶劑，并且通過按重量比率將20份的氮化硼粉末添加到80份的混合的溶劑來制造氮化硼分散液。由具有六方晶體結(jié)構(gòu)的氮化硼(h-BN)制成的粉末被用作氮化硼粉末。通過噴涂(涂覆步驟)將氮化硼分散液涂覆到基片的表面，然后，通過在具有8(TC溫度的恒溫室中干燥基片幾分鐘(干燥步驟)。此后，將粘附有氮化硼粉末的基片在Ar氣流中在1000。C的溫度下加熱兩個小時(加熱步驟)。隨后，通過用水和丙酮清洗基片來移除粘附到基片表面的雜質(zhì)。以此方式，獲得在表面上具有由導(dǎo)電耐腐蝕材料制成的膜的基片。這被稱作樣本E13。此外，改變加熱步驟的加熱溫度和加熱時間并且其它條件被設(shè)為與這個示例中的樣本E13的條件相同，從而制造在形成有另外兩種導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片(樣本E14到E15)。通過在90(TC的溫度下在加熱步驟中加熱粘附有氮化硼粉末的基片20分鐘來制造樣本E14。通過在90(TC的溫度下在加熱步驟中加熱粘附有氮化硼粉末的基片20分鐘來制造樣本E15。此外，在這個示例中，與在示例5中類似，進(jìn)行熱噴涂步驟和滲氮步驟來在由鈦制成的基片上制造導(dǎo)電耐腐蝕材料(樣本E16)。具體地，首先，制備由KobeSteel，Ltd.制造的并且具有0.6mm的厚度的Ti板(JIS第一類)作為基片。此后，與在示例5中類似，在大約6(TC的溫度下加熱金屬基片，并且通過等離子體噴涂將TiB2粉末噴涂到金屬基片的兩個表面上(熱噴涂步驟)。與示例5中相同的粉末被用作TiB2粉末。此外，關(guān)于等離子體噴涂，在以下條件下通過與示例5中相同的設(shè)備進(jìn)行Ar-N2噴涂，其中噴涂距離為100mm、TiB2粉末的進(jìn)送速率為32.8g/min、Ar:N2的比率為50:50(L/min)，并且電流為500A。隨后，將在形成有TiB2層的金屬基片置于加熱爐中，并且在IOO(TC的溫度下在氮氣流中加熱兩個小時，并且氮氣以0.5L/min的流率流入加熱爐中(滲氮步驟)。以此方式，通過對在金屬基片上形成的TiB2層滲氮制造形成有至少含有鈦、硼和氮的導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜的基片(樣本E16)。進(jìn)而，在這個示例中，與在示例4中類似，進(jìn)行滲硼步驟和滲氮步驟來在由鈦制成的基片上制造導(dǎo)電耐腐蝕材料(樣本E16)。具體地，首先，制備由KobeSteel，Ltd.制造的并且具有0.6mm的厚度的Ti板(JIS第一類)作為基片。此后，與示例4中類似，制備由10wt。/。的K20和90wt。/。的B203構(gòu)成的混合的熔鹽(溫度950到1000°C)，基片被浸入混合的熔鹽中，并且它在混合的熔鹽中被電解(電流密度大約0.1A/cm2)10分鐘，同時基片被用作負(fù)電極并且具有(D13mm的石墨棒被用作正電極(滲硼步驟)。相應(yīng)地，通過對基片的表面滲硼，在基片的表面上形成至少含有Ti和B的Ti硼化物層。隨后，用溫水溶解和清洗粘附到基片的熔鹽。接下來，與示例4中類似，在形成有Ti硼化物層的基片被置于加熱爐中，在IOO(TC的溫度下在氮氣流將基片加熱兩個小時，并且氮氣以0.5L/min的流率流入加熱爐中(滲氮步驟)。以此方式，通過對在基片上形成的Ti硼化物層滲氮制造形成有至少含有鈦、硼和氮的導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜的基片(樣本E17)。在這個示例中，對于通過粘附步驟和加熱步驟在基片上制造的導(dǎo)電耐腐蝕材料進(jìn)一步進(jìn)行氣體滲氮，來制造導(dǎo)電耐腐蝕材料。艮P，首先，與這個示例的樣本E15類似，進(jìn)行粘附步驟和加熱步驟(假設(shè)加熱條件100(TC和30分鐘)來制造基片，在該基片的表面上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料。將在形成有導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片置于加熱爐中，并且在IOO(TC的溫度下在氮氣流中加熱兩個小時，從而在基片上形成的導(dǎo)電耐腐蝕材料被進(jìn)一步滲氮(滲氮步驟)。在此情形中，氮氣以0.5L/min的流率流入加熱爐中。以此方式，制造在表面上包括被進(jìn)一步滲氮的導(dǎo)電耐腐蝕材料的基片。這被稱作樣本E19。進(jìn)而，在這個示例中，為了與樣本E13到E18比較，制造三種基片(樣本C14到C16)。樣本C14是由KobeSteel,Ltd.制造的并且具有0.6mm的厚度的鈦板(JIS第一類)。通過利用離子電鍍法在鈦板的表面上形成TiN膜制造樣本C15。樣本C16是通過在Ti板(由KobeSteel，Ltd.制造的鈦板(JIS第一類)并且具有0.6mm的厚度)的表面上形成由TiB2顆粒形成的TiB2層制造的基片。為了制造樣本，與樣本E16類似，JIS第一類的鈦板在大約60'C的溫度下被加熱，進(jìn)行等離子體噴涂(Ar-N2噴涂)，并且將TiB2粉末噴涂到鈦板的兩個表面上以形成TiB2層。此后，測量如上所述制造的樣本E13到E18和C14到C16的表面的組成。通過X射線電光子分光光譜(XPS)測量該組成。由ULVAC-PHIInc.制造的QuanteraSXM被用作XPS設(shè)備，并且MonochromatedAlKa被用作X射線源。分析面積被設(shè)為100xl500nm。此外，通過對每一個樣本的表面進(jìn)行表面分析而測量Ti、B和N的組分比率。在圖31中示出其結(jié)果，作為示出Ti-B-N系統(tǒng)的三元相圖表的視圖。進(jìn)而，對于每一個樣本(樣本E13至ljE18禾nC14至ljC16)進(jìn)行腐蝕測試，并且在腐蝕測試之后測量接觸電阻值(mQ，cm2)。以與示例1相同的方式進(jìn)行腐蝕測試和接觸電阻的測量。關(guān)于每一個樣本，在表i中示出以下接觸電阻值在腐蝕測試開始進(jìn)行之前(0小時)的接觸電阻值、當(dāng)腐蝕測試進(jìn)行48個小時時的接觸電阻值以及當(dāng)腐蝕測試進(jìn)行96個小時時的接觸電阻值。同時，因為當(dāng)腐蝕測試進(jìn)行48個小時時樣本C15的接觸電阻值已經(jīng)非常大，因此沒有對當(dāng)腐蝕測試進(jìn)行96個小時時的接觸電阻值進(jìn)行測量。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage51</column></row><table>如圖31中所示，樣本E13到E18的鈦(Ti)、硼(B)和氮(N)的原子比率滿足0.05^[Ti]^0.40、0.20訓(xùn)$0.40、0.35S[N]吼55，并且[1^]+[B]+[N]=l(在圖31中的畫有陰影線的區(qū)域中)。即使在腐蝕測試進(jìn)行100個小時之后，樣本E13到E18中的每一個也具有100m^cn^或者更低的非常低的接觸電阻值，如表1中所示。相應(yīng)地，可以理解樣本E13到E18中的每一個具有優(yōu)良的耐腐蝕性和導(dǎo)電性。同時，由鈦板構(gòu)成的樣本C14的接觸電阻在腐蝕測試進(jìn)行48個小時之后超過100mQ，cm2，并且在腐蝕測試進(jìn)行96個小時之后增加至超過550mQ.cm2。此外，在表面上包括TiN層的樣本C15的接觸電阻在進(jìn)行腐蝕測試之前足夠低，但是在腐蝕測試進(jìn)行48個小時之后快速地升高至超過2000mQxn^的非常高的接觸電阻。而且，包括在表面上通過等離子體噴涂形成的TiB2層的樣本C16的接觸電阻直到腐蝕測試進(jìn)行48個小時之前比較低，但是在腐蝕測試進(jìn)行96個小時之后增加至超過3000mQxm2的相當(dāng)高的接觸電阻。因此，根據(jù)這個示例，可以理解含有鈦(Ti)、硼(B)和氮(N)的并且其原子比率滿足0.05^[Ti]$0.40、O迎[B]和0.35訓(xùn)(假設(shè)[14]+[B]+[N]=l)的導(dǎo)電耐腐蝕材料具有優(yōu)良的耐腐蝕性和導(dǎo)電性。權(quán)利要求1.一種導(dǎo)電耐腐蝕材料，其特征在于至少含有鈦、硼和氮，其中以滿足0.05≤[Ti]≤0.40、0.20≤[B]≤0.40和0.35≤[N]≤0.55(假設(shè)[Ti]+[B]+[N]＝1)的原子比率含有鈦(Ti)、硼(B)和氮(N)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電耐腐蝕材料，其特征在于，所述導(dǎo)電耐腐蝕材料被形成為覆蓋基片的膜，至少該基片的表面由鈦或者鈦合金制成。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電耐腐蝕材料，其特征在于，在所述基片上形成的所述導(dǎo)電耐腐蝕材料與所述基片一起用作用于燃料電池的金屬雙極性板。4.一種制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，所述導(dǎo)電耐腐蝕材料的特征在于至少含有鈦、硼和氮，所述方法包括粘附步驟，將氮化硼粉末粘附到基片的表面，至少該基片的表面由鈦或者鈦合金制成；和加熱步驟，通過在500到165(TC的溫度下，在非氧化性氣體環(huán)境下或者在真空中，加熱粘附有氮化硼粉末的基片而在所述基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，所述氮化硼粉末的直徑在0.05到100pm的范圍內(nèi)。6.根據(jù)權(quán)利要求4或者5所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于所述粘附步驟包括涂覆步驟，即在所述基片的表面上涂覆氮化硼分散液，所述氮化硼分散液由氮化硼粉末分散在溶劑中而成；和干燥步驟，即通過在所述涂覆步驟之后干燥所述基片而使得所述氮化硼粉末粘附到所述基片。7.根據(jù)權(quán)利要求4到6中任何一項所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述加熱步驟中，加熱溫度在700到IIO(TC的范圍中。8.根據(jù)權(quán)利要求4到7中任何一項所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于包括-滲氮步驟，即在包括氮氣或者氨氣的惰性氣體環(huán)境下，加熱已進(jìn)行了加熱步驟的所述基片。9.根據(jù)權(quán)利要求4到7中任何一項所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于包括滲氮步驟，即在氮氣流中，加熱己進(jìn)行了加熱步驟的所述基片。10.根據(jù)權(quán)利要求8或者9所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述滲氮步驟中，加熱溫度在700到110(TC的范圍中。11.根據(jù)權(quán)利要求4到10中任何一項所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述基片上形成的所述導(dǎo)電耐腐蝕材料與所述基片一起用作用于燃料電池的金屬雙極性板。12.—種制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，該導(dǎo)電耐腐蝕材料的特征在于至少含有鈦、硼和氮，所述方法包括滲硼步驟，通過對至少表面由鈦或者鈦合金制成的基片的表面滲硼，在所述基片的表面上形成至少含有Ti和B的Ti硼化物層；和滲氮步驟，通過對所述Ti硼化物層滲氮而在所述基片上形成所述導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述滲硼步驟中進(jìn)行使用硼酸基熔鹽的熔鹽電解方法。14.根據(jù)權(quán)利要求12或者13所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述滲氮步驟中，在包括氮氣或者氨氣的惰性氣體環(huán)境下，加熱形成有所述Ti硼化物層的所述基片。15.根據(jù)權(quán)利要求12或者13所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述滲氮步驟中，在氮氣流中加熱形成有所述Ti硼化物層的所述基片。16.根據(jù)權(quán)利要求14或者15所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述滲氮步驟中，在700到110(TC的溫度下加熱形成有所述Ti硼化物層的所述基片。17.根據(jù)權(quán)利要求12到16中任何一項所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述基片上形成的所述導(dǎo)電耐腐蝕材料與所述基片一起用作用于燃料電池的金屬雙極性板。18.—種制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，該導(dǎo)電耐腐蝕材料的特征在于至少含有鈦、硼和氮，該方法包括熱噴涂步驟，通過將TiB2粉末噴涂到金屬基片的至少一部分表面上而形成由TiB2顆粒形成的TiB2層；和滲氮步驟，通過對TiB2層滲氮而在所述金屬基片上形成導(dǎo)電耐腐蝕材料的膜。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述滲氮步驟中，在包括氮氣或者氨氣的惰性氣體環(huán)境下，加熱形成有所述TiB2層的所述金屬基片。20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述滲氮步驟中，在氮氣流中加熱形成有所述TiB2層的所述金屬基片o21.根據(jù)權(quán)利要求19或者20所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述滲氮步驟中，在700到IIOO'C的溫度下加熱形成有所述TiB2層的所述金屬基片。22.根據(jù)權(quán)利要求18到21中任何一項所述的制造導(dǎo)電耐腐蝕材料的方法，其特征在于，在所述金屬基片上形成的所述導(dǎo)電耐腐蝕材料與所述金屬基片一起用作用于燃料電池的金屬雙極性板。全文摘要提供一種導(dǎo)電耐腐蝕材料(3)，其以滿足0.05≤[Ti]≤0.40、0.20≤[B]≤0.40和0.35≤[N]≤0.55(假設(shè)[Ti]+[B]+[N]＝1)的原子比率含有(Ti)、硼(B)和氮(N)。此外，提供一種制造導(dǎo)電耐腐蝕材料(3)的方法，其中氮化硼粉末粘附到至少表面由鈦或者鈦合金制成的基片(2)的表面，然后加熱。此外，提供一種制造導(dǎo)電耐腐蝕材料(3)的方法，其中至少表面由鈦或者鈦合金制成的基片(2)的表面被滲硼然后被加熱。另外，提供一種制造導(dǎo)電耐腐蝕材料(3)的方法，其中通過將TiB₂粉末噴涂到金屬基片(2)的表面上而形成由TiB₂顆粒形成的TiB₂層，并且然后對該TiB₂層滲氮。文檔編號C23C8/72GK101460649SQ200780020459公開日2009年6月17日申請日期2007年5月18日優(yōu)先權(quán)日2006年6月2日發(fā)明者上田勇,北原學(xué),堀江俊男,森廣行,西野和彰,鈴木伸明,鈴木憲一申請人:株式會社豐田中央研究所