專利名稱：一種刻蝕機射頻功率的控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種刻蝕機的輝光控制技術(shù)，具體是一種控制硅太陽能電池制造工段刻蝕機射頻電源輸出功率的控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前國內(nèi)的所有刻蝕機的輝光控制方面的工藝步驟都是由以下幾個部分組成控制單元、開關(guān)控制器、射頻電源、預(yù)熱設(shè)定器、功率輸出單元和高頻激勵裝置，如圖1所示， 控制單元是整臺刻蝕機的控制中心，控制單元收集各種信號綜合比較，在條件允許的情況下輸出功率供給信號，經(jīng)過開關(guān)控制射頻電源是否輸出，得到輸出信號后射頻電源在經(jīng)過足夠的預(yù)熱步驟后，就可以輸出射頻功率，通過該射頻功率的輸出，高頻激勵產(chǎn)生輝光放電進行硅太陽能電池片周邊等離子體的刻蝕。這種刻蝕機在整個工藝過程中采用了開環(huán)控制方式，在自動運行過程中，按照程序設(shè)定好的步驟逐步進行工藝，這樣就存在兩個問題(1)在運行過程中，在控制單元和開關(guān)控制都正常的情況下，如果射頻電源出現(xiàn)故障，故障后沒有射頻功率的輸出，控制單元繼續(xù)執(zhí)行工藝步驟，造成產(chǎn)品的工藝品質(zhì)異常， 需要工作人員確認其狀態(tài)正常，增加了勞動時間；(2)在控制單元和開關(guān)控制都正常時，射頻電源輸出射頻功率，如果在整個工藝過程中對射頻功率的自動緩慢衰減及突然的功率異常無法檢測，同樣會造成產(chǎn)品的工藝品質(zhì)異常，此類異常在工藝過程中不易由工作人員發(fā)現(xiàn)，且不利于刻蝕工藝流程的順暢進行。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種刻蝕機射頻功率的控制系統(tǒng)，可檢測射頻功率的大小，并在射頻功率異常時反饋異常信號。本實用新型實現(xiàn)上述目的的技術(shù)解決方案是一種刻蝕機射頻功率的控制系統(tǒng)， 包括控制單元、開關(guān)控制器、射頻電源、預(yù)熱設(shè)定器、功率輸出單元和高頻激勵裝置，所述控制單元、射頻電源、功率輸出單元和高頻激勵裝置依次連接在一起，所述開關(guān)控制器設(shè)置控制單元和射頻電源之間，所述預(yù)熱設(shè)定器設(shè)置在射頻電源和功率輸出單元之間，所述控制系統(tǒng)還包括用于反饋射頻功率輸出值的反饋裝置，所述功率輸出單元、反饋裝置和控制單元依次連接在一起，形成閉環(huán)控制環(huán)節(jié)。本實用新型所述反饋裝置包括用于檢測射頻功率模擬信號的檢測裝置，用于將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號并將其輸入控制單元的模數(shù)轉(zhuǎn)換器，所述功率輸出單元、檢測裝置、 模數(shù)轉(zhuǎn)換器和控制單元依次連接在一起。本實用新型所述控制系統(tǒng)還包括用于射頻功率異常輸出報警的報警裝置，所述報警裝置與控制單元連接。本實用新型所述控制單元內(nèi)設(shè)置有用于將射頻功率輸出值與設(shè)定值進行比較的比較模塊。本實用新型所述控制單元內(nèi)還設(shè)置有用于輸出射頻功率異常報警信號的異常信號輸出模塊，該模塊與所述報警裝置連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點(1)本實用新型通過反饋裝置來檢測射頻功率的大小并反饋到控制單元，從而避免了因為射頻功率異常造成的產(chǎn)品品質(zhì)的異常，增強了設(shè)備工藝運行的穩(wěn)定性，也降低了因為品質(zhì)異常造成的資金浪費。(2)本實用新型的整個系統(tǒng)采用了閉環(huán)式控制方式，檢測裝置會檢測整個工藝過程，并將檢測的信號供給控制單元，可以設(shè)置功率的波動范圍，在發(fā)生異常時會發(fā)生報警， 增強了設(shè)備的穩(wěn)定性。(3)本實用新型的系統(tǒng)組成結(jié)構(gòu)簡單，易于實施，可保證刻蝕工業(yè)流程順暢進行。
圖1為現(xiàn)有的刻蝕機的輝光控制的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；圖2為本實用新型具體實施方式
的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
具體實施方式
本實用新型實施例提供的一種刻蝕機射頻功率的控制系統(tǒng)，如圖2所示，包括控制單元、開關(guān)控制器、射頻電源、預(yù)熱設(shè)定器、功率輸出單元和高頻激勵裝置，所述控制單元、射頻電源、功率輸出單元和高頻激勵裝置依次連接在一起，所述開關(guān)控制器設(shè)置控制單元和射頻電源之間，所述預(yù)熱設(shè)定器設(shè)置在射頻電源和功率輸出單元之間，所述控制系統(tǒng)還包括用于反饋射頻功率輸出值的反饋裝置和用于射頻功率異常輸出報警的報警裝置，所述功率輸出單元、反饋裝置和控制單元依次連接在一起，所述報警裝置與控制單元連接，形成閉環(huán)控制環(huán)節(jié)。本實用新型所述反饋裝置包括用于檢測射頻功率模擬信號的檢測裝置，用于將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號并將其輸入控制單元的模數(shù)轉(zhuǎn)換器，所述功率輸出單元、檢測裝置、 模數(shù)轉(zhuǎn)換器和控制單元依次連接在一起。在刻蝕機進行刻蝕工藝時，控制單元控制整個工藝過程中的設(shè)置以及輸入輸出，開關(guān)打開以后射頻電源經(jīng)過足夠的預(yù)熱以后正常輸出功率，通過在功率的輸出環(huán)節(jié)增加的在線功率檢測裝置，該裝置會一直檢測功率的變化，檢測到的信號供給模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊，經(jīng)轉(zhuǎn)換后的信號反饋到控制單元，這樣就把原來的功率控制方式由開環(huán)控制方式改變?yōu)殚]環(huán)控制方式，增強了整個工藝過程中的可控性，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性。在控制單元內(nèi)設(shè)置有用于將射頻功率輸出值與設(shè)定值進行比較的比較模塊，可以根據(jù)實際的需要設(shè)定射頻功率的大小，該功率存在一定的變化，為了避免因為功率的波動造成的品質(zhì)異常，同時增加對波動范圍的設(shè)置，在整個工藝過程中檢測射頻功率實際的輸出值，將收集到的實際輸出值與設(shè)定值進行比較，實際輸出值大于或小于設(shè)定值但在允許的波動范圍以內(nèi)，繼續(xù)進行工藝；控制單元內(nèi)還設(shè)置有用于輸出射頻功率異常報警信號的異常信號輸出模塊，該模塊與上述報警裝置連接，當實際射頻功率的波動范圍超出設(shè)定的范圍以后，就會有射頻功率的異常報警信號輸出，通過報警裝置提醒操作員進行相應(yīng)的異常處理，避免了因為檢測不到或檢測的不及時給硅太陽能電池片刻蝕時帶來的不良影響。本實用新型的實施方式不限于此，在本實用新型上述基本技術(shù)思想前提下，按照本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識和慣用手段對本實用新型內(nèi)容所做出其它多種形式的修改、替換或變更，均在本實用新型權(quán)利保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種刻蝕機射頻功率的控制系統(tǒng)，包括控制單元、開關(guān)控制器、射頻電源、預(yù)熱設(shè)定器、功率輸出單元和高頻激勵裝置，所述控制單元、射頻電源、功率輸出單元和高頻激勵裝置依次連接在一起，所述開關(guān)控制器設(shè)置在控制單元和射頻電源之間，所述預(yù)熱設(shè)定器設(shè)置在射頻電源和功率輸出單元之間，其特征在于所述控制系統(tǒng)還包括用于反饋射頻功率輸出值的反饋裝置，所述功率輸出單元、反饋裝置和控制單元依次連接在一起，形成閉環(huán)控制環(huán)節(jié)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種刻蝕機射頻功率的控制系統(tǒng)，其特征在于所述反饋裝置包括用于檢測射頻功率模擬信號的檢測裝置，用于將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號并將其輸入控制單元的模數(shù)轉(zhuǎn)換器，所述功率輸出單元、檢測裝置、模數(shù)轉(zhuǎn)換器和控制單元依次連接在一起。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種刻蝕機射頻功率的控制系統(tǒng)，其特征在于所述控制系統(tǒng)還包括用于射頻功率異常輸出報警的報警裝置，所述報警裝置與控制單元連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種刻蝕機射頻功率的控制系統(tǒng)，其特征在于所述控制單元內(nèi)設(shè)置有用于將射頻功率輸出值與設(shè)定值進行比較的比較模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種刻蝕機射頻功率的控制系統(tǒng)，其特征在于所述控制單元內(nèi)還設(shè)置有用于輸出射頻功率異常報警信號的異常信號輸出模塊，該模塊與所述報警裝置連接。
專利摘要本實用新型公開了一種刻蝕機射頻功率的控制系統(tǒng)，包括控制單元、開關(guān)控制器、射頻電源、預(yù)熱設(shè)定器、功率輸出單元和高頻激勵裝置，所述控制單元、射頻電源、功率輸出單元和高頻激勵裝置依次連接在一起，所述開關(guān)控制器設(shè)置在控制單元和射頻電源之間，所述預(yù)熱設(shè)定器設(shè)置在射頻電源和功率輸出單元之間，所述控制系統(tǒng)還包括用于反饋射頻功率輸出值的反饋裝置，所述功率輸出單元、反饋裝置和控制單元依次連接在一起，形成閉環(huán)控制環(huán)節(jié)。本實用新型可檢測射頻功率的大小，并在射頻功率異常時反饋異常信號。
文檔編號H01J37/32GK202008614SQ201020678748
公開日2011年10月12日 申請日期2010年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月24日
發(fā)明者張興云, 郝立輝 申請人:晶澳(揚州)太陽能科技有限公司