專利名稱：斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術領域、微電子科學與技術領域、真空科學與技術領域以及納米科學與技術領域的相互交叉領域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術：
碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器是利用場致發(fā)射電子轟擊熒光粉層進行發(fā)光的矩陣顯示技術設備，其原理與陰極射線管顯示器的原理大致相同。碳納米管是一種石墨層卷曲的小管狀結構，在外加電場強度的作用下能夠發(fā)射出大量電子，是一種性能優(yōu)異的冷陰極材料。由于只要電場強度達到要求以后碳納米管就能夠發(fā)射電子，不需要額外的能量供應，因此利用這種材料制作的顯示器的響應速度更快。場致發(fā)射顯示器兼顧具有陰極射線管顯示器和液晶顯示器兩者的主要優(yōu)點，同時又克服可二者固有的缺點，在復雜性成本和功耗等方面也比前兩者要低，這些因素可使場致發(fā)射顯示器發(fā)展成為所期望的最佳顯示技術。
目前，在所報道的三極結構碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器件當中，普遍都存在著柵極電壓居高不下，顯示器件的亮度不高，柵極電流過于偏大，柵極-陰極之間的電容效應過于顯著等缺點，還需要進一步的加以研究和解決。其中，碳納米管陰極對于顯示器件圖像的影響作用是不可忽視的。目前的顯示器件中，碳納米管陰極的有效電子發(fā)射面積比較小，而且還不能夠進行擴大，而所發(fā)射的部分電子被柵極結構所截留，既導致柵極電流過于偏大，又導致陽極電流不足而顯示亮度降低。因此對于原有的器件結構需要進行改進，既要增大碳納米管陰極的有效發(fā)射面積，同時還要提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，來增強器件的顯示亮度。而對于這些方面還沒有比較好的解決方案。需要科研人員認真的思考并加以解決。
此外，在三極結構的平板場致發(fā)射顯示器件當中，在確保柵極結構對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結構簡單的帶有一種斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及斜柵控凹弧椎型陰極結構。
所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；提升層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；提升層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極延長線層；陰極延長線層和陰極引線層是相互連通的；提升層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極換接層；陰極換接層呈現(xiàn)圓面型形狀，依附于提升層的上表面，和陰極延長線層相互連通的；陰極換接層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)弧形尖錐型形狀，即弧形尖錐型的底面為圓盤型形狀，坐落于陰極換接層的上面，陰極基底層的上頂端形成一個尖點，垂直指向陽極方向，陰極基底層的側面為一個向內(nèi)凹陷的弧形面形狀；陰極基底層側面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層和底部的陰極換接層相互連通；陰極過渡層上面刻蝕后的金屬層形成陰極導電層；提升層上面印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層下表面為平面，和提升層的上表面相互接觸；間隔層中存在圓形孔，圓形孔中要完全暴露出陰極基底層，陰極過渡層以及陰極導電層；間隔層中圓形孔在間隔層上下表面形成的截面均為中空的圓型面，圓形孔內(nèi)側壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面；間隔層的高度要低于陰極基底層的高度；間隔層上表面大部分為平面，但是在圓形孔的周圍形成一個傾斜面，圓形孔邊緣部分要高于間隔層的上表面的平面部分，從圓形孔邊緣部分開始，直至到間隔層上表面的平面部分位置為止，形成一個傾斜面，環(huán)繞在圓形孔的周圍；間隔層上表面上的圓型孔周圍斜坡面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層大部分都位于圓形孔周圍斜坡面上，但其前端要向前凸出，呈現(xiàn)懸空態(tài)；間隔層上表面平面部分上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導電層的上面。
所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極換接層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層和陰極引線層的走向相互垂直；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻。
一種斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層的制作在絕緣層的上面制出金屬層，刻蝕形成陰極引線層；4)提升層的制作在陰極引線層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成提升層；5)陰極延長線層的制作在提升層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成陰極延長線層；6)陰極換接層的制作在提升層上面制出金屬層，刻蝕后形成陰極換接層；7)陰極基底層的制作在陰極換接層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成陰極基底層；8)陰極過渡層的制作在陰極基底層側面上制金屬層，刻蝕成陰極過渡層；9)陰極導電層的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導電層；10)間隔層的制作在提升層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成間隔層；11)柵極管制層的制作在間隔層上表面的圓型孔周圍斜坡面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；12)柵極引線層的制作在間隔層上表面平面部分的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；13)柵極覆蓋層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成柵極覆蓋層；
14)斜柵控凹弧椎型陰極結構的表面清潔處理對斜柵控凹弧椎型陰極結構的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；15)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；16)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃劃割，制作出陽極玻璃面板；17)陽極導電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；18)絕緣漿料層的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；19)熒光粉層的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；20)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結構和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定；21)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟18具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟21具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構中，將柵極結構制作在了碳納米管陰極的旁側，且呈現(xiàn)斜面型形狀。當在柵極結構上施加適當電壓以后，就會在碳納米管陰極的表面頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子，體現(xiàn)了柵極結構的強有力控制功能。由于采用了斜面柵極形狀，使得柵極結構能夠同時控制更多的碳納米管陰極，這有助于提高柵極結構的控制效率。由于柵極結構的末端可以盡可能的接近于碳納米管陰極，縮減了二者之間的距離，有利于降低柵極結構的工作電壓。
其次，在所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構中，將碳納米管制備在了呈現(xiàn)凹陷弧形面形狀的陰極導電層的上面。極大的增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射，有助于提高器件的顯示亮度。制作了提升層，將柵極引線層和陰極引線層的距離制作的更遠一些，這有助于減小柵極-陰極之間的旁路電容效應，提高了器件的工作頻率。將柵極結構和陰極結構高度集成到一起，有助于促進整體器件的高度集成化發(fā)展。
此外，在所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構中，并沒有采用特殊的結構制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了斜柵控凹弧椎型陰極結構的縱向結構示意圖；圖2給出了斜柵控凹弧椎型陰極結構的橫向結構示意圖；圖3給出了帶有斜柵控凹弧椎型陰極結構的平面顯示器的結構示意圖。
具體實施例方式
下面結合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明，但并不局限于這些實施例。
所述的一種帶有斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[15]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[20]所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[16]以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層[18]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構[19]以及消氣劑附屬元件[21]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[12]、碳納米管[14]以及斜柵控凹弧椎型陰極結構。
所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、陰極引線層[3]、提升層[4]、陰極延長線層[5]、陰極換接層[6]、陰極基底層[7]、陰極過渡層[8]、陰極導電層[9]、間隔層[10]、柵極管制層[11]、柵極引線層[12]、柵極覆蓋層[13]和碳納米管[14]部分。
所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；提升層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；提升層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極延長線層；陰極延長線層和陰極引線層是相互連通的；提升層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極換接層；陰極換接層呈現(xiàn)圓面型形狀，依附于提升層的上表面，和陰極延長線層相互連通的；陰極換接層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)弧形尖錐型形狀，即弧形尖錐型的底面為圓盤型形狀，坐落于陰極換接層的上面，陰極基底層的上頂端形成一個尖點，垂直指向陽極方向，陰極基底層的側面為一個向內(nèi)凹陷的弧形面形狀；陰極基底層側面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層和底部的陰極換接層是相互連通的；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層；提升層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，和提升層的上表面相互接觸；間隔層中存在圓形孔，圓形孔中要完全暴露出陰極基底層，陰極過渡層以及陰極導電層；間隔層中圓形孔在間隔層上下表面形成的截面均為中空的圓型面，圓形孔的內(nèi)側壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面；間隔層的高度要低于陰極基底層的高度；間隔層的上表面大部分為平面，但是在圓形孔的周圍形成一個傾斜面，圓形孔邊緣部分要高于間隔層的上表面的平面部分，從圓形孔邊緣部分開始，直至到間隔層上表面的平面部分位置為止，形成一個傾斜面，環(huán)繞在圓形孔的周圍；間隔層上表面上的圓型孔周圍斜坡面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層大部分都位于圓形孔周圍斜坡面上，但其前端要向前凸出，呈現(xiàn)懸空態(tài)；間隔層上表面平面部分上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導電層的上面。
所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極換接層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻。
一種斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；
4)提升層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成提升層；5)陰極延長線層[5]的制作在提升層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成陰極延長線層；6)陰極換接層[6]的制作在提升層上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極換接層；7)陰極基底層[7]的制作在陰極換接層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成陰極基底層；8)陰極過渡層[8]的制作在陰極基底層的側面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導電層[9]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導電層；10)間隔層[10]的制作在提升層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成間隔層；11)柵極管制層[11]的制作在間隔層上表面的圓型孔周圍斜坡面上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極管制層；12)柵極引線層[12]的制作在間隔層上表面平面部分的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；13)柵極覆蓋層[13]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成柵極覆蓋層；14)斜柵控凹弧椎型陰極結構的表面清潔處理對斜柵控凹弧椎型陰極結構的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；15)碳納米管[14]的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；
16)碳納米管的后處理對碳納米管進行后處理，改善場致發(fā)射特性；17)陽極玻璃面板[15]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；18)陽極導電層[16]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；19)絕緣漿料層[17]的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；20)熒光粉層[18]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；21)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結構[19]和四周玻璃圍框[20]裝配到一起，并將消氣劑[21]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；22)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟19具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟20具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟22具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權利要求
1.一種斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[15]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[20]所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[16]以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層[18]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構[19]以及消氣劑[21]附屬元件；其特征在于在陰極玻璃面板上設置有柵極引線層[12]、碳納米管[14]以及斜柵控凹弧椎型陰極結構。
2.根據(jù)權利要求1所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器，其特征在于所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；提升層中存在小圓孔，作為陰極延長線層的通道；提升層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極延長線層；陰極延長線層和陰極引線層是相互連通的；提升層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極換接層；陰極換接層呈現(xiàn)圓面型形狀，依附于提升層的上表面，和陰極延長線層相互連通的；陰極換接層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)弧形尖錐型形狀，即弧形尖錐型的底面為圓盤型形狀，坐落于陰極換接層的上面，陰極基底層的上頂端形成一個尖點，垂直指向陽極方向，陰極基底層的側面為一個向內(nèi)凹陷的弧形面形狀；陰極基底層側面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層和底部的陰極換接層是相互連通的；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層；提升層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，和提升層的上表面相互接觸；間隔層中存在圓形孔，圓形孔中要完全暴露出陰極基底層，陰極過渡層以及陰極導電層；間隔層中圓形孔在間隔層上下表面形成的截面均為中空的圓型面，圓形孔的內(nèi)側壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面；間隔層的高度要低于陰極基底層的高度；間隔層的上表面大部分為平面，但是在圓形孔的周圍形成一個傾斜面，圓形孔邊緣部分要高于間隔層的上表面的平面部分，從圓形孔邊緣部分開始，直至到間隔層上表面的平面部分位置為止，形成一個傾斜面，環(huán)繞在圓形孔的周圍；間隔層上表面上的圓型孔周圍斜坡面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層大部分都位于圓形孔周圍斜坡面上，但其前端要向前凸出，呈現(xiàn)懸空態(tài)；間隔層上表面平面部分上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導電層的上面。
3.根據(jù)權利要求2所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器，其特征在于所述的斜柵控凹弧椎型陰極結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極換接層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層和陰極引線層的走向相互垂直；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻。
4.一種斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)提升層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成提升層；5)陰極延長線層[5]的制作在提升層中小圓孔內(nèi)印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成陰極延長線層；6)陰極換接層[6]的制作在提升層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極換接層；7)陰極基底層[7]的制作在陰極換接層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成陰極基底層；8)陰極過渡層[8]的制作在陰極基底層的側面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導電層[9]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導電層；10)間隔層[10]的制作在提升層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成間隔層；11)柵極管制層[11]的制作在間隔層上表面的圓型孔周圍斜坡面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；12)柵極引線層[12]的制作在間隔層上表面平面部分的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；13)柵極覆蓋層[13]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成柵極覆蓋層；14)斜柵控凹弧椎型陰極結構的表面清潔處理對斜柵控凹弧椎型陰極結構的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；15)碳納米管[14]的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；16)陽極玻璃面板[15]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；17)陽極導電層[16]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；18)絕緣漿料層[17]的制作在陽極導電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；19)熒光粉層[18]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；20)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結構[19]和四周玻璃圍框[20]裝到一起，將消氣劑[21]放到空腔中，用低熔點玻璃粉固定；21)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權利要求4所述的一種帶有斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器，其特征在于所述步驟18具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權利要求4所述的一種帶有斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器，其特征在于所述步驟19具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權利要求4所述的一種帶有斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器，其特征在于所述步驟21具體為對已裝配好器件進行封裝工藝將樣品器件放入烘箱中烘烤；放入燒結爐中燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種斜柵控凹弧椎型陰極結構的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及斜柵控凹弧椎型陰極結構；能夠提高碳納米管的電子發(fā)射效率，提高器件的顯示亮度，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結構簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J1/30GK101071748SQ20071005463
公開日2007年11月14日 申請日期2007年6月20日 優(yōu)先權日2007年6月20日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學院