專利名稱：激發(fā)式氣體分子放電燈的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)激發(fā)式氣體分子放電燈的。
背景技術(shù)：
激發(fā)式氣體分子放電燈，例如在使用氙作為放電用氣體的情況下，放射出中心波長為172nm的高能量真空紫外線。因此其主要用來取代放射185nm和254nm波長紫外線的低壓水銀燈，而多把激發(fā)式氣體分子放電燈應用于精密洗凈(用光洗凈)液晶表示裝置的玻璃基板和半導體單結(jié)晶板等的紫外線照射裝置的光源。
真空紫外線，是指波長在50nm以上200nm以下的范圍的紫外線。此真空紫外線，被空氣中的氧吸收使之發(fā)生臭氧。因此，在空氣中液晶表示裝置的玻璃基板等的被處理物表面通過被真空紫外線照射而發(fā)生的臭氧，其又與透過的真空紫外線產(chǎn)生相乘的效果，從而可分解去除處理物表面的有機物等并將其洗凈。
真空紫外線透射率優(yōu)良的合成石英玻璃，被用作激發(fā)式氣體分子放電燈的放電容器。對于激發(fā)式氣體分子放電燈，其放電容器內(nèi)封入了用于激發(fā)式氣體分子發(fā)光的放電用氣體。通過對此氣體加以高頻電壓使之產(chǎn)生電解質(zhì)臨界放電而放射真空紫外線。
以前，作為放電容器，多采用封入放電氣體的雙重結(jié)構(gòu)的圓筒管或直徑小的圓筒管。譬如，像日本的專利公報的特開2001-243920號的圖4記載的那樣。開發(fā)了一種采用方形箱的放電容器取代這個雙重圓筒狀的放電容器的激發(fā)式氣體分子放電燈。這樣的例子，譬如，記載于日本的專利公開公報的特開2000-260396號公報。
在封入了放電發(fā)光用的氙和氪等的放電用氣被的放電容器中，在其相對的外表面上設(shè)置有一對電極。通過在電極間施加于高頻電壓，可高效率地放射出氣體所固有的波長的紫外線。對于由雙重結(jié)構(gòu)的圓筒管構(gòu)成的放電容器中，在被雙重圓筒管隔開的放電空間內(nèi)填充放電用氣體，向形成于外側(cè)圓筒管的外表面和緊貼內(nèi)側(cè)圓筒管的內(nèi)表面的電極間施加高頻電壓。波長在200nm以下的真空紫外線，由于被大氣中的氧吸收，到達的距離短。因此，以下的方策被采用，即在裝有具有雙重圓筒管的激發(fā)式氣體分子放電燈的照射裝置的前面設(shè)置石英玻璃板，并且，在其內(nèi)部裝入惰性氣體，以維持照射物表面的紫外線強度。
并且，為了從周圍的影響中保護電極，電極通過覆蓋保護層的方法加以保護。例如像在日本專利公開公報的特開平5-174792號中記載的那樣。

發(fā)明內(nèi)容
最近，開發(fā)一種象被圖1表示的那樣，方箱形的石英制的放電容器1被做成極長的激發(fā)式氣體分子放電燈。在這個放電容器1中，橫截面的上下的高度為十數(shù)mm，左右的幅度為數(shù)十mm的薄的扁方形，其縱向的長度竟有1m以上。放電容器1就是通過把這樣的長的合成石英玻璃管的兩端堵塞住，在內(nèi)部充填氙氣而被制造的。
在這個放電容器1中，通過在平坦的上面和下面各自形成模式圖樣的金屬薄膜而以之作為電極。放電容器1的上面的電極，幾乎被制成為全面覆蓋在這個平坦的表面上。另一方面，底部的電極，被做成網(wǎng)眼狀的模式圖形，真空紫外線就從這個網(wǎng)眼的間隙照射到下方。因為真空紫外線被氧氣吸收，在空氣中迅速衰減，而僅能到達很短的距離。
譬如，波長172nm的真空紫外線，只能照到10mm以下的距離。因此，為使從激發(fā)式氣體分子放電燈放射的真空紫外線照射到寬闊的面積，則需要使之從放電容器1具有最大面積的平坦的表面照射。因而，底部的電極被做成網(wǎng)眼狀，真空紫外線就從這些電極的間隙向下方照射。根據(jù)這樣的照射方式，則不需要像記載于日本的專利公開公報的特開2001-243920號的那樣，向燈室內(nèi)填充不活性氣體，或在燈室前面使用石英玻璃板。
在上述的背景技術(shù)中所記載的激發(fā)式氣體分子放電燈，采用了網(wǎng)狀，線狀，板狀，或管狀等的金屬作為電極。特別是，在放電容器1的紫外線照射面上，采用網(wǎng)狀或線狀的電極，紫外線從這個網(wǎng)或線的間隙照射出。
在使用網(wǎng)狀，線狀，板狀，或管狀等的電極時，其問題是在電極和形成放電容器1的電解質(zhì)間的微小間隙內(nèi)產(chǎn)生火花放電。由于這個火花放電，電極物質(zhì)將飛散(濺射)而導致光透過窗的污損，從而吸收光。因此，產(chǎn)生紫外線輸出效率下降的問題?？傊绻诜烹娙萜?的紫外線透過面上形成電極的情況下，則不能長期保持紫外線輸出效率不下降。
作為解決這樣的火花放電的問題的方法，可考慮用蒸鍍，濺射或離子鍍等手段直接在放電容器1上面形成薄膜電極。用上述方法形成的電極，因為放電容器1和電極間不產(chǎn)生間隙，而能抑制火花的發(fā)生。
由于合成石英玻璃具有出色的真空紫外線的透射率而被作為放電容器1的材料，然而，由于用蒸鍍和濺射法形成的金屬與此石英玻璃的粘著力極弱，而使得用上述手法形成的薄膜電極，非常容易剝落。
本發(fā)明，就是針對上述的問題而進行的，目的在于提供一種具備難以從放電容器上剝落的薄膜電極的激發(fā)式氣體分子放電燈。
本發(fā)明的發(fā)明1，具備由電解質(zhì)構(gòu)成的放電容器，上述放電容器內(nèi)部被封入了用于激發(fā)式氣體分子發(fā)光的放電氣體，其特征是在上述放電容器的外表面上配置至少有2層導電膜的電極，上述2層的導電膜之中，在位于放電容器一側(cè)的層中含有鉻。
根據(jù)第1發(fā)明，因為2層導電膜之中的位于放電容器一側(cè)的層中所含有的鉻與放電容器的貼緊性強，而使得電極很強地結(jié)合在放電容器上。
本發(fā)明的發(fā)明2，與發(fā)明1相關(guān)，其特征是上述電極被形成有間隙的圖形的膜，紫外線可透過那個間隙。
根據(jù)發(fā)明2，可以通過蒸鍍和濺射等方法在放電容器的紫外線照射面上形成與放電容器間沒有間隙的難以剝落的電極。其結(jié)果，通過抑制放電容器和電極間的火花放電及伴隨于此的紫外線透過窗的污損，可長期維持高的紫外線輸出效率。
本發(fā)明的發(fā)明3，與發(fā)明1相關(guān)，其特征是上述放電容器含有合成石英玻璃。以前，激發(fā)式氣體分子放電燈用金屬薄膜電極不能很強地結(jié)合在由合成石英玻璃構(gòu)成的放電容器上。發(fā)明者們首次發(fā)現(xiàn)通過設(shè)置含鉻層，可以把激發(fā)式氣體分子放電燈用金屬薄膜電極很強地結(jié)合在由合成石英玻璃構(gòu)成的放電容器上。
根據(jù)發(fā)明3，能使獲得放電容器和電極的強的粘著力，以及來自于合成石英玻璃出色的真空紫外線透射率的紫外線的高輸出效率一舉兩得。
本發(fā)明的發(fā)明4，是與發(fā)明1相關(guān)，其特征是在上述2層的導電膜中，在遠離放電容器一側(cè)的層里，含有至少一種選自笸鉑鉑，鈀，金，或鎳的元素。
當被來自于激發(fā)式氣體分子放電燈的真空紫外線照射時，與周圍的大氣中的氧反應產(chǎn)生臭氧。在以前例子中，鋁等被用做激發(fā)式氣體分子放電燈的電極，存在的問題是由于這種電極對臭氧的化學不穩(wěn)定性而劣化。對于這樣的問題，可考慮使用對臭氧化學穩(wěn)定的鉑，鈀，金，或鎳作為電極材料。
然而，以前這些與合成石英玻璃的粘著性不好的材料未能用于激發(fā)式氣體分子放電燈的薄膜電極。發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)在大量的材料中，鉻適合于作為與鉑，鈀，金，或鎳，以及合成石英玻璃的雙方粘著性都良好的材料。根據(jù)發(fā)明4，可使與放電容器和電極的粘著力強，及電極對臭氧的良好的化學穩(wěn)定性兩立。如果能用含鉑，鈀，金，或含有鎳的層完全覆蓋含有鉻的層，則可顯著地抑制個的氧化等導致的劣化。
本發(fā)明的發(fā)明5，是與第1，2，3，或4的發(fā)明相關(guān)，其特征是上述2層的導電性膜中的至少一方，是用離子鍍法或濺射法來形成的。
發(fā)明者們，通過非常多的實驗的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)在很多方法中，離子鍍及濺射法特別優(yōu)于把含有鉻的導電膜結(jié)合在激發(fā)式氣體分子放電燈的放電容器上，以及再把第2導電性膜結(jié)合在含鉻的導電性膜上。并且，發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)，如果比較離子鍍法和濺射法，采用離子鍍法制成的導電膜的結(jié)合強度則更優(yōu)。
如上所述，根據(jù)發(fā)明5，可把含鉻的導電膜很強地結(jié)合在激發(fā)式氣體分子放電燈的放電容器上，并且，可把第2導電膜很強地結(jié)合在含有鉻的導電膜上。
在本發(fā)明中，電極的厚度0.2μm以上為好。電極薄則導致電阻變大的問題。特別是對于施加高電壓的激發(fā)式氣體分子放電燈，若其電極薄，則電極的發(fā)熱變大，有時最終會產(chǎn)生斷線，火花放電等，使得燈的壽命降低。由于把電極的厚度制成為0.2μm以上，電極的發(fā)熱被抑制，緊貼性的惡化得到抑制，燈的壽命則提高。
在空氣中照射紫外線的開放型紫外線照射裝置，因為放電容器和被照射物的距離在10mm以內(nèi)，并以在3mm左右為好，所以電極的厚度優(yōu)選1mm以下。當電極是用蒸鍍，濺射，或離子鍍法形成時，電極的厚度優(yōu)選10μm以下。如果電極太厚，由于電極的形成花費時間多等，造成成本增高。當用蒸鍍，濺射，或離子鍍的方法形成電極時，電極的厚度更優(yōu)選1μm以下。由于把厚度設(shè)在1μm以下，可抑制電極上發(fā)生龜裂。
含有鉻的導電膜的厚度，優(yōu)選0.01μm-0.1μm。如果太薄的話，則其與放電容器的結(jié)合性能降低，太厚的話，由于鉻的電阻率大而產(chǎn)生電極全體的導電性降低的問題。
為了使電極全體有充分的導電性，本發(fā)明的發(fā)明1所記載的2層導電膜中，在離放電容器遠的一側(cè)的層優(yōu)選使用比鉻的導電率高的材料，而且放電容器遠的一側(cè)的層以比含鉻層厚為好。電極厚度的多半由比鉻導電性好的金屬形成則更好。
在電極表面，以設(shè)有電極保護材料為好。通過設(shè)置保護材料，電極的氧化等的腐蝕被抑制，而提高燈的壽命。電極保護材料的厚度，以0.05μm以上0.2μm以下為好。電極的保護材料的材質(zhì)，優(yōu)選MgF2和SiO2。這些材質(zhì)，紫外線透射率好，機械強度及對氧和臭氧等的化學穩(wěn)定性出色。特別是，激發(fā)式氣體分子放電燈，被用于其放電容器和被照射物的距離在10mm以下的很近的位置的空氣中的情況下，通過設(shè)置電極保護材料對抑制電極的劣化很有效。


圖1，顯示的是本發(fā)明的一實施形態(tài)，其為省略了長尺寸中間部的激發(fā)式氣體分子放電燈的斜視圖。
圖2，顯示的是本發(fā)明的一實施形態(tài)，其為省略了長尺寸中間部的激發(fā)式氣體分子放電燈的縱切面圖。
圖3，顯示的是本發(fā)明的一實施形態(tài)，其為形成于激發(fā)式氣體分子放電燈的放電容器外表面上的電極的縱切面放大圖。
具體實施例方式
以下，參照圖就本發(fā)明的實施形態(tài)加以說明。
圖1-圖3顯示的是本發(fā)明的一實施形態(tài)。
圖1是省略了長尺寸中間部的激發(fā)式氣體分子放電燈的斜視圖。圖2是省略了長中間部的激發(fā)式氣體分子放電燈的縱切面圖。圖3是形成于圖2的放電容器1的外表面上的電極3的的縱切面放大圖。
以采用前后方向長尺寸的方箱形的放電容器1的激發(fā)式氣體分子放電燈為例，說明本實施形態(tài)。如圖1及圖2所示，在橫截面為橫長方形的合成石英玻璃制的角管1a的兩端開口部，分別焊接有與角管1a橫截面大體上相同形狀的合成石英玻璃制的前后壁板1b。這樣一來，角管1a的兩端開口部被堵塞，就形成了放電容器1。
角管1a，是橫截面的上下方向的高度為12mm，左右方向的幅度為30mm，前后方向的長度為1100mm的方形管?？傊?，這個角管1a，是由上下相對的平坦的上下壁板和左右方向相對的平坦的左右側(cè)壁板構(gòu)成。在焊接在這個角管1a的兩端開口部的前后壁板1b上，事先分別設(shè)置有小細尖管1c。
這個小細尖管1c，是合成石英玻璃制的管其被向加外突出地焊在前后壁板1b上。在其管內(nèi)，與預先形成在前后壁板1b的大體上中央部位的開口孔相通。在角管1a的上下壁板的外面，形成有作為電極2，3的金屬薄膜。這個金屬薄膜的形成，在把前后壁板1b焊接在角管1a兩端開口部之前或其后都可以。
電極2，被成膜于幾乎全面覆蓋在角管1a上面壁板表面上。電極3，成膜在角管1a下壁板的上，其被做成網(wǎng)眼狀圖案大體上全面覆蓋底部。
圖3，顯示了電極3的斷面圖。電極2及3的任何一個都是，先形成第1層的鉻膜3a，然后繼續(xù)形成第2層的鎳膜3b。
這些膜，是通過把金屬蒸鍍在合成石英玻璃表面上而形成的。這些膜特別優(yōu)選用離子鍍法或濺射法來形成。若比較離子鍍法和濺射法的話，則更優(yōu)選離子鍍法。在等離子體空間里，被電離的金屬撞擊玻璃表面，而被強有力地結(jié)合在玻璃上形成膜。電極3的網(wǎng)眼狀圖案，是在第2層形成之后，采用蝕刻法把不用部分除去而形成。
電極2中，在角管1a的上面壁板的幾乎全體表面上形成0.05μm厚的鉻層及0.35μm厚的鎳層。電極3中，在這個角管1a下壁板底部的幾乎全面形成網(wǎng)眼狀的圖案，其與電極2相同，由0.05μm厚的鉻層及0.35μm厚的鎳層形成。因此，電極的厚度，電極2及電極3的雙方都是0.4μm。
并且，在電極2及電極3的表面，被形成氟化鎂層作為電極保護材料4。電極保護材料4，譬如，可采用把不要部位掩蔽，再蒸鍍氟化鎂，使其只形成于必要的位置。作為電極保護材料4的形成法，真空蒸鍍，離子鍍法或者濺射法等都可使用，不過，因為真空蒸鍍法的制造成本低廉而為最優(yōu)。
在本實施形態(tài)中，電極2及電極3雙方，都被形成0.1μm厚的氟化鎂的電極保護材料4。作為電極保護材料4的材質(zhì)，除了氟化鎂以外可使用二氧化硅(SiO2)。為使電極2及電極3不露出，最好是電極保護材料4全面覆蓋于電極2及電極3。
向放電容器1內(nèi)部填充放電用氣體，是通過從一側(cè)的小細尖管1c排除空氣的同時，從另一側(cè)的小細尖管1c注入放電用氣體而得以完成。此后，把雙方的小細尖管1c的尖端部溶融封住而使得被密閉，而完成放電用氣體的填充。被燈被安裝在設(shè)備上時，小細尖管1c也能被用做燈的支持部。在本實施形態(tài)中，氙被作為放電用氣體充填在放電容器1里面。其結(jié)果，本實施形態(tài)的激發(fā)式氣體分子放電燈能放射出，中心波長為172nm的高能真空紫外線。
根據(jù)上述構(gòu)成的激發(fā)式氣體分子放電燈，由于在放電容器表面上形成的電極，是介于跟放電容器的有出色結(jié)合力的鉻層而形成鎳層，此電極與放電容器表面的結(jié)合力增強。這是由于鉻與合成石英玻璃和鎳的雙方都有出色的結(jié)合力。作為比較例，除了具有不含鉻層而只由鎳層構(gòu)成的電極(厚度0.4μm)以外，其它都與上述的本實施形態(tài)相同，而制成了激發(fā)式氣體分子放電燈。
在本實施形態(tài)和比較例的雙方的激發(fā)式氣體分子放電燈的電極膜上，刻入圍棋盤狀的縫隙，在其上貼上膠帶之后再剝下的時候，觀察電極膜是不是從放電容器上剝落，即為橫切剝離試驗。從其結(jié)果知道，隔有鉻層的本實施形態(tài)的電極，比比較例的電極，更強地結(jié)合在放電容器上。
在壽命試驗中，本實施形態(tài)的激發(fā)式氣體分子放電燈，比比較例的激發(fā)式氣體分子放電燈的壽命長。同時，在本實施形態(tài)中通過改變鉻層，鎳層及電極的厚度來進行壽命試驗，可知電極的厚度在0.2μm以上為好，鉻層的厚度以0.01μm以上0.1μm以下為好。
并且，通過采用由氟化鎂組成的電極保護材料來覆蓋電極，提高了激發(fā)式氣體分子放電燈的壽命。并知導此電極保護材料的厚度，以0.05μm以上0.2μm以下為好。
在上述實施形態(tài)中，鎳被用作第2層，不過，用鉑，鈀，金，或銀也得到了同樣的效果。
在上述實施形態(tài)中，雖然顯示的是放電容器1由前后壁板1b，及1b和角形管1a的長的方箱形，但不僅限于此。對于日本專利公開公報的特開2001-243920號記載的雙重結(jié)構(gòu)的圓筒管，在有小直徑的圓筒管中裝入放電用氣體的放電容器，以及日本專利公開公報的特開2000-260396號記載的方箱形的放電容器等，本發(fā)明也有效。
在上述實施形態(tài)中，顯示的是用小細尖管1c形成連接于通往放電容器1內(nèi)部的開口，不過，用其他的管材或單純地形成開口孔也可以。開口孔，被用于充填放電用氣體。為不妨礙紫外線的照射，開口孔，以設(shè)置在紫外線直射方向的壁板以外的壁板上為好。
在上述實施形態(tài)中，顯示的是把前后側(cè)壁板1b焊接在角管1a兩端的開口部，由此而制成放電容器1，不過，放電容器1的制做方法并不限于此。
譬如，也可把前后壁板1b焊接在橫截面為橫寬的方形的合成石英玻璃的長圓筒管的兩端開口部。除此以外，也可是成型為圓筒管狀的，角管1a兩端被熔融封止的東西。在放電容器1中，形成電極2，3的上下壁板在大范圍平坦且大體平行即可。因此，譬如圓筒管狀的容器的左右側(cè)壁板彎曲成半圓筒狀也可以，又譬如熔融封閉前后邊壁板因熔融彎曲也可以。
除此之外，即使在用6塊合成石英玻璃板材分別焊接而制造放電容器情況下，也能得到與本發(fā)明同樣的效果。在這種情況下，因各壁板由不同的板材構(gòu)成，可以任意把壁板變更為紫外線透射率或反射率高的材料。
在上述實施形態(tài)中，顯示的是放電容器1的全部壁板由合成石英玻璃構(gòu)成。然而，紫外線透過的照射用的壁板以外的壁板，只要是電解質(zhì)材料，未必用合成石英玻璃。
上述實施形態(tài)，是以放射波長為172nm的真空紫外線的激發(fā)式氣體分子放電燈為例而做的說明，不過，本發(fā)明并不限定于此。此外，例如用KrI和ArF作為放電用氣體，也可顯示出與本發(fā)明同樣的效果。如果用KrI時則放射191nm的，用ArF則放射193nm波長的真空紫外線。
在上述實施形態(tài)中，在放電容器上形成有由第1層和第2層組成的電極，不過，本發(fā)明的電極未必限定于2層構(gòu)造。譬如，在第1層和第2層間，或是第2層的與第1層相反的一側(cè)，可設(shè)置第3層，也可制成具有3層以上的多層構(gòu)造的電極。
在上述實施形態(tài)中，電極2和電極3都是2層結(jié)構(gòu)，不過，未必有必要把雙方都作成2層結(jié)構(gòu)。譬如，可只把紫外線照射方面的電極3做成2層構(gòu)造。通過采用含鉻層，電極被很強地結(jié)合在放電容器上的這一效果，不管是紫外線照射面的電極，還是非紫外線照射面的電極都同樣可以得到。因此，把很薄的輕的電極做為放電容器很強地能粘著這樣的優(yōu)點，即使是紫外線照射方面的電極，即使是不是紫外線照射方面的電極也同樣可以得到。
然而，在非照射紫外線一側(cè)，如果使用網(wǎng)狀，線狀，板狀，或管狀等的電極時，即使在電極與形成放電容器的電解質(zhì)間的微小間隙間產(chǎn)生火花放電，產(chǎn)生電極物質(zhì)的飛散(濺射)而污損光透過窗，也不存在紫外線輸出效率下降之類的問題。
與此相對，在紫外線照射一側(cè)，如果使用網(wǎng)狀或線狀的電極而造成光透過窗的污損，則存在紫外線輸出效率降低的嚴重問題。總之，應用與紫外線照射一側(cè)的本發(fā)明，首次使防止光透過窗的污損和增強薄膜電極對放電容器的結(jié)合力得到兩立。因此，把本發(fā)明應用于放電容器的紫外線照射一側(cè)的電極，比用于不照射紫外線側(cè)，在工業(yè)上更具重要意義。
本申請，2002年9月20日在日本被申請專利，以申請?zhí)柎a為特愿2002-275489的專利申請作為基礎(chǔ)。根據(jù)這個記述，特愿2002-275489的說明書的全部內(nèi)容，被作為引用文獻插入本說明書。
(產(chǎn)業(yè)上的利用可能性)本發(fā)明的特征是在放電容器的外表面上設(shè)置具有2層導電膜的電極，在上述2層的導電膜中，位于放電容器一側(cè)的層含有鉻，根據(jù)本發(fā)明，能得到薄膜電極很強地結(jié)合在放電容器上的激發(fā)式氣體分子放電燈。
權(quán)利要求
1.一種激發(fā)式氣體分子放電燈，其中具備由電介質(zhì)構(gòu)成的放電容器，所述放電容器內(nèi)部封入了用于激發(fā)式氣體分子發(fā)光的放電用氣體，其特征在于，在所述放電容器的外表面具備至少具有2層導電膜的電極，所述2層導電膜中、位于放電容器一側(cè)的層含有鉻。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激發(fā)式氣體分子放電燈，其特征在于，所述電極以具有間隙的圖案成膜，紫外線能透過該間隙。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激發(fā)式氣體分子放電燈，其特征在于，所述放電容器含有合成石英玻璃。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激發(fā)式氣體分子放電燈，其特征在于，所述2層導電膜中、遠離放電容器一側(cè)的層，含有從鉑、鈀、金或鎳中選擇的至少一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的激發(fā)式氣體分子放電燈，其特征在于，所述2層導電膜中的至少一方利用離子鍍法或者濺射法形成。
全文摘要
具有由電解質(zhì)構(gòu)成的放電容器，上述放電容器內(nèi)部封入了用于激發(fā)式氣體分子發(fā)光的放電用氣體的激發(fā)式氣體分子放電燈，其特征是在上述放電容器的外表面具備至少有2層導電膜的電極，上述2層導電膜中，位于放電容器一側(cè)的層含有鉻。
文檔編號H01J65/04GK1682349SQ0382225
公開日2005年10月12日 申請日期2003年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月20日
發(fā)明者細谷浩二, 江崎真伍, 吉川智也 申請人:日本電池株式會社