專利名稱：方形基片涂膠單元中的自動扣蓋機構(gòu)的制作方法
方形基片涂膠單元中的自動扣蓋機構(gòu)
本發(fā)明涉及方形基片涂膠領(lǐng)域，具體為一種方形基片涂膠單元中的自動扣蓋 機構(gòu)，應用于方形基片(如光刻掩膜板、平板顯示器)涂膠工藝中涂膠腔體自動 扣蓋和開啟功能。
背景姊
方形基片涂膠有多種方法，旋轉(zhuǎn)涂膠是目前最常用有效的涂膠方式，在平板 顯示器制造中廣泛采用，能保證獲得較高的膠膜均勻性?；驹硎菍⑸倭磕z液 沉積在基片中央，接著以高速旋轉(zhuǎn)，離心力將働交液散開，最后覆蓋整個基片。 也可以在滴膠過程中基片先低速旋轉(zhuǎn)(通常200r/min)使光刻月贓基片表面慢慢 攤開，然后加速，高速旋轉(zhuǎn)一定時間直到表面覆蓋一定厚度的膠膜。其不足之處 在于由于方形基片直接與外界接觸，膠液揮發(fā)較快，容易變干，達不到方形基 片的均勻涂膠的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種方形基片涂膠單元中的自動扣蓋機構(gòu)，解決方形 基片的均勻涂膠等問題。 本發(fā)明的技術(shù)方案是
一種方形基片涂膠單元中的自動扣蓋機構(gòu)，該自動扣蓋機構(gòu)設(shè)有內(nèi)蓋和外蓋 兩層蓋結(jié)構(gòu)，外蓋中心開 L其上表面設(shè)有定位銷子I ;內(nèi)蓋中心通,接件穿 過外蓋中心孑遂有定位板，定位M過其上開設(shè)的銷孔與外蓋上的定位銷子I相 X寸應；方形基片涂膠單元的承片臺上安裝旋轉(zhuǎn)蓋板，旋轉(zhuǎn)蓋板表面設(shè)有定位銷子 II ，內(nèi)蓋通過其上開設(shè)的銷孔與旋轉(zhuǎn)蓋板上的銷子II相對應。 所述的自動扣蓋機構(gòu)，外蓋與氣缸相連。 所述的自動扣蓋機構(gòu)，在連接承片臺的主軸上裝有定位盤。 戶脫的自動扣蓋機構(gòu)，定{她上開有缺口，定位氣缸設(shè)置于定{述側(cè)面，定 位氣M過其一端安裝的軸承與缺口對應。
3本發(fā)明的有益效果是
1、 本發(fā)明在方形基片涂膠工藝中，為了得到除 邊緣2 3mm邊框以外 均勻的一層膠膜，在旋轉(zhuǎn)涂膠過程中，承片臺上扣有內(nèi)蓋，把基片夾在中間然后 一起旋轉(zhuǎn)，其作用是可以使膠液揮發(fā)延緩，膠液在旋轉(zhuǎn)過程中可充分擴散，完成 均勻涂膠。
2、 本發(fā)明方形基片涂膠單元中的自動扣蓋機構(gòu)采用了兩層蓋結(jié)構(gòu)(內(nèi)蓋和外 蓋)，外蓋扣在涂膠腔體上，內(nèi)蓋可通過銷子和承片臺扣在一起，整個扣蓋機構(gòu)由 1缸驅(qū)動上下運動，可以完成自動扣蓋和開啟動作。
3、 本發(fā)明在連接承片臺的主軸上裝有定i雄，可以^f〈片臺在內(nèi)蓋、夕卜蓋上 升和下降過程中固定不能轉(zhuǎn)動，從而保證旨過超頃利運行。


圖1為本發(fā)明方形基片涂膠單元中的自動扣蓋機構(gòu)示意圖(初始位置)。 圖2為本發(fā)明方形基片涂膠單元中的自動扣蓋機構(gòu)示意圖(扣下位置)。 圖3為本發(fā)明主軸定位結(jié)構(gòu)示意圖。 圖4為本發(fā)明方形基片涂膠工藝示意圖。
圖中，l涂膠腔體；2主軸；3承片臺；4旋轉(zhuǎn)蓋板；5基片；6內(nèi)蓋；7外蓋; 8定位盤；9銷子I; IO銷子II; ll定位板；12氣缸；13缺口； 14軸承；15定
位氣缸。
如圖1-2所示，為實現(xiàn)在承片臺上自動扣蓋和開啟功能，本發(fā)明方形基片涂 膠單元中的自動扣蓋機構(gòu)采用了兩層蓋結(jié)構(gòu)(內(nèi)蓋6和外蓋7)。外蓋7中心開孔， 其上表面設(shè)有定位銷子I 9;內(nèi)蓋6中心M^接件穿過外蓋7中心孔連有定位板 11，定位板11通過其上開設(shè)的銷孔與外蓋7上的定位銷子I9相對應，并配合使 用，定位板11可以扣砂卜蓋7上；方形基片涂膠單元的承片臺3上安裝旋轉(zhuǎn)蓋板 4，旋轉(zhuǎn)蓋板4表面設(shè)有定位銷子II10;外蓋7扣在方形基片涂膠單元的涂膠腔體 1上，內(nèi)蓋6 M其上開設(shè)的銷孔與旋轉(zhuǎn)蓋板4上的銷子II10相對應，并配合使 用，內(nèi)蓋6可以扣在承片臺3上安裝的旋轉(zhuǎn)蓋板4上；氣缸12與外蓋7相連，整 個自動扣蓋機構(gòu)由氣缸12驅(qū)動上下運動。另外，在連接承片臺3的主軸2上可以 裝有定位盤8。
初始狀態(tài)時內(nèi)蓋6和外蓋7在上位，內(nèi)蓋6的上端和外蓋7套在一起，通過3個銷子I9固定位置。當內(nèi)蓋6和外蓋7扣下時，由于內(nèi)蓋6在下，會先碰到承 片臺3，旋轉(zhuǎn)蓋板4上的銷子II10插入內(nèi)蓋6的銷孔中，從而使承片臺3通過旋 轉(zhuǎn)蓋板4和內(nèi)蓋6固定在一起；此時，由于外蓋7還沒有碰到涂膠腔體1上沿， 所以在氣缸12驅(qū)動下繼續(xù)向下運動，從而使外蓋7上的銷子I 9逐步從與內(nèi)蓋6 連接的定位板ll銷孔中脫出，當外蓋7扣在涂膠腔體1上沿而停止運動后，內(nèi)蓋 6和外蓋7就會分離開。這樣，內(nèi)蓋6就可以和承片臺3上的旋轉(zhuǎn)蓋板4扣在一 起旋轉(zhuǎn)完成方形基片5的涂膠工藝了。在開蓋時，氣缸帶動內(nèi)蓋6和外蓋7向上 運動，夕卜蓋7的銷子I 9重新插入與內(nèi)蓋6連接的定位板11銷孔中，將內(nèi)蓋6提 起，使內(nèi)蓋6和承片臺3分開，從而完成開蓋動作。
如圖3所示，為了保證 ^禾蜀頓利運行，在內(nèi)蓋6、外蓋7上升和下M 程中，承片臺3要保證固定不能轉(zhuǎn)動；因此，在連接承片臺3的主軸2上裝有定 位盤8，定位盤8上開有缺口 13，定位氣缸15設(shè)置于定位盤8側(cè)面，定位氣缸 15 ffl31其一端安裝的軸承14與缺口 13對應，從而可將定位盤8拌住，使主軸2 固定不動。
如圖4所示，當外蓋7扣在方形基片涂膠單元的涂膠腔體1上，內(nèi)蓋6扣在 承片臺3安裝的旋轉(zhuǎn)蓋板4上時，可以進行方形基片的涂膠。將少量膠液沉積在 基片5中央，主軸2帶動承片臺3、基片5—起高速旋轉(zhuǎn)(圖中箭頭A方向)，離 心力將4妙交液散開，最后覆蓋齡基片。圖中，兩邊的箭頭B、 C代表排氣方向。
本發(fā)明裝置可,相應的需加蓋旋轉(zhuǎn)的設(shè)備中使用，如掩膜板及平板顯示器 制造中的旋轉(zhuǎn)涂膠工藝設(shè)備。
權(quán)利要求
1、一種方形基片涂膠單元中的自動扣蓋機構(gòu)，其特征在于該自動扣蓋機構(gòu)設(shè)有內(nèi)蓋(6)和外蓋(7)兩層蓋結(jié)構(gòu)，外蓋(7)中心開孔，其上表面設(shè)有定位銷子I(9)；內(nèi)蓋(6)中心通過連接件穿過外蓋(7)中心孔連有定位板(11)，定位板(11)通過其上開設(shè)的銷孔與外蓋(7)上的定位銷子I(9)相對應；方形基片涂膠單元的承片臺(3)上安裝旋轉(zhuǎn)蓋板(4)，旋轉(zhuǎn)蓋板(4)表面設(shè)有定位銷子II(10)，內(nèi)蓋(6)通過其上開設(shè)的銷孔與旋轉(zhuǎn)蓋板(4)上的銷子II(10)相對應。
2、 按照權(quán)利要求1所述的自動扣蓋機構(gòu)，其特征在于外蓋(7)與氣缸(12) 相連。
3、 按照權(quán)利要求l所述的自動扣蓋機構(gòu)，其特征在于在連接承片臺(3) 的主軸(2)上裝有定，(8)。
4、 按照權(quán)利要求3戶腿的自動扣蓋機構(gòu)，其特征在于定爐(8)上開有 缺口 (13)，定位氣缸(15)設(shè)置于定位盤(8)側(cè)面，定位氣缸(15)通過其一 端安裝的軸承(14)與缺口 (13)對應。
全文摘要
本發(fā)明涉及方形基片涂膠領(lǐng)域，具體為一種方形基片涂膠單元中的自動扣蓋機構(gòu)，應用于方形基片(如光刻掩膜板、平板顯示器)涂膠工藝中涂膠腔體自動扣蓋和開啟功能。該自動扣蓋機構(gòu)設(shè)有內(nèi)蓋和外蓋兩層蓋結(jié)構(gòu)，外蓋中心開孔，其上表面設(shè)有定位銷子I；內(nèi)蓋中心通過連接件穿過外蓋中心孔連有定位板，定位板通過其上開設(shè)的銷孔與外蓋上的定位銷子I相對應；方形基片涂膠單元的承片臺上安裝旋轉(zhuǎn)蓋板，旋轉(zhuǎn)蓋板表面設(shè)有定位銷子II，內(nèi)蓋通過其上開設(shè)的銷孔與旋轉(zhuǎn)蓋板上的銷子II相對應。本發(fā)明整個扣蓋機構(gòu)由一氣缸驅(qū)動上下運動，可以完成自動扣蓋和開啟動作，它解決了方形基片的均勻涂膠等問題。
文檔編號G03F7/16GK101452209SQ20071015865
公開日2009年6月10日 申請日期2007年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月30日
發(fā)明者焱 陳 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司