一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，包括裝置本體，裝置本體包括夾板和夾體，夾板包括第一和第二夾板，第一和第二夾板的整體形狀為長(zhǎng)方形，第一和第二夾板之間設(shè)有連接板，其通過(guò)連接板相連接，連接板將第一和第二夾板分割為夾板后部和夾板前部，夾體包括第一和第二夾體，第一夾體設(shè)在第一夾板的前端，第二夾體設(shè)在第二夾板的前端，第一和第二夾體之間設(shè)有夾縫腔；本實(shí)用新型的用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，夾取方便，便于固定，可夾取不同厚度,不同尺寸的晶粒，且?jiàn)A取后便于觀(guān)察，使用方便。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及固定裝置，特別涉及一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓切割完成后，為了確認(rèn)切割品質(zhì)都會(huì)在高倍顯微鏡下抽檢一定的晶圓數(shù)量，抽檢時(shí)會(huì)抽取部分材料，材料除了查看晶圓正面和背面狀況，一般還要側(cè)立起來(lái)看下四個(gè)側(cè)面的狀況，由此確認(rèn)下是否有碎裂隱裂之類(lèi)的失效狀況，晶粒材質(zhì)比較脆，又比較薄，有些厚度甚至不到30微米，檢測(cè)過(guò)程中的置放方式不當(dāng)，極易造成二次傷害從而對(duì)檢查結(jié)果造成干擾，用于檢查的高倍顯微鏡放大倍數(shù)幾十倍到上千倍不等，這樣對(duì)晶粒放置的穩(wěn)固要求非常高，如果30微米厚的材料側(cè)立很容易受到震動(dòng)及空氣流動(dòng)等因素的影響，晶圓稍微的抖動(dòng)，在顯微鏡下就是很大的幅度，不容易看到晶圓清晰真實(shí)的狀況。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，提供了一種夾取方便，便于固定，可夾取不同厚度的晶粒，且?jiàn)A取后便于觀(guān)察，使用方便的用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置。
[0004]本實(shí)用新型的具體技術(shù)方案如下:一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，包括裝置本體，所述裝置本體包括夾板和夾體，所述夾板包括第一夾板和第二夾板，所述第一夾板和第二夾板的整體形狀為長(zhǎng)方形，所述第一夾板和第二夾板之間設(shè)有連接板，其通過(guò)連接板相連接，所述連接板將第一夾板和第二夾板分割為夾板后部和夾板前部，所述夾體包括第一夾體和第二夾體，所述第一夾體設(shè)在第一夾板的前端，所述第二夾體設(shè)在第二夾板的前端，所述第一夾體和第二夾體均為直角三角形，所述第一夾體和第二夾體之間設(shè)有夾縫腔。
[0005]以下為本實(shí)用新型的附屬技術(shù)方案。
[0006]作為優(yōu)選方案，所述裝置本體的材質(zhì)為防靜電PVC。
[0007]作為優(yōu)選方案，所述夾板后部的長(zhǎng)度均為20.06mm，高度為10mm。
[0008]作為優(yōu)選方案，所述夾板前部的長(zhǎng)度為10.15mm。
[0009]作為優(yōu)選方案，所述第一夾體和第二夾體的長(zhǎng)度均為9.17mm。
[0010]本實(shí)用新型的技術(shù)效果:本實(shí)用新型的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，通過(guò)第一和第二夾板的設(shè)置，便于夾持操作;通過(guò)第一夾體和第二夾體的設(shè)置，便于夾取，固定不同的晶粒;整個(gè)設(shè)計(jì)，夾取方便，便于固定，可夾取不同厚度，不同大小的晶粒，且?jiàn)A取后便于觀(guān)察，使用方便。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置的使用狀態(tài)示意圖。
[0013]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置的另一使用狀態(tài)示意圖。
[0014]圖中:裝置本體I，夾板2，第一夾板21，第二夾板22，夾板后部23，夾板前部24，夾體3，第一夾體31，第二夾體32，夾縫腔321，連接板4，晶粒5。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明。
[0016]如圖1至圖3所示，本實(shí)施例的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，包括裝置本體I，所述裝置本體I的材質(zhì)為防靜電PVC。這樣設(shè)置，PVC材料制成的固定裝置，自身較小的彈性即可滿(mǎn)足對(duì)晶粒的固定，且PVC硬度比晶粒小對(duì)晶粒不易造成損傷;所述裝置本體I包括夾板2和夾體3，所述夾板2包括第一夾板21和第二夾板22，所述第一和第二夾板的整體形狀為長(zhǎng)方形，所述第一和第二夾板之間設(shè)有連接板4，其通過(guò)連接板4相連接，所述連接板4將第一和第二夾板分割為夾板后部23和夾板前部24，所述夾板后部23的長(zhǎng)度均為20.06mm，高度為10mm。所述夾板前部24的長(zhǎng)度為10.15mm。這樣設(shè)置，便于夾取操作。所述夾體3包括第一夾體31和第二夾體32，所述第一夾體31設(shè)在第一夾板21的前端，所述第二夾體32設(shè)在第二夾板22的前端，所述第一和第二夾體的整體形狀均為直角三角形，所述第一和第二夾體的長(zhǎng)度均為9.17_。這樣設(shè)置，第一和第二夾體的直角三角形的形狀也方便晶粒的取放，所述第一和第一夾尖之間設(shè)有夾縫腔321。這樣設(shè)置，便于固定晶粒。
[0017]進(jìn)一步地，本實(shí)施例的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，通過(guò)第一和第二夾板之間通過(guò)連接板的連接，可以適用于固定不同尺寸的晶粒，第一和第二夾板前端設(shè)有第一和第二夾體的設(shè)置，方便晶粒的取放，由于晶粒比較脆，易碎且易劃傷，固定裝置整體使用防靜電PVC材料制成，這樣制成的固定裝置，由于自身較小的彈性，可滿(mǎn)足對(duì)晶粒的固定，且PVC材質(zhì)的硬度比晶粒小，對(duì)晶粒不易造成損傷，另外，晶粒屬于微電子集成電路，靜電很容易對(duì)其造成損傷，采用的是防靜電PVC材料做成的裝置，可以有效起到ESD防護(hù)作用;將該固定裝置放置在一個(gè)平面上，其和置放平臺(tái)的接觸面呈“Y”形狀，可以很好保持其在平臺(tái)上置放的平穩(wěn)性;根據(jù)目前晶圓減薄的厚度范圍看，該裝置適用于所有的常見(jiàn)厚度晶粒。
[0018]本實(shí)施例的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，1、通過(guò)第一和第二夾板的設(shè)置，便于夾持操作；2、通過(guò)第一夾體和第二夾體的設(shè)置，便于夾取固定不同的晶粒；3、整個(gè)設(shè)計(jì)，夾取方便，便于固定，可夾取不同厚度，不同大小的晶粒，且?jiàn)A取后便于觀(guān)察，使用方便。需要指出的是，上述較佳實(shí)施例僅為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，包括裝置本體，其特征在于:所述裝置本體包括夾板和夾體，所述夾板包括第一夾板和第二夾板，所述第一夾板和第二夾板的整體形狀為長(zhǎng)方形，所述第一夾板和第二夾板之間設(shè)有連接板，其通過(guò)連接板相連接，所述連接板將第一夾板和第二夾板分割為夾板后部和夾板前部，所述夾體包括第一夾體和第二夾體，所述第一夾體設(shè)在第一夾板的前端，所述第二夾體設(shè)在第二夾板的前端，所述第一夾體和第二夾體均為直角三角形，所述第一夾體和第二夾體之間設(shè)有夾縫腔。2.如權(quán)利要求1所述的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，其特征在于:所述裝置本體的材質(zhì)為防靜電PVC。3.如權(quán)利要求1所述的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，其特征在于:所述夾板后部的長(zhǎng)度均為20.06mm，高度為10mm。4.如權(quán)利要求1所述的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，其特征在于:所述夾板前部的長(zhǎng)度為10.15mm。5.如權(quán)利要求1所述的一種用于晶粒側(cè)面觀(guān)察的固定裝置，其特征在于:所述第一夾體和第二夾體的長(zhǎng)度均為9.17mm。
【文檔編號(hào)】B25B11/00GK205685214SQ201620531393
【公開(kāi)日】2016年11月16日
【申請(qǐng)日】2016年6月5日 公開(kāi)號(hào)201620531393.3, CN 201620531393, CN 205685214 U, CN 205685214U, CN-U-205685214, CN201620531393, CN201620531393.3, CN205685214 U, CN205685214U
【發(fā)明人】彭志文, 凡會(huì)建
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